JP2019027884A - 位置検出装置 - Google Patents

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祐樹 高樋
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祐樹 高樋
井垣 正彦
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Abstract

【課題】スケールの始端部と終端部との不整合領域における検出精度の悪化を防止しつつ、スケール部材の有効回転角度を最大限に確保可能な位置検出装置を提供する。【解決手段】第1スケール2は、第1スケール2に対向する第1検出手段3が回転位置検出用の信号を出力する際に使用される第1パターン2aと、第1検出手段3が回転位置検出用の信号とは異なる信号を出力する際に使用される第1パターン欠落部2bと、を有し、第2スケール4は、第2スケール4に対向する第2検出手段5が直動位置検出用の信号を出力する際に使用される第2パターン4aと、第2検出手段5が直動位置検出用の信号とは異なる信号を出力する際に使用される第2パターン欠落部4bと、を有し、第2検出手段5は、第1検出手段3が回転位置検出用の信号とは異なる信号を出力する間、直動位置検出用の信号とは異なる信号を出力する。【選択図】図1

Description

本発明は、直動位置および回転位置の検出を行う位置検出装置に関する。
従来、測定対象物の直動量や回転量を検出する手段として、位置検出装置が知られている。位置検出装置には、検出方法の違いにより、光学式、磁気式、および静電容量式などがある。また、位置検出装置は、測定対象物の種類により、直動量を検出するリニア型と、回転量を検出するロータリ型とに区別することができる。特許文献1には、リニアエンコーダとロータリエンコーダにより共通の部材の移動を検出する位置検出装置が開示されている。
特開2016−99171号公報
光学式の位置検出装置は、反射型と透過型とに区別することができる。光学式反射型の位置検出装置は、発光素子と受光素子とを同一平面上に配設したセンサヘッドと、所定のピッチで反射部および非反射部が繰り返される反射パターンを有する反射スケールとを対向させて使用される。センサヘッドから射出された光線は、スケールに入射し、反射部および非反射部により受光素子上に明暗像として結像される。反射パターンのピッチは、受光素子の受光ピッチと一致させる必要があり、一致しない場合、検出精度の悪化や、検出信号を取得できないおそれがある。
しかしながら、特許文献1の位置検出装置では、反射スケールをスケール部材の周面全面に設ける場合、周面の周長と反射パターンのピッチとの関係が一致せず、反射パターンが始端部と終端部において不整合になるおそれがある。反射パターンが不整合になる領域では、位置検出装置は正確な検出信号を出力できないため、検出精度が悪化してしまう。
また、反射パターンの規則性を確保する場合、スケール部材の径を反射パターンのピッチに合わせるように設定する必要があるため、部材の選定に制約が加わってしまう。
本発明は、スケール部材の径に関係なく、スケールの始端部と終端部との不整合領域における検出精度の悪化を防止しつつ、スケール部材の有効回転角度を最大限に確保可能な位置検出装置を提供することを目的とする。
本発明の一側面としての位置検出装置は、回転軸周りの回転、および回転軸に沿った直動を行う円筒部材と、円筒部材の周面に設けられた回転位置検出用の第1スケールと、第1スケールに対向するように配置された回転位置検出用の第1検出手段と、円筒部材の周面に設けられた直動位置検出用の第2スケールと、第2スケールに対向するように配置された直動位置検出用の第2検出手段と、を有し、第1スケールは、第1検出手段が回転位置検出用の信号を出力する際に使用される第1パターンと、第1検出手段が回転位置検出用の信号とは異なる信号を出力する際に使用される第1パターン欠落部と、を有し、第2スケールは、第2検出手段が直動位置検出用の信号を出力する際に使用される第2パターンと、第2検出手段が直動位置検出用の信号とは異なる信号を出力する際に使用される第2パターン欠落部と、を有し、前記第2検出手段は、前記第1検出手段が前記回転位置検出用の信号を出力する間、前記直動位置検出用の信号を出力し、前記第1検出手段が前記回転位置検出用の信号とは異なる信号を出力する間、前記直動位置検出用の信号とは異なる信号を出力することを特徴とする。
本発明によれば、スケール部材の径に関係なく、パターンの始端部と終端部との不整合領域における検出精度の悪化を防止しつつ、スケール部材の有効回転角度を最大限に確保可能な位置検出装置を提供することができる。
