JP2012125859A - 研磨液供給装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】研磨砥粒を固まらせることなく研磨液を研磨装置の研磨パッドに供給することができる研磨液供給装置を提供する。
【解決手段】底壁と天井壁および側壁とを有する研磨液収容タンクと、研磨液収容タンク内に収容された研磨液を研磨装置に供給する研磨液送給手段とを具備する研磨液供給装置であって、研磨液収容タンクを構成する少なくとも壁の内面に付着した研磨液を洗い流す洗浄水を噴射する洗浄手段を具備している。
【選択図】図2
【解決手段】底壁と天井壁および側壁とを有する研磨液収容タンクと、研磨液収容タンク内に収容された研磨液を研磨装置に供給する研磨液送給手段とを具備する研磨液供給装置であって、研磨液収容タンクを構成する少なくとも壁の内面に付着した研磨液を洗い流す洗浄水を噴射する洗浄手段を具備している。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を研磨する研磨装置に研磨液を供給するための研磨液供給装置に関する。
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にIC、LSI等のデバイスを形成する。このように複数のデバイスが形成された半導体ウエーハをストリートに沿って分割することにより、個々のデバイスを形成する。デバイスの小型化および軽量化を図るために、通常、半導体ウエーハをストリートに沿って切断して個々のデバイスに分割するのに先立って、半導体ウエーハの裏面を研削して所定の厚さに形成している。半導体ウエーハの裏面の研削は、通常、ダイヤモンド砥粒をレジンボンドの如き適宜のボンドで固着して形成した研削ホイールを、高速回転せしめながら半導体ウエーハの裏面に押圧せしめることによって遂行されている。このような研削方式によって半導体ウエーハの裏面を研削すると、半導体ウエーハの裏面に所謂加工歪が生成され、これによって個々に分割されたデバイスの抗折強度が低下するという問題がある。
上述した問題を解消するために、研削された半導体ウエーハの裏面を研磨して上記研削歪を除去する研磨装置が下記特許文献1に開示されている。下記特許文献1に開示された研磨装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研磨する研磨パッドを有する研磨手段とを具備し、研磨パッドに研磨液を供給しながら研磨パッドを回転しつつウエーハに押圧することにより、ウエーハの被加工面を研磨する。従って、研磨パッドに研磨液を供給ための研磨液供給装置が研磨装置に隣接して配置されている。
上記研磨液供給装置は、例えばシリカ粒子とアンモニア水等のアルカリ溶液および添加剤としての過酸化水素水を混合した研磨液を収容する研磨液収容タンクを備え、該研磨液収容タンクに収容された研磨液を研磨装置の加工時に研磨パッドに供給する。
しかるに、研磨液収容タンクに収容された研磨液が減少すると、液面が下がった研磨液収容タンクの内壁面に付着している研磨液が乾燥し、シリカ粒子が固まった状態で落下することがある。このよう固まった状態で落下したシリカ粒子が塊となって研磨装置の研磨パッドに供給されると、被加工物の被加工面にスクラッチを生じさせる原因となる。
しかるに、研磨液収容タンクに収容された研磨液が減少すると、液面が下がった研磨液収容タンクの内壁面に付着している研磨液が乾燥し、シリカ粒子が固まった状態で落下することがある。このよう固まった状態で落下したシリカ粒子が塊となって研磨装置の研磨パッドに供給されると、被加工物の被加工面にスクラッチを生じさせる原因となる。
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、研磨砥粒を固まらせることなく研磨液を研磨装置の研磨パッドに供給することができる研磨液供給装置を提供することにある。
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、底壁と天井壁および側壁とを有する研磨液収容タンクと、該研磨液収容タンク内に収容された研磨液を研磨装置に供給する研磨液送給手段と、を具備する研磨液供給装置において、
