JP2012054378A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】トレンチゲート型パワーMOSFETのゲート電極の微細化に伴って、トレンチ底部の曲率が大きくなり、その部分に電界が集中し、ゲート酸化膜(絶縁膜)の劣化が起きる。このゲート絶縁膜の劣化は、Nチャネル型パワーMOSFETの場合、ゲート側バイアスが負である場合に起こりやすく、Pチャネル型パワーMOSFETの場合、ゲート側バイアスが正である場合に起こりやすい。
【解決手段】本願発明は、絶縁ゲート型パワー系トランジスタ等をチップ内に具備する半導体装置であって、ゲート保護素子は双方向ツェナーダイオードを具備し、前記双方向ツェナーダイオードは、そのゲート側がマイナスバイアスされたときの耐圧と、そのゲート側がプラスバイアスされたときの耐圧とは相互に異なるように、複数の濃度の異なるP型不純物領域(またはP型不純物領域)を有する。
【選択図】図2
【解決手段】本願発明は、絶縁ゲート型パワー系トランジスタ等をチップ内に具備する半導体装置であって、ゲート保護素子は双方向ツェナーダイオードを具備し、前記双方向ツェナーダイオードは、そのゲート側がマイナスバイアスされたときの耐圧と、そのゲート側がプラスバイアスされたときの耐圧とは相互に異なるように、複数の濃度の異なるP型不純物領域(またはP型不純物領域)を有する。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体装置(または半導体集積回路装置)におけるサージ電圧保護技術に適用して有効な技術に関する。
日本特開平10−65157号公報(特許文献1)には、Pチャネル型パワーMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)において、フィールド酸化膜上にN+PN+型ツェナー保護素子を設ける技術が開示されている。
日本特開2006−324570号公報(特許文献2)または、これに対応する米国特許公開2009−230467号公報(特許文献3)には、埋め込みフィールドプレートを有するパワーMISFET(Metal Insulator Semiconductor Field Effect Transistor)において、ゲート絶縁膜の静電破壊を防止するための保護ダイオードと埋め込みフィールドプレートを同層のポリシリコン層で形成する技術が開示されている。
本願発明者が、トレンチゲート型パワーMOSFETの微細化について検討したところによると、トレンチゲート型パワーMOSFETのゲート電極の微細化に伴って、トレンチ底部の曲率が大きくなり、その結果、その部分に電界が集中し、FN(Fowler−Nordheim)トンネル電流等により、ゲート酸化膜(絶縁膜)の劣化が起きることが、明らかとなった。このゲート絶縁膜の劣化は、Nチャネル型パワーMOSFETの場合、多数キャリアが電子であるため、ゲート側バイアスが負である場合に起こりやすい。
一方、Pチャネル型パワーMOSFETの場合、多数キャリアがホールであるため、ゲート側バイアスが正である場合に起こりやすい。
本願発明は、これらの課題を解決するためになされたものである。
本発明の目的は、信頼性の高い半導体装置の製造プロセスを提供することにある。
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記の通りである。
すなわち、本願の一つの発明は、絶縁ゲート型パワー系トランジスタおよび、そのゲート保護素子をチップ内に具備する半導体装置であって、前記ゲート保護素子は複数段のPN接合を有する双方向ツェナーダイオードを具備し、前記双方向ツェナーダイオードは、そのゲート側がマイナスバイアスされたときの耐圧と、そのゲート側がプラスバイアスされたときの耐圧とは相互に異なり、前記双方向ツェナーダイオードは、(1)ソース側第1導電型領域、(2)前記ソース側第1導電型領域と、ほぼ同一不純物濃度を有し、回路的にゲートにより近い部分に形成されたゲート側第1導電型領域、(3)前記ソース側第1導電型領域および前記ゲート側第1導電型領域の間に直列接続され、前記ソース側第1導電型領域との間でソース側PN接合を形成し、前記ゲート側第1導電型領域との間でゲート側PN接合を形成する第2導電型領域とを有し、前記第2導電型領域の両端部は相互に濃度が異なるものである。
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記のとおりである。
すなわち、絶縁ゲート型パワー系トランジスタおよび、そのゲート保護素子をチップ内に具備する半導体装置であって、前記ゲート保護素子は複数段のPN接合を有する双方向ツェナーダイオードを具備し、前記双方向ツェナーダイオードは、そのゲート側がマイナスバイアスされたときの耐圧と、そのゲート側がプラスバイアスされたときの耐圧とは相互に異なり、前記双方向ツェナーダイオードは、(1)ソース側第1導電型領域、(2)前記ソース側第1導電型領域と、ほぼ同一不純物濃度を有し、回路的にゲートにより近い部分に形成されたゲート側第1導電型領域、(3)前記ソース側第1導電型領域および前記ゲート側第1導電型領域の間に直列接続され、前記ソース側第1導電型領域との間でソース側PN接合を形成し、前記ゲート側第1導電型領域との間でゲート側PN接合を形成する第2導電型領域とを有し、前記第2導電型領域の両端部は相互に濃度が異なるようにしたので、ゲート絶縁膜のESD(Electro−Static Discharge)による劣化を有効に防止することができる。
〔実施の形態の概要〕
先ず、本願において開示される発明の代表的な実施の形態について概要を説明する。
先ず、本願において開示される発明の代表的な実施の形態について概要を説明する。
1.以下を含む半導体装置:
(a)半導体チップ;
(b)前記半導体チップに形成された絶縁ゲート型パワー系トランジスタ;
(c)前記半導体チップに形成され、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタのゲート端子およびソース端子間に接続されたゲート保護素子、
ここで、前記ゲート保護素子は複数段のPN接合を有する双方向ツェナーダイオードを具備し、前記双方向ツェナーダイオードは、そのゲート端子側がマイナスバイアスされたときの耐圧と、そのゲート端子側がプラスバイアスされたときの耐圧とは相互に異なり、前記双方向ツェナーダイオードは以下を含む:
(x1)ソース側第1導電型領域;
(x2)前記ソース側第1導電型領域と、ほぼ同一不純物濃度を有し、回路的に前記ゲート端子により近い部分に形成されたゲート側第1導電型領域;
(x3)前記ソース側第1導電型領域および前記ゲート側第1導電型領域の間に直列接続され、前記ソース側第1導電型領域との間でソース側PN接合を形成し、前記ゲート側第1導電型領域との間でゲート側PN接合を形成する第2導電型領域、
ここで、前記第2導電型領域の両端部は相互に濃度が異なる。
(a)半導体チップ;
(b)前記半導体チップに形成された絶縁ゲート型パワー系トランジスタ;
(c)前記半導体チップに形成され、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタのゲート端子およびソース端子間に接続されたゲート保護素子、
ここで、前記ゲート保護素子は複数段のPN接合を有する双方向ツェナーダイオードを具備し、前記双方向ツェナーダイオードは、そのゲート端子側がマイナスバイアスされたときの耐圧と、そのゲート端子側がプラスバイアスされたときの耐圧とは相互に異なり、前記双方向ツェナーダイオードは以下を含む:
(x1)ソース側第1導電型領域;
(x2)前記ソース側第1導電型領域と、ほぼ同一不純物濃度を有し、回路的に前記ゲート端子により近い部分に形成されたゲート側第1導電型領域;
(x3)前記ソース側第1導電型領域および前記ゲート側第1導電型領域の間に直列接続され、前記ソース側第1導電型領域との間でソース側PN接合を形成し、前記ゲート側第1導電型領域との間でゲート側PN接合を形成する第2導電型領域、
ここで、前記第2導電型領域の両端部は相互に濃度が異なる。
2.前記1項の半導体装置において、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタがNチャネル型であるときは、前記双方向ツェナーダイオードは、そのゲート端子側がプラスバイアスされたときの耐圧と比較して、そのゲート端子側がマイナスバイアスされたときの耐圧は低くされており、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタがPチャネル型であるときは、そのゲート端子側がマイナスバイアスされたときの耐圧と比較して、そのゲート端子側がプラスバイアスされたときの耐圧は低くされている。
3.前記1または2項の半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードは、一体のポリシリコン膜によって構成されている。
4.前記3項の半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードを構成する前記ポリシリコン膜と、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタのポリシリコン真性ゲート電極を構成するポリシリコン膜とは、層が異なる。
5.前記1から4項のいずれか一つの半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードの両端部は、N型領域である。
6.前記1から5項のいずれか一つの半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードは、1次元型である。
7.前記1から5項のいずれか一つの半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードは、2次元型であり、前記双方向ツェナーダイオードを構成する各領域は丸みを帯びた平面形状を呈する。
8.前記1から7項のいずれか一つの半導体装置において、前記第2導電型領域は、濃度の異なる二つの領域から構成されている。
9.前記1から8項のいずれか一つの半導体装置において、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタは、絶縁ゲート型パワー系MOSFETである。
10.前記1から8項のいずれか一つの半導体装置において、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタは、IGBTである。
11.以下を含む半導体装置:
(a)半導体チップ;
(b)前記半導体チップに形成された絶縁ゲート型パワー系トランジスタ;
(c)前記半導体チップに形成され、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタのゲートおよびソース間に接続されたゲート保護素子、
ここで、前記ゲート保護素子は、そのゲート側がマイナスバイアスされたときの耐圧と、そのゲート側がプラスバイアスされたときの耐圧とは相互に異なり、前記ゲート保護素子は以下を含む:
(x1)複数段のPN接合を有する双方向ツェナーダイオード;
(x2)前記双方向ツェナーダイオードとともに、オーミック配線により、前記ゲートおよびソース間に直列接続された他のツェナーダイオード。
(a)半導体チップ;
(b)前記半導体チップに形成された絶縁ゲート型パワー系トランジスタ;
(c)前記半導体チップに形成され、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタのゲートおよびソース間に接続されたゲート保護素子、
ここで、前記ゲート保護素子は、そのゲート側がマイナスバイアスされたときの耐圧と、そのゲート側がプラスバイアスされたときの耐圧とは相互に異なり、前記ゲート保護素子は以下を含む:
(x1)複数段のPN接合を有する双方向ツェナーダイオード;
(x2)前記双方向ツェナーダイオードとともに、オーミック配線により、前記ゲートおよびソース間に直列接続された他のツェナーダイオード。
12.前記11項の半導体装置において、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタがNチャネル型であるときは、前記ゲート保護素子は、そのゲート端子側がプラスバイアスされたときの耐圧と比較して、そのゲート端子側がマイナスバイアスされたときの耐圧は低くされており、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタがPチャネル型であるときは、そのゲート端子側がマイナスバイアスされたときの耐圧と比較して、そのゲート端子側がプラスバイアスされたときの耐圧は低くされている。
13.前記11または12項の半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードと前記他のツェナーダイオードの前記オーミック配線により相互に接続された領域は、相互に分離している。
14.前記11または12項の半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードと前記他のツェナーダイオードの前記オーミック配線により相互に接続された領域は、相互に連結して、PN接合を形成している。
15.前記11から14項のいずれか一つの半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードと前記他のツェナーダイオードは、単一層のポリシリコン膜によって構成されている。
16.前記11から15項のいずれか一つの半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードと前記他のツェナーダイオードを構成する前記ポリシリコン膜と、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタのポリシリコン真性ゲート電極を構成するポリシリコン膜とは、層が異なる。
17.前記11から16項のいずれか一つの半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードは、1次元型である。
18.前記11から16項のいずれか一つの半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードは、2次元型であり、前記双方向ツェナーダイオードを構成する各領域は丸みを帯びた平面形状を呈する。
19.前記11から18項のいずれか一つの半導体装置において、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタは、絶縁ゲート型パワー系MOSFETである。
20.前記11から18項のいずれか一つの半導体装置において、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタは、IGBTである。
21.前記14から20項のいずれか一つの半導体装置において、前記ゲート保護素子の両端部は、N型領域である。
〔本願における記載形式、基本的用語、用法の説明〕
1.本願において、実施の態様の記載は、必要に応じて、便宜上複数のセクションに分けて記載する場合もあるが、特にそうでない旨明示した場合を除き、これらは相互に独立別個のものではなく、単一の例の各部分、一方が他方の一部詳細または一部または全部の変形例等である。また、原則として、同様の部分は繰り返しを省略する。また、実施の態様における各構成要素は、特にそうでない旨明示した場合、理論的にその数に限定される場合および文脈から明らかにそうでない場合を除き、必須のものではない。
1.本願において、実施の態様の記載は、必要に応じて、便宜上複数のセクションに分けて記載する場合もあるが、特にそうでない旨明示した場合を除き、これらは相互に独立別個のものではなく、単一の例の各部分、一方が他方の一部詳細または一部または全部の変形例等である。また、原則として、同様の部分は繰り返しを省略する。また、実施の態様における各構成要素は、特にそうでない旨明示した場合、理論的にその数に限定される場合および文脈から明らかにそうでない場合を除き、必須のものではない。
更に、本願において、「トランジスタ」、「半導体装置」または「半導体集積回路装置」というときは、主に、各種トランジスタ(能動素子)単体、および、それらを中心に、抵抗、コンデンサ等を半導体チップ等(たとえば単結晶シリコン基板)上に集積したものをいう。ここで、各種トランジスタの代表的なものとしては、MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)に代表されるMISFET(Metal Insulator Semiconductor Field Effect Transistor)を例示することができる。なお、本願においては、「MOSFET」というときは、ゲート絶縁膜が酸化膜であるもののみでなく、それ以外の絶縁膜をゲート絶縁膜として使用するものを含むものとする。
2.同様に実施の態様等の記載において、材料、組成等について、「AからなるX」等といっても、特にそうでない旨明示した場合および文脈から明らかに、そうでない場合を除き、A以外の要素を主要な構成要素のひとつとするものを排除するものではない。たとえば、成分についていえば、「Aを主要な成分として含むX」等の意味である。たとえば、「シリコン部材」等といっても、純粋なシリコンに限定されるものではなく、SiGe合金やその他シリコンを主要な成分とする多元合金、その他の添加物等を含む部材も含むものであることはいうまでもない。同様に、「酸化シリコン膜」、「酸化シリコン系絶縁膜」等と言っても、比較的純粋な非ドープ酸化シリコン(Undoped Silicon Dioxide)だけでなく、FSG(Fluorosilicate Glass)、TEOSベース酸化シリコン(TEOS-based silicon oxide)、SiOC(Silicon Oxicarbide)またはカーボンドープ酸化シリコン(Carbon-doped Silicon oxide)またはOSG(Organosilicate glass)、PSG(Phosphorus Silicate Glass)、BPSG(Borophosphosilicate Glass)等の熱酸化膜、CVD酸化膜、SOG(Spin ON Glass)、ナノクラスタリングシリカ(Nano-Clustering Silica:NCS)等の塗布系酸化シリコン、これらと同様な部材に空孔を導入したシリカ系Low-k絶縁膜(ポーラス系絶縁膜)、およびこれらを主要な構成要素とする他のシリコン系絶縁膜との複合膜等を含むことは言うまでもない。
3.同様に、図形、位置、属性等に関して、好適な例示をするが、特にそうでない旨明示した場合および文脈から明らかにそうでない場合を除き、厳密にそれに限定されるものではないことは言うまでもない。
4.さらに、特定の数値、数量に言及したときも、特にそうでない旨明示した場合、理論的にその数に限定される場合および文脈から明らかにそうでない場合を除き、その特定の数値を超える数値であってもよいし、その特定の数値未満の数値でもよい。
5.「ウエハ」というときは、通常は半導体装置(半導体集積回路装置、電子装置も同じ)をその上に形成する単結晶シリコンウエハを指すが、エピタキシャルウエハ、SOI基板、LCDガラス基板等の絶縁基板と半導体層等の複合ウエハ等も含むことは言うまでもない。
6.本願において、「パワー系半導体」というときは、数ワット以上の電力を扱うことができる半導体デバイスを言う。パワー系半導体の内、パワー系MOSFET、パワー系IGBT(Insulated gate Bipolar Transistor)等は、「絶縁ゲート型パワー系トランジスタ」の範疇に属する。従って、通常のパワーMOSFETは、全てこれに含まれる。
パワーMOSFETの内、表面がソースで裏面がドレインとなる構造のものを縦型パワーMOSFET(Vertical Power MOSFET)という。
この縦型パワーMOSFETの内、「トレンチゲートパワーMOSFET」とは、通常、半導体基板のデバイス面(第1の主面)に形成されたトレンチ(比較的長くて細い溝)内にポリシリコン等のゲート電極があり、半導体基板の厚さ方向(縦方向)にチャネルが形成されるものを言う。この場合、通常、半導体基板のデバイス面側がソースとなり、裏面側(第2の主面側)がドレインとなる。なお、ゲート電極の主要部(電極引き出し部以外の部分)の一部は、トレンチ外にはみ出しても良い。
トレンチゲートパワーMOSFETの内、「トレンチ内ダブルゲート型パワーMOSFET」は、トレンチ内のゲート電極(真性ゲート電極)の下方に、リサーフゲート(Resurf Gate)すなわち(埋め込み)フィールドプレート電極を有するものを言う。製法上の問題から、トレンチ内に於いてはゲート電極(真性ゲート電極)とフィールドプレート電極(フィールドプレートゲート電極)を分離する場合(ダブルゲート分離型構造)が多いが、ゲート電極とフィールドプレート電極を一体にした構造(ダブルゲート一体型構造)もトレンチ内ダブルゲート型パワーMOSFETに属するものとする。なお、ダブルゲート分離型構造は、更に、フィールドプレートゲート電極の電位を真性ゲート電極と同じにした(トレンチ外で真性ゲート電極に接続)「ゲート接続型」と、フィールドプレートゲート電極の電位をソース電極と同じにした(トレンチ外でソース電極に接続)「ソース接続型」に分類される。
ここで「フィールドプレート電極」とは、ゲート電極のドレイン側端部近傍に集中する急峻な電位勾配を分散させる働きを有する電極で、通常、ソース電極またはゲート電極に電気的に接続されている。通常、このフィールドプレート電極とドリフト領域の界面は、ゲート絶縁膜(真性ゲート絶縁膜)よりも厚い絶縁膜で構成されている。
本願において、埋め込みフィールドプレート電極(リサーフゲート)を有さない、通常のパワー系トレンチMOSFETを「シングルゲート型トレンチMOSFET」という。
また、IGBTは、純構造的には、縦型パワーMOSFETのドレイン側にドレイン領域とは異なる導電型のコレクタ層を付加したものであるが、構成要素の縦型パワーMOSFETのソースは、実用的には「エミッタ」と呼ばれるが、本願においては、特に「エミッタ」と予備必要があるときを除き、元の縦型パワーMOSFETの呼称、すなわち、「ソース」を使用し、「ソース」、「ソース領域」、「ソース電極」等と呼ぶ。
〔実施の形態の詳細〕
実施の形態について更に詳述する。各図中において、同一または同様の部分は同一または類似の記号または参照番号で示し、説明は原則として繰り返さない。
実施の形態について更に詳述する。各図中において、同一または同様の部分は同一または類似の記号または参照番号で示し、説明は原則として繰り返さない。
また、添付図面においては、却って、煩雑になる場合または空隙との区別が明確である場合には、断面であってもハッチング等を省略する場合がある。これに関連して、説明等から明らかである場合等には、平面的に閉じた孔であっても、背景の輪郭線を省略する場合がある。更に、断面でなくとも、空隙でないことを明示するために、ハッチングを付すことがある。
1.本願の一実施の形態の半導体装置の一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)のデバイス構造およびゲート保護素子(1次元多濃度型)の説明(主に図1から図3)
このセクションでは、シングルゲート型トレンチMOSFETを例にとり具体的に、デバイス構造を説明するが、特に平面図においては、セル領域および、その周辺領域の関係を説明するために、トレンチの数を実際のもの(実際のトレンチ数は、数百から数千程度である)よりもずっと少なくしている。また、緩衝領域の説明のため、セル領域の面積と比較して、緩衝領域の面積を実際よりもずっと大きくして示している。
このセクションでは、シングルゲート型トレンチMOSFETを例にとり具体的に、デバイス構造を説明するが、特に平面図においては、セル領域および、その周辺領域の関係を説明するために、トレンチの数を実際のもの(実際のトレンチ数は、数百から数千程度である)よりもずっと少なくしている。また、緩衝領域の説明のため、セル領域の面積と比較して、緩衝領域の面積を実際よりもずっと大きくして示している。
