JP2012069671A - 半導体記憶装置およびその製造方法 - Google Patents
半導体記憶装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012069671A JP2012069671A JP2010212373A JP2010212373A JP2012069671A JP 2012069671 A JP2012069671 A JP 2012069671A JP 2010212373 A JP2010212373 A JP 2010212373A JP 2010212373 A JP2010212373 A JP 2010212373A JP 2012069671 A JP2012069671 A JP 2012069671A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- upper electrode
- growth layer
- layer
- tunnel junction
- magnetic tunnel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B61/00—Magnetic memory devices, e.g. magnetoresistive RAM [MRAM] devices
- H10B61/20—Magnetic memory devices, e.g. magnetoresistive RAM [MRAM] devices comprising components having three or more electrodes, e.g. transistors
- H10B61/22—Magnetic memory devices, e.g. magnetoresistive RAM [MRAM] devices comprising components having three or more electrodes, e.g. transistors of the field-effect transistor [FET] type
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/01—Manufacture or treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
- Mram Or Spin Memory Techniques (AREA)
Abstract
【課題】上部電極と下部電極との間の短絡、あるいは、上部電極と配線との接触不良を抑制しながら、MTJ素子を微細化することができる半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】本実施形態による半導体記憶装置は、半導体基板の表面上に形成された選択素子を備えている。下部電極は、選択素子に接続されている。磁気トンネル接合素子は、下部電極上に設けられている。上部電極は、磁気トンネル接合素子上に設けられている。成長層は、上部電極上に設けられ、導電性材料からなり、半導体基板の表面上方から見たときに上部電極よりも面積が大きい。配線は、成長層上に設けられている。
【選択図】図2
【解決手段】本実施形態による半導体記憶装置は、半導体基板の表面上に形成された選択素子を備えている。下部電極は、選択素子に接続されている。磁気トンネル接合素子は、下部電極上に設けられている。上部電極は、磁気トンネル接合素子上に設けられている。成長層は、上部電極上に設けられ、導電性材料からなり、半導体基板の表面上方から見たときに上部電極よりも面積が大きい。配線は、成長層上に設けられている。
【選択図】図2
Description
本発明の実施形態は、半導体記憶装置およびその製造方法に関する。
素子の抵抗変化を利用してデータを記憶する抵抗変化型素子として、磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM(Magnetic Random Access Memory))が開発されている。MRAMの書込み方式には、磁場書込み方式およびスピン注入書込み方式がある。磁場書込み方式では、MTJ(Magnetic Tunnel Junction)素子のサイズを縮小すると、保持力が大きくなるため、書込み電流が増大する傾向があった。一方、スピン注入書込み方式は、スピントランスファートルク(STT(Spin Transfer Torque))書込み方式を用いているので、磁性体のサイズが小さくなる程、磁化反転に必要なスピン注入電流が小さくなるという特性を有する。このため、スピン注入書込み方式のMTJ素子は、高集積化、低消費電力化および高性能化に有利である。また、磁場書込み方式では、磁場の広がりによる非選択メモリセルへの誤った書込みが発生するおそれがあるが、スピン注入書込み方式では、そのような非選択メモリセルへの誤った書込みは発生しない。
MRAMを微細化するために、スピン注入型を採用し、MTJ素子のさらなる微細化を進める必要がある。しかし、MTJ素子を微細化するためにはMTJ膜そのものを薄膜化せねばならない。
MTJ素子は、下部電極層、MTJ膜、上部電極層およびハードマスクを堆積後、リソグラフィおよびエッチング技術を用いて加工する。下部電極層、MTJ膜および上部電極層の加工後、層間絶縁膜の材料をMTJ素子上に堆積する。CMP(Chemical Mechanical Polishing)またはドライエッチング等の技術を用いて、上部電極の上面が露出するまでこの層間絶縁膜をエッチングバックする。その後、上部電極上に配線を形成する。
層間絶縁膜は、上部電極の上面が露出するまでエッチングバックされるため、層間絶縁膜の膜厚は、MTJ膜の膜厚が薄くなるほど薄くなる。層間絶縁膜が薄すぎると、上部電極に接続された配線が下部電極に短絡するおそれがある。逆に、この短絡を防止するために層間絶縁膜を充分に厚くしようとすると、上部電極が層間絶縁膜から充分に露出せず、上部電極と配線との接触が不十分となるおそれがある。即ち、MTJ素子の微細化が進むと、上部電極と下部電極との間の短絡、あるいは、上部電極と配線(例えば、ビット線)との接触不良が生じる可能性が高くなる。
S.Yuasa et al.,Appl. Phys. Lett.87,222508(2005)
K.Tsunekawa et al.,"Giant Magnetresistance Tunneling effect in low-resistance CoFeB/MgO(001)/CoFeB Magnetic Tunnel Junctions for read-head applications", Appl. Phys. Lett. 87, 072503 (2005)
H.Kubota et al."Evaluation of Spin-Transfer Switching in CoFeB/MgO/CoFeB Magnetic Tunnel Junctions", Jpn. J. Appl. Phys. 44,pp.L1237-L1240 (2005)