実施例1の位置検出装置の斜視図である。 実施例2の位置検出装置の斜視図である。 実施例3の位置検出装置の斜視図である。 実施例4の位置検出装置の(a)斜視図、および(b)複合スケール展開図である。
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、
同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
以下の実施例では、一例として光学式の位置検出装置について説明するが、本発明は、他の方式の位置検出装置にも適用することが可能である。
図1は、本実施例の位置検出装置100aの斜視図である。円筒体(円筒部材)1は、回転軸O周りの回転、および回転軸Oに沿った直動を行う。回転位置検出用のスケール(第1スケール)2、および直動位置検出用のスケール(第2スケール)4は、円筒体1の周面全周に設けられている。本実施例では、スケール2およびスケール4は、樹脂フィルム基材により構成されている。なお、スケール2およびスケール4は、円筒体1に直接描画されていてもよい。円筒体1に直接パターンを描画する方法としては、レーザーマーカーなどを用いる方法がある。回転位置検出用のセンサヘッド(第1の検出手段)3は、スケール2に対向するように、所定の間隔だけ離れた状態で不図示の筐体に固定されている。直動位置検出用のセンサヘッド(第2の検出手段)5は、スケール4に対向するように、所定の間隔だけ離れた状態で不図示の筐体に固定されている。
スケール2は、所定のピッチで反射部および非反射部が繰り返されている領域である第1パターン2aと、反射部および非反射部から形成されるパターンが形成されていない領域である第1パターン欠落部2bと、を有する。第1パターン2aでは、反射部および非反射部が回転軸O周りに形成されている。第1パターン欠落部2bは、第1パターン2aの始端と終端に設けられている。第1パターン欠落部2bは、反射部または非反射部のいずれかであってもよい。
センサヘッド3は、第1パターン2aを通過することで第1パターン2aから取得される信号に基づいて、回転位置検出用の信号を生成し、出力する。すなわち、第1パターン2aは、センサヘッド3が回転位置検出用の信号を出力する際に使用される。
また、センサヘッド3は、第1パターン欠落部2bを通過することで第1パターン欠落部2bから信号を取得したとしても、回転位置検出用の信号を生成することはできず、回転位置検出用の信号とは異なる信号を出力する。すなわち、第1パターン欠落部2bは、センサヘッド3が回転位置検出用の信号とは異なる信号を出力する際に使用される。なお、回転位置検出用の信号とは異なる信号とは、回転位置を検出することができない信号である。
スケール4は、所定のピッチで反射部および非反射部が繰り返されている領域である第2パターン2aと、反射部および非反射部から形成されるパターンが形成されていない領域である第2パターン欠落部4bと、を有する。第2パターン4aでは、反射部および非反射部が回転軸Oに沿って形成されている。第2パターン欠落部4bは、第2パターン4aの始端と終端に設けられている。第2パターン欠落部4bは、反射部または非反射部のいずれかであってもよい。
センサヘッド5は、第2パターン4aを通過することで第2パターン4aから取得される信号に基づいて、直動位置検出用の信号を生成し、出力する。すなわち、第2パターン4aは、センサヘッド5が直動位置検出用の信号を出力する際に使用される。
また、センサヘッド5は、第2パターン欠落部4bを通過することで第2パターン4aから信号を取得したとしても、直動位置検出用の信号を生成することはできず、直動位置検出用の信号とは異なる信号を出力する。すなわち、第2パターン欠落部4bは、センサヘッド5が直動位置検出用の信号とは異なる信号を出力する際に使用される。なお、直動位置検出用の信号とは異なる信号とは、直動位置を検出することができない信号である。
本実施例では、第1パターン欠落部2bと第2パターン欠落部4bは、円筒体1の円周方向(回転軸O周り)において、同一の位置に設けられている。そのため、センサヘッド3が第1パターン2aから取得された信号に基づいて回転位置検出用の信号を出力する円筒体1の回転角度では、センサヘッド5が第2パターン4aから取得された信号に基づいて直動位置検出用の信号を出力する。また、センサヘッド3が第1パターン欠落部2bから取得された信号に基づいて回転位置検出用の信号とは異なる信号を出力する円筒体1の回転角度では、センサヘッド5が第2パターン欠落部4bから取得された信号に基づいて直動位置検出用の信号とは異なる信号を出力する。