なお、トレンチ内ダブルゲート型パワーMOSFET(セクション6参照)に関しても、その平面レイアウトは、基本的にシングルゲート型トレンチMOSFETと同じであるので、相違する部分は、断面図において説明する。
図1は本願の一実施の形態の半導体装置の一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの模式上面図である。図2は図1のA−B断面(実線部分)にほぼ対応するデバイス模式断面図である。図3は図1のゲート保護素子の拡大上面図である。これらに基づいて、本願の一実施の形態の半導体装置の一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)のデバイス構造およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を説明する。
まず、ゲート保護素子14が組み込まれたトレンチMOSFETのチップ平面レイアウト(チップ上面レイアウト)を図1(適宜、図2参照)に基づいて、説明する。図1に示すように、半導体チップ2(半導体基板1)の表面1aの最外周には、環状のメタルガードリング28(たとえば、アルミニウム系メタルガードリング等)があり、その内側には、環状のN型チャネルストップ領域17(N型ソース領域16と同時に導入された領域)がある。更に、これらの内側には、1または2以上のフィールドリミッティングリング5(Field Limiting Ring)またはフローティングフィールドリング(Floating Field Ring)が設けられており、このフィールドリミッティングリング5の内側のチップ中央部に、セル領域36が設けられている。フィールドリミッティングリング5とセル領域36の間は、若干複雑な環状のPウエル領域4で埋められており、セル領域36の周辺部は、内部領域とは異なる構造の緩衝領域37となっている。この緩衝領域37を挟んで、その外側がチップ周辺領域38である。
セル領域36および緩衝領域37には、網目状にトレンチ6が設けられており、その中には、ゲート絶縁膜7を介して比較的薄いスラブ(Slab)状のトレンチゲート電極、すなわち、ポリシリコンゲート電極9(たとえば、第1層ポリシリコン膜8)が埋め込まれている。ポリシリコンゲート電極9は第1層ポリシリコン引き出し部11により、トレンチ6の外部に引き出されており、周辺の第1層ポリシリコン配線12の部分でメタル&ポリシリコン間接続孔41を介して、メタルゲート配線39と接続されて、メタルゲート電極27(ゲートパッド)に至る。
セル領域36において、網目状のトレンチ6間のアクティブ領域40(セル領域のうちトレンチではない部分)には、P型ボディコンタクト領域23が設けられており、その周辺にはN型ソース領域16(IGBTの場合はエミッタ領域とも言う)が設けられている。P型ボディコンタクト領域23には、メタルソース電極26(ソースパッド)が接続されており、先のゲート保護素子14は、ゲート側コンタクト部20gを介してメタルゲート電極27(ゲート端子)と、ソース側コンタクト部20sを介して、メタルソース電極26(ソース端子)と接続されている。
次に、基本的断面構造を図2に基づいて説明する。図2に示すように、半導体基板すなわち基板層1sは、たとえば、比較的高濃度の単結晶N型シリコン基板であり、その裏面1bには、ドレインメタル電極29が設けられている。基板層1sの表面には、比較的低濃度のN型シリコンエピタキシ層1e(ドリフト領域10)が設けられており、N型シリコンエピタキシ層1eの表面領域の内、チップ周辺領域38においては、Pウエル領域4、5、およびP型周辺コンタクト領域24(たとえば、P型ボディコンタクト領域23と同時に形成)が設けられている。一方、N型シリコンエピタキシ層1eの表面領域の内、セル領域36の全面とその周辺に渡って、チャネル領域を構成するPボディ領域15(P型ボディ領域)が形成されている。チップ周辺領域38のN型シリコンエピタキシ層1eの表面上には、フィールド絶縁膜3が形成されており、その上には、層間絶縁膜19が形成されている。緩衝領域37におけるトレンチ内には、周辺ダミーポリシリコンゲート電極9pが設けられており、セル領域36周辺での耐圧の劣化を防止している。
次に、図3に基づいて(図1及び図2を参照)、図1及び図2に示すゲート保護素子14(保護用ダイオード、静電保護素子、サージ保護素子)の詳細構造の一例を説明する。図3に示すように、ゲート保護素子14は、たとえば、第2層ポリシリコン膜から形成された一体の双方向ツェナーダイオード42であり、ゲート側コンタクト部20g側から、それぞれ柱状のN型高濃度領域14n++、P型中濃度領域14p+、P型高濃度領域14p++が循環的に繰り返し連結されており、最後はN型高濃度領域14n++であり、そこでソース側コンタクト部20sとなっている。従って、図1及び図2において、メタルゲート電極27(ゲート端子)が、メタルソース電極26(ソース端子)と比較して、負バイアスされたときの双方向ツェナーダイオード42の耐圧は、逆方向電圧が印加されたときの耐圧よりも、相当程度低くなる。このように、ゲート保護素子14の耐圧特性が印加バイアス方向に関して非対称になっているので、ゲート絶縁膜のESDによる劣化を有効に防止することができる。
なお、双方向ツェナーダイオード42の両端がN型高濃度領域となっているので、アルミニウム系メタル電極26,27とのコンタクト抵抗を低減することができるメリットがある。このことは、両端がN型高濃度領域となっている以下の諸例において同じである。
2.本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFETのデバイス構造(シングルゲート構造)等におけるゲート保護素子の幾何学的変形例1(1次元短絡型)の説明(主に図4および図5)
このセクションでは、セクション1で説明したゲート保護素子14等の変形例を説明する。
このセクションでは、セクション1で説明したゲート保護素子14等の変形例を説明する。
図4は図1のA−B断面(実線部分)にほぼ対応し、本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFETのデバイス構造(シングルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元短絡型)を含むデバイスチップの模式断面図である。図5は図4のゲート保護素子の拡大上面図である。これらに基づいて、本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFETのデバイス構造(シングルゲート構造)等におけるゲート保護素子の幾何学的変形例1(1次元短絡型)を説明する。
図4及び図5に示すように、セクション1と同様に、ゲート保護素子14は、たとえば、第2層ポリシリコン膜から形成された一体の双方向ツェナーダイオード42であり、ゲート側コンタクト部20g側から、それぞれ柱状のN型高濃度領域14n++、P型中濃度領域14p+が循環的に繰り返し連結されており、最後はN型高濃度領域14n++であり、そこでソース側コンタクト部20sとなっている。このままでは、ゲート保護素子14の耐圧特性が印加バイアス方向に関して対称になってしまうので、たとえば、図4および図5に示すように、アルミニウム系配線等の一部を利用して、ソース側コンタクト及び短絡部30、短絡部35において、隣接するN型高濃度領域14n++およびP型中濃度領域14p+を短絡することで、非対称性を持たせている。このため、メタルゲート電極27(ゲート端子)が、メタルソース電極26(ソース端子)と比較して、負バイアスされたときの双方向ツェナーダイオード42の耐圧は、逆方向電圧が印加されたときの耐圧よりも、相当程度低くなる。このように、ゲート保護素子14の耐圧特性が印加バイアス方向に関して非対称になっているので、ゲート絶縁膜のESDによる劣化を有効に防止することができる。
尚、図4、図5では短絡部35に接続しているN型高濃度領域14n++とP型中濃度領域14p+の拡散層の部分は接合されているが、この接合部分は切り離してもよい。
3.本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFETのデバイス構造等におけるゲート保護素子の幾何学的変形例2(2次元型)の説明(主に図6から図8)
このセクションで説明するゲート保護素子14は、セクション1及び2で説明した1次元型の変形例である。このことは、以下の図7及び図8のC−D断面が段数を除いて(なお、段数は現実には1次元のものと同様であるが、図示の都合上、段数を少なめに表示している)、構造的に、図3及び図5にそれぞれ対応していることから理解できる。このように2次元化することによって、コーナ部に十分に大きいRを持たせることができ、ダイオード動作の安定化が期待できる。
このセクションで説明するゲート保護素子14は、セクション1及び2で説明した1次元型の変形例である。このことは、以下の図7及び図8のC−D断面が段数を除いて(なお、段数は現実には1次元のものと同様であるが、図示の都合上、段数を少なめに表示している)、構造的に、図3及び図5にそれぞれ対応していることから理解できる。このように2次元化することによって、コーナ部に十分に大きいRを持たせることができ、ダイオード動作の安定化が期待できる。
図6は図1のA−B断面(実線部分)にほぼ対応し、本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFETのデバイス構造(シングルゲート構造)およびゲート保護素子(2次元型)を含むデバイスチップの模式断面図である。図7は図6のゲート保護素子(2次元多濃度型)の拡大上面図である。図8は図6のゲート保護素子の変形例(2次元短絡型)の拡大上面図である。これらに基づいて、本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFETのデバイス構造等におけるゲート保護素子の幾何学的変形例2(2次元型)を説明する。
(1)図3のゲート保護素子の2次元化変形例(主に図6及び図7)
図6及び図7に示すように、ゲート保護素子14は、たとえば、第2層ポリシリコン膜から形成された一体の双方向ツェナーダイオード42であり、ゲート側コンタクト部20g側から、それぞれ柱状のN型高濃度領域14n++、P型中濃度領域14p+、P型高濃度領域14p++が同心円的に、循環的に繰り返し連結されており、中心部はN型高濃度領域14n++であり、そこでソース側コンタクト部20sとなっている。従って、図1及び図2において、メタルゲート電極27(ゲート端子)が、メタルソース電極26(ソース端子)と比較して、負バイアスされたときの双方向ツェナーダイオード42の耐圧は、逆方向電圧が印加されたときの耐圧よりも、相当程度低くなる。このように、ゲート保護素子14の耐圧特性が印加バイアス方向に関して非対称になっているので、ゲート絶縁膜のESDによる劣化を有効に防止することができる。
図6及び図7に示すように、ゲート保護素子14は、たとえば、第2層ポリシリコン膜から形成された一体の双方向ツェナーダイオード42であり、ゲート側コンタクト部20g側から、それぞれ柱状のN型高濃度領域14n++、P型中濃度領域14p+、P型高濃度領域14p++が同心円的に、循環的に繰り返し連結されており、中心部はN型高濃度領域14n++であり、そこでソース側コンタクト部20sとなっている。従って、図1及び図2において、メタルゲート電極27(ゲート端子)が、メタルソース電極26(ソース端子)と比較して、負バイアスされたときの双方向ツェナーダイオード42の耐圧は、逆方向電圧が印加されたときの耐圧よりも、相当程度低くなる。このように、ゲート保護素子14の耐圧特性が印加バイアス方向に関して非対称になっているので、ゲート絶縁膜のESDによる劣化を有効に防止することができる。
(2)図5のゲート保護素子の2次元化変形例(主に図8)
