JP2012073219A - ロータリエンコーダおよびロータリエンコーダの組立方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 パターン中心を基準に連続パターンと回転角度原点を含む所定のパターンが形成され、外形が多角形状で該回転角度原点が該多角形状の辺のうち少なくとも1つの辺を基準に定められたロータリスケールと、該ロータリスケールの外形の辺と当接し、該ロータリスケールと位置決めするための突起部を備えたハブと、前記ハブに圧入され、前記ロータリスケールのパターン中心と同軸で回転する回転軸と、該ロータリスケールに光を照射し、該ロータリスケールを介した光を検出する検出手段とを有すること。
【選択図】 図1
Description
本発明のロータリエンコーダに組立方法は、ウェハよりオリエンテーションフラットを参照して、パターン中心を基準に連続パターンと回転角度原点を含む所定のパターンが形成され、外形が多角形状で該回転角度原点が該多角形状の辺のうち少なくとも1つの辺を基準に定められたロータリスケールを切り取り、切り取ったロータリスケールを、該ロータリスケールと共に回転するハブに設けた位置決め用の突起部に当接するように装着してロータリエンコーダを組み立てる際、前記ハブに圧入され、前記ロータリスケールのパターン中心と同軸で回転する回転軸と該突起部との位置関係を測定し、測定した位置関係を参照して前記ウェハより前記ロータリスケールの外形の該突起部と当接する2辺の寸法を決定して切り取ることを特徴としている。
立てを高精度に容易に行なうことができるロータリエンコーダ及びロータリエンコーダの
組立方法が得られる。
5 反射部 6 欠落部分 12 反射部 13、14 検出ヘッド
15 不連続部 16 低突起部 17 ハブ 18 軸 19 突起部
20 溝 30 接着剤塗布部 31 Si(シリコン)ウェハ
32 オリエンテーションフラット 33 ダイシングソーの切断線
Claims (5)
- パターン中心を基準に連続パターンと回転角度原点を含む所定のパターンが形成され、外形が多角形状で該回転角度原点が該多角形状の辺のうち少なくとも1つの辺を基準に定められたロータリスケールと、該ロータリスケールの外形の辺と当接し、該ロータリスケールと位置決めするための突起部を備えたハブと、前記ハブに圧入され、前記ロータリスケールのパターン中心と同軸で回転する回転軸と、該ロータリスケールに光を照射し、該ロータリスケールを介した光を検出する検出手段とを有することを特徴とするロータリエンコーダ。
- 前記回転軸の検出対象物が嵌合される側には、前記ロータリスケールの回転角度原点と回転位相決めされた溝が形成されていることを特徴とする請求項1のロータリエンコーダ。
- ウェハよりオリエンテーションフラットを参照して、パターン中心を基準に連続パターンと回転角度原点を含む所定のパターンが形成され、外形が多角形状で該回転角度原点が該多角形状の辺のうち少なくとも1つの辺を基準に定められたロータリスケールを切り取り、切り取ったロータリスケールを、該ロータリスケールと共に回転するハブに設けた位置決め用の突起部に当接するように装着してロータリエンコーダを組み立てる際、前記ハブに圧入され、前記ロータリスケールのパターン中心と同軸で回転する回転軸と該突起部との位置関係を測定し、測定した位置関係を参照して前記ウェハより前記ロータリスケールの外形の該突起部と当接する2辺の寸法を決定して切り取ることを特徴とするロータリエンコーダの組立方法。
- 前記回転軸の検出対象物が嵌合される側には、前記ロータリスケールの回転角度原点と回転位相決めされた溝が形成されていることを特徴とする請求項3のロータリエンコーダの組立方法。
- パターン中心を基準に連続パターンを含む所定のパターンが形成され、外形が多角形状で該連続パターンの回転角度位相が該多角形状の辺のうち少なくとも1つの辺を基準に定められたロータリスケールと、該ロータリスケールの外形の辺と当接し、該ロータリスケールと位置決めするための突起部を備えたハブと、前記ハブに圧入され、前記ロータリスケールのパターン中心と同軸で回転する回転軸と、該ロータリスケールに光を照射し、該ロータリスケールを介した光を検出する検出手段とを有することを特徴とするロータリエンコーダ。
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