したがって、センサヘッド5は、センサヘッド3が回転位置検出用の信号を出力する間、直動位置検出用の信号を出力し、センサヘッド3が回転位置検出用の信号とは異なる信号を出力する間、直動位置検出用の信号とは異なる信号を出力する。
図2は、本実施例の位置検出装置100bの斜視図である。位置検出装置100bは、実施例1で説明した位置検出装置100aと同様に、円筒体1、回転位置検出用のスケール2、回転位置検出用のセンサヘッド3、直動位置検出用のスケール4、および直動位置検出用のセンサヘッド5を有する。スケール2は、センサヘッド3が回転位置検出用の信号を出力する際に使用される第1パターン2aと、センサヘッド3が回転位置検出用の信号とは異なる信号を出力する際に使用される第1パターン欠落部2bと、を有する。スケール4は、センサヘッド5が直動位置検出用の信号を出力する際に使用される第2パターン4aと、センサヘッド5が回転位置検出用の信号とは異なる信号を出力する際に使用される第2パターン欠落部4bと、を有する。
本実施例では、センサヘッド3およびセンサヘッド5を固定する不図示の筐体を小型化するために、センサヘッド3およびセンサヘッド5は円筒体1の円周方向において、異なる位置に設けられている。そのため、本実施例では、第1パターン欠落部2bおよび第2パターン欠落部4bは、センサヘッド3が第1パターン欠落部2bからの信号を取得する際に、センサヘッド5が第2パターン欠落部4bからの信号を取得するように設けられている。
したがって、センサヘッド5は、センサヘッド3が回転位置検出用の信号を出力する間、直動位置検出用の信号を出力し、センサヘッド3が回転位置検出用の信号とは異なる信号を出力する間、直動位置検出用の信号とは異なる信号を出力する。
また、本実施例の構成を有することで、位置検出装置100bを小型化可能であるとともに、各センサヘッドの配置自由度も向上させることができる。
図3は、本実施例の位置検出装置100cの斜視図である。位置検出装置100cは、円筒体1の周面全周に設けられた、回転位置および直動位置検出用の複合スケール6を有する。すなわち、複合スケール6は、実施例1および実施例2で説明した回転位置検出用のスケール2、および直動位置検出用のスケール4が複合化されたスケールである。そのため、位置検出装置100cは、1つのスケールを用いて回転位置および直動位置を検出することができる。
回転位置検出用のセンサヘッド3、および直動位置検出用のセンサヘッド5は、複合スケール6に対向するように、所定の間隔だけ離れた状態で不図示の筐体に配置されている。
回転位置および直動位置検出用のスケールを複合化することで、スケール長を直動方向(回転軸Oに平行な方向)の有効ストローク長と略同一にすることができるため、位置検出装置100cを小型化することが可能である。
なお、本実施例では、複合スケール6は、樹脂フィルム基材により構成されているが、円筒体1に直接描画されていてもよい。
図4(a)は、本実施例の位置検出装置100dの斜視図である。本実施例では、円筒体1は、π[rad]より十分小さい有効回転角度を有する。位置検出装置100dは、回転位置および直動位置検出用の複合スケール7を有する。そのため、位置検出装置100dは、1つのスケールを用いて回転位置および直動位置を検出することができる。回転位置検出用のセンサヘッド3、および直動位置検出用のセンサヘッド5は、複合スケール7に対向するように、所定の間隔だけ離れた状態で不図示の筐体に配置されている。
図4(b)は、複合スケール7の展開図である。円筒体1の周面を回転軸O周りに半分に分けた場合、複合スケール7は分けられた周面のうち一方の周面に回転位置検出用のパターンを有し、他方の周面に直動位置検出用のパターンを有する。具体的には、円筒体1の半径をr[mm]とすると、複合スケール7の始端からπr[mm]までの区間と、πr[mm]から2πr[mm]までの区間とに回転位置検出用と直動位置検出用のパターンを設けている。
このような構成を有することで、位置検出装置100dを小型化することが可能であるとともに、各センサヘッドの配置自由度も向上させることができる。
以上説明したように、本実施例によれば、スケールの始端部と終端部との不整合領域における検出精度の悪化を防止しつつ、スケール部材の有効回転角度を最大限に確保可能な位置検出装置を提供することができる。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
1 円筒体(円筒部材)
2 回転位置検出用のスケール(第1スケール)
2a 第1パターン
2b 第1パターン欠落部
3 回転位置検出用のセンサヘッド(第1検出手段)
4 直動位置検出用のスケール(第2スケール)
4a 第2パターン
4b 第2パターン欠落部
5 直動位置検出用のセンサヘッド(第2検出手段)
100a−100d 位置検出装置