図8に示すように、ゲート保護素子14は、たとえば、第2層ポリシリコン膜から形成された一体の双方向ツェナーダイオード42であり、ゲート側コンタクト部20g側から、それぞれ柱状のN型高濃度領域14n++、P型中濃度領域14p+が循環的に繰り返し連結されており、中央部はN型高濃度領域14n++であり、そこでソース側コンタクト部20sとなっている。このままでは、ゲート保護素子14の耐圧特性が印加バイアス方向に関して対称になってしまうので、たとえば、図4および図5に示すように、アルミニウム系配線等の一部を利用して、ソース側コンタクト及び短絡部30、短絡部35において、隣接するN型高濃度領域14n++およびP型中濃度領域14p+を短絡することで、非対称性を持たせている。このため、メタルゲート電極27(ゲート端子)が、メタルソース電極26(ソース端子)と比較して、負バイアスされたときの双方向ツェナーダイオード42の耐圧は、逆方向電圧が印加されたときの耐圧よりも、相当程度低くなる。このように、ゲート保護素子14の耐圧特性が印加バイアス方向に関して非対称になっているので、ゲート絶縁膜のESDによる劣化を有効に防止することができる。
図8に示すように、ゲート保護素子14は、たとえば、第2層ポリシリコン膜から形成された一体の双方向ツェナーダイオード42であり、ゲート側コンタクト部20g側から、それぞれ柱状のN型高濃度領域14n++、P型中濃度領域14p+が循環的に繰り返し連結されており、中央部はN型高濃度領域14n++であり、そこでソース側コンタクト部20sとなっている。このままでは、ゲート保護素子14の耐圧特性が印加バイアス方向に関して対称になってしまうので、たとえば、図4および図5に示すように、アルミニウム系配線等の一部を利用して、ソース側コンタクト及び短絡部30、短絡部35において、隣接するN型高濃度領域14n++およびP型中濃度領域14p+を短絡することで、非対称性を持たせている。このため、メタルゲート電極27(ゲート端子)が、メタルソース電極26(ソース端子)と比較して、負バイアスされたときの双方向ツェナーダイオード42の耐圧は、逆方向電圧が印加されたときの耐圧よりも、相当程度低くなる。このように、ゲート保護素子14の耐圧特性が印加バイアス方向に関して非対称になっているので、ゲート絶縁膜のESDによる劣化を有効に防止することができる。
4.本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFETのデバイス構造等におけるゲート保護素子の非幾何学的変形例の説明(主に図36から図43)
このセクションでは、セクション1からセクション3で説明したゲート保護素子14を含む模式的な断面構造の各種の非幾何学的バリエーションを種々検討する。
このセクションでは、セクション1からセクション3で説明したゲート保護素子14を含む模式的な断面構造の各種の非幾何学的バリエーションを種々検討する。
図36は本願の前記一実施の形態の半導体装置の各種例であるパワーMOSFETのデバイス構造等(たとえば、図2、図34、及び図35)におけるゲート保護素子の非幾何学的変形例(Nチャネルトランジスタ用両端N領域&多濃度型)を説明するためのゲート保護用ツェナーダイオード等の模式断面図である。図37は本願の前記一実施の形態の半導体装置の各種例であるパワーMOSFETのデバイス構造等(たとえば、図2、図34、及び図35)におけるゲート保護素子の非幾何学的変形例(Nチャネルトランジスタ用両端P領域&多濃度型)を説明するためのゲート保護用ツェナーダイオード等の模式断面図である。図38は本願の前記一実施の形態の半導体装置の各種例であるパワーMOSFETのデバイス構造等(たとえば、図2、図34、及び図35)におけるゲート保護素子の非幾何学的変形例(Pチャネルトランジスタ用両端N領域&多濃度型)を説明するためのゲート保護用ツェナーダイオード等の模式断面図である。図39は本願の前記一実施の形態の半導体装置の各種例であるパワーMOSFETのデバイス構造等(たとえば、図2、図34、及び図35)におけるゲート保護素子の非幾何学的変形例(Pチャネルトランジスタ用両端P領域&多濃度型)を説明するためのゲート保護用ツェナーダイオード等の模式断面図である。図40は本願の前記一実施の形態の半導体装置の各種例であるパワーMOSFETのデバイス構造等(たとえば、図2、図34、及び図35)におけるゲート保護素子の非幾何学的変形例(Nチャネルトランジスタ用オーミック連結型)を説明するためのゲート保護用ツェナーダイオード等の模式断面図である。図41は本願の前記一実施の形態の半導体装置の各種例であるパワーMOSFETのデバイス構造等(たとえば、図2、図34、及び図35)におけるゲート保護素子の非幾何学的変形例(Pチャネルトランジスタ用オーミック連結型)を説明するためのゲート保護用ツェナーダイオード等の模式断面図である。図42は本願の前記一実施の形態の半導体装置の各種例であるパワーMOSFETのデバイス構造等(たとえば、図2、図34、及び図35)におけるゲート保護素子の非幾何学的変形例(Nチャネルトランジスタ用両端N領域&短絡型)を説明するためのゲート保護用ツェナーダイオード等の模式断面図である。図43は本願の前記一実施の形態の半導体装置の各種例であるパワーMOSFETのデバイス構造等(たとえば、図2、図34、及び図35)におけるゲート保護素子の非幾何学的変形例(Pチャネルトランジスタ用短絡型)を説明するためのゲート保護用ツェナーダイオード等の模式断面図である。これらに基づいて、本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFETのデバイス構造等におけるゲート保護素子の各種の非幾何学的変形例を説明する。
(1)Nチャネル用多濃度型一体ポリシリコン双方向ツェナーダイオードによるゲート保護素子(主に図36及び図37)
図36は、両端が図3のゲート保護素子14(双方向ツェナーダイオード42)を模式的に示した断面図である。
図36は、両端が図3のゲート保護素子14(双方向ツェナーダイオード42)を模式的に示した断面図である。
しかし、この構造は、適当な置換操作を施すことによって、ほぼ等価な構造を構成することができる。たとえば、その一つが、図37に示すものである。この図37のものと、図36を比較すると、両端がN型高濃度領域となっている点で、図37のものの方が、接触抵抗が小さいメリットがある。
(2)Pチャネル用多濃度型一体ポリシリコン双方向ツェナーダイオードによるゲート保護素子(主に図38及び図39)
Nチャネル型トランジスタに対するゲート保護素子では、メタルゲート電極27(ゲート端子)が、メタルソース電極26(ソース端子)と比較して、正バイアスされたときの双方向ツェナーダイオード42の耐圧が、逆方向電圧が印加されたときの耐圧よりも、相当程度低くなるようにする必要がある。従って、図38に示すように、ゲート保護素子14は、たとえば、第2層ポリシリコン膜から形成された一体の双方向ツェナーダイオード42であり、ソース側コンタクト部20s側から、それぞれ柱状のN型高濃度領域14n++、P型中濃度領域14p+、P型高濃度領域14p++が循環的に繰り返し連結されており、最後はN型高濃度領域14n++であり、そこでゲート側コンタクト部20gとなっている。
Nチャネル型トランジスタに対するゲート保護素子では、メタルゲート電極27(ゲート端子)が、メタルソース電極26(ソース端子)と比較して、正バイアスされたときの双方向ツェナーダイオード42の耐圧が、逆方向電圧が印加されたときの耐圧よりも、相当程度低くなるようにする必要がある。従って、図38に示すように、ゲート保護素子14は、たとえば、第2層ポリシリコン膜から形成された一体の双方向ツェナーダイオード42であり、ソース側コンタクト部20s側から、それぞれ柱状のN型高濃度領域14n++、P型中濃度領域14p+、P型高濃度領域14p++が循環的に繰り返し連結されており、最後はN型高濃度領域14n++であり、そこでゲート側コンタクト部20gとなっている。
しかし、この構造は、適当な置換操作を施すことによって、ほぼ等価な構造を構成することができる。たとえば、その一つが、図39に示すものである。この図39のものと、図38を比較すると、両端がN型高濃度領域となっている点で、図38のものの方が、接触抵抗が小さいメリットがある。
(3)N&Pチャネル用分離ツェナーダイオード相互オーミック連結型ゲート保護素子(主に図40及び図41)
ゲート保護素子14の構成法としては、このセクションの(1)、(2)に示したものばかりでなく、図40に示すように(Nチャネル用分離ツェナーダイオード相互オーミック連結型ゲート保護素子)、ゲート保護素子14を単一の双方向ツェナーダイオード42とするのではなく、電圧印加方向に関して特性が対称な一つの双方向ツェナーダイオード42と単数又は複数の他のツェナーダイオード43a,43b(単一のPN接合を有するツェナーダイオードは、常に、電圧印加方向に関して非対称である)を相互にオーミック相互連結部44でオーッミックに連結することにより直列接続することで構成することもできる。なお、他のツェナーダイオード43a,43bの代わりに、電圧印加方向に関して特性が対称な別の双方向ツェナーダイオードを用いることもできる。
ゲート保護素子14の構成法としては、このセクションの(1)、(2)に示したものばかりでなく、図40に示すように(Nチャネル用分離ツェナーダイオード相互オーミック連結型ゲート保護素子)、ゲート保護素子14を単一の双方向ツェナーダイオード42とするのではなく、電圧印加方向に関して特性が対称な一つの双方向ツェナーダイオード42と単数又は複数の他のツェナーダイオード43a,43b(単一のPN接合を有するツェナーダイオードは、常に、電圧印加方向に関して非対称である)を相互にオーミック相互連結部44でオーッミックに連結することにより直列接続することで構成することもできる。なお、他のツェナーダイオード43a,43bの代わりに、電圧印加方向に関して特性が対称な別の双方向ツェナーダイオードを用いることもできる。
なお、Pチャネル用分離ツェナーダイオード相互オーミック連結型ゲート保護素子14の構成としては、図41を例示することができる。
(4)N&Pチャネル用一体ポリシリコン双方向ツェナーダイオード部分短絡型ゲート保護素子(主に図42及び図43)
図42は、両端が図5のゲート保護素子14(双方向ツェナーダイオード42)を模式的に示した断面図である。
図42は、両端が図5のゲート保護素子14(双方向ツェナーダイオード42)を模式的に示した断面図である。
しかし、この構造は、適当な置換操作を施すことによって、ほぼ等価な構造を構成することができる。たとえば、その一つが、図43に示すものである。この図43のものと、図42を比較すると、両端がN型高濃度領域となっている点で、図42のものの方が、接触抵抗が小さいメリットがある。
(5)2次元型ゲート保護素子に関する考察(図6から図8を参照)
本セクションの(1)から(4)に示したものは、ほぼそのままの形で、図3又は図5のような1次元型のゲート保護素子とすることもできるほか、図6から図8のような2次元型とすることもできる。
本セクションの(1)から(4)に示したものは、ほぼそのままの形で、図3又は図5のような1次元型のゲート保護素子とすることもできるほか、図6から図8のような2次元型とすることもできる。
5.本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFETのデバイス構造(シングルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)に対応するウエハプロセスの説明(主に図9から図19)
このセクションでは、セクション1のデバイス構造を例にとって、具体的に説明するが、以下のプロセスは、ここまでに説明したその他のデバイス構造及びそれらの組み合わせに対しても、ほぼそのまま適用できることは言うまでもない。
このセクションでは、セクション1のデバイス構造を例にとって、具体的に説明するが、以下のプロセスは、ここまでに説明したその他のデバイス構造及びそれらの組み合わせに対しても、ほぼそのまま適用できることは言うまでもない。
図9は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの図2に対応する各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(エピタキシャルウエハ準備工程)である。図10は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの図2に対応する各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(ウエル導入およびLOCOSシリコン酸化膜形成工程)である。図11は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの図2に対応する各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(トレンチ形成工程)である。図12は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの図2に対応する各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(ゲート酸化膜形成およびドープトポリシリコン膜成膜工程)である。図13は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの図2に対応する各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(ゲート加工工程)である。図14は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの図2に対応する各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(非ドープポリシリコン膜成膜、加工、およびボロンイオン注入工程)である。図15は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの図2に対応する各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(ソース、チャネルストップ、およびESD保護ツェナーダイオード等への砒素イオン注入工程)である。図16は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの図2に対応する各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(ESD保護ツェナーダイオード等への付加的なボロンイオン注入工程)である。図17は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの図2に対応する各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(層間絶縁膜成膜およびコンタクトホール等開口工程)である。図18は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの図2に対応する各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(コンタクトホール等の延長およびボディコンタクト領域へのボロン等のイオン注入工程)である。図19は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの図2に対応する各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(表面メタル成膜、加工、バックグラインディング、および裏面メタル成膜工程)である。これらに基づいて、本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFETのデバイス構造(シングルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)に対応するウエハプロセスを説明する。
先ず、図9に示すように、比較的比抵抗の低い単結晶N型シリコン基板1s(たとえばCZ結晶)に、作製しようとするパワーMOSFETのソースドレイン耐圧(BVdss)に応じた厚みを有し、比較的比抵抗の高いN型エピタキシ層1eを成長させたエピタキシウエハ1を準備する。単結晶N型シリコン基板1sの比抵抗は、たとえば、1から10ミリΩcm程度であり、ウエハ1の口径は、たとえば、200φ程度である。なお、ウエハ1の口径は、この他、100φ、150φ、300φ、450φ等のいずれであっても良い。N型エピタキシ層1eの厚さ及び、その比抵抗は、ソースドレイン耐圧に依存するが、40ボルト程度のソースドレイン耐圧について例示すると、厚さは、たとえば4から6マイクロメートル程度であり、比抵抗は、たとえば0.4から0.8Ωcm程度である。通常、エピタキシ層の厚さ(マイクロメートル)は、耐圧値(ボルト)の1/10程度が目安とされている。
次に図10に示すように、たとえばレジスト膜をマスクとして、ウエハ1の表面1aに、たとえば、ボロンをイオン注入することにより、Pウエル領域4およびP型フィールドリミッティングリング5を形成する。このときのドーズ量としては、たとえば5x1012から1x1014cm−2程度、打ち込みエネルギとしては、たとえば10から100keV程度を例示することができる。続いて、たとえばLOCOS(Local Oxidation of Silicon)方式等により、フィールド絶縁膜3(たとえば、厚さ200nm程度)を形成する。
次に図11に示すように、たとえば、通常のリソグラフィによりパターニングしたトレンチ加工用マスク(たとえばハードマスク)等を用いて、異方性ドライエッチング等により、トレンチ6を形成する。ドライエッチング用のガス系としては、たとえば、Cl2,O2系、HBr系などを例示することができる。
次に図12に示すように、ウエハ1の表面1aのほぼ全面に、たとえば、熱酸化等により、ゲート酸化膜7(たとえば、厚さ50nm程度)を形成する。続いて、CVD(Chemical Vapor Deposition)等により、ウエハ1の表面1aのほぼ全面に、たとえば厚さ600nm程度の高濃度リンドープポリシリコン膜8(第1層ポリシリコン膜)を成膜する。
次に図13に示すように、たとえば、通常のリソグラフィによりパターニングしたゲート加工用マスク(たとえばレジスト膜)等を用いたドライエッチング(エッチングのガス系としては、たとえばSF6等を例示することができる)等により、高濃度リンドープポリシリコン膜8をパターニングするとともに、エッチバック処理を施すことにより、第1層ポリシリコン配線12、第1層ポリシリコン引き出し部11、ポリシリコンゲート電極9、周辺ダミーポリシリコンゲート電極9p等を形成する。
次に、ウエハ1の表面1aのほぼ全面に、たとえば、CVD等により、薄いシリコン酸化膜(たとえば厚さ10nm程度)を成膜した後(この膜は薄いので表示しない)、図14に示すように、ウエハ1の表面1aのほぼ全面に、たとえば、CVD等により、ノンドープポリシリコン膜18(第2層ポリシリコン膜)成膜した後、ゲート保護素子14となるべき部分に、たとえばパターニングされたレジスト膜をマスクとしたイオン注入により、P型不純物をドープする。このときのイオン注入条件としては、イオン種:たとえばBF2、ドーズ量:たとえば1x1013から1x1014cm−2程度、注入エネルギ:たとえば10から100keV程度を例示することができる。続いて、通常のリソグラフィにより、パターニングしたポリシリコン膜加工用マスク(たとえばレジスト膜)等を用いたドライエッチング(エッチングのガス系としては、たとえばSF6等を例示することができる)等により、第2層ポリシリコン膜18のパターニングを行う。更に、ウエハ1の表面1aのPボディ領域15(チャネル領域)となるべき部分に、レジスト膜等をマスクとして、イオン注入を実施する。このときのイオン注入条件としては、イオン種:たとえばボロン、ドーズ量:たとえば1x1012から5x1013cm−2程度、注入エネルギ:たとえば50から200keV程度を例示することができる。
次に図15に示すように、レジスト膜等をマスクとして、イオン注入を実施することにより、N型ソース領域16、N型チャネルストップ領域17、ゲート保護素子14のESD(Electro−Static Discharge)保護用ポリシリコンツェナーダイオード(Polysilicon Zener Diode)のN型高濃度領域14n++(たとえば、図36,38,40および42)等を形成する。このときのイオン注入条件としては、イオン種:たとえば砒素、ドーズ量:たとえば1x1015から1x1016cm−2程度、注入エネルギ:たとえば10から150keV程度を例示することができる。
次に図16に示すように、レジスト膜等をマスクとして、付加的なイオン注入を実施することにより、付加注入された部分が、ゲート保護素子14のESD保護用ポリシリコンツェナーダイオードのP型高濃度領域14p++(たとえば、図36及び図43)となり、P型部分のうち、付加注入されなかった部分がP型中濃度領域14p+(たとえば、図36及び図43)となる。このときのイオン注入条件としては、イオン種:たとえばボロン、ドーズ量:たとえば1.5x1015から2x1016cm−2程度、注入エネルギ:たとえば10から150keV程度を例示することができる。
次に図17に示すように、ウエハ1の表面1aのほぼ全面に、たとえば、CVD等により、PSG(Phospho Silicate Glass)膜等の層間絶縁膜19(厚さは、たとえば250から450nm程度)を成膜する。層間絶縁膜19は酸化シリコン系絶縁膜を主要な要素とするものが好適であり、PSG膜のほか、BPSG(Boro−Phospho Silicate Glass)膜等の単体膜、これらとSOG(Spin−On−Glass)膜またはTEOS(Tetraethylorthosilicate)膜との複合膜等も好適である。次に、通常のリソグラフィにより、ウエハ1の表面1a上にレジスト膜等のパターンを形成し、当該パターンをマスクとして、異方性ドライエッチングを実行することにより、コンタクトホール21、接続ビア22等を形成する。その後、不要になったレジスト膜等を除去する。
次に図18に示すように、層間絶縁膜19をマスクとして、異方性ドライエッチング(シリコンエッチング)を実行することにより、コンタクトホール21、接続ビア22等を下方に(たとえば、0.35マイクロメートル程度)延長する。続いて、不要な部分をレジスト膜等の被覆した状態で、コンタクトホール21等を通して、イオン注入を実行することにより、P型ボディコンタクト領域23およびP型周辺コンタクト領域24を導入する。このときのイオン注入条件としては、イオン種:たとえばボロン(またはBF2)、ドーズ量:たとえば1x1015から5x1016cm−2程度、注入エネルギ:たとえば20から200keV程度を例示することができる。
次に、たとえばスパッタリング成膜により、前記コンタクトホール21(コンタクト溝)の内面、およびウエハ1のデバイス面1aのほぼ全面に、たとえば、下層のTi膜(たとえば、厚さ40nm程度)および上層のTiN膜(たとえば、厚さ100nm程度)等からなるバリアメタル膜を形成する。バリアメタル膜としては、ここに示したTi/TiN系のほか、TiWその他が好適なものとして例示することができる。
次に、図19に示すように、たとえばスパッタリング成膜により、前記コンタクトホール21の内面、およびウエハ1のデバイス面1aのほぼ全面に、たとえば、アルミニウムを主要な成分とする(たとえば、数%シリコン添加、残りはアルミニウム)アルミニウム系ソースメタル膜(たとえば、厚さ3.5から5.5マイクロメートル程度)を形成する。続いて、通常のリソグラフィによって、アルミニウム系ソースメタル膜およびバリアメタル膜からなるソースメタル電極をパターニングすることにより、メタルソース電極またはソースパッド26(またはソース端子)、メタルゲート電極27(ゲートパッド又はゲート端子)、メタルガードリング28等を形成する。