上部電極と下部電極との間の短絡、あるいは、上部電極と配線との接触不良を抑制しながら、MTJ素子を微細化することができる半導体記憶装置を提供する。
本実施形態による半導体記憶装置は、半導体基板の表面上に形成された選択素子を備えている。下部電極は、選択素子に接続されている。磁気トンネル接合素子は、下部電極上に設けられている。上部電極は、磁気トンネル接合素子上に設けられている。成長層は、上部電極上に設けられ、導電性材料からなり、半導体基板の表面上方から見たときに上部電極よりも面積が大きい。配線は、成長層上に設けられている。
以下、図面を参照して本発明に係る実施形態を説明する。本実施形態は、本発明を限定するものではない。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態によるMRAMのメモリセルの構成を示す断面図である。本実施形態によるMRAMは、選択素子としての選択トランジスタSTと、磁気トンネル接合素子MTJと、ビット線BLと、ワード線WLとを備えている。1つの選択トランジスタSTおよび1つのMTJ素子は、1つのメモリセルMCを構成している。選択トランジスタSTは、半導体基板10の表面上のアクティブエリアに形成されている。アクティブエリア以外の半導体基板10の表面には、素子分離領域(STI(Shallow Trench Isolation)20が形成されている。MTJ素子および選択トランジスタSTは、ビット線BLとソース線SLとの間に直列に接続されている。
図1は、第1の実施形態によるMRAMのメモリセルの構成を示す断面図である。本実施形態によるMRAMは、選択素子としての選択トランジスタSTと、磁気トンネル接合素子MTJと、ビット線BLと、ワード線WLとを備えている。1つの選択トランジスタSTおよび1つのMTJ素子は、1つのメモリセルMCを構成している。選択トランジスタSTは、半導体基板10の表面上のアクティブエリアに形成されている。アクティブエリア以外の半導体基板10の表面には、素子分離領域(STI(Shallow Trench Isolation)20が形成されている。MTJ素子および選択トランジスタSTは、ビット線BLとソース線SLとの間に直列に接続されている。
選択トランジスタSTは、ゲート電極G(ワード線WL)と、不純物拡散層(ソースSおよびドレインD)とを備えている。ゲート電極Gは、ロウ方向(図1の紙面垂直方向)に延伸しており、ワード線WLとしての機能を兼ね備える。ドレインDは、ドレインコンタクトCD1〜CD4、配線(M1〜M3)を介してビット線BL1に電気的に接続されている。ソースSは、ソースコンタクトCSを介してソース線SLに電気的に接続されている。ソースS、ソースコンタクトCSおよびソース線SLは、隣接するメモリセルMCに共有されている。また、ビット線BLは、カラム方向(ビット線BLの延伸方向)に隣接するメモリセルMCに共通に接続されている。
ゲート電極Gは、層間絶縁膜ILD1で被覆されている。層間絶縁膜ILD1は、コンタクトCD1、CSの間および金属配線層M1の間を充填している。層間絶縁膜ILD2は、コンタクトCD2の間および金属配線層M2の間を充填している。層間絶縁膜ILD3は、コンタクトCD3の間および金属配線層M3の間を充填している。層間絶縁膜ILD4は、コンタクトCD4の間を充填している。金属配線層M1〜M3を加工して形成された配線、コンタクトCD1〜CD4、および、層間絶縁膜ILD1〜ILD4は、多層配線構造を構成する。
下部電極LEは、コンタクトCD4および層間絶縁膜ILD4上に設けられており、選択トランジスタSTのドレインDと電気的に接続されている。下部電極LEの材料は、導電性材料であり、例えば、Ta、Al、IrまたはZrのいずれかでよい。
MTJ素子は、各下部電極LE上に設けられている。上部電極UEは、MTJ素子上に設けられており、ビット線BLに電気的に接続されている。即ち、MTJ素子は、下部電極LEと上部電極UEとの間に接続されている。MTJ素子は、固定層、トンネルバリア膜および記録層の順に積層されている。
次にMTJ素子の材料について説明する。
[面内磁化型磁気トンネル接合]
MTJが面内磁化型磁気トンネル接合の場合、固定層および記録層の材料は、例えば、Fe、Co、Ni、または、それらの合金でよい。さらに、固定層および記録層の材料は、例えば、スピン分極率の大きいマグネタイト、CrO2、RXMnO3−y(Rは希土類金属であり、XはCa、BaまたはSrである)等の酸化物でもよい。さらに、固定層および記録層の材料は、例えば、NiMnSb、PtMnSb等のホイスラー合金であってもよい。固定層および記録層の磁性体材料は、全体として強磁性を失わないかぎり、Ag、Cu、Au、Al、Mg、Si、Bi、Ta、B、C、O、N、Pd、Pt、Zr、Ir、W、Mo、Nb等の非磁性元素を含んでいてもよい。
MTJが面内磁化型磁気トンネル接合の場合、固定層および記録層の材料は、例えば、Fe、Co、Ni、または、それらの合金でよい。さらに、固定層および記録層の材料は、例えば、スピン分極率の大きいマグネタイト、CrO2、RXMnO3−y(Rは希土類金属であり、XはCa、BaまたはSrである)等の酸化物でもよい。さらに、固定層および記録層の材料は、例えば、NiMnSb、PtMnSb等のホイスラー合金であってもよい。固定層および記録層の磁性体材料は、全体として強磁性を失わないかぎり、Ag、Cu、Au、Al、Mg、Si、Bi、Ta、B、C、O、N、Pd、Pt、Zr、Ir、W、Mo、Nb等の非磁性元素を含んでいてもよい。
固定層の一部を構成する反強磁性層の材料には、FeMn、PtMn、PtCrMn、NiMn、IrMn、NiO、Fe2O3等を用いることが好ましい。
トンネルバリア膜の材料は、例えば、コヒーレントトンネリング効果を有する酸化マグネシウム、または、マグネシウムおよび酸化マグネシウムの積層膜でよい。さらに、トンネルバリア膜の材料は、例えば、Al2O3、SiO2、AlN、Bi2O3、MgF2、CaF2、SrTiO2、AlLaO3等の誘電体であってもよい。これらの誘電体は、酸素、窒素を含んでいてもよく、あるいは、フッ素欠損があってもよい。
[垂直磁化型磁気トンネル接合]
MTJが垂直磁化型磁気トンネル接合の場合、固定層の材料は、1×106erg/cc 以上の高い磁気異方性エネルギー密度を持つ材料により構成されることが好ましい。例えば、固定層の材料は、Fe、Co、Niのうちの少なくとも1つと、Cr、Pt、Pdのうちの少なくとも1つとを含む合金から成る。固定層の材料となり得る規則合金としては、Fe(50)Pt(50)、Fe(50)Pd(50)、Co(50)Pt(50)等がある。固定層の材料となり得る不規則合金としては、CoCr合金、CoPt合金、CoCrPt合金、CoCrPtTa合金、CoCrNb合金等がある。
MTJが垂直磁化型磁気トンネル接合の場合、固定層の材料は、1×106erg/cc 以上の高い磁気異方性エネルギー密度を持つ材料により構成されることが好ましい。例えば、固定層の材料は、Fe、Co、Niのうちの少なくとも1つと、Cr、Pt、Pdのうちの少なくとも1つとを含む合金から成る。固定層の材料となり得る規則合金としては、Fe(50)Pt(50)、Fe(50)Pd(50)、Co(50)Pt(50)等がある。固定層の材料となり得る不規則合金としては、CoCr合金、CoPt合金、CoCrPt合金、CoCrPtTa合金、CoCrNb合金等がある。
