JP2012099761A - ビアホールの製造方法およびビアホールを有する半導体素子の製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 101
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 67
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 55
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 54
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 65
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 23
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 20
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 7
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 7
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 99
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 99
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 19
- 230000006872 improvement Effects 0.000 abstract description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 9
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 26
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 14
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 14
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007850 degeneration Effects 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- 229910017050 AsF3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- JCMGUODNZMETBM-UHFFFAOYSA-N arsenic trifluoride Chemical compound F[As](F)F JCMGUODNZMETBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000000191 radiation effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76898—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics formed through a semiconductor substrate
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/308—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching using masks
- H01L21/3081—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching using masks characterised by their composition, e.g. multilayer masks, materials
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/367—Cooling facilitated by shape of device
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/481—Internal lead connections, e.g. via connections, feedthrough structures
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
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Abstract
【解決手段】メタルマスク8は、メタルマスク10の開口23により露出させられた部分8aを有する。メタルマスク10は、メタルマスク8よりも厚く形成する。メタルマスク10の厚さは、開口23内のエッチングが半導体デバイス形成層4にほぼ到達すると同時に、開口22のエッチングがソース電極1に到達する厚さに設定する。
【選択図】図2
Description
表面に電極が設けられた半導体基板の裏面にマスクを設けるマスク準備工程と、
前記マスクを用いて前記半導体基板の前記裏面をエッチングすることによりビアホール用開口を形成するエッチング工程と、
前記ビアホール用開口に、熱伝導性を有する導電性材料を埋め込むことによりビアホールを形成する埋め込み工程と、
を備え、
前記マスクは、前記半導体基板の前記裏面における前記電極と対向する位置を露出させる第1開口を備えた第1マスク層と、前記第1マスク層上に設けられ前記第1開口よりも大きくかつ前記第1マスク層の一部を露出させる第2開口を備えた第2マスク層と、を有し、
前記第1マスク層は、前記第1マスク層における前記第2開口から露出した露出部が前記エッチング工程のエッチングにより除去されたときに前記第1開口内の前記半導体基板が所定深さまでエッチングされる厚さを有し、