その後、必要に応じて、ファイナルパッシベーション膜として、たとえば、ポリイミドを主要な成分とする有機膜(たとえば、厚さ2.5マイクロメートル程度)等をウエハ1のデバイス面1aのほぼ全面に塗布する。次に、通常のリソグラフィによって、ソースパッド開口、ゲートパッド開口に対応する部分のファイナルパッシベーション膜を除去する。
次に、ウエハ1の裏面1bに対して、バックグラインディング処理を施すことによって、たとえば、500から900マイクロメータ程度のウエハ厚を必要により、たとえば300から30マイクロメータ程度に薄膜化する。その後、裏面電極29を、たとえばスパッタリング成膜により、形成する。更に、ダイシング等により、ウエハ1を個々のチップ2に分割する。
6.本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFETのデバイス構造の変形例(ダブルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)に対応するウエハプロセスの説明(主に図20から図34)
このセクションのデバイス構造は、ダブルゲート構造という以外は、セクション1の例と同じであり、ESD保護素子に関しては,本願に示した他の例をほぼそのまま適用できることは言うまでもない。
このセクションのデバイス構造は、ダブルゲート構造という以外は、セクション1の例と同じであり、ESD保護素子に関しては,本願に示した他の例をほぼそのまま適用できることは言うまでもない。
ダブルゲート構造においては、シングルゲート構造と比較して、リサーフ(Resurf)効果により、エピタキシャル層の比抵抗を若干低めにできるメリットがある(たとえば、オン抵抗を下げることができる)。
図20は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)のデバイス構造の変形例(ダブルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(エピタキシャルウエハ準備工程)である。図21は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)のデバイス構造の変形例(ダブルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(ウエル導入及びLOCOS絶縁膜形成工程)である。図22は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)のデバイス構造の変形例(ダブルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(トレンチ形成工程)である。図23は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)のデバイス構造の変形例(ダブルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(Resurfゲート絶縁膜形成および同非ドープポリシリコン膜成膜工程)である。図24は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)のデバイス構造の変形例(ダブルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(全面P型不純物イオン注入および選択的N型不純物イオン注入工程)である。図25は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)のデバイス構造の変形例(ダブルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(第1層ポリシリコン膜加工工程)である。図26は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)のデバイス構造の変形例(ダブルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(Resurfゲート絶縁膜エッチバック工程)である。図27は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)のデバイス構造の変形例(ダブルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(真性ゲート絶縁膜形成および真性ゲート用ドープトポリシリコン膜成膜工程)である。図28は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)のデバイス構造の変形例(ダブルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(真性ゲート用ドープトポリシリコン膜成膜加工工程)である。図29は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)のデバイス構造の変形例(ダブルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(Pボディ領域すなわちチャネル領域へのボロンイオン注入工程)である。図30は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)のデバイス構造の変形例(ダブルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(ソース、チャネルストップ、およびESD保護ツェナーダイオード等への砒素イオン注入工程)である。図31は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)のデバイス構造の変形例(ダブルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(ESD保護ツェナーダイオード等への付加的なボロンイオン注入工程)である。図32は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)のデバイス構造の変形例(ダブルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(層間絶縁膜成膜およびコンタクトホール等開口工程)である。図33は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)のデバイス構造の変形例(ダブルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(コンタクトホール等の延長およびボディコンタクト領域へのボロン等のイオン注入工程)である。図34は本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFET(絶縁ゲート型パワー系トランジスタ)のデバイス構造の変形例(ダブルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップの各ウエハプロセスステップにおけるデバイス断面図(表面メタル成膜、加工、バックグラインディング、および裏面メタル成膜工程)である。これらに基づいて、本願の前記一実施の形態の半導体装置の前記一例であるパワーMOSFETのデバイス構造の変形例(ダブルゲート構造)およびゲート保護素子(1次元多濃度型)に対応するウエハプロセスを説明する。
先ず、図20に示すように、比較的比抵抗の低い単結晶N型シリコン基板1s(たとえばCZ結晶)に、作製しようとするパワーMOSFETのソースドレイン耐圧(BVdss)に応じた厚みを有し、比較的比抵抗の高いN型エピタキシ層1eを成長させたエピタキシウエハ1を準備する。単結晶N型シリコン基板1sの比抵抗は、たとえば、1から10ミリΩcm程度であり、ウエハ1の口径は、たとえば、200φ程度である。なお、ウエハ1の口径は、この他、100φ、150φ、300φ、450φ等のいずれであっても良い。N型エピタキシ層1eの厚さ及び、その比抵抗は、ソースドレイン耐圧に依存するが、40ボルト程度のソースドレイン耐圧について例示すると、厚さは、たとえば4から6マイクロメートル程度であり、比抵抗は、たとえば0.3から0.6Ωcm程度(セクション5のシングルゲートと比較して若干低め)である。通常、エピタキシ層の厚さ(マイクロメートル)は、耐圧値(ボルト)の1/10程度が目安とされている。
次に図21に示すように、たとえばレジスト膜をマスクとして、ウエハ1の表面1aに、たとえば、ボロンをイオン注入することにより、Pウエル領域4およびP型フィールドリミッティングリング5を形成する。このときのドーズ量としては、たとえば5x1012から1x1014cm−2程度、打ち込みエネルギとしては、たとえば10から100keV程度を例示することができる。続いて、たとえばLOCOS方式等により、フィールド絶縁膜3(たとえば、厚さ200nm程度)を形成する。
次に図22に示すように、たとえば、通常のリソグラフィによりパターニングしたトレンチ加工用マスク(たとえばハードマスク)等を用いて、異方性ドライエッチング等により、トレンチ6を形成する。ドライエッチング用のガス系としては、たとえば、Cl2,O2系、HBr系などを例示することができる。
次に図23に示すように、ウエハ1の表面1aのほぼ全面に、たとえば、熱酸化等により、ゲート酸化膜7(たとえば、厚さ50nm程度)よりも厚い、リサーフゲート絶縁膜32(フィールドプレート周辺絶縁膜)を形成する。続いて、CVD(Chemical Vapor Deposition)等により、ウエハ1の表面1aのほぼ全面に、たとえば厚さ600nm程度のノンドープポリシリコン膜8(第1層ポリシリコン膜)を成膜する。
次に図24に示すように、第1層ポリシリコン膜8の全面に、イオン注入によるドーピングを実施する。このときのイオン注入条件としては、イオン種:たとえばBF2、ドーズ量:たとえば1x1013から1x1014cm−2程度、注入エネルギ:たとえば10から100keV程度を例示することができる。続いて、N型不純物をドープすべき部分8n(第1層ポリシリコン膜のN型部分となるべき部分)以外の部分、すなわち、第1層ポリシリコン膜のP型部分8pとなるべき部分をレジスト膜等で被覆した状態で、イオン注入によるドーピングを実施する。このときのイオン注入条件としては、イオン種:たとえば砒素、ドーズ量:たとえば1x1015から1x1016cm−2程度、注入エネルギ:たとえば10から100keV程度を例示することができる。
次に図25に示すように、たとえば、通常のリソグラフィによりパターニングしたゲート加工用マスク(たとえばレジスト膜)等を用いたドライエッチング(エッチングのガス系としては、たとえばSF6等を例示することができる)等により、第1層ポリシリコン膜8n,8pをパターニングするとともに、たとえばトレンチ6の上半部分程度までエッチバック処理を施すことにより、第1層ポリシリコン配線12、第1層ポリシリコン引き出し部11、埋め込みフィールドプレート31、周辺埋め込みフィールドプレート31p等を形成する。
次に図26に示すように、たとえば、弗酸系の酸化シリコン膜エッチング液等により、ウエットエッチングすることにより、フィールドプレート電極31の上端部およびトレンチ6のSi側壁が露出する程度まで、フィールドプレート周辺絶縁膜32を除去する。
次に、図27に示すように、たとえば、熱酸化等により、厚さ50nm程度のゲート絶縁膜7(酸化シリコン膜)を形成する。なお、このとき同時に、フィールドプレート電極31とゲート電極間の絶縁膜(厚さ100nm程度)が形成される。続いて、トレンチ6内およびウエハ1のデバイス面1aのほぼ全面に、たとえばCVD等により、N+トレンチゲート電極9(トレンチゲートポリシリコン層)となるべき、たとえば厚さ600nm程度の高濃度リンドープポリシリコン層18(第2層のポリシリコン膜)を形成する。