さらに、固定層の材料は、Fe、Co、Niのうちの少なくとも1つまたはこれらのうちの1つを含む合金と、Pd、Ptのうちの1つまたはこれらのうちの1つを含む合金とを交互に堆積した積層膜でもよい。具体例として、固定層の材料は、Co/Pt人工格子、Co/Pd人工格子、CoCr/Pt人工格子等がある。Co/Pt人工格子を使用した場合及びCo/Pd人工格子を使用した場合においては、抵抗変化率(MR比)は、約40%と大きい。
さらに、固定層の材料は、希土類金属のうちの少なくとも1つ、例えば、Tb(テルビウム)、Dy(ジスプロシウム)、又は、Gd(ガドリニウム)と、遷移金属のうちの少なくとも1つとからなるアモルファス合金でもよい。具体例として、固定層の材料は、TbFe、TbCo、TbFeCo、DyTbFeCo、GdTbCo等である。
記録層の材料は、上述の固定層の材料と同じでもよい。しかし、記録層の材料は、組成比の調整、不純物の添加、厚さの調整などを行って、上述の固定層の材料よりも磁気異方性エネルギー密度が小さい磁性材料で構成してもよい。例えば、記録層の材料は、Fe、Co、Niのうちの少なくとも1つと、Cr、Pt、Pdのうちの少なくとも1つとを含む合金に、不純物を添加した材料でもよい。具体例として、記録層の材料となり得る規則合金は、Fe(50)Pt(50)、Fe(50)Pd(50)、または、Co(50)Pt(50)に、Cu、Cr、Ag等の不純物を加えて磁気異方性エネルギー密度を低下させた材料でよい。記録層の材料となり得る不規則合金は、CoCr合金、CoPt合金、CoCrPt合金、CoCrPtTa合金、または、CoCrNb合金において、非磁性元素の割合を増加させて磁気異方性エネルギー密度を低下させた材料でもよい。
さらに、記録層の材料は、Fe、Co、Niのうちの少なくとも1つまたはこれらのうちの1つを含む合金の層(第1の層)と、Pd、Ptのうちの1つまたはこれらのうちの1つを含む合金の層(第2の層)とを交互に積層した積層膜でもよい。この場合、第1の層の厚み、または、第2の層の厚みを調整する必要がある。例えば、第1および第2の層には、それぞれ磁気異方性エネルギー密度を最大にする膜厚値が存在する。第1および第2の層の膜厚が上記磁気異方性エネルギー密度を最大にする膜厚値から乖離するに従い、第1および第2の層の各磁気異方性エネルギー密度は低下する。
さらに、記録層の材料は、希土類金属のうちの少なくとも1つ、例えば、Tb(テルビウム)、Dy(ジスプロシウム)、または、Gd(ガドリニウム)と、遷移金属のうちの少なくとも1つとからなるアモルファス合金であってもよい。具体例として、記録層の材料は、TbFe、TbCo、TbFeCo、DyTbFeCo、GdTbCo等のアモルファス合金である。このとき、アモルファス合金の組成比を調整することによって、磁気異方性エネルギー密度を小さくする。
記録層として、例えば、Co/Pt人工格子を用いる場合、Co膜およびPt膜の膜厚を調節することにより、MTJ素子の保磁力を調節できる。
固定層として、例えば、FePt、CoPt等の規則合金を用いる場合、垂直磁気異方性を発生させるためには、固定層のfct(001)面を配向させる必要がある。このため、結晶配向制御層として、数nmのMgOからなる極薄の下地層を付加することが好ましい。固定層の材料は、MgOの他にも、格子定数が2.8Å、4.0Å、5.6Å程度のfcc構造、bcc構造を有する元素、化合物(例えば、Pt、Pd、Ag、Au、Al、Cu、Cr、Fe、あるいは、それらの合金等)であってもよい。
MTJがボトムピン(トップフリー)構造である場合には、下部電極層と固定層(ピン層)との間に結晶配向制御層を配置すればよい。結晶配向制御層と下部電極層との間には、例えば、Ta、TiN、TaNなどからなるバッファ層が配置されていてもよい。MTJがトップピン(ボトムフリー)構造の場合には、トンネルバリア層にfcc(100)面が配向したMgOを用いることが好ましい。この場合、MTJ素子が劣化しない程度に上述した結晶配向制御層をさらに積層してもよい。
記録層として規則合金を用いる場合にも同様に記録層のfct(001)面を配向させる必要がある。トップピン(ボトムフリー)構造の場合には、上部電極層とピン層との間に結晶配向制御層を配置すればよい。結晶配向制御層とヨーク材との間には、例えば、Ta、TiN、TaN等からなるバッファ層が配置されていてもよい。ボトムピン(トップフリー)構造の場合には、トンネルバリア層にfcc(100)面が配向したMgOを用いることが好ましい。この場合、MTJ素子が劣化しない程度に上述した結晶配向制御層をさらに積層してもよい。
固定層および記録層の垂直磁化特性を高めるために、固定層とトンネルバリア層の間および/または記録層とトンネルバリア膜との間に、CoFeB、Fe単層などの軟磁性層を挿入してもよい。MTJ素子は以上のような材料によって構成されている。
上部電極UEは、MTJ素子上に設けられている。上部電極UEの材料は、導電性材料であり、例えば、Ta、Ti、TiAlxNy、TaN、WN、W、TiN、Ruのいずれか単層または積層でよい。上部電極UE上には、上部電極UEをシードとしてエピタキシャル成長させた成長層30が設けられている。成長層30は、例えば、タングステンや、無機系であるハライド系またはフロライド系のソースガスを用いてCVDで成長させた金属材料または半導体材料等でよい。例えば、Wのほか、Ru、Si、Ge等の導電性材料からなる。また、成長層30は、上部電極UEと同じ材料であってもよい。
ビット線BLは、成長層30上に設けられており、成長層30を介して上部電極UEに電気的に接続されている。
ワード線WLおよびビット線BLは、互いに交差しており、メモリセルMCは、ワード線WLとビット線BLとの交点に対応して設けられている。これにより、読出し動作または書込み動作において、ワード線WLおよびビット線BLによって或るメモリセルMCを選択し、その選択メモリセルMCからデータを読み出し、あるいは、選択メモリセルMCにデータを書き込むことができる。
MTJ素子の固定層の磁化方向は固定されている。よって、MTJ素子は、記録層の磁化方向によってデータを記憶する。MTJ素子は、2枚の強磁性層の磁化配列によって、低抵抗状態と高抵抗状態とを取り得る。例えば、低抵抗状態をデータ“0”と定義し、高抵抗状態をデータ“1”と定義すれば、MTJ素子に1ビットデータを記録することができる。
尚、図1において、MTJ素子、上部電極UEおよび成長層30は簡略化して図示されているが、これらの形状は、図2(E)に示されるような断面形状を有する。
図2(A)から図2(E)は、第1の実施形態によるMRAMの製造方法を示す断面図である。図2(A)から図2(E)は、主にMTJ素子の形成を示し、選択トランジスタST、コンタクトCD1〜CD4、CS、配線(M1〜M3)の形成については、図示を省略している。
