JP2012043995A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の半導体装置は、半導体基板12内に埋め込まれてX方向に並列して延在する複数のビット線BLと、X方向と交差するY方向に延在するワード線と、ビット線BLと前記第2配線との交点に設けられたメモリセルMと、複数のビット線BLのうち最外列のビット線BLの外側に設けられ、X方向に延在してビット線BLと並走するダミービット線DBLとを含み、ダミービット線DBLが、半導体基板12に供給される電位と同じ電位が供給されるダミービット線(第1ダミー配線)DBL<0>、DBL<1>、DBL<2>を含むことを特徴とする。
【選択図】図6A
Description
例えば、特許文献2には、第1の導電型のゲート電極を共有した複数の角柱縦型MOSトランジスタからなるトランジスタ列が複数配置され、アレイ状に形成された半導体装置が記載されている。
また、従来の半導体装置の一例として、例えば、データ回路にデータがロードされた後、電流漏れ不良のあるビット線を検索し、データ回路のデータのうち不良ビット線に対応するデータの内容のみを設定し直すデータ再設定手段を具備してなる不揮発性半導体記憶装置がある(例えば、特許文献4参照)。
特許文献2に示されるような縦構造トランジスタをメモリセルトランジスタに用いた半導体装置においては、ビット線及びダミービット線は、半導体基板内に絶縁膜を介して其々形成される事となる。
は以下の実施形態に限定されるものではなく、以下の説明で用いる図面は、本発明の実施
形態の構成を説明するためのものであり、図示される各部の大きさや厚さや寸法等は、実
際の半導体装置の寸法関係とは異なる場合がある。
なお、本実施形態の半導体記憶装置においては、電源として、そのまま内部の回路において用いられるVDD(電源電位)やVSS(接地電位)以外に、図1に示す内部電源発生回路2において発生されてビット線のプリチャージ等の所定の用途に用いられるVBL(ビット線プリチャージ電位)も用いられる。
図2に示すように、メモリセルブロック3は、X方向(第1の方向)およびX方向に直交するY方向(第2の方向)に沿ってアレイ状に複数並べられている。各メモリセルブロック3のY方向に沿う縁部の外側にはセンスアンプ4およびダミービット線電源供給領域(電源供給領域)4a(図2においては図示略)が配置され、各メモリセルブロック3のX方向に沿う縁部の外側にはサブワードドライバー5およびダミーワード線電源供給領域5a(図2においては図示略)が配置されている。
また、図2に示すように、バンク(BANK)のX方向に沿う縁部に配置されたサブワードドライバー5のメモリセルブロック3と反対側の縁部には、それぞれメインワードドライバー6が配置されている。また、センスアンプ4のX方向に沿う縁部とサブワードドライバー5のY方向に沿う縁部とによって囲まれた領域には、それぞれアレイ制御回路7が配置されている。アレイ制御回路7は、センスアンプ4とサブワードドライバー5の制御信号等を出力するものである。
ウエハレベルバーンイン用ダミーワード線DMYWLTが設けられていることで、ウエハレベルバーンイン用ダミーワード線DMYWLTに接続されるメモリセルやキャパシタが、ウエハレベルバーンイン用ダミーワード線DMYWLTの内側に配置されたワード線WLや、それに接続されるメモリセルやキャパシタと比較して、ウエハレベルバーンイン時にストレス不足になることを回避できる。
また、ダミービット線DBLは、メモリセルブロック3の縁部に配置され、ダミービット線電源供給領域4aに接続されている。ダミービット線電源供給領域4aは、図3に示すように、ダミービット線DBLに電位を供給するものであり、隣接するメモリセルブロック3間に、各センスアンプ4のY方向端部を挟むように配置されている。
本実施形態においては、ダミービット線DBLがメモリセルブロック3の両縁部に、それぞれ4本ずつ設けられている場合を例に挙げて説明するが、ダミービット線DBLの数は特に限定されるものではなく、メモリセルブロック3の両縁部にそれぞれ3本ずつ設けられていてもよいし、2本ずつ設けられていても構わない。
なお、ダミービット線DBLの数を多くすればするほど、メモリセルブロック3の平面積を広くしなければならない。このため、ダミービット線DBLの数は、最外列のビット線BLの形状を十分な精度で形成できる本数であって、かつ少ない本数であることが望ましい。
このように、ダミービット線DBLが複数本設けられ、最も内側に配置されたビット線BLに隣接するダミービット線DBL<3>が、ビット線BLに供給される電位と同じ電位が供給されるものとなっている場合、最外列のビット線BLの電位の環境を他のビット線BLの環境と同様にすることができる。
また、ダミーワード線DWLは、メモリセルブロック3の縁部に配置され、ダミーワード線電源供給領域5aに接続されている。ダミーワード線電源供給領域5aは、図3に示すように、ダミーワード線DWLに電位を供給するものであり、隣接するメモリセルブロック3間に、各サブワードドライバー5のX方向端部を挟むように配置されている。
このように、最もワード線WLに近いダミーワード線DWLが、ワード線WLに供給される電位と同じ電位が供給されるものとなっている場合、最外列のワード線WLの電位の環境を他のワード線WLの環境と同様にすることができる。したがって、本実施形態においては、全てのワード線WLの電位の環境が同じでない半導体記憶装置と比較して、信頼性に優れたものとなる。
メモリセルMは、図5に示すように、柱状半導体13を有する縦型トランジスタと、縦型トランジスタに接続されたキャパシタ11とを含むものであり、ビット線BLとワード線WLとの交点に設けられている。なお、図5においては、図4に示す2本のワード線WLと3本のビット線BL(図5の奥に記載されたビット線はトランジスタに非接続)との交点部分のみを抜き出して記載している。また、図5においては、図面を見やすくするために、キャパシタ11は2つのみ記載し、残りの2つの柱状半導体13の上部に設けられたキャパシタ11の記載を省略している。