次に図28に示すように、たとえば、通常のリソグラフィによりパターニングしたゲート加工用マスク(たとえばレジスト膜)等を用いたドライエッチング(エッチングのガス系としては、たとえばSF6等を例示することができる)等により、高濃度リンドープポリシリコン膜8をパターニングするとともに、エッチバック処理を施すことにより、第2層ポリシリコン配線13、第2層ポリシリコン引き出し部33、ポリシリコンゲート電極9等を形成する。
次に図29に示すように、ウエハ1の表面1aのPボディ領域15(チャネル領域)となるべき部分に、レジスト膜等をマスクとして、イオン注入を実施する。このときのイオン注入条件としては、イオン種:たとえばボロン、ドーズ量:たとえば1x1012から5x1013cm−2程度、注入エネルギ:たとえば50から200keV程度を例示することができる。
次に図30に示すように、レジスト膜等をマスクとして、イオン注入を実施することにより、N型ソース領域16、N型チャネルストップ領域17、ゲート保護素子14のESD(Electro−Static Discharge)保護用ポリシリコンツェナーダイオード(Polysilicon Zener Diode)のN型高濃度領域14n++(たとえば、図36,38,40および42)等を形成する。このときのイオン注入条件としては、イオン種:たとえば砒素、ドーズ量:たとえば1x1015から1x1016cm−2程度、注入エネルギ:たとえば10から150keV程度を例示することができる。
次に図31に示すように、レジスト膜等をマスクとして、付加的なイオン注入を実施することにより、付加注入された部分が、ゲート保護素子14のESD保護用ポリシリコンツェナーダイオードのP型高濃度領域14p++(たとえば、図36及び図43)となり、P型部分のうち、付加注入されなかった部分がP型中濃度領域14p+(たとえば、図36及び図43)となる。このときのイオン注入条件としては、イオン種:たとえばボロン、ドーズ量:たとえば1.5x1015から2x1016cm−2程度、注入エネルギ:たとえば10から150keV程度を例示することができる。
次に図32に示すように、ウエハ1の表面1aのほぼ全面に、たとえば、CVD等により、PSG膜等の層間絶縁膜19(厚さは、たとえば250から450nm程度)を成膜する。層間絶縁膜19は酸化シリコン系絶縁膜を主要な要素とするものが好適であり、PSG膜のほか、BPSG膜等の単体膜、これらとSOG(Spin−On−Glass)膜またはTEOS膜との複合膜等も好適である。次に、通常のリソグラフィにより、ウエハ1の表面1a上にレジスト膜等のパターンを形成し、当該パターンをマスクとして、異方性ドライエッチングを実行することにより、コンタクトホール21、接続ビア22等を形成する。その後、不要になったレジスト膜等を除去する。
次に図33に示すように、層間絶縁膜19をマスクとして、異方性ドライエッチング(シリコンエッチング)を実行することにより、コンタクトホール21、接続ビア22等を下方に(たとえば、0.35マイクロメートル程度)延長する。続いて、不要な部分をレジスト膜等の被覆した状態で、コンタクトホール21等を通して、イオン注入を実行することにより、P型ボディコンタクト領域23およびP型周辺コンタクト領域24を導入する。このときのイオン注入条件としては、イオン種:たとえばボロン(またはBF2)、ドーズ量:たとえば1x1015から5x1016cm−2程度、注入エネルギ:たとえば20から200keV程度を例示することができる。
次に、図34に示すように、たとえばスパッタリング成膜により、前記コンタクトホール21の内面、およびウエハ1のデバイス面1aのほぼ全面に、たとえば、アルミニウムを主要な成分とする(たとえば、数%シリコン添加、残りはアルミニウム)アルミニウム系ソースメタル膜(たとえば、厚さ3.5から5.5マイクロメートル程度)を形成する。続いて、通常のリソグラフィによって、アルミニウム系ソースメタル膜およびバリアメタル膜からなるソースメタル電極をパターニングすることにより、メタルソース電極またはソースパッド26(またはソース端子)、メタルゲート電極27(ゲートパッド又はゲート端子)、メタルガードリング28等を形成する。
その後、必要に応じて、ファイナルパッシベーション膜として、たとえば、ポリイミドを主要な成分とする有機膜(たとえば、厚さ2.5マイクロメートル程度)等をウエハ1のデバイス面1aのほぼ全面に塗布する。次に、通常のリソグラフィによって、ソースパッド開口、ゲートパッド開口に対応する部分のファイナルパッシベーション膜を除去する。
次に、ウエハ1の裏面1bに対して、バックグラインディング処理を施すことによって、たとえば、500から900マイクロメータ程度のウエハ厚を必要により、たとえば300から30マイクロメータ程度に薄膜化する。その後、裏面電極29を、たとえばスパッタリング成膜により、形成する。更に、ダイシング等により、ウエハ1を個々のチップ2に分割する。
なお、埋め込みフィールドプレート31(周辺埋め込みフィールドプレート)は、メタルソース電極26またはメタルゲート電極27と同層のメタル層によって、ソース電極又はゲート電極と同じ電位に電気的に接続されている。ソース電極に接続した場合は、ゲート容量が小さくなり、高速スイッチングなどの用途に好適である。一方、ゲート電極に接続した場合は、埋め込みフィールドプレート31と真性ゲート9の間の絶縁膜を薄くできる(製造容易)メリットがある。
7.本願の前記一実施の形態の半導体装置における絶縁ゲート型パワー系トランジスタの他の一例であるIGBTのデバイス構造およびゲート保護素子(1次元多濃度型)の説明(主に図35、図1及び図3を参照)
このセクションでは、上面レイアウトが図1とほぼ同じであって、ゲート保護素子14の構造が、図3とほぼ同じ例について、絶縁ゲート型パワー系トランジスタがNチャネル型パンチスルーIGBTである場合の具体例を説明する。しかし、ゲート保護素子14の構造等については、本願に示す他の例もそのまま適用できることは言うまでもない。また、同様に、ノンパンチスルーIGBTである場合にも、ほぼそのまま適用できることは言うまでもない。
このセクションでは、上面レイアウトが図1とほぼ同じであって、ゲート保護素子14の構造が、図3とほぼ同じ例について、絶縁ゲート型パワー系トランジスタがNチャネル型パンチスルーIGBTである場合の具体例を説明する。しかし、ゲート保護素子14の構造等については、本願に示す他の例もそのまま適用できることは言うまでもない。また、同様に、ノンパンチスルーIGBTである場合にも、ほぼそのまま適用できることは言うまでもない。
図35は本願の前記一実施の形態の半導体装置における図2に対応する絶縁ゲート型パワー系トランジスタの他の一例であるIGBTのデバイス構造およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を含むデバイスチップのデバイス模式断面図である。これらに基づいて(図1及び図3を参照)、本願の前記一実施の形態の半導体装置における絶縁ゲート型パワー系トランジスタの他の一例であるIGBTのデバイス構造およびゲート保護素子(1次元多濃度型)を説明する。
図35に示すように、半導体チップ2(半導体基板1)の表面1aの最外周には、環状のメタルガードリング28(たとえば、アルミニウム系メタルガードリング等)があり、その内側には、環状のN型チャネルストップ領域17(N型ソース領域16すなわちエミッタ領域と同時に導入された領域)がある。更に、これらの内側には、1または2以上のフィールドリミッティングリング5(Field Limiting Ring)またはフローティングフィールドリング(Floating Field Ring)が設けられており、このフィールドリミッティングリング5の内側のチップ中央部に、セル領域36が設けられている。フィールドリミッティングリング5とセル領域36の間は、若干複雑な環状のPウエル領域4で埋められており、セル領域36の周辺部は、内部領域とは異なる構造の緩衝領域37となっている。この緩衝領域37を挟んで、その外側がチップ周辺領域38である。
セル領域36および緩衝領域37には、網目状にトレンチ6(図1)が設けられており、その中には、ゲート絶縁膜7を介して比較的薄いスラブ(Slab)状のトレンチゲート電極、すなわち、ポリシリコンゲート電極9(たとえば、第1層ポリシリコン膜8)が埋め込まれている。ポリシリコンゲート電極9は第1層ポリシリコン引き出し部11により、トレンチ6の外部に引き出されており、周辺の第1層ポリシリコン配線12の部分でメタル&ポリシリコン間接続孔41(図1)を介して、メタルゲート配線39(図1)と接続されて、メタルゲート電極27(ゲートパッド)に至る。
セル領域36において、網目状のトレンチ6間のアクティブ領域40(セル領域のうちトレンチではない部分)には、P型ボディコンタクト領域23が設けられており、その周辺にはN型ソース領域16(IGBTの場合はエミッタ領域とも言う)が設けられている。P型ボディコンタクト領域23には、メタルソース電極26(ソースパッドまたはエミッタパッド)が接続されており、先のゲート保護素子14は、ゲート側コンタクト部20gを介してメタルゲート電極27(ゲート端子)と、ソース側コンタクト部20sを介して、メタルソース電極26(ソース端子)と接続されている。
更に、チップ2の裏面のコレクタ層1sは、たとえば、比較的高濃度のP型シリコン領域であり、その裏面1b側には、ドレインメタル電極29(IGBTの場合はコレクタ電極とも言う)が設けられている。コレクタ層1sの表面側には、比較的低濃度のN型シリコンエピタキシ層1e(ドリフト領域10)が設けられており、このN型ドリフト領域10とコレクタ層1sの間には、N型ドリフト領域10よりも高濃度のN型バッファ層34(フィールドストップ層)が設けられている。
N型シリコンエピタキシ層1eの表面領域の内、チップ周辺領域38においては、Pウエル領域4、5、およびP型周辺コンタクト領域24(たとえば、P型ボディコンタクト領域23と同時に形成)が設けられている。一方、N型シリコンエピタキシ層1eの表面領域の内、セル領域36の全面とその周辺に渡って、チャネル領域を構成するPボディ領域15(P型ボディ領域)が形成されている。チップ周辺領域38のN型シリコンエピタキシ層1eの表面上には、フィールド絶縁膜3が形成されており、その上には、層間絶縁膜19が形成されている。緩衝領域37におけるトレンチ内には、周辺ダミーポリシリコンゲート電極9pが設けられており、セル領域36周辺での耐圧の劣化を防止している。
なお、製法に関しては、セクション5と基本的に同様であるが、N型シリコンエピタキシ層1eと同程度の不純物濃度のウエハを用意して、表面側のデバイス構造の形成を進めた後、バックグラインディング後に、裏面からイオン注入などによって、N型バッファ層34およびコレクタ層1sを導入するのが一般的である。
8.サマリ
以上本発明者によってなされた発明を実施形態に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは言うまでもない。
以上本発明者によってなされた発明を実施形態に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは言うまでもない。
例えば、前記実施の形態では、主にNチャネル型デバイスについて、具体的に説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、Pチャネル型デバイスにも、ほぼそのまま適用できることは言うまでもない。
また、前記実施の形態では、主に単体デバイスについて具体的に説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、これらの絶縁ゲート型パワー系トランジスタを組み込んだ複合半導体チップ(半導体装置)にも、ほぼそのまま適用できることは言うまでもない。
更に、前記実施の形態では、主にシリコン系デバイスについて具体的に説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、SiC系,SiN系などのその他の系統に属する基板材料を使用したデバイスにも、ほぼそのまま適用できることは言うまでもない。
