JP2012093112A - 半導体チップテスト装置及び半導体チップテスト装置の操作手順 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体チップテスト装置は、6軸の駆動軸を有するプローブユニット1と、プローブユニット1の先端に取り付けられたプローブ15と、電気特性をテストする半導体チップ17を吸着固定するチップ固定台2と、チップ固定台2が取り付けられプローブ15を所定の測定位置に送り込むテーブル25と、半導体チップ17の位置を検出するチップセンサ3と、プローブ15の位置を検出するプローブセンサ4と、チップ固定台2に対するプローブ15の傾斜角及びチップ固定台2の高さを計測する計測器5と、プローブユニット1の6軸の駆動軸を制御する制御装置6とで構成されている。
【選択図】図1
Description
といった生産に関する一連の動作を人手で行う構成となっている。また、プローブの位置決め、ならびに半導体チップとプローブの水平状態の保持についても、品種切り替えに伴うプローブの交換を行うたびに、プローブと半導体チップの位置合わせを人手によりガイド調整もしくはカメラを用いた目視調整を行う必要があり、生産性が低い。また、1つのステージに対して、1つのプローブを調整するため、インデックステーブル上にステージを複数個設置する方式には対応できない等、生産装置として拡張性が低いといった課題があった。
図1は、実施の形態1における半導体チップテスト装置を示す全体構成斜図である。図2は、半導体チップテスト装置のプローブユニットの構成図である。
(図示せず)を介して真空装置に接続されており、半導体チップ17に真空吸引力が加わり、チップ固定台2上に半導体チップ17が確実に吸着される(図4(b))。
動軸Y8、駆動軸θz12で補正制御する。補正制御された後は、プローブ治具13を半導体チップ17のテストを行う位置に戻す。ここでは、プローブ治具13の位置を特定するために、プローブ治具13に設けられた一対の識別マークを用いる方法について説明したが、プローブ15の位置を利用する等、その他の方法を用いてもよい。
図13は、実施の形態2における半導体チップテスト装置を示す全体構成図である。
3 チップセンサ 4 プローブセンサ
5 計測器 6 制御装置
7 駆動軸X 8 駆動軸Y 9 駆動軸Z
10 駆動軸θx 11 駆動軸θy 12 駆動軸θz
13 プローブ治具 14 プローブホルダ
15 プローブ 17 半導体チップ
24 テーブル 25 チップ固定台搬送軸
26 インデックステーブル
A 半導体チップの輪郭所定位置
B 半導体チップの輪郭特定位置
C プローブ治具の識別マーク所定位置
D プローブ治具の識別マーク特定位置
Claims (4)
- テーブル上に配置され、半導体チップを固定するチップ固定台と、
駆動可能な6軸(X、Y、Z、θx、θy、θz)を有するプローブユニットに取り付けられ、前記半導体チップの電気特性をテストするためのプローブと、
前記半導体チップの位置を計測するチップセンサと、
前記プローブの位置を計測するプローブセンサと、
前記チップ固定台に対する前記プローブの傾斜角及び前記チップ固定台の高さを計測する計測器と、
前記チップセンサ、前記プローブセンサ及び前記計測器から得られた計測値を基に前記半導体チップに対する前記プローブの位置を算出し、前記プローブ位置を調整する制御装置と、
を備えたことを特徴とする半導体チップテスト装置。 - 前記テーブルがインデックステーブルであることを特徴とする請求項1に記載の半導体チップテスト装置。
- 前記インデックステーブル上に前記チップ固定台が複数配置されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体チップテスト装置。
- 前記チップ固定台毎に予め前記計測器により前記傾斜角及び前記チップ固定台の高さが計測され、前記半導体チップの電気特性のテスト時に前記計測値を利用して前記プローブ位置が補正調整されることを特徴とする請求項3に記載の半導体チップテスト装置の操作手順。
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