JP2012112722A - 分光センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 分光センサ1では、キャビティ層21が干渉フィルタ部20A〜20Cのそれぞれに渡って一体的に形成されており、キャビティ層21の一部が隣り合うDBR層23,23間の領域R2に入り込んでいる。これにより、分光センサ1の使用時における温度サイクルに起因して、各干渉フィルタ部20A〜20Cを構成する各部材が膨張・収縮しても、DBR層23からキャビティ層21が剥がれることが防止される。
【選択図】 図2
Description
Claims (3)
- キャビティ層並びに前記キャビティ層を介して対向する第1及び第2のミラー層を有し、所定の波長範囲の光を入射位置に応じて選択的に透過させる複数の干渉フィルタ部と、
前記第1のミラー層側に配置され、前記干渉フィルタ部に入射する光を透過させる光透過基板と、
前記第2のミラー層側に配置され、前記干渉フィルタ部を透過した光を検出する光検出基板と、を備え、
前記第2のミラー層は、前記干渉フィルタ部ごとに分離されており、
前記キャビティ層は、前記干渉フィルタ部のそれぞれに渡って一体的に形成され、隣り合う前記第2のミラー層間の領域には、前記キャビティ層の一部が入り込んでいることを特徴とする分光センサ。 - 前記第1のミラー層は、前記干渉フィルタ部ごとに分離されており、
隣り合う前記第1のミラー層間の領域には、前記第1のミラー層上に前記光透過基板を接合するための光学樹脂層が入り込んでいることを特徴とする請求項1記載の分光センサ。 - 前記第1のミラー層と対向するように前記光透過基板上に形成され、前記所定の波長範囲の光を透過させる光学フィルタ層をさらに備えることを特徴とする請求項1又は2記載の分光センサ。
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