JP2012049436A - パワーモジュール用基板およびヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法 - Google Patents
パワーモジュール用基板およびヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】側面13aに高酸素濃度部17を有する金属板13とセラミックス基板11とを積層状態にろう付する第1ろう付工程と、金属板13とヒートシンク14とをフラックス16を用いたろう付法により接合する第2ろう付工程とを有し、第2ろう付工程において、金属板13とヒートシンク14との間からはみ出したフラックス16と金属板13の高酸素濃度部17とを反応させるヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法。
【選択図】図3
Description
図2には、理解の便宜のため、高酸素濃度部17、側面13a、溝部13bについては、断面視の部分と正面視の部分との両方に符号を付した(以下の図4〜図6においても同様)。
11 セラミックス基板
12,13 金属板
13a 側面
13b 溝部
14 ヒートシンク
15 余剰ろう材
16 フラックス
17 高酸素濃度部
18 ワイヤ
100 パワーモジュール
101 ヒートシンク付パワーモジュール用基板
Claims (5)
- 側面に高酸素濃度部を有する金属板とセラミックス基板とを積層状態にろう付する第1ろう付工程と、
前記金属板とヒートシンクとをフラックスを用いたろう付法により接合する第2ろう付工程とを有し、
前記第2ろう付工程において、前記金属板と前記ヒートシンクとの間からはみ出した前記フラックスと前記金属板の前記高酸素濃度部とを反応させることを特徴とするヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法。 - 前記金属板の前記高酸素濃度部を、前記セラミックス基板から間隔を空けて設けておくことを特徴とする請求項1に記載のヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法。
- 金属板とセラミックス基板とが積層状態でろう付されてなるパワーモジュール用基板であって、
前記金属板の側面に、前記セラミックス基板から間隔を空けて設けられた高酸素濃度部が備えられていることを特徴とするパワーモジュール用基板。 - 前記金属板の前記側面に、前記高酸素濃度部を備える溝部が設けられていることを特徴とする請求項3に記載のパワーモジュール用基板。
- 前記金属板の前記側面に凹凸形状が形成されていることを特徴とする請求項3に記載のパワーモジュール用基板。
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