該研磨液収容タンクを構成する少なくとも該側壁の内面に付着した研磨液を洗い流す洗浄水を噴射する洗浄手段を具備している、
ことを特徴とする研磨液供給装置が提供される。
該研磨液収容タンクを構成する少なくとも該側壁の内面に付着した研磨液を洗い流す洗浄水を噴射する洗浄手段を具備している、
ことを特徴とする研磨液供給装置が提供される。
上記洗浄手段は、研磨液収容タンクを構成する天井壁に配設され側壁の内面に向けて洗浄水を噴射する噴射ノズルと、該噴射ノズルに洗浄水を供給する洗浄水供給手段と、該洗浄水供給手段を定期的に所定時間作動するように制御する制御手段と、を具備している。
上記噴射ノズルは、加圧気体を導入する気体通路を備え、該気体通路に導入された加圧気体を洗浄水と混合して霧状の洗浄水を噴霧する。
上記噴射ノズルは、加圧気体を導入する気体通路を備え、該気体通路に導入された加圧気体を洗浄水と混合して霧状の洗浄水を噴霧する。
本発明による研磨液供給装置は、研磨液収容タンクを構成する少なくとも側壁の内面に付着した研磨液を洗い流す洗浄水を噴射する洗浄手段を具備しているので、定期的に作動して洗浄水を側壁の内面に噴射することにより、側壁の内面に付着した研磨液が乾燥して研磨液に含まれるシリカ粒子等の砥粒が塊となる前に研磨液収容タンク内の研磨液中に落下する。従って、研磨液に含まれるシリカ粒子等の砥粒の塊が研磨装置の研磨パッドに供給されることはない。
以下、本発明に従って構成された研磨液供給装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して更に詳細に説明する。
図1には本発明に従って構成された研磨液供給装置の斜視図および該研磨液供給装置によって研磨液が供給される研磨装置の要部斜視図が示されている。
先ず、研磨装置1について説明する。図1に示す研磨装置1は、全体を番号2で示す装置ハウジングを具備している。装置ハウジング2は、細長く延在する直方体形状の主部21と、該主部21の後端部(図1において右上端)に設けられ上下方向に配設された直立壁22とを有している。直立壁22の前面には、上下方向に延びる一対の案内レール221、221が設けられている。この一対の案内レール221、221に研磨手段としての研磨ユニット3が上下方向に移動可能に装着されている。
先ず、研磨装置1について説明する。図1に示す研磨装置1は、全体を番号2で示す装置ハウジングを具備している。装置ハウジング2は、細長く延在する直方体形状の主部21と、該主部21の後端部(図1において右上端)に設けられ上下方向に配設された直立壁22とを有している。直立壁22の前面には、上下方向に延びる一対の案内レール221、221が設けられている。この一対の案内レール221、221に研磨手段としての研磨ユニット3が上下方向に移動可能に装着されている。
研磨ユニット3は、移動基台31と該移動基台31に装着されたスピンドルユニット32を具備している。移動基台31は、後面両側に上下方向に延びる一対の脚部311、311が設けられており、この一対の脚部311、311に上記一対の案内レール221、221と摺動可能に係合する被案内溝312、312が形成されている。このように直立壁22に設けられた一対の案内レール221、221に摺動可能に装着された移動基台31の前面には前方に突出した支持部313が設けられている。この支持部313にスピンドルユニット32が取り付けられる。
スピンドルユニット32は、支持部313に装着されたスピンドルハウジング321と、該スピンドルハウジング321に回転自在に配設された回転スピンドル322と、該回転スピンドル322を回転駆動するための回転駆動手段としてのサーボモータ323とを具備している。回転スピンドル322の下端部はスピンドルハウジング321の下端を越えて下方に突出せしめられており、その下端には円板形状の工具装着部材324が設けられている。なお、工具装着部材324には、周方向に間隔をおいて複数のボルト挿通孔(図示していない)が形成されている。この工具装着部材324の下面に研磨工具325が装着される。研磨工具325は、円形状の支持基台326と該支持基台326の下面に装着された円形状の研磨パッド327とから構成されており、支持基台326が工具装着部材324に締結ボルト328によって取り付けられている。このように構成された研磨工具325の支持基台326および研磨パッド327の中心部にはそれぞれ研磨液が通る図示しない穴が設けられており、この図示しない穴が回転スピンドル322に形成された研磨液供給通路322aに連通されている。