前記所定深さは、前記エッチング工程のエッチングを進行させたとき、前記第2開口内のエッチングの進行が所定の厚さの半導体層を残した段階で前記第1開口内のエッチングの進行が前記電極の表面に到達する深さであることを特徴とする。
半導体素子が形成された半導体基板を準備する工程と、
上記第1の発明にかかるビアホールの製造方法を用いて、前記半導体基板に対して、前記半導体素子と前記半導体基板の裏面との間を接続するビアホールを形成する工程と、
を備えることを特徴とする。
[実施の形態にかかるビアホールの構成]
図1は、本発明の実施の形態にかかるビアホールの製造方法により製造されたビアホールの構造を示す断面図である。図1には、高放熱性金属を充填した半導体素子のソース電極部の断面が示されている。図1に示す半導体断面構造図には、ソース電極1と、ソースコンタクト用の一段目のビアホール凹部42と、二段目のビアホール凹部43と、半導体デバイス形成層4(本実施形態ではエピタキシャル成長層)と、サファイア基板5と、半田コンタクト部6と、埋込層7と、この埋込層7の材料である金属(Au)を電界メッキさせるための給電層11とが示されている。
図2乃至図7は、本発明の実施の形態にかかるビアホールの製造方法およびビアホールを有する半導体素子の製造方法の製造方法を説明するための図である。
図9乃至16は、本発明の実施の形態にかかるビアホールの製造方法で利用されるマスクの形成工程を示す図であり、具体的には、上述した図2の構成を準備するための工程を示す図である。以下の工程(1)乃至(8)を行うことにより、図2に示した構成を準備する。
(1)図9に示すように、転写によって一段目のビアホールのパターンをレジスト100で形成する。
(2)次に、図10に示すように、Niをスパッタあるいは蒸着することにより、一段目のメタルマスク8を形成する。
(3)次に、リフトオフを行うことにより、上記(1)で形成したレジスト100を除去し、一段目のビアホールのパターンを形成する。これにより、図11に示すように、メタルマスク8の開口22が形成される。
(4)次に、図12に示すように、給電層9を形成する。本実施形態では、Au/Tiをスパッタあるいは蒸着することにより給電層9を形成する。給電層9は、上部のマスクを無電解または電界メッキにより形成する場合の給電層として利用する。
(5)次に、図13に示すように、転写によって二段目のビアホールのパターンをレジスト106で形成する。
(6)次に、図14に示すように、無電解または電界メッキにより、厚膜の二段目のNiよりなるメタルマスク10を形成する。
(7)次に、リフトオフを行うことにより、上記(5)で形成したレジスト106を除去して、二段目のビアホールパターンを形成する。その結果、図15に示すように、メタルマスク10に開口23が形成される。
(8)次に、イオンミリング(または他のドライエッチング手法)によって二段目のビアホールパターン部の給電層9を除去する。その結果、図16の状態となり、図2の構成の準備が完了する。
図17および図18は、本発明の実施の形態にかかるマスクの厚さの決定方法を説明するための図である。本実施形態では、下記のようにして、メタルマスク8およびメタルマスク10の厚さを設計する。メタルマスク8、10の厚さは、それぞれの層の選択比を知ることにより決定することができる。具体的方法としては、定量的に実験事実に基づいて決定する。ここでは、例として、一段目のビアホールの深さを実現するためのメタルマスク8の厚さを決定する方法を説明する。
1.図17に示すように、対象の被エッチング基板205(ここではサファイアとする)上にレートチェック用膜202を成膜する。例としてNiを用いる。成膜方法は問わないが、実際の場合と同方法が望ましい。
2.実際にエッチングして、レートチェックを実施する。エッチング基板の前後の膜厚を測定することにより、その前後の膜厚の差を求める。
3.次にサファイア基板205をエッチングし、レートチェックを実施する。
4.以下の式により膜の選択比を導出する。
5.上記の手順で求めた膜選択比に基づいて、図18に示す寸法である「エッチングしたい深さd1」に応じて、1段目のNi膜厚であるメタルマスク8の膜厚(便宜上「H1」と称す)を以下の式により決定する。
なお、二段目以降についても上記手順を用いて膜厚を決定すればよい。
理由の1つとしては、ソース電極1が削られてしまうことを抑制するためである。但し、ソース電極1がすべて削られてしまった場合には導通の障害になるが、ソース電極1を貫通しない程度であればソース電極1が削られることをある程度は許容できる。
他の理由としては、メタルマスク10でマスクされている領域は削れてはいけない領域(パターン形成上加工されてはいけない領域)だからという点もある。
また、メタルマスク10の下層の給電層9は本実施形態ではAu/Tiである。これがエッチングされた場合にドライエッチャーの予期せぬ汚染を招くことが懸念されるからという理由もある。
ビアホール凹部43を素子構造に採用することで、一段のビアホール凹部42だけをもつ素子のように表面の電極の面積に左右されることなく金属をビアホール内に埋め込むことができる。これにより、放熱性を大幅に改善することができ、例えば高放熱性が要求されるハイパワーデバイスで出力電力を向上させることができる。
一方、本実施形態によれば、二段以上のビアホールを採用した半導体素子の構造を一回のドライエッチングにより一括形成できるため、段数によらず1回のみエッチングで目的の多段ビアホールを形成することができる。これにより、例えば給電層11を形成する際にステップカバレッジを改善のため表面近傍で多段のステップを形成する場合に、加工工程の工程数および処理時間を増大させること無く対応が可能という有利な効果を得ることができる。つまり、本実施形態によれば、溝の段数を増大させてもエッチング回数の増大を防ぐことができるという本実施形態にかかる製造方法の利点を活かし、給電層11を形成する際のステップカバレッジ改善のため三段階以上の多段の溝を形成する場合にも、加工工程数増大や処理時間増大を抑制することができる。
