JP5908698B2 - レーザ光源およびレーザ光源の製造方法 - Google Patents
レーザ光源およびレーザ光源の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5908698B2 JP5908698B2 JP2011238016A JP2011238016A JP5908698B2 JP 5908698 B2 JP5908698 B2 JP 5908698B2 JP 2011238016 A JP2011238016 A JP 2011238016A JP 2011238016 A JP2011238016 A JP 2011238016A JP 5908698 B2 JP5908698 B2 JP 5908698B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- wavelength conversion
- conversion element
- light source
- laser light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Description
(レーザ光源の構成)
図1は、実施の形態1にかかるレーザ光源の構成を示す平面図である。このレーザ光源100は、基板101と、基板101上に形成する導波路部(光導波路)103と、基板101上に配置(搭載)される光学素子とを有する。光学素子は、レーザ素子102と、光波長の変換をおこなう波長変換素子104と、を有する。波長変換素子104は、基板に対して水平方向に分極反転が形成されたx−Cutあるいはy−Cutの周期分極ニオブ酸リチウム(PPLN)基板からなる。
つぎに、上記レーザ光源100の製造工程について説明する。図3−1〜図3−13は、それぞれレーザ光源の製造工程を示す図である。はじめに、図3−1に示すように、光軸方向に所定の長さを有するSi等の基板101を形成する。この基板101の表面(上面)にSiO2膜(酸化膜)101aを形成する。SiO2膜101aは、熱酸化膜あるいはプラズマCVD膜とすることができ、1〜2μm程度の膜厚とする。
図4は、実施の形態2にかかるレーザ光源の構成を示す平面図である。実施の形態2では、光学素子として、R,G,B用のIR光を出射する複数のレーザ素子102と、少なくとも一つのレーザ素子102のレーザ光を波長変換して出射する一つ以上の波長変換素子104と、光検出器(PD)105とからなる。
101 基板
102(102a,102b,102c) レーザ素子
103 光導波路
103a 一端部
103b 他端部
103ca,103cb 結合器
104 波長変換素子
105(105a,105b) 光検出器
111 電極
111a マイクロバンプ
120 レジスト
Claims (4)
- 複数のレーザ素子と、各前記レーザ素子のレーザ光を合波する結合器を有する導波路部と、少なくとも一つの前記レーザ素子のレーザ光を波長変換して出射する波長変換素子と、前記導波路部で合波後の前記レーザ光の光レベルを検出する光検出器と、が同一の基板上に配置されたレーザ光源において、
複数の前記レーザ素子は、異なる波長のIR光または可視光からなり、
複数の前記レーザ素子の異なる波長のレーザ光は、前記導波路部を導波した後、合波されて前記波長変換素子に入射し、
前記波長変換素子は、複数の前記レーザ素子の異なる波長のIR光または可視光からなる合波されたレーザ光を波長変換して可視光として出射し、
前記レーザ素子と、前記波長変換素子と、前記光検出器は、前記導波路部の端部位置を基準として位置決めされ、前記基板上に配置される
ことを特徴とするレーザ光源。 - 前記レーザ素子と、前記波長変換素子と、前記光検出器は、前記導波路部の端部に直接光結合される
ことを特徴とする請求項1に記載のレーザ光源。 - 異なる波長のIR光または可視光を出射する複数のレーザ素子と、各前記レーザ素子のレーザ光を合波する結合器を有する導波路部と、少なくとも一つの前記レーザ素子のレーザ光を波長変換して可視光として出射する波長変換素子と、前記導波路部で合波後の前記レーザ光の光レベルを検出する光検出器と、が同一の基板上に配置されたレーザ光源の製造方法において、
前記レーザ素子と、前記波長変換素子と、前記光検出器とを、前記導波路部の端部位置を基準として位置決めして前記基板上に配置した、
ことを特徴とするレーザ光源の製造方法。 - 前記レーザ素子と、前記波長変換素子と、前記光検出器とを、表面活性化接合により前記基板に固定した、
ことを特徴とする請求項3に記載のレーザ光源の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011238016A JP5908698B2 (ja) | 2011-10-28 | 2011-10-28 | レーザ光源およびレーザ光源の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011238016A JP5908698B2 (ja) | 2011-10-28 | 2011-10-28 | レーザ光源およびレーザ光源の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013097072A JP2013097072A (ja) | 2013-05-20 |
JP2013097072A5 JP2013097072A5 (ja) | 2014-07-10 |
JP5908698B2 true JP5908698B2 (ja) | 2016-04-26 |
Family
ID=48619088
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011238016A Expired - Fee Related JP5908698B2 (ja) | 2011-10-28 | 2011-10-28 | レーザ光源およびレーザ光源の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5908698B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2017065225A1 (ja) * | 2015-10-14 | 2018-05-10 | シャープ株式会社 | 光合波器及びこの光合波器を用いた画像投影装置 |