図1に示す研磨装置1は、上記研磨ユニット3を上記一対の案内レール221、221に沿って上下方向(後述するチャックテーブルの保持面と垂直な方向)に移動せしめる研磨送り手段33を備えている。この研磨送り手段33は、直立壁22の前側に配設され上下方向に延びる雄ねじロッド331を具備している。この雄ねじロッド331は、その上端部および下端部が直立壁22に取り付けられた軸受部材332および333によって回転自在に支持されている。上側の軸受部材332には雄ねじロッド331を回転駆動するための駆動源としてのパルスモータ334が配設されており、このパルスモータ334の出力軸が雄ねじロッド331に伝動連結されている。移動基台31の後面にはその幅方向中央部から後方に突出する連結部(図示していない)も形成されており、この連結部には上下方向に延びる貫通雌ねじ穴が形成されており、この雌ねじ穴に上記雄ねじロッド331が螺合せしめられている。従って、パルスモータ334が正転すると移動基台31即ち研磨ユニット3が下降即ち前進せしめられ、パルスモータ334が逆転すると移動基台31即ち研磨ユニット3が上昇即ち後退せしめられる。
以上のように構成された研磨ユニット3は、チャックテーブル4上に保持された被加工物を研磨加工する。
以上のように構成された研磨ユニット3は、チャックテーブル4上に保持された被加工物を研磨加工する。
次に、上記研磨装置1の研磨ユニット3を構成する研磨工具325の研磨パッド327に研磨液を供給する研磨液供給装置5について説明する。図示の実施形態における研磨液供給装置5は、研磨液を収容する研磨液収容タンク6と、該研磨液収容タンク6に研磨液を送り込む研磨液送給手段7と、研磨液収容タンク6に収容された研磨液を上記研磨装置1の研磨ユニット3を構成する研磨工具325の研磨パッド327に送出する研磨液送出手段8を具備している。研磨液収容タンク6は、図2に示すように底壁61と天井壁62および側壁63からなり、各壁によって収容室60を形成している。研磨液収容タンク6を構成する底壁61には、上記研磨液送出手段8に連通する研磨液送出口611が設けられている。研磨液収容タンク6を構成する側壁63には、図1に示すように上記研磨液送給手段7に連通する研磨液導入口631が設けられているとともに、図1および図2に示すように研磨液導入口631より高い位置に攪拌用研磨液流入口632が設けられている。また、研磨液収容タンク6を構成する天井壁62には、図1および図2に示すように研磨液戻り口621および研磨液濃度調節用の純水流入口622が設けられている。このように構成された研磨液収容タンク6は、支持台65上に載置されている。
図1を参照して説明を続けると、研磨液送給手段7は、シリカ粒子等の砥粒とアンモニア水等のアルカリ溶液とからなる砥粒混合液を送り込む砥粒混合液送給手段71と、添加剤としての過酸化水素水を送り込む過酸化水素水送給手段72とからなっている。砥粒混合液送給手段71は、シリカ粒子とアンモニア水等のアルカリ溶液とからなる砥粒混合液を収容する砥粒混合液容器711と、該砥粒混合液容器711と上記研磨液収容タンク6の側壁63に設けられた研磨液導入口631とを接続する配管712に配設されたポンプ713とからなっている。また、上記過酸化水素水送給手段72は過酸化水素水を収容する過酸化水素水容器721と、該過酸化水素水容器721と上記砥粒混合液送給手段71の配管712とを接続する配管722に配設されたポンプ723とからなっている。このように構成された研磨液送給手段7は、砥粒混合液送給手段71のポンプ713を作動することにより砥粒混合液容器711に収容されたシリカ粒子とアンモニア水等のアルカリ溶液とからなる砥粒混合液を研磨液収容タンク6に送り込むとともに、過酸化水素水送給手段72のポンプ723を作動することにより過酸化水素水容器721に収容された過酸化水素水を研磨液収容タンク6に送り込む。