なお、前記実施の形態では、主に表面側メタルとして、アルミニウムを主要な成分とするメタル層を主要な構成要素とする電極(アルミニウム系電極)を用いたデバイスを具体的に説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、タングステン系電極等のその他の電極金属を使用したデバイスにも、ほぼそのまま適用できることは言うまでもない。
1 ウエハ(半導体基板)
1a (ウエハまたは半導体基板の)表面
1b (ウエハまたは半導体基板の)裏面
1e (ウエハまたは半導体基板の)エピタキシ層
1s (ウエハまたは半導体基板の)基板層(またはIGBTのコレクタ層)
2 半導体チップ(またはウエハ上のチップ領域)
3 フィールド絶縁膜
4 Pウエル領域
5 フィールドリミッティングリング
6 トレンチ
7 ゲート絶縁膜
8 第1層ポリシリコン膜
8n 第1層ポリシリコン膜のN型部分
8p 第1層ポリシリコン膜のP型部分
9 ポリシリコンゲート電極
9p 周辺ダミーポリシリコンゲート電極
10 ドリフト領域
11 第1層ポリシリコン引き出し部
12 第1層ポリシリコン配線
13 第2層ポリシリコン配線
14 ゲート保護素子(保護用ダイオード、静電保護素子、サージ保護素子)
14n+ (ポリシリコンダイオードの)N型中濃度領域
14n++ (ポリシリコンダイオードの)N型高濃度領域
14p+ (ポリシリコンダイオードの)P型中濃度領域
14p++ (ポリシリコンダイオードの)P型高濃度領域
15 Pボディ領域(チャネル領域)
16 N型ソース領域(またはIGBTのエミッタ領域)
17 N型チャネルストップ領域
18 第2層ポリシリコン膜
19 層間絶縁膜
20g ゲート側コンタクト部
20s ソース側コンタクト部
21 コンタクトホール
22 接続ビア
23 P型ボディコンタクト領域
24 P型周辺コンタクト領域
25 表面メタル電極膜
26 メタルソース電極またはソースパッド(またはソース端子)
27 メタルゲート電極(ゲートパッド又はゲート端子)
28 メタルガードリング
29 メタル裏面ドレイン電極膜
30 ソース側コンタクト及び短絡部
31 埋め込みフィールドプレート
31p 周辺埋め込みフィールドプレート
32 フィールドプレート周辺絶縁膜(リサーフゲート絶縁膜)
33 第2層ポリシリコン引き出し部
34 IGBTのバッファ層
35 短絡部
36 セル領域
37 緩衝領域
38 周辺領域
39 メタルゲート配線
40 アクティブ領域(セル領域のうちトレンチではない部分)
41 メタル&ポリシリコン間接続孔
42 双方向ツェナーダイオード
43a,43b 他のツェナーダイオード
44 オーミック相互連結部
1a (ウエハまたは半導体基板の)表面
1b (ウエハまたは半導体基板の)裏面
1e (ウエハまたは半導体基板の)エピタキシ層
1s (ウエハまたは半導体基板の)基板層(またはIGBTのコレクタ層)
2 半導体チップ(またはウエハ上のチップ領域)
3 フィールド絶縁膜
4 Pウエル領域
5 フィールドリミッティングリング
6 トレンチ
7 ゲート絶縁膜
8 第1層ポリシリコン膜
8n 第1層ポリシリコン膜のN型部分
8p 第1層ポリシリコン膜のP型部分
9 ポリシリコンゲート電極
9p 周辺ダミーポリシリコンゲート電極
10 ドリフト領域
11 第1層ポリシリコン引き出し部
12 第1層ポリシリコン配線
13 第2層ポリシリコン配線
14 ゲート保護素子(保護用ダイオード、静電保護素子、サージ保護素子)
14n+ (ポリシリコンダイオードの)N型中濃度領域
14n++ (ポリシリコンダイオードの)N型高濃度領域
14p+ (ポリシリコンダイオードの)P型中濃度領域
14p++ (ポリシリコンダイオードの)P型高濃度領域
15 Pボディ領域(チャネル領域)
16 N型ソース領域(またはIGBTのエミッタ領域)
17 N型チャネルストップ領域
18 第2層ポリシリコン膜
19 層間絶縁膜
20g ゲート側コンタクト部
20s ソース側コンタクト部
21 コンタクトホール
22 接続ビア
23 P型ボディコンタクト領域
24 P型周辺コンタクト領域
25 表面メタル電極膜
26 メタルソース電極またはソースパッド(またはソース端子)
27 メタルゲート電極(ゲートパッド又はゲート端子)
28 メタルガードリング
29 メタル裏面ドレイン電極膜
30 ソース側コンタクト及び短絡部
31 埋め込みフィールドプレート
31p 周辺埋め込みフィールドプレート
32 フィールドプレート周辺絶縁膜(リサーフゲート絶縁膜)
33 第2層ポリシリコン引き出し部
34 IGBTのバッファ層
35 短絡部
36 セル領域
37 緩衝領域
38 周辺領域
39 メタルゲート配線
40 アクティブ領域(セル領域のうちトレンチではない部分)
41 メタル&ポリシリコン間接続孔
42 双方向ツェナーダイオード
43a,43b 他のツェナーダイオード
44 オーミック相互連結部
Claims (20)
- 以下を含む半導体装置:
(a)半導体チップ;
(b)前記半導体チップに形成された絶縁ゲート型パワー系トランジスタ;
(c)前記半導体チップに形成され、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタのゲート端子およびソース端子間に接続されたゲート保護素子、
ここで、前記ゲート保護素子は複数段のPN接合を有する双方向ツェナーダイオードを具備し、前記双方向ツェナーダイオードは、そのゲート端子側がマイナスバイアスされたときの耐圧と、そのゲート端子側がプラスバイアスされたときの耐圧とは相互に異なり、前記双方向ツェナーダイオードは以下を含む:
(x1)ソース側第1導電型領域;
(x2)前記ソース側第1導電型領域と、ほぼ同一不純物濃度を有し、回路的に前記ゲート端子により近い部分に形成されたゲート側第1導電型領域;
(x3)前記ソース側第1導電型領域および前記ゲート側第1導電型領域の間に直列接続され、前記ソース側第1導電型領域との間でソース側PN接合を形成し、前記ゲート側第1導電型領域との間でゲート側PN接合を形成する第2導電型領域、
ここで、前記第2導電型領域の両端部は相互に濃度が異なる。 - 前記1項の半導体装置において、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタがNチャネル型であるときは、前記双方向ツェナーダイオードは、そのゲート端子側がプラスバイアスされたときの耐圧と比較して、そのゲート端子側がマイナスバイアスされたときの耐圧は低くされており、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタがPチャネル型であるときは、そのゲート端子側がマイナスバイアスされたときの耐圧と比較して、そのゲート端子側がプラスバイアスされたときの耐圧は低くされている。
- 前記2項の半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードは、一体のポリシリコン膜によって構成されている。
- 前記3項の半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードを構成する前記ポリシリコン膜と、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタのポリシリコン真性ゲート電極を構成するポリシリコン膜とは、層が異なる。
- 前記4項の半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードの両端部は、N型領域である。
- 前記5項の半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードは、1次元型である。
- 前記5項の半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードは、2次元型であり、前記双方向ツェナーダイオードを構成する各領域は丸みを帯びた平面形状を呈する。
- 前記7項の半導体装置において、前記第2導電型領域は、濃度の異なる二つの領域から構成されている。
- 前記8項の半導体装置において、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタは、絶縁ゲート型パワー系MOSFETである。
- 前記8項の半導体装置において、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタは、IGBTである。
- 以下を含む半導体装置:
(a)半導体チップ;
(b)前記半導体チップに形成された絶縁ゲート型パワー系トランジスタ;
(c)前記半導体チップに形成され、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタのゲートおよびソース間に接続されたゲート保護素子、
ここで、前記ゲート保護素子は、そのゲート側がマイナスバイアスされたときの耐圧と、そのゲート側がプラスバイアスされたときの耐圧とは相互に異なり、前記前記ゲート保護素子は以下を含む:
(x1)複数段のPN接合を有する双方向ツェナーダイオード;
(x2)前記双方向ツェナーダイオードとともに、オーミック配線により、前記ゲートおよびソース間に直列接続された他のツェナーダイオード。 - 前記11項の半導体装置において、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタがNチャネル型であるときは、前記ゲート保護素子は、そのゲート端子側がプラスバイアスされたときの耐圧と比較して、そのゲート端子側がマイナスバイアスされたときの耐圧は低くされており、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタがPチャネル型であるときは、そのゲート端子側がマイナスバイアスされたときの耐圧と比較して、そのゲート端子側がプラスバイアスされたときの耐圧は低くされている。
- 前記12項の半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードと前記他のツェナーダイオードの前記オーミック配線により相互に接続された領域は、相互に分離している。
- 前記12項の半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードと前記他のツェナーダイオードの前記オーミック配線により相互に接続された領域は、相互に連結して、PN接合を形成している。
- 前記14項の半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードと前記他のツェナーダイオードは、単一層のポリシリコン膜によって構成されている。
- 前記15項の半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードと前記他のツェナーダイオードを構成する前記ポリシリコン膜と、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタのポリシリコン真性ゲート電極を構成するポリシリコン膜とは、層が異なる。
- 前記16項の半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードは、1次元型である。
- 前記16項の半導体装置において、前記双方向ツェナーダイオードは、2次元型であり、前記双方向ツェナーダイオードを構成する各領域は丸みを帯びた平面形状を呈する。
- 前記18項の半導体装置において、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタは、絶縁ゲート型パワー系MOSFETである。
- 前記18項の半導体装置において、前記絶縁ゲート型パワー系トランジスタは、IGBTである。
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