WO2022172374A1 (ja) * | 2021-02-10 | 2022-08-18 | セーレンKst株式会社 | 合成光生成装置及びその製造方法 |
JP7138744B1 (ja) | 2021-05-26 | 2022-09-16 | Nttエレクトロニクス株式会社 | 光デバイス接続方法、光デバイス接続構造及び光デバイス接続システム |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05333395A (ja) * | 1992-04-03 | 1993-12-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光波長変換装置 |
DE19549395A1 (de) * | 1995-02-07 | 1996-10-31 | Ldt Gmbh & Co | Bilderzeugungssysteme zur Bestimmung von Sehfehlern an Probanden und für deren Therapie |
JP2011064895A (ja) * | 2009-09-16 | 2011-03-31 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 波長変換デバイス及び波長変換装置 |
JP5685549B2 (ja) * | 2009-11-25 | 2015-03-18 | シチズンホールディングス株式会社 | 光デバイス |
JP5730026B2 (ja) * | 2010-01-27 | 2015-06-03 | シチズンホールディングス株式会社 | レーザ光源 |
-
2011
- 2011-10-28 JP JP2011238016A patent/JP5908698B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013097072A (ja) | 2013-05-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5847473B2 (ja) | 光モジュール | |
US9049806B2 (en) | Integrated device and manufacturing method | |
US7512303B2 (en) | Wafer scale method of manufacturing optical waveguide devices and the waveguide devices made thereby | |
US9046666B2 (en) | Optical module and method for fabricating optical module | |
JP6157356B2 (ja) | 光集積デバイス | |
JP5908698B2 (ja) | レーザ光源およびレーザ光源の製造方法 | |
US20120328237A1 (en) | Optical device and method for manufacturing optical device | |
US9214446B2 (en) | Method of manufacturing optical module | |
US20100073761A1 (en) | Wavelength conversion device package | |
JP5449041B2 (ja) | 光デバイスの製造方法 | |
WO2012070302A1 (ja) | 分光センサ | |
KR101104133B1 (ko) | 유연한 파이버 모듈, 이를 이용한 파장 가변 소자 패키지 및 이들의 제조방법 | |
JP2008170528A (ja) | 光モジュール及びその製造方法 | |
JP4729893B2 (ja) | 半導体光学装置の製造方法 | |
JP2001196684A (ja) | 半導体レーザモジュール | |
WO2013051173A1 (ja) | 光素子及び光素子の製造方法 | |
JP2014059392A (ja) | 光モジュールの製造方法 | |
JP2013228691A (ja) | 光モジュール及び光モジュールの製造方法 | |
JP5738394B2 (ja) | 光デバイスの製造方法 | |
JP2014126863A (ja) | レーザモジュール | |
JPWO2014084368A1 (ja) | レーザ光源 | |
KR101144275B1 (ko) | 도파로 구조체 및 파장 변환 패키지 | |
JP2007033674A (ja) | 光スイッチ及びその製造方法及び光スイッチシステム | |
JP2001296439A (ja) | 光学素子、光学素子の製造方法、及び光デバイス | |
JP2006024625A (ja) | 光結合装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140522 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140522 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150224 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150331 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150901 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150929 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160301 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160324 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5908698 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |