JP2012077683A - 二連型真空ポンプ装置、およびそれを備えるガス精製システム、ならびに二連型真空ポンプ装置の制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】二連型真空ポンプ装置Y2は、容積式の真空ポンプ40A,40B及びライン52,60を備える。各真空ポンプ40A,40Bは吸気口41と排気口42を有し、二連型真空ポンプ装置Y2の吸気口41近傍に圧力検出器80を備えている。ライン52は、真空ポンプ40Aの排気口42と真空ポンプ40Bの吸気口41を連結する。ライン60は、連結ライン52に接続された端部E6と端部E5とを有し、バッファー管Z1および当該管Z1と端部E5との間に位置する開閉弁61を含み、圧力検出器80の圧力検出信号を開閉弁61の開閉信号とする。
【選択図】図1
Description
二連型真空ポンプ装置Y2の第1真空ポンプ40Aの見掛け排気量を14,800m3/h、第2真空ポンプ40Bの見掛け排気量を14,100m3/hのルーツポンプとして直列に接続し、ガス温度30℃のときに、ガス精製システムX1を使用して、図4に示す吸着工程、減圧再生工程、および復圧工程からなる1サイクル(ステップ1〜4)を吸着塔10A,10Bのそれぞれにて繰り返すことにより、原料ガスたる空気から酸素を取得した。本実施例では、PSA装置Y1の原料ブロア21による空気の供給量は8,300Nm3/h(N:標準状態を表し、以下も同じ)とした。吸着工程にある吸着塔10A、10Bの内部圧力を最大40kPaGとした。また、減圧再生工程にある10A、10Bの内部の減圧再生工程末期圧力は−69kPaGとなり、復圧工程にある吸着塔10A、10Bについては、その内部圧力を大気圧にまで復帰させた。また、吸着塔10A,10Bについての減圧再生工程は、吸気口41側の圧力が圧力検出器80で図5のような特性として、−42kPaGの圧力値に到達したときにバイパス弁61が開から閉となるように設定した。
二連型真空ポンプ装置Y2の第1真空ポンプ40Aの見掛け排気量を、14,800m3/h、第2真空ポンプ40Bの見掛け排気量を14,100m3/hのルーツポンプとして直列に接続し、ガス温度40℃のときに、ガス精製システムX1を使用して、図4に示す吸着工程、減圧再生工程、および復圧工程からなる1サイクル(ステップ1〜4)を吸着塔10A,10Bのそれぞれにて繰り返すことにより、原料ガスたる空気から酸素を取得した。また、PSA装置Y1の原料ブロア21による空気の供給量は8,300Nm3/hとし、吸着工程にある吸着塔10A、10Bの内部圧力を最大40kPaGとした。減圧再生工程にある10A、10Bの内部の減圧再生工程末期圧力は−72kPaGまで降下した。復圧工程にある吸着塔10A、10Bについては、その内部圧力を大気圧にまで復帰させた。また、吸着塔10A,10Bについての減圧再生工程は、吸気口41側の圧力が圧力検出器80で図4のような特性として、−42kPaGの圧力値に到達したときにバイパス弁61が開から閉となるように設定した。
実施例1と同様に、二連型真空ポンプ装置Y2の第1真空ポンプ40Aの見掛け排気量を14,800m3/hとし、第2真空ポンプの見掛け排気量を14,100m3/hのルーツポンプにして直列に連結し、ガス温度30℃のときに、実施例1と同様の構成を有するガス精製システムX1を使用して、図4に示す吸着工程、減圧再生工程、および復圧工程からなる1サイクル(ステップ1〜4)を吸着塔10A,10Bのそれぞれにて繰り返すことにより、原料ガスたる空気から酸素を取得した。本比較例では、PSA装置Y1の原料ブロア21による空気の供給量は実施例1と同様に8,300Nm3/hとし、吸着工程にある吸着塔10A、10Bの内部圧力を最大40kPaGとした。また、吸着塔10A,10Bについての減圧再生工程では末期圧力は−69kPaGとなった。バイパス弁61の開状態から閉状態への切り替えは図8のように減圧再生時間が7.5秒経過したときにバイパス弁61が開から閉となるように設定した。そのときの吸気口の圧力は−35kPaGを示していた。復圧工程にある吸着塔10A、10Bについては、その内部圧力を大気圧まで復帰させた。
