JP2012099782A - 放熱基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、放熱機能の向上のための放熱基板(陽極酸化多層金属基板)に関し、具体的には、一定厚さの銅層110と銅層110の上下表面に備えた陽極酸化絶縁層130と、銅層110及び陽極酸化絶縁層130の間に備えたアルミニウム(Al)層120をさらに含むものである。
【選択図】図2
Description
11 アルミニウム原板
12 陽極酸化絶縁層
13 金属層
100 陽極酸化多層金属基板(本発明の放熱基板)
110 銅層
120 アルミニウム層
130 陽極酸化絶縁層
140 シード層
150 金属層
Claims (10)
- 一定厚さの銅層;及び
前記銅層の上下表面に備えた陽極酸化絶縁層を含むことを特徴とする放熱基板。 - 前記銅層及び陽極酸化絶縁層の間に備えたアルミニウム(Al)層をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の放熱基板。
- 上部又は下部に第1領域と第2領域が形成された銅層;
前記銅層の上部又は下部の第1領域に備えたアルミニウム層;及び
前記銅層の上部又は下部の第2領域に備えた陽極酸化絶縁層とを含むことを特徴とする放熱基板。 - 前記陽極酸化絶縁層の上部の一部領域に備えたシード層;及び
前記シード層上に形成された金属層をさらに含むことを特徴とする請求項1から3の何れか一項に記載の放熱基板。 - 前記陽極酸化絶縁層は、陽極酸化によってなされることを特徴とする請求項1から3の何れか一項に記載の放熱基板。
- 前記アルミニウム層は、0.02mm〜0.2mm以上の厚さに形成されることを特徴とする請求項2又は3に記載の放熱基板。
- 前記銅層とアルミニウム層は、2:2〜3:1の厚み比率に形成されることを特徴とする請求項2又は3に記載の放熱基板。
- 前記シード層は、無電解メッキまたはスパッタリング蒸着によってなされることを特徴とする請求項4に記載の放熱基板。
- 前記金属層は、湿式メッキまたは乾式スパッタリング蒸着によってなされることを特徴とする請求項4に記載の放熱基板。
- 前記シード層は陽極酸化絶縁層上に備え、
前記金属層はシード層上に備え、
湿式化学エッチング、電解エッチングまたはリフトオフ(Lift−OFF)によって一部除去されることを特徴とする請求項4に記載の放熱基板。
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