Claims (6)

  1. 回転軸周りの回転および前記回転軸に沿った直動を行う円筒部材と、
    前記円筒部材の周面に設けられた回転位置検出用の第1スケールと、
    前記第1スケールに対向するように配置された回転位置検出用の第1検出手段と、
    前記円筒部材の周面に設けられた直動位置検出用の第2スケールと、
    前記第2スケールに対向するように配置された直動位置検出用の第2検出手段と、を有し、
    前記第1スケールは、前記第1検出手段が回転位置検出用の信号を出力する際に使用される第1パターンと、前記第1検出手段が前記回転位置検出用の信号とは異なる信号を出力する際に使用される第1パターン欠落部と、を有し、
    前記第2スケールは、前記第2検出手段が直動位置検出用の信号を出力する際に使用される第2パターンと、前記第2検出手段が前記直動位置検出用の信号とは異なる信号を出力する際に使用される第2パターン欠落部と、を有し、
    前記第2検出手段は、前記第1検出手段が前記回転位置検出用の信号を出力する間、前記直動位置検出用の信号を出力し、前記第1検出手段が前記回転位置検出用の信号とは異なる信号を出力する間、前記直動位置検出用の信号とは異なる信号を出力することを特徴とする位置検出装置。
  2. 前記第1パターン欠落部は、前記第1パターンの始端と終端に設けられ、
    前記第2パターン欠落部は、前記第2パターンの始端と終端に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。
  3. 前記第1および第2スケールは、樹脂フィルム基材から構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の位置検出装置。
  4. 前記第1および第2スケールは、前記円筒部材に描画されていることを特徴とする請求項1または2に記載の位置検出装置。
  5. 前記第1および第2スケールは、回転軸方向において、同一の領域に設けられていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の位置検出装置。
  6. 前記円筒部材の周面を前記回転軸周りに半分に分けた場合、
    前記第1スケールは、前記分けられた周面のうち、一方の周面に設けられ、
    前記第2スケールは、他方の周面に設けられていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の位置検出装置。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5458070A (en) * 1977-10-17 1979-05-10 Mitsubishi Electric Corp Rotational irregularity meter
JPS62193531A (ja) * 1986-02-11 1987-08-25 ドイチエ・トムソン−ブラント・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング 励振コイルに対する電子的整流用回路装置
JP2005062189A (ja) * 2003-08-15 2005-03-10 Carl Freudenberg Kg 磁気多極エンコーダ
JP2007143385A (ja) * 2005-10-21 2007-06-07 Yaskawa Electric Corp 直動回転アクチュエータおよびシステム
JP2012073219A (ja) * 2010-08-30 2012-04-12 Canon Inc ロータリエンコーダおよびロータリエンコーダの組立方法
JP2017075884A (ja) * 2015-10-16 2017-04-20 日本電産サンキョー株式会社 直動回転検出器

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5458070A (en) * 1977-10-17 1979-05-10 Mitsubishi Electric Corp Rotational irregularity meter
JPS62193531A (ja) * 1986-02-11 1987-08-25 ドイチエ・トムソン−ブラント・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング 励振コイルに対する電子的整流用回路装置
JP2005062189A (ja) * 2003-08-15 2005-03-10 Carl Freudenberg Kg 磁気多極エンコーダ
JP2007143385A (ja) * 2005-10-21 2007-06-07 Yaskawa Electric Corp 直動回転アクチュエータおよびシステム
JP2012073219A (ja) * 2010-08-30 2012-04-12 Canon Inc ロータリエンコーダおよびロータリエンコーダの組立方法
JP2017075884A (ja) * 2015-10-16 2017-04-20 日本電産サンキョー株式会社 直動回転検出器

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