実施例2と同様に、二連型真空ポンプ装置Y2の第1真空ポンプ40Aの排気量を14,800m3/hとし、第2真空ポンプの排気量を14,100m3/hのルーツポンプにして直列に連結し、ガス温度40℃のときに、実施例2と同様の構成を有するガス精製システムX1を使用して、図4に示す吸着工程、減圧再生工程、および復圧工程からなる1サイクル(ステップ1〜4)を吸着塔10A,10Bのそれぞれにて繰り返すことにより、原料ガスたる空気から酸素を取得した。本比較例では、PSA装置Y1の原料ブロア21による空気の供給量は実施例2と同様に8,300Nm3/hとし、吸着工程にある吸着塔10A、10Bの内部圧力を最大40kPaGとした。また、吸着塔10A,10Bについての減圧再生工程では末期圧力は−72kPaGとなった。バイパス弁61の開状態から閉状態への切り替えは図8のように減圧再生時間が15秒経過したときにバイパス弁61が開から閉となるように設定した。そのときの吸気口の圧力は−50kPaGを示していた。復圧工程にある吸着塔10A、10Bについては、その内部圧力を大気圧まで復帰させた。
Y1 PSA装置
Y2 二連型真空ポンプ装置
Y3 消音器
10A,10B 吸着塔
21 原料ブロワ
22 タンク
40A,40B 真空ポンプ
40a ケーシング
40b ロータ
41 吸気口
42 排気口
51 モータ
52 連結ライン
60 バイパスライン
61 開閉弁
80 圧力検出器
Z1 バッファー管
Claims (6)
- 吸気口および排気口を有する容積式の第1真空ポンプと、
吸気口および排気口を有する第2真空ポンプと、
前記第1真空ポンプの前記排気口および前記第2真空ポンプの前記吸気口の間を連結する連結ラインと、
前記連結ラインに接続された第1端部およびガス導出用の第2端部を有するバイパスラインと、
前記バイパスラインにおける前記第1端部および前記第2端部の間に配置された開閉弁と、
前記第1真空ポンプの前記吸気口の近傍の圧力を検出する圧力検出器と、を備え、
前記開閉弁を前記圧力検出器に連動させるように構成した、二連型真空ポンプ装置。 - 前記第1真空ポンプの前記排気口からの排気量が前記第2真空ポンプの排気量に一致したことを示す圧力値を前記圧力検出器が検出したときに、前記開閉弁は開状態から閉状態へと切り替えるように構成されている、請求項1に記載の二連型真空ポンプ装置。
- 前記開閉弁は、前記第1真空ポンプの吸気口近傍におけるガス温度が高いときには相対的に早く開状態から閉状態へと切り替わり、当該ガス温度が低いときには相対的に遅く切り替わる、請求項1に記載の二連型真空ポンプ装置。
- 前記第1および第2真空ポンプは、それぞれ、ケーシングと当該ケーシング内のロータとを有するルーツポンプであり、単一のモータによって前記第1真空ポンプの前記ロータと前記第2真空ポンプの前記ロータとが連動して回転駆動されるように構成されている、請求項1〜3のいずれか一つに記載の二連型真空ポンプ装置。
- 圧力変動吸着法を利用してガスを精製するための吸着剤が内部に充填された吸着塔と、前記吸着塔の内部を減圧するための、請求項1〜4のいずれか一つに記載の二連型真空ポンプ装置と、を備えるガス精製システム。
- 請求項1〜4のいずれか一つに記載の二連型真空ポンプ装置の制御方法であって、
前記圧力検出器により前記第1真空ポンプの前記吸気口の近傍の圧力を検出し、
前記圧力検出器により検出した圧力が、前記第1真空ポンプの前記排気口からの排気量が前記第2真空ポンプの排気量に一致したことを示す値になったときに、前記開閉弁を開状態から閉状態へと切り替えるようにした、二連型真空ポンプ装置の制御方法。
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