JP2012103208A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2012103208A5
JP2012103208A5 JP2010254066A JP2010254066A JP2012103208A5 JP 2012103208 A5 JP2012103208 A5 JP 2012103208A5 JP 2010254066 A JP2010254066 A JP 2010254066A JP 2010254066 A JP2010254066 A JP 2010254066A JP 2012103208 A5 JP2012103208 A5 JP 2012103208A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
interference filter
wavelength
light
gap
variable
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010254066A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP5810512B2 (ja
JP2012103208A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2010254066A priority Critical patent/JP5810512B2/ja
Priority claimed from JP2010254066A external-priority patent/JP5810512B2/ja
Priority to CN201110259007.1A priority patent/CN102466516B/zh
Priority to US13/238,312 priority patent/US8786861B2/en
Publication of JP2012103208A publication Critical patent/JP2012103208A/ja
Publication of JP2012103208A5 publication Critical patent/JP2012103208A5/ja
Priority to US14/303,033 priority patent/US9158049B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5810512B2 publication Critical patent/JP5810512B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2010254066A 2010-11-12 2010-11-12 光学装置 Active JP5810512B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010254066A JP5810512B2 (ja) 2010-11-12 2010-11-12 光学装置
CN201110259007.1A CN102466516B (zh) 2010-11-12 2011-09-02 光学装置
US13/238,312 US8786861B2 (en) 2010-11-12 2011-09-21 Optical device with variable wavelength interference filter
US14/303,033 US9158049B2 (en) 2010-11-12 2014-06-12 Optical device with variable wavelength interference filter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010254066A JP5810512B2 (ja) 2010-11-12 2010-11-12 光学装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2012103208A JP2012103208A (ja) 2012-05-31
JP2012103208A5 true JP2012103208A5 (enExample) 2013-12-26
JP5810512B2 JP5810512B2 (ja) 2015-11-11

Family

ID=46047483

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010254066A Active JP5810512B2 (ja) 2010-11-12 2010-11-12 光学装置

Country Status (3)

Country Link
US (2) US8786861B2 (enExample)
JP (1) JP5810512B2 (enExample)
CN (1) CN102466516B (enExample)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5810512B2 (ja) * 2010-11-12 2015-11-11 セイコーエプソン株式会社 光学装置
JP5987573B2 (ja) * 2012-09-12 2016-09-07 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール、電子機器、及び駆動方法
JP2014095594A (ja) * 2012-11-08 2014-05-22 Yokogawa Electric Corp 分光装置および分光用光源
US9466628B2 (en) * 2012-12-21 2016-10-11 Imec Spectral imaging device and method to calibrate the same
JP6225423B2 (ja) * 2013-01-07 2017-11-08 セイコーエプソン株式会社 分光測定装置、カラーマネージメントシステム、及びプロファイル作成方法
JP6136357B2 (ja) * 2013-02-25 2017-05-31 セイコーエプソン株式会社 分光測定装置、通信システム及びカラーマネージメントシステム
JP2014174136A (ja) * 2013-03-13 2014-09-22 Panasonic Corp 受光装置、空間情報検出装置
JP6107254B2 (ja) * 2013-03-14 2017-04-05 セイコーエプソン株式会社 光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
EP3014875A2 (en) 2013-06-24 2016-05-04 Technology Innovation Momentum Fund (Israel) Limited Partnership A system and method for color image acquisition
JP2015031649A (ja) 2013-08-06 2015-02-16 セイコーエプソン株式会社 測色装置
JP6255992B2 (ja) 2013-12-27 2018-01-10 セイコーエプソン株式会社 分光測定システム、分光モジュール、及び、位置ズレ検出方法
JP6476548B2 (ja) * 2014-01-29 2019-03-06 セイコーエプソン株式会社 光源装置及び観察装置
CA2938443C (en) 2014-01-31 2021-01-26 Viavi Solutions Inc. An optical filter and spectrometer
WO2015148604A1 (en) 2014-03-25 2015-10-01 Massachusetts Institute Of Technology Space-time modulated active 3d imager
US10152998B2 (en) 2014-04-07 2018-12-11 Seagate Technology Llc Features maps of articles with polarized light
JP2016011932A (ja) 2014-06-30 2016-01-21 セイコーエプソン株式会社 分光画像撮像装置、分光画像撮像方法
JP6467801B2 (ja) * 2014-07-31 2019-02-13 セイコーエプソン株式会社 分光画像取得装置、及び受光波長取得方法
JP6575179B2 (ja) * 2015-07-06 2019-09-18 セイコーエプソン株式会社 光学モジュール及び撮像装置
CN107850771B (zh) 2015-07-15 2020-08-28 科技创新动量基金（以色列）有限责任合伙公司 可调微机电标准具
US10048127B2 (en) * 2015-08-05 2018-08-14 Viavi Solutions Inc. Optical filter and spectrometer
TWI581004B (zh) * 2015-11-18 2017-05-01 財團法人工業技術研究院 可調式光學裝置
JP6679959B2 (ja) * 2016-02-02 2020-04-15 セイコーエプソン株式会社 分光測定装置、及び分光測定方法
DE102017130024A1 (de) * 2017-12-14 2019-06-19 Arnold & Richter Cine Technik Gmbh & Co. Betriebs Kg Reduzieren von Falschlicht in einem Kamerasystem
WO2020110106A1 (en) * 2018-11-26 2020-06-04 Unispectral Ltd. A tunable filter having different gaps
CN109917348B (zh) * 2019-01-25 2020-11-03 上海禾赛科技股份有限公司 一种激光雷达系统