上記研磨液送出手段8は、上記研磨液収容タンク6の底壁61に設けられた研磨液送出口611と上記研磨装置1における研磨ユニット3を構成するスピンドルユニット32の回転スピンドル322に設けられた研磨液供給通路322aとを接続する配管81に配設されたポンプ82と、該ポンプ82より回転スピンドル322側の配管81に配設された電磁開閉弁83を具備している。この電磁開閉弁83が除勢(OFF)している状態では閉路しており、附勢(ON)すると開路するように構成されている。このように構成された研磨液送出手段8は、ポンプ82を作動するとともに電磁開閉弁83を附勢(ON)することにより、研磨液収容タンク6に収容された研磨液を上記研磨装置1における研磨ユニット3を構成するスピンドルユニット32の回転スピンドル322に設けられた研磨液供給通路322aに供給する。
上記研磨液送出手段8には、研磨液攪拌手段85が接続されている。研磨液攪拌手段85は、研磨液送出手段8の配管81におけるポンプ82と電磁開閉弁83との間と上記研磨液収容タンク6の側壁63に設けられた攪拌用研磨液流入口632とを接続する配管851と、該配管851に配設された電磁開閉弁852とからなっている。この電磁開閉弁852は除勢(OFF)している状態では閉路しており、附勢(ON)すると開路するように構成されている。このように構成された研磨液攪拌手段85は、電磁開閉弁852を附勢(ON)することにより、研磨液送出手段8のポンプ82によって研磨液収容タンク6から送り出された研磨液を攪拌用研磨液流入口632から研磨液収容タンク6に流入する。この結果、研磨液収容タンク6内の研磨液が研磨液攪拌手段85を介して循環され攪拌される。このとき、上記研磨液送出手段8の電磁開閉弁83は除勢(OFF)されている。
また、上記研磨液送出手段8には、研磨液戻し手段86が接続されている。研磨液戻し手段86は、研磨液送出手段8の配管81におけるポンプ82と電磁開閉弁83との間と上記研磨液収容タンク6の天井壁62に設けられた研磨液戻り口621とを接続する配管861と、該配管861に配設された可変絞り弁862とからなっている。このように構成された研磨液戻し手段86は、可変絞り弁862の絞り量を調整し研磨液送出手段8のポンプ82によって研磨液収容タンク6から送り出された研磨液の一部を研磨液戻り口621から研磨液収容タンク6に戻す量を制御することにより、上記研磨装置1側に供給する研磨液の流量を調整する。
図1および図2を参照して説明を続けると、図示の実施形態における研磨液供給装置5は、研磨液収容タンク6を構成する側壁63の内面上部を洗浄するための洗浄手段9を具備している。洗浄手段9は、図2に示すように研磨液収容タンク6の天井壁62に配設され側壁63の内面に向けて洗浄水を噴射する噴射ノズル91を備えている。この噴射ノズル91は、液体通路911および気体通路912と、該液体通路911に流入した液体と気体通路912に流入した気体とを混合する混合室913と、該混合室913に連通し側壁63の内面に向けて開口する複数の噴出孔914を備えている。この噴出孔914は、図示の実施形態においては図3に示すように90度の位相差を持って4個設けられている。このように構成された噴射ノズル91は、図2に示すように上記液体通路911および気体通路912の形成部が研磨液収容タンク6の天井壁62を貫通して取り付けられ、4個の噴出孔914が天井壁62に沿って水平状態に配設される。なお、噴射ノズル91は、側壁63の内面だけでなく天井壁62の内面に向けて洗浄水を噴射するように構成してもよい。
図示の実施形態における洗浄手段9は、図1に示すように上記噴射ノズル91に洗浄水を供給する浄水供給手段としての純水供給手段92および加圧空気供給手段93を具備している。純水供給手段92は、純水供給源921と、該純水供給源921と上記噴射ノズル91の液体通路911とを接続する配管922と、該配管922に配設された電磁開閉弁923とからなっている。なお、純水供給手段92の純水供給源921は、例えば圧力が0.2Mpの純水を供給する。また、上記加圧空気供給手段93は、加圧空気源931と、該加圧空気源931と上記噴射ノズル91の気体通路912とを接続する配管932と、該配管932に配設された電磁開閉弁933とからなっている。なお、加圧空気供給手段93の加圧空気源931は、例えば圧力が0.3Mpの加圧空気を供給する。上記純水供給手段92の電磁開閉弁923および上記加圧空気供給手段93の電磁開閉弁933は、それぞれ除勢(OFF)している状態では閉路しており、附勢(ON)すると開路するように構成されている。
図1を参照して説明を続けると、図示の実施形態における研磨液供給装置5は、上記純水供給源921から研磨液収容タンク6に純水を供給する濃度調節手段11を具備している。この濃度調節手段11は、純水供給源921と研磨液収容タンク6の天井壁62に設けられた研磨液濃度調節用の純水流入口622とを接続する配管111と、該配管111に配設された電磁開閉弁112とからなっている。この電磁開閉弁112は、除勢(OFF)している状態では閉路しており、附勢(ON)すると開路するように構成されている。
図示の実施形態における研磨液供給装置5は、上記純水供給手段92の電磁開閉弁923、加圧空気供給手段93の電磁開閉弁933、濃度調節手段11の電磁開閉弁112を制御する制御手段12を具備している。この制御手段12は、上記研磨液送給手段7を構成する砥粒混合液送給手段71のポンプ713および過酸化水素水送給手段72のポンプ723、研磨液送出手段8のポンプ82および電磁開閉弁83、研磨液攪拌手段85の電磁開閉弁852、研磨液戻し手段86の可変絞り弁862を制御する。
図示の実施形態における研磨液供給装置5は以上のように構成されており、以下その作用について説明する。
研磨液供給装置5から研磨装置1に研磨液を供給するためには、研磨液送給手段7を構成する砥粒混合液送給手段71のポンプ713および過酸化水素水送給手段72のポンプ723を作動して、砥粒混合液容器711に収容されたシリカ粒子とアンモニア水等のアルカリ溶液とからなる砥粒混合液を研磨液収容タンク6に送り込むとともに、過酸化水素水送給手段72のポンプ723を作動することにより過酸化水素水容器721に収容された過酸化水素水を研磨液収容タンク6に送り込む。そして、純水供給手段92を作動して純水を研磨液収容タンク6に供給して研磨液の濃度を調整する。このようにして研磨液収容タンク6に収容されるシリカ粒子とアンモニア水等のアルカリ溶液とからなる砥粒混合液と過酸化水素水および純水とからなる研磨液は、消費量に対応して所定の水位範囲に維持されるように上記砥粒混合液送給手段71のポンプ713および過酸化水素水送給手段72のポンプ723が制御される。
研磨液供給装置5から研磨装置1に研磨液を供給するためには、研磨液送給手段7を構成する砥粒混合液送給手段71のポンプ713および過酸化水素水送給手段72のポンプ723を作動して、砥粒混合液容器711に収容されたシリカ粒子とアンモニア水等のアルカリ溶液とからなる砥粒混合液を研磨液収容タンク6に送り込むとともに、過酸化水素水送給手段72のポンプ723を作動することにより過酸化水素水容器721に収容された過酸化水素水を研磨液収容タンク6に送り込む。そして、純水供給手段92を作動して純水を研磨液収容タンク6に供給して研磨液の濃度を調整する。このようにして研磨液収容タンク6に収容されるシリカ粒子とアンモニア水等のアルカリ溶液とからなる砥粒混合液と過酸化水素水および純水とからなる研磨液は、消費量に対応して所定の水位範囲に維持されるように上記砥粒混合液送給手段71のポンプ713および過酸化水素水送給手段72のポンプ723が制御される。
上述したように研磨液収容タンク6に収容された研磨液を上記研磨装置1の研磨ユニット3を構成する研磨工具325の研磨パッド327に供給するには、研磨液送出手段8のポンプ82を作動するとともに電磁開閉弁83を附勢(ON)する。この結果、研磨液収容タンク6に収容された研磨液が底壁61に設けられた研磨液送出口611、配管81、研磨ユニット3を構成するスピンドルユニット32の回転スピンドル322に設けられた研磨液供給通路322aを介して研磨工具325の研磨パッド327に供給される。このとき、研磨液戻し手段86の可変絞り弁862の絞り量を調整することにより、研磨装置1側に供給する研磨液の流量を調整する。
なお、研磨装置1による研磨作業の停止時に、研磨液収容タンク6に収容された研磨液を攪拌するために、研磨液攪拌手段85の電磁開閉弁852を適宜附勢(ON)して研磨液送出手段8のポンプ82によって研磨液収容タンク6から送り出された研磨液を攪拌用研磨液流入口632から研磨液収容タンク6に流入することにより、研磨液収容タンク6内の研磨液を循環して攪拌する。