まず、図1に示すシリコン基板等の半導体基板10を準備する。半導体基板10にSTI20を形成し、アクティブエリアに選択トランジスタSTを形成する。選択トランジスタSTを被覆するように層間絶縁膜ILD1を堆積し、層間絶縁膜ILD1の表面を平坦化する。次に、選択トランジスタSTのソースSおよびドレインDのそれぞれに達するコンタクトプラグCSおよびCD1を層間絶縁膜ILD1内に形成する。
さらに、金属配線層M1を堆積し、リソグラフィおよびRIE(Reactive Ion Etching)を用いて金属配線層M1を加工する。これにより、ソース線SLおよびその他の配線(M1)が形成される。その後、層間絶縁膜の堆積、コンタクトプラグの形成、配線の形成を繰り返すことによって、図1に示す多層配線構造(M1〜M3、CD1〜CD4、CS、ILD1〜ILD4)が形成される。コンタクトプラグCD1〜CD4、CSおよび配線(M1〜M3)の形成時には、バリアメタル(例えば、Ti、TiN)を形成してから、配線材料(例えば、タングステン)を堆積してもよい。この場合、配線材料の加工時に、バリアメタルも配線の一部として同時に加工される。
次に、層間絶縁膜ILD4およびコンタクトCD4上に、下部電極LEの材料を堆積する。下部電極LEの材料上にMTJ素子を形成する。MTJ素子の形成方法は、以下の通りである。
まず、固定層の材料、トンネルバリア膜の材料および記録層の材料を順番に堆積する。これらの材料は上述の通りである。次に、MTJ素子の材料の上に、ハードマスク(図示せず)の材料を堆積する。ハードマスクの材料は、例えば、SiO2、SiNである。ハードマスクの材料をMTJ素子の平面パターンに加工する。そして、ハードマスクをマスクとして用いて、RIE(Reactive Ion Etching)等でMTJ素子の材料を加工する。これにより、MTJ素子が形成される。MTJ素子の材料の加工には物理的なエッチングを含む手法を用いる。このため、MTJ素子の材料のエッチング選択比を大きく取ることは困難であり、オーバーエッチングの際に下層の層間絶縁膜ILD4が大きく削られる危険性がある。そこで、下部電極LEの材料を、エッチングストッパとして用いる。これにより、図2(A)に示す構造が得られる。
次に、図2(B)に示すように、リソグラフィおよびRIEを用いて、下部電極LEの材料を加工し、下部電極LEを形成する。これにより、隣接するメモリセルMCを電気的に分離する。
次に、上部電極LE、MTJ素子および下部電極LEを被覆するように層間絶縁膜ILD5の材料を堆積する。次に、CMPおよび/またはCDE(Chemical Dry Etching)等を用いて、MTJ素子の上面が露出するまで、層間絶縁膜ILD5をエッチングバックする。このとき、上部電極UEの上面は、層間絶縁膜ILD5から露出していればよい。即ち、その露出された上面の面積は、ビット線BLとMTJ素子との電気的接続に不十分な大きさであっても構わない。この後、上部電極UE上に成長層30が形成されるからである。一方、上部電極UEと下部電極LEとの間の短絡を抑制するために、層間絶縁膜ILD5の膜厚は、できるだけ厚いことが好ましい。層間絶縁膜ILD5の膜厚は、MTJ素子および上部電極UEの高さより僅かに小さい膜厚にすればよい。これにより、図2(C)に示す構造が得られる。
次に、図2(D)に示すように、メタルCVD(Chemical Vapor Deposition)技術を用いて、約数100Åの厚みを有する成長層30(例えば、タングステン)を上部電極UE(例えば、タンタル)上に成長させる。このとき、成長層30は、上部電極UEの上面のうち露出された部分をシードとしてエピタキシャル成長により形成される。つまり、成長層30を露出された上部電極UEの上面上に選択的に成長させる。
このとき、図2(D)に示すように、成長層30は、エピタキシャル成長のシードとなる上部電極UEの上面から上方向および横方向に成長する。従って、上部電極UEの上面の露出面積がビット線BLとMTJ素子との電気的接続にとって充分な大きさでなくとも、成長層30がビット線BLとMTJ素子との電気的接続に充分な大きさまで成長すればよい。これにより、ビット線BLは、上部電極UEと充分な接触面積を確保することができ、結果的に低いコンタクト抵抗で接続することができる。
図3は、半導体基板10の表面上方から見たときの成長層30および上部電極UEの外縁を示す図である。図3に示すように、半導体基板10の表面上方から見たときに、成長層30の外縁は、上部電極UEの外縁の外側にあることが好ましい。即ち、半導体基板10の表面上方から見たときに、成長層30の面積は、上部電極UEの面積よりも広く、かつ、成長層30は、上部電極UEを包含している。このように、成長層30が上部電極UEを包含するためには、成長層30は、上部電極UEの上面から半導体基板10の表面に対して水平方向に広がるように成長している。よって、成長層30は、図2(D)に示すように、その側面に逆テーパー31を有する。
次に、図2(E)に示すように、ビット線BLの材料を層間絶縁膜ILD5上に堆積する。ビット線BLは、例えば、TiおよびTiNをバリアメタルとして形成した後、Cu添加Alを堆積し、リソグラフィおよびRIEを用いてビット線BLの材料を加工する。これにより、成長層30と電気的に接続されたビット線BLが形成される。このとき、図2(E)に示すように、ビット線BLは、成長層30の上面だけではなく、逆テーパー31を有する側面にも接触している。逆テーパー31のある面を底面とすれば、ビット線BLは、成長層30の上面だけではなく、その底面の一部にも接触していると換言できる。これにより、ビット線BLと成長層30との接触面積は広く、ビット線BLと成長層30との間の接触抵抗は、充分に低く、かつ、接触不良は防止される。
このように、本実施形態によれば、上部電極UEの上面上に成長層30が設けられている。成長層30は、上部電極UEの上面から縦方向および横方向に3次元的に成長する。これにより、上部電極UEと成長層30との接触面積が大きくなるので、上部電極UEとビット線BLとの接触不良を抑制することができる。また、上部電極UEの上面の露出面積は、従来よりも小さくてもよい。その分、層間絶縁膜ILD5は、従来よりも厚く形成することができる。従って、層間絶縁膜ILD5は、上部電極UEと下部電極LEとの間の絶縁性を向上させることができる。その結果、本実施形態によるMRAMは、上部電極UEと下部電極LEとの間の短絡、あるいは、上部電極UEとビット線BLとの接触不良を抑制しながら、MTJ素子をさらに微細化することができる。
尚、MTJ素子の上部電極UEを層間絶縁膜ILD5のエッチバックによって露出させた直後、成長層30がまだ形成されていない段階では、上部電極UEの上面の露出部分(開口部)のサイズは小さい。このため、プロセスのばらつきによって、一部のMTJ素子の上部電極UEが露出していない場合がある。この場合、上部電極UEの露出部分は非常に小さいため、通常、上部電極UEが露出しているか否を発見することは困難である。
しかし、本実施形態では、上部電極UEの上面が露出していれば、成長層30が形成され、上部電極UEの上面が露出していなければ、成長層30が形成されない。図3に示したように、半導体基板10の表面の上方からみたときに、成長層30の面積は、上部電極UEの面積よりも大きいので、上部電極UEの上面が露出しているか否かは、成長層30の有無を目視または欠陥検査装置(例えば、光学検査装置)を用いて検査することによって容易に発見することができる。
もし、上部電極UEの上面上に成長層30が成長していない場合、層間絶縁膜ILD5を追加的にエッチングバックすることによって、上部電極UEの上面を露出させる。その後、上部電極UEの上面上に成長層30の材料を再度選択成長させる。このように、上部電極UEの露出検査、層間絶縁膜ILD5のエッチングバックおよび成長層30の形成を追加することによって、ビット線BLと上部電極UEとの接続不良を補修することができる。これにより、不良ビットとなり得るメモリセルMCを補修して、良品のメモリセルにすることができる。その結果、メモリセルアレイの歩留まりを向上させるという効果を得ることができる。
(第2の実施形態)
図4(A)〜図4(E)は、第2の実施形態によるMRAMの製造方法を示す断面図である。図4(A)から図4(E)は、主にMTJ素子の形成を示し、選択トランジスタST、コンタクトCD1〜CD4、CS、配線(M1〜M3)の形成については、図示を省略している。
図4(A)〜図4(E)は、第2の実施形態によるMRAMの製造方法を示す断面図である。図4(A)から図4(E)は、主にMTJ素子の形成を示し、選択トランジスタST、コンタクトCD1〜CD4、CS、配線(M1〜M3)の形成については、図示を省略している。
第2の実施形態では、MTJ素子の側面を保護膜40で被覆した後に、成長層30を形成している。層間絶縁膜ILD5は、成長層30の形成後に堆積されている。第2の実施形態のその他の製造工程は、第1の実施形態の対応する製造工程と同様でよい。また、第2の実施形態によるMRAMは、保護膜40がMTJ素子の側面に設けられている点で第1の実施形態によるMRAMと異なる。第2の実施形態のその他の構成は、第1の実施形態の対応する構成と同様でよい。
図4(A)〜図4(E)を参照して第2の実施形態の製造方法を説明する。まず、第1の実施形態と同様に、選択トランジスタST、多層配線構造(M1〜M3、CD1〜CD4、CS、ILD1〜ILD4)およびMTJ素子を半導体基板10上に形成する。これにより、図4(A)に示す構造が得られる。
上部電極UEおよびMTJ素子を形成した後、MTJ素子および下部電極LEの材料上に保護膜40の材料を堆積する。保護膜40の材料は、例えば、シリコン窒化膜等の絶縁膜である。続いて、RIE等の異方性エッチング技術を用いて、保護膜40の材料をエッチングバックし、MTJ素子の側面に保護膜40を形成する。このとき、上部電極UEの上面の少なくとも一部が露出される。次に、リソグラフィおよびRIEを用いて、下部電極LEの材料を加工し、下部電極LEを形成する。これにより、図4(B)に示す構造が得られる。
次に、図4(C)に示すように、メタルCVD技術を用いて、約数100Åの厚みを有する成長層30(例えば、タングステン)を上部電極UE(例えば、タンタル)上に成長させる。このとき、成長層30は、上部電極UEの上面のうち露出された部分をシードとしてエピタキシャル成長により形成される。つまり、成長層30を露出された上部電極UEの上面上に選択的に成長させる。
このとき、下部電極LEに成長層30が成長しないように、上部電極UEの材料が金属材料であるのに対して、下部電極LEの材料は、酸化物または窒化物にすることが好ましい。例えば、下部電極LEの材料は、TiN、TaNでよい。これにより、成長層30のインキュベーション時間が上部電極UEに対して下部電極LEにおいて遅延させることができる。成長層30は、下部電極LEに遅延して成長するので、下部電極LEにおいて成長層30がエピタキシャル成長する前に、エピタキシャル工程を停止させることによって、上部電極UEに選択的に成長層30をエピタキシャル成長させることができる。
半導体基板10の表面上方から見ると、図3に示すように、成長層30の外縁は、上部電極UEの外縁の外側にあることが好ましい。即ち、半導体基板10の表面上方から見たときに、成長層30の面積は、上部電極UEの面積よりも広く、かつ、成長層30は、上部電極UEを包含している。このように、成長層30が上部電極UEを包含するためには、成長層30は、上部電極UEの上面から半導体基板10の表面に対して水平方向に広がるように成長している。よって、成長層30は、図4(C)に示すように、その側面に逆テーパー31を有する。
次に、図4(D)に示すように、MTJ素子、保護膜40、下部電極LE、成長層30上に層間絶縁膜ILD5を堆積する。続いて、CMPおよび/またはRIEまたはこれらの複合プロセスを用いて層間絶縁膜ILD5をエッチングバックする。これにより、成長層30を露出させる。このとき、上部電極UEの一部も露出させて構わない。
次に、図4(E)に示すように、成長層30上にビット線BLを形成する。ビット線BLの材料および形成方法は、第1の実施形態におけるビット線BLの材料および形成方法と同様でよい。
このように、第2の実施形態によれば、上部電極UEの上面上に成長層30が設けられている。成長層30は、上部電極UEの上面から縦方向および横方向に3次元的に成長する。これにより、上部電極UEと成長層30との接触面積が大きくなるので、上部電極UEとビット線BLとの接触不良を抑制することができる。また、成長層30が上部電極UEの上面から3次元的に成長するので、層間絶縁膜ILD5は、その分、従来よりも厚く形成することができる。従って、層間絶縁膜ILD5は、上部電極UEと下部電極LEとの間の絶縁性を向上させることができる。その結果、第2の実施形態によるMRAMも、第1の実施形態によるMRAMと同様の効果を得ることができる。
尚、MTJ素子の上部電極UEを保護膜40の材料のエッチバックによって露出させた直後、成長層30がまだ形成されていない段階では、上部電極UEの上面の露出部分(開口部)のサイズは小さい。このため、プロセスのばらつきによって、一部のMTJ素子の上部電極UEが露出していない場合がある。この場合上部電極UEの露出部分は非常に小さいため、通常、上部電極UEが露出しているか否を発見することは困難である。
しかし、第2の実施形態では、上部電極UEの上面が露出していれば、成長層30が形成され、上部電極UEの上面が露出していなければ、成長層30が形成されない。従って、上部電極UEの上面が露出しているか否かは、成長層30の有無を、目視または欠陥検査装置を用いて検査することによって容易に発見することができる。
もし、上部電極UEの上面上に成長層30が成長していない場合、層間絶縁膜ILD5のエッチングバックおよび成長層30の形成を追加すればよい。これにより、不良ビットとなり得るメモリセルMCを補修して、良品のメモリセルにすることができる。その結果、メモリセルアレイの歩留まりを向上させるという効果を得ることができる。
上記実施形態において、ビット線BLは、成長層30および層間絶縁膜ILD5上に堆積された後、リソグラフィおよびエッチング技術を用いて加工されている。しかし、ビット線BLは、ダマシン法を用いて形成してもよい。例えば、図示はしないが、成長層30および層間絶縁膜ILD5上に絶縁膜を堆積し、ビット線BLの形成領域にある絶縁膜を除去する。これにより、ビット線BLの形成領域の絶縁膜に溝が形成され、成長層30が露出される。この溝内および上記絶縁膜上にビット線BLの材料を堆積し、CMPを用いてこの材料を研磨する。これにより、上記溝に埋め込まれたビット線BLが形成される。このように、ダマシン法を用いても、ビット線BLを成長層30上に形成することができる。
上記実施形態において、成長層30は、カーボンナノチューブであってもよい。この場合、上部電極UEの材料は、例えば、NiCoやCo等の遷移金属であり、プラズマCVDを用いてカーボンナノチューブを上部電極UE上に成長させる。
(変形例)
成長層30は、CVDだけでなく、メッキ法によって選択的に形成することもできる。電解メッキ法を用いる場合、成長層30としてメッキする材料は、例えば、Pt、Cu、Au等の金属材料である。これに対して、上部電極UEの材料は、例えば、TaN、TiN等である。これにより、上部電極UEおよびメッキ材料に電界をかけながら、上部電極UEにメッキ材料を選択的に成長させることができる。
成長層30は、CVDだけでなく、メッキ法によって選択的に形成することもできる。電解メッキ法を用いる場合、成長層30としてメッキする材料は、例えば、Pt、Cu、Au等の金属材料である。これに対して、上部電極UEの材料は、例えば、TaN、TiN等である。これにより、上部電極UEおよびメッキ材料に電界をかけながら、上部電極UEにメッキ材料を選択的に成長させることができる。
無電解メッキ法を用いる場合、成長層30としてメッキする材料は、メッキ液を用いて析出可能な材料であり、例えば、Cu,Ni,Zn、Cr,Sn、Ag,Au等である。これに対して、メッキされる上部電極UEの材料は、例えば、Pt, Pd等の貴金属で表面活性な状態にしてメッキを行う。
上記実施形態は、MRAMだけでなく、その他の磁気記録型不揮発性メモリ全般に適用可能である。
MTJ…MTJ素子、MC…メモリセル、ST…選択トランジスタ、UE…上部電極、LE…下部電極、30…成長層、CD1〜CD4、CS…コンタクトプラグ、M1〜M3…金属配線層、層間絶縁膜…ILD1〜ILD5、BL…ビット線、WL…ワード線、SL…ソース線
Claims (8)
- 半導体基板の表面上に形成された選択素子と、
前記選択素子に接続された下部電極と、
前記下部電極上に設けられた磁気トンネル接合素子と、
前記磁気トンネル接合素子上に設けられた上部電極と、
前記上部電極上に設けられ、導電性材料からなり、前記半導体基板の表面上方から見たときに前記上部電極よりも面積の大きい成長層と、
前記成長層上に設けられた配線とを備えた半導体記憶装置。 - 前記半導体基板の表面上方から見たときに、前記成長層の外縁は、前記上部電極の外縁の外側にあることを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記成長層は、逆テーパー形状を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体記憶装置。
- 前記磁気トンネル接合素子の側面を被覆する保護膜をさらに備えていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の半導体記憶装置。
- 前記成長層は、前記上部電極の材料にはエピタキシャル成長し、前記下部電極の材料にはエピタキシャル成長しない材料からなることを特徴とする請求項4に記載の半導体記憶装置。
- 半導体基板上に選択素子を形成し、
前記選択素子の上方に前記選択素子と電気的に接続されたコンタクトプラグを形成し、
前記コンタクトプラグ上に下部電極の材料を堆積し、
前記下部電極の材料上に磁気トンネル接合素子の材料を堆積し、
前記磁気トンネル接合素子の材料上に上部電極の材料を堆積し、
前記上部電極の材料、前記磁気トンネル接合素子の材料および前記下部電極の材料を加工して、上部電極、磁気トンネル接合素子および下部電極を形成し、
前記上部電極、前記磁気トンネル接合素子および前記下部電極を被覆するように層間絶縁膜を堆積し、
前記上部電極の上面が露出するまで前記層間絶縁膜をエッチングバックし、
露出した前記上部電極の上面上に導電性材料を選択成長させて成長層を形成し、
前記成長層と電気的に接続する配線を形成することを具備した半導体記憶装置の製造方法。 - 前記上部電極の材料および前記磁気トンネル接合素子の材料を加工して、上部電極および磁気トンネル接合素子を形成した後、前記下部電極の材料を加工して、下部電極を形成する前に、
前記磁気トンネル接合素子の側面を被覆する保護膜を形成することをさらに具備したことを特徴とする請求項6に記載の半導体記憶装置の製造方法。 - 前記上部電極の上面上に前記成長層が成長していない場合、
前記層間絶縁膜を追加的にエッチングバックし、
露出した前記上部電極の上面上に導電性材料を再度選択成長させることをさらに具備したことを特徴とする請求項6または請求項7に記載の半導体記憶装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010212373A JP2012069671A (ja) | 2010-09-22 | 2010-09-22 | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
US13/230,746 US8786038B2 (en) | 2010-09-22 | 2011-09-12 | Semiconductor storage device and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010212373A JP2012069671A (ja) | 2010-09-22 | 2010-09-22 | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012069671A true JP2012069671A (ja) | 2012-04-05 |
Family
ID=45816988
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010212373A Withdrawn JP2012069671A (ja) | 2010-09-22 | 2010-09-22 | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8786038B2 (ja) |
JP (1) | JP2012069671A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8902634B2 (en) | 2012-09-12 | 2014-12-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Resistance change type memory and manufacturing method thereof |
US10026888B2 (en) | 2014-08-06 | 2018-07-17 | Toshiba Memory Corporation | Magnetoresistive effect element and magnetic memory |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015050339A (ja) * | 2013-09-02 | 2015-03-16 | ソニー株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6542342B1 (en) * | 1998-11-30 | 2003-04-01 | Nec Corporation | Magnetoresistive effect transducer having longitudinal bias layer directly connected to free layer |
JP3524486B2 (ja) | 2000-10-13 | 2004-05-10 | キヤノン株式会社 | 磁気抵抗素子及び該素子を用いたメモリ素子 |
US6650513B2 (en) * | 2001-01-29 | 2003-11-18 | International Business Machines Corporation | Magnetic devices with a ferromagnetic layer having perpendicular magnetic anisotropy and an antiferromagnetic layer for perpendicularly exchange biasing the ferromagnetic layer |
JP3667244B2 (ja) | 2001-03-19 | 2005-07-06 | キヤノン株式会社 | 磁気抵抗素子、それを用いたメモリ素子、磁気ランダムアクセスメモリ及び磁気ランダムアクセスメモリの記録再生方法 |
JP3869682B2 (ja) * | 2001-06-12 | 2007-01-17 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置 |
US6518588B1 (en) * | 2001-10-17 | 2003-02-11 | International Business Machines Corporation | Magnetic random access memory with thermally stable magnetic tunnel junction cells |
US6888742B1 (en) | 2002-08-28 | 2005-05-03 | Grandis, Inc. | Off-axis pinned layer magnetic element utilizing spin transfer and an MRAM device using the magnetic element |
US7394626B2 (en) * | 2002-11-01 | 2008-07-01 | Nec Corporation | Magnetoresistance device with a diffusion barrier between a conductor and a magnetoresistance element and method of fabricating the same |
JP2004200245A (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Nec Corp | 磁気抵抗素子及び磁気抵抗素子の製造方法 |
KR100500450B1 (ko) * | 2003-05-13 | 2005-07-12 | 삼성전자주식회사 | 분할된 서브 디지트 라인들을 갖는 자기 램 셀들 |
US6806096B1 (en) * | 2003-06-18 | 2004-10-19 | Infineon Technologies Ag | Integration scheme for avoiding plasma damage in MRAM technology |
JP2005056976A (ja) | 2003-08-01 | 2005-03-03 | Sony Corp | 磁気メモリ装置及びその製造方法 |
JP2005150457A (ja) * | 2003-11-17 | 2005-06-09 | Toshiba Corp | 磁気記憶装置 |
US7068531B2 (en) | 2004-01-10 | 2006-06-27 | Honeywell International Inc. | Bias-adjusted magnetoresistive devices for magnetic random access memory (MRAM) applications |
JP4074281B2 (ja) * | 2004-09-14 | 2008-04-09 | 株式会社東芝 | 磁気ランダムアクセスメモリ |
JP2006190838A (ja) | 2005-01-06 | 2006-07-20 | Sony Corp | 記憶素子及びメモリ |
JP2006286038A (ja) | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Toshiba Corp | 磁気ランダムアクセスメモリ及び磁気ランダムアクセスメモリの書き込み方法 |
KR100707310B1 (ko) * | 2006-02-07 | 2007-04-12 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
US7280389B2 (en) | 2006-02-08 | 2007-10-09 | Magic Technologies, Inc. | Synthetic anti-ferromagnetic structure with non-magnetic spacer for MRAM applications |
JP2007305629A (ja) | 2006-05-08 | 2007-11-22 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | スピン注入型磁化反転素子 |
JP5243746B2 (ja) * | 2007-08-07 | 2013-07-24 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 磁気記憶装置の製造方法および磁気記憶装置 |
JP2009081315A (ja) | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Toshiba Corp | 磁気抵抗素子及び磁気メモリ |
JP4538614B2 (ja) | 2007-10-12 | 2010-09-08 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子の設計方法及び磁気ランダムアクセスメモリの設計方法 |
JP2010034153A (ja) | 2008-07-25 | 2010-02-12 | Toshiba Corp | 磁気ランダムアクセスメモリおよびその書き込み方法 |
JP4772845B2 (ja) | 2008-09-29 | 2011-09-14 | 株式会社東芝 | 磁気ランダムアクセスメモリ及びその製造方法 |
US7881096B2 (en) | 2008-10-08 | 2011-02-01 | Seagate Technology Llc | Asymmetric write current compensation |
JP5010650B2 (ja) * | 2009-08-11 | 2012-08-29 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗メモリ |
JP2011134977A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP5521544B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-06-18 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
-
2010
- 2010-09-22 JP JP2010212373A patent/JP2012069671A/ja not_active Withdrawn
-
2011
- 2011-09-12 US US13/230,746 patent/US8786038B2/en active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8902634B2 (en) | 2012-09-12 | 2014-12-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Resistance change type memory and manufacturing method thereof |
US10026888B2 (en) | 2014-08-06 | 2018-07-17 | Toshiba Memory Corporation | Magnetoresistive effect element and magnetic memory |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20120068283A1 (en) | 2012-03-22 |
US8786038B2 (en) | 2014-07-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3906139B2 (ja) | 磁気ランダムアクセスメモリ | |
US9224944B2 (en) | Magnetic memory and method of manufacturing the same | |
US10522746B1 (en) | Dual magnetic tunnel junction devices for magnetic random access memory (MRAM) | |
KR100900109B1 (ko) | 자기저항 효과 소자 및 자기저항 랜덤 액세스 메모리 | |
JP5451977B2 (ja) | 磁気トンネル接合素子およびその形成方法、磁気ランダムアクセスメモリ | |
TWI222230B (en) | Magnetic memory | |
US7902616B2 (en) | Integrated circuit having a magnetic tunnel junction device and method | |
US8592928B2 (en) | Magnetic random access memory and method of manufacturing the same | |
KR20180089847A (ko) | 스핀 궤도 토크를 이용하여 강화된 감쇠 프로그램 및 경사진 자화 용이축을 갖는 자기 접합부를 포함하는 자기 소자 | |
US20080185670A1 (en) | Magnetic random access memory and method of manufacturing the same | |
US20200136025A1 (en) | Low Resistance MgO Capping Layer for Perpendicularly Magnetized Magnetic Tunnel Junctions | |
JP2010103303A (ja) | 磁気抵抗素子及びその製造方法 | |
US9899594B2 (en) | Magnetic memory devices | |
US11296276B2 (en) | Memory device based on multi-bit perpendicular magnetic tunnel junction | |
US8836000B1 (en) | Bottom-type perpendicular magnetic tunnel junction (pMTJ) element with thermally stable amorphous blocking layers | |
US20130075837A1 (en) | Technique for smoothing an interface between layers of a semiconductor device | |
JP2005515625A (ja) | 低減された粗さを有する抵抗性メモリ素子 | |
US20060131629A1 (en) | Magnetic random access memory having magnetoresistive element with nonmagnetic metal layer | |
US20130001715A1 (en) | Magnetoresistive element and manufacturing method of the same | |
CN114665008A (zh) | 存储器装置 | |
CN107735874B (zh) | 存储器件 | |
KR102589614B1 (ko) | Ru 및 다이아몬드 형 탄소 하드 마스크를 사용하는 자기 메모리 소자 제조 방법 | |
US8786038B2 (en) | Semiconductor storage device and method of manufacturing the same | |
US8878320B2 (en) | Semiconductor memory device | |
KR101956975B1 (ko) | 메모리 소자 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20131203 |