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3984190A (en) * 1974-11-26 1976-10-05 Allied Chemical Corporation Simultaneous transmission of periodic spectral components by plural interferometric means
JPH0766982B2 (ja) * 1989-03-29 1995-07-19 シャープ株式会社 波長選択性受光素子
US5618474A (en) * 1992-06-19 1997-04-08 Massachusetts Institute Of Technology Method of forming curved surfaces by etching and thermal processing
US6674562B1 (en) * 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US5584117A (en) * 1995-12-11 1996-12-17 Industrial Technology Research Institute Method of making an interferometer-based bolometer
EP1053574A4 (en) * 1997-12-29 2002-11-06 Coretek Inc FABRY-PEROT FILTER AND LASER WITH SURFACE EMISSION AND VERTICAL, CONFOCAL CAVITY, TUNABLE BY MICROELECTROMECHANICS
JP2000131629A (ja) * 1998-10-27 2000-05-12 Fuji Photo Film Co Ltd 画像記録装置
JP3682834B2 (ja) * 1998-12-01 2005-08-17 ホーチキ株式会社 波長可変干渉フィルタを用いた光学装置
US6359693B2 (en) * 1999-02-04 2002-03-19 Cymer, Inc. Double pass double etalon spectrometer
US6590710B2 (en) * 2000-02-18 2003-07-08 Yokogawa Electric Corporation Fabry-Perot filter, wavelength-selective infrared detector and infrared gas analyzer using the filter and detector
US6836366B1 (en) * 2000-03-03 2004-12-28 Axsun Technologies, Inc. Integrated tunable fabry-perot filter and method of making same
JP2002365535A (ja) * 2001-06-08 2002-12-18 Olympus Optical Co Ltd 内視鏡対物レンズ
US7145143B2 (en) * 2002-03-18 2006-12-05 Honeywell International Inc. Tunable sensor
US6822798B2 (en) * 2002-08-09 2004-11-23 Optron Systems, Inc. Tunable optical filter
JP2005055670A (ja) * 2003-08-04 2005-03-03 Seiko Epson Corp Ｍｅｍｓデバイス及びその製造方法並びにｍｅｍｓモジュール
JP4368163B2 (ja) * 2003-08-19 2009-11-18 富士フイルム株式会社 分光素子アレイ及びこれを備えた分光画像測定装置並びに分光画像測定方法
US7239395B2 (en) 2004-05-27 2007-07-03 Corning Incorporated Optical interrogation systems with reduced parasitic reflections and a method for filtering parasitic reflections
JP4210245B2 (ja) * 2004-07-09 2009-01-14 セイコーエプソン株式会社 波長可変フィルタ及び検出装置
JP4642436B2 (ja) * 2004-11-12 2011-03-02 リンテック株式会社 マーキング方法および保護膜形成兼ダイシング用シート
JP2006178320A (ja) * 2004-12-24 2006-07-06 Olympus Corp 分光透過率可変素子、及び分光透過率可変素子を備えた内視鏡装置
NO322368B1 (no) * 2005-04-15 2006-09-25 Sinvent As Infrarod deteksjon av gass - diffraktiv.
FI119830B (fi) * 2006-05-24 2009-03-31 Valtion Teknillinen Spektrometri ja inferferometrinen menetelmä
US7573578B2 (en) * 2006-06-06 2009-08-11 Ge Homeland Protection, Inc. Micro-electromechanical system Fabry-Perot filter mirrors
JP2009126727A (ja) * 2007-11-20 2009-06-11 Sumitomo Electric Ind Ltd ＧａＮ基板の製造方法、ＧａＮ基板及び半導体デバイス
JP5564759B2 (ja) 2008-04-02 2014-08-06 セイコーエプソン株式会社 光学フィルタ装置
JP4691131B2 (ja) * 2008-04-28 2011-06-01 キヤノンアネルバ株式会社 スパッタ成膜方法、電子素子の製造方法、スパッタ装置
JP5151944B2 (ja) * 2008-12-09 2013-02-27 セイコーエプソン株式会社 光フィルタ及びそれを備えた光モジュール
JP2011170137A (ja) * 2010-02-19 2011-09-01 Seiko Epson Corp 波長可変干渉フィルター、光センサーおよび分析機器
JP5810512B2 (ja) * 2010-11-12 2015-11-11 セイコーエプソン株式会社 光学装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2012103208A5 (enExample)
US10591741B2 (en) Hybrid polarizing beam splitter
US9933627B2 (en) Optical system, optical member, micromirror array, display device, and image- capturing device
JP2021113986A (ja) 偏光ビームスプリッタ及び視覚装置
JP2013508777A5 (enExample)
JP2012199868A5 (enExample)
JP2017097074A5 (enExample)
JP2013242179A5 (enExample)
WO2011127400A4 (en) Laser beam analysis apparatus
RU2013143824A (ru) Устройство измерения оптических характеристик и способ измерения оптических характеристик
JP2009544048A5 (enExample)
JP2016519327A5 (enExample)
JP2019506636A (ja) 短距離光増幅モジュール、増幅方法及び増幅システム
JP2013508781A5 (enExample)
JP2004101194A5 (enExample)
JP2016024009A5 (enExample)
SG169987A1 (en) Plane position detecting apparatus, exposure apparatus and device manufacturing method
JP2019502124A (ja) 光学検査システム、フレキシブル基板上で材料を処理するための処理システム、およびフレキシブル基板を検査する方法
EP2385403B1 (en) Polarization maintaining optical rotary joint
JP2015232562A5 (enExample)
US8417075B2 (en) Multi-channel electro-magnetic rotary joint using a trapezoidal metamaterial de-rotating mechanism
WO2015028991A4 (en) Optical device for light collection
CN105588643B (zh) 热红外分孔径偏振成像光学系统
JP7101182B2 (ja) 光学レンズ及び光学レンズを含むアイウェア
KR102070634B1 (ko) 편광 변환 소자 및 광고립 장치