また、上述した実施の形態では、メタルマスク8が、前記第1の発明における「第1マスク層」に、メタルマスク10が、前記第1の発明における「第2マスク層」に、開口22が、前記第1の発明における「第1開口」に、開口23が、前記第1の発明における「第2開口」に、部分8aが、前記第1の発明における「露出部」、厚さH1が、前記第1の発明における「厚さ」に、深さd1が、前記第1の発明における「所定深さ」に、それぞれ相当している。
図8は、本発明の実施の形態の変形例を示す図である。実施の形態では二段のビアホール構造について言及しているが、メタルマスク8、給電層9、メタルマスク10のそれぞれの関係を、図8の二段目のメタルマスク10と三段目のメタルマスク13にも適用することで、三段のビアホール形成が可能なマスクを形成することできる。この場合にはドライエッチングにより部分8aが消失し、その後、部分10aが消失する。その状態からさらにドライエッチングが進むことによって、三段のビアホールを形成することができる。これと同様に、四段、五段・・・n段とさらに段数を拡張することも可能である。その場合も、埋込層7の埋め込みよって、実施の形態に示す二段ビアホールと同様に、放熱性の改善効果を得ることができる。
異種金属の場合は、必ずしもメタルマスク8よりもメタルマスク10を厚くしなくともよい。この場合に膜の厚さの決定方法としてエッチング対象基板(実施の形態ではサファイア基板5)とマスクとのエッチング選択比を使い、「(メタルマスク8のエッチング選択比×膜厚)<(メタルマスク10のエッチング選択比×膜厚)」という関係を満たすように決定すればよい。
なお、半導体基板の材料として、熱伝導率が200W/m・K以下および難エッチング性の少なくとも一方の特性を有する、GaN、SiC、Siまたはサファイアを用いてもよい。
「熱伝導率が200W/m・K以下」という数値は、熱伝導率の観点からビアホールへの使用が想定される金属Cu、Ag、Auの熱伝導率が概ね360〜420W/m・Kであり、実施の形態に示している二段ビアホール構造で充填率28%程度の場合を想定したときに、概ね30%程度の熱伝導率の改善が得られる値を基準としているからである。これ以上の熱伝導率を持つ半導体基板の場合には、改善効果が薄いにもかかわらずAg、Auなどの埋め込みを行うコストが高くなってしまうため、メリットが小さい。
「難エッチング性」とは、ドライエッチングにおいて物理反応が主体となり、エッチングレートが通常のドライ加工において概ね0.1〜1um/minになるような材料をいう。例としてはSiCとサファイアがそれに該当し、Cl系やF系のガスで処理した場合にエッチングレートが極端に落ち込むような材料をいうものとする。一般的に沸点が1000℃以上など高温の物質ほど難エッチング材料となりやすい。
しかしながら、例えば、難エッチング材料、GaN、SiC、サファイアなどの半導体材料については、ドライエッチング加工にメタルマスクが多用される。このメタルマスクでは、レジストマスクとは異なり、マスクの熱縮退を利用した容易な順テーパ加工の実現が難しいという事情がある。
そうすると、これらGaN、SiC、サファイアなどのドライエッチング加工にあたっては、多段構造のビアホールを形成するという手法を採用せざるを得ず、工程数や処理時間などの増大を抑制しつつ複数段のビアホール構造を製造するための製造方法の必要性が高い。この点、上述した実施の形態は、上記のように難エッチング材料を半導体基板に用いかつドライエッチング加工にメタルマスクを使用する場面において有用な製造方法を提供することができる。
ただし、本発明はこれに限られるものではなく、必要に応じて他のエッチングガスを用いても良い。
(1)アンテナ1000Wのようなハイパワープラズマ化では、SiCなどの材料のエッチングが可能なレジスト材料が、実用レベルでは報告されていないという背景がある。「ハイパワープラズマ」とは、ここでは、ICP方式に代表されるエッチング装置においてアンテナ電力1000W以上を印加した場合を指している。
(2)二段以上のビアホールを形成する場合に、一段目のマスクが先に消失することを前提としている。段差を精度よく形成する場合には蒸着やスパッタなどの膜厚制御性に優れる方法を利用することが有用である。この点、メタルマスクはこれら蒸着やスパッタなどの膜厚制御性に優れる方法によりマスク形成が可能である。
4 半導体デバイス形成層
5 サファイア基板
6 半田コンタクト部
7 埋込層
8 メタルマスク
8a 部分
9 給電層
10 メタルマスク
10a 部分
11 給電層
13 メタルマスク
22 開口
32 溝
42 ビアホール凹部
43 ビアホール凹部
100 レジスト
106 レジスト
205 サファイア基板
Claims (9)
- 表面に電極が設けられた半導体基板の裏面にマスクを設けるマスク準備工程と、
前記マスクを用いて前記半導体基板の前記裏面をエッチングすることによりビアホール用開口を形成するエッチング工程と、
前記ビアホール用開口に、熱伝導性を有する導電性材料を埋め込むことによりビアホールを形成する埋め込み工程と、
を備え、
前記マスクは、前記半導体基板の前記裏面における前記電極と対向する位置を露出させる第1開口を備えた第1マスク層と、前記第1マスク層上に設けられ前記第1開口よりも大きくかつ前記第1マスク層の一部を露出させる第2開口を備えた第2マスク層と、を有し、
前記第1マスク層は、前記第1マスク層における前記第2開口から露出した露出部が前記エッチング工程のエッチングにより除去されたときに前記第1開口内の前記半導体基板が所定深さまでエッチングされる厚さを有し、
前記所定深さは、前記エッチング工程のエッチングを進行させたとき、前記第2開口内のエッチングの進行が所定の厚さの半導体層を残した段階で前記第1開口内のエッチングの進行が前記電極の表面に到達する深さであることを特徴とするビアホールの製造方法。 - 前記半導体基板は、前記表面に半導体デバイス形成用の半導体層を含み、
前記所定の厚さは、前記半導体層の厚さ以上の厚さであることを特徴とする請求項1に記載のビアホールの製造方法。 - 前記埋め込み工程は、