上述したように研磨液戻り口621および攪拌用研磨液流入口632から研磨液収容タンク6に研磨液が流入すると、研磨液収容タンク6内の研磨液が飛散したり波打が発生し、研磨液収容タンク6を構成する側壁63の内面に付着する。この側壁63の内面に付着した研磨液が乾燥すると、シリカ粒子が固まった状態で落下する。このように固まった状態で落下したシリカ粒子が塊となって研磨装置の研磨パッドに供給されると、被加工物の被加工面にスクラッチを生じさせる原因となる。そこで、図示の実施形態における研磨液供給装置5においては、例えば1時間稼動したならば、制御手段12は洗浄手段9を構成する純水供給手段92を作動して電磁開閉弁923を附勢(ON)するとともに、加圧空気供給手段93を作動して電磁開閉弁933を附勢(ON)する。この結果、噴射ノズル91に純水と加圧空気が導入され、純水と加圧空気が混合されて霧状の洗浄水となって4個の噴出孔914から側壁63の内面に向けて噴射される。このように洗浄手段9を構成する純水供給手段92および加圧空気供給手段93を定期的に作動して所定時間(例えば10秒間)洗浄水を側壁63の内面に噴射することにより、側壁63の内面に付着した研磨液が乾燥してシリカ粒子が塊となる前に洗い流される。従って、シリカ粒子の塊が研磨装置の研磨パッドに供給されることはない。
なお、上述した洗浄手段9は、研磨液収容タンク6内の研磨液を排出してタンク内面を洗浄する際にも使用することができる。
なお、上述した洗浄手段9は、研磨液収容タンク6内の研磨液を排出してタンク内面を洗浄する際にも使用することができる。
1:研磨装置
3:研磨ユニット
322:回転スピンドル
324:工具装着部材
325:研磨工具
327:研磨パッド
33:研磨送り手段
4:チャックテーブル
5:研磨液供給装置
6:研磨液収容タンク
7:研磨液送給手段
71:砥粒混合液送給手段
72:過酸化水素水送給手段
8:研磨液送出手段
85:研磨液攪拌手段
86:研磨液戻し手段
9:洗浄手段
91:噴射ノズル
92:純水供給手段
93:加圧空気供給手段
12:制御手段
3:研磨ユニット
322:回転スピンドル
324:工具装着部材
325:研磨工具
327:研磨パッド
33:研磨送り手段
4:チャックテーブル
5:研磨液供給装置
6:研磨液収容タンク
7:研磨液送給手段
71:砥粒混合液送給手段
72:過酸化水素水送給手段
8:研磨液送出手段
85:研磨液攪拌手段
86:研磨液戻し手段
9:洗浄手段
91:噴射ノズル
92:純水供給手段
93:加圧空気供給手段
12:制御手段
Claims (3)
- 底壁と天井壁および側壁とを有する研磨液収容タンクと、該研磨液収容タンク内に収容された研磨液を研磨装置に供給する研磨液送給手段と、を具備する研磨液供給装置において、
該研磨液収容タンクを構成する少なくとも該側壁の内面に付着した研磨液を洗い流す洗浄水を噴射する洗浄手段を具備している、
ことを特徴とする研磨液供給装置。 - 該洗浄手段は、該研磨液収容タンクを構成する該天井壁に配設され該側壁の内面に向けて洗浄水を噴射する噴射ノズルと、該噴射ノズルに洗浄水を供給する洗浄水供給手段と、該洗浄水供給手段を定期的に所定時間作動するように制御する制御手段と、を具備している、請求項1記載の研磨液供給装置。
- 該噴射ノズルは、加圧気体を導入する気体通路を備え、該気体通路に導入された加圧気体を該洗浄水と混合して霧状の洗浄水を噴霧する、請求項2記載の研磨液供給装置。
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---|---|---|---|
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JP2014130673A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-07-10 | Hoya Corp | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
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