前記エッチング工程で形成されたビアホール形成用の前記開口の内壁に、給電層を形成する工程と、
前記給電層を用いて、電界メッキを用いることで、前記開口の内部に前記導電性材料を埋め込む工程と、
を含むことを特徴とする請求項1または2に記載のビアホールの製造方法。 - 前記半導体基板の材料として、熱伝導率が200W/m・K以下および難エッチング性の少なくとも一方の特性を有する材料を用いることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のビアホールの製造方法。
- 前記半導体基板の材料は、GaN、SiC、Siおよびサファイアからなる群から選択された1の材料であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のビアホールの製造方法。
- 前記導電性材料は、熱伝導率が常温で300W/m・K以上の材料であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のビアホールの製造方法。
- 半導体素子が形成された半導体基板を準備する工程と、
請求項1乃至6のいずれか1項に記載のビアホールの製造方法を用いて、前記半導体基板に対して、前記半導体素子と前記半導体基板の裏面との間を接続するビアホールを形成する工程と、
を備えることを特徴とする、ビアホールを有する半導体素子の製造方法。 - 前記半導体素子は、MMICまたはHEMTであることを特徴とする請求項7に記載のビアホールを有する半導体素子の製造方法。
- 前記半導体素子は、半導体のチャネル温度の上限に応じて出力の最大値が定まる半導体デバイスであることを特徴とすることを特徴とする請求項7または8に記載のビアホールを有する半導体素子の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010248451A JP5760394B2 (ja) | 2010-11-05 | 2010-11-05 | ビアホールの製造方法およびビアホールを有する半導体素子の製造方法 |
TW100132034A TWI460783B (zh) | 2010-11-05 | 2011-09-06 | 貫孔之形成方法及具有貫孔之半導體元件的製造方法 |
US13/227,577 US8455358B2 (en) | 2010-11-05 | 2011-09-08 | Method of manufacturing via hole in a semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010248451A JP5760394B2 (ja) | 2010-11-05 | 2010-11-05 | ビアホールの製造方法およびビアホールを有する半導体素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012099761A true JP2012099761A (ja) | 2012-05-24 |
JP5760394B2 JP5760394B2 (ja) | 2015-08-12 |
Family
ID=46020023
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010248451A Active JP5760394B2 (ja) | 2010-11-05 | 2010-11-05 | ビアホールの製造方法およびビアホールを有する半導体素子の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8455358B2 (ja) |
JP (1) | JP5760394B2 (ja) |
TW (1) | TWI460783B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11121034B2 (en) | 2017-03-24 | 2021-09-14 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device manufacturing method and semiconductor device |
US11205704B2 (en) | 2018-02-01 | 2021-12-21 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device and production method therefor |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5760394B2 (ja) * | 2010-11-05 | 2015-08-12 | 三菱電機株式会社 | ビアホールの製造方法およびビアホールを有する半導体素子の製造方法 |
JP5777798B2 (ja) * | 2012-03-12 | 2015-09-09 | 三菱電機株式会社 | 太陽電池セルの製造方法 |
KR101695708B1 (ko) * | 2014-01-09 | 2017-01-13 | 한국전자통신연구원 | 반도체 소자 및 그 제조방법 |
TWI594671B (zh) * | 2014-12-17 | 2017-08-01 | Flexible circuit board micro-aperture conductive through-hole structure and manufacturing method | |
CN107068611A (zh) * | 2016-12-23 | 2017-08-18 | 苏州能讯高能半导体有限公司 | 半导体芯片、半导体晶圆及半导体晶圆的制造方法 |
CN107611107A (zh) * | 2017-08-30 | 2018-01-19 | 广东省半导体产业技术研究院 | 一种背面场板结构hemt器件及其制备方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63155673A (ja) * | 1986-12-18 | 1988-06-28 | Nec Corp | 電界効果型半導体装置 |
JPH03278539A (ja) * | 1990-03-28 | 1991-12-10 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2008258281A (ja) * | 2007-04-02 | 2008-10-23 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2010141178A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Mitsubishi Electric Corp | エッチング方法およびエッチング方法を用いた半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2616380B2 (ja) | 1993-05-14 | 1997-06-04 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
TWI277199B (en) * | 2001-06-28 | 2007-03-21 | Toshiba Corp | Semiconductor device and manufacturing method therefor |
US6841883B1 (en) * | 2003-03-31 | 2005-01-11 | Micron Technology, Inc. | Multi-dice chip scale semiconductor components and wafer level methods of fabrication |
JP5298559B2 (ja) | 2007-06-29 | 2013-09-25 | 富士通株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
US8003525B2 (en) | 2007-06-29 | 2011-08-23 | Fujitsu Limited | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
JP5386854B2 (ja) | 2008-05-30 | 2014-01-15 | 富士通株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
US7919348B2 (en) * | 2008-06-13 | 2011-04-05 | Aptina Imaging Corporation | Methods for protecting imaging elements of photoimagers during back side processing |
JP5760394B2 (ja) * | 2010-11-05 | 2015-08-12 | 三菱電機株式会社 | ビアホールの製造方法およびビアホールを有する半導体素子の製造方法 |
-
2010
- 2010-11-05 JP JP2010248451A patent/JP5760394B2/ja active Active
-
2011
- 2011-09-06 TW TW100132034A patent/TWI460783B/zh active
- 2011-09-08 US US13/227,577 patent/US8455358B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63155673A (ja) * | 1986-12-18 | 1988-06-28 | Nec Corp | 電界効果型半導体装置 |
JPH03278539A (ja) * | 1990-03-28 | 1991-12-10 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2008258281A (ja) * | 2007-04-02 | 2008-10-23 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2010141178A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Mitsubishi Electric Corp | エッチング方法およびエッチング方法を用いた半導体装置の製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11121034B2 (en) | 2017-03-24 | 2021-09-14 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device manufacturing method and semiconductor device |
US11205704B2 (en) | 2018-02-01 | 2021-12-21 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device and production method therefor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI460783B (zh) | 2014-11-11 |
US20120115327A1 (en) | 2012-05-10 |
TW201225174A (en) | 2012-06-16 |
JP5760394B2 (ja) | 2015-08-12 |
US8455358B2 (en) | 2013-06-04 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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