そして、本実施形態においては、図6Aに示すように、ビット線BLが、ビット線コンタクトBCを介して縦型トランジスタの下部拡散層26に接続されており、ワード線WLが、縦型トランジスタのゲート電極として機能するものとなっている。
また、ビット線BLは、メモリセルMの縦型トランジスタのソース又はドレイン領域(S/D)であって、各柱状半導体13の下部に設けられた下部拡散層26に、導電材料からなるビット線コンタクトBCを介してそれぞれ接続されている。
また、ダミービット線DBL<0>、DBL<1>間に配置された柱状半導体13上には、キャパシタ11が形成されていない。
また、図6Aに示すように、ダミービット線DBLのうちビット線BLに隣接するダミービット線DBL(第2ダミー配線)<3>は、ビット線BLに供給される電位と同じ電位(VBL)が供給され、ビット線BLと同様に、ダミートランジスタの下部拡散層に導電材料からなるコンタクトDBCを介して接続されている。
そして、図6Aに示すように、ダミービット線DBL<2>、DBL<3>と接続された柱状半導体13上には、それぞれダミーキャパシタ11aが形成されている。
なお、本実施形態においては、ビット線BLに隣接するダミービット線DBL<3>の外側にもダミービット線DBLが設けられているので、ビット線BLに隣接するダミービット線DBL<3>の形状や、ダミービット線DBL<3>と半導体基板12との間の絶縁膜14の形状は、高精度で形成されたものとなる。したがって、ビット線BLのプリチャージ電位(VBL)が供給されるダミービット線DBLであるダミービット線DBL<3>と半導体基板12との間でのショートは、絶縁膜14によって効果的に防止される。
また、本実施形態の半導体記憶装置は、ダミービット線DBLが、ビット線BLと同じ断面形状を有するものであり、ダミービット線DBLとビット線BLとの間隔が、隣接するビット線BL間の間隔と同じであるので、最外列に配置されるビット線BLの形状を他のビット線BLの形状と等しく高精度で形成することができる。
例えば、ビット線やワード線のような複数アレイ配置されている線を用いるものであって、その線自身が半導体基板内に埋め込まれている構成であれば、他の半導体メモリ(SRAM(Static Random Access Memory),フラッシュメモリ、PRAM(Phase Change Random Access Memory),MRAM(Magnetoresistive Random Access Memory)等)や、コントローラ等の半導体装置においても本発明は同様に適用可能である。
Claims (20)
- 半導体基板内に埋め込まれて第1の方向に並列して延在する複数の第1配線と、
前記第1の方向と交差する第2の方向に延在する第2配線と、
前記第1配線と前記第2配線との交点に設けられたメモリセルと、
複数の前記第1配線のうち最外列の前記第1配線の外側に設けられ、前記第1の方向に延在して前記第1配線と並走するダミー配線とを含み、
前記ダミー配線が、前記半導体基板に供給される電位と同じ電位が供給される第1ダミー配線を含むものであることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1配線がビット線であり、前記第2配線がワード線であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1ダミー配線は、接地電位が供給されるものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
- 前記ダミー配線が、複数本設けられ、
最も外側に配置されている前記ダミー配線が、前記第1ダミー配線であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 複数本の前記ダミー配線のうち前記第1配線に隣接する第2ダミー配線が、前記第1配線に供給される電位と同じ電位が供給されるものであることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
- 前記第2ダミー配線は、ビット線プリチャージ電位が供給されるものであることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
- 前記複数の第1配線と、前記第2配線と、前記メモリセルと、前記ダミー配線とを含むメモリセルブロックが備えられ、
前記メモリセルブロックの前記第2の方向に沿う縁部の外側に、前記ダミー配線に電位を供給する電源供給領域が配置されていることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記メモリセルブロックが複数備えられ、前記電源供給領域が、隣接する前記メモリセルブロック間に配置されていることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
- 前記メモリセルブロックの前記第2の方向に沿う縁部の外側に、前記第1配線に電位を供給するセンスアンプが配置されていることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
- 前記ダミー配線が絶縁膜を介して前記半導体基板と接していることを特徴とする請求項1〜請求項9のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記メモリセルが、前記半導体基板からなる柱状半導体と、前記柱状半導体の上部に形成された上部拡散層と、前記柱状半導体の下部に形成された下部拡散層と、ゲート絶縁膜を介して前記柱状半導体と対向するゲート電極とを備える縦型トランジスタを有するものであることを特徴とする請求項1〜請求項10のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記第1配線が、ビット線コンタクトを介して前記下部拡散層に接続され、
前記第2配線が、前記ゲート電極として機能するものであることを特徴とする請求項11に記載の半導体装置。 - 前記ダミー配線と前記第2配線との交点に設けられたダミートランジスタを含み、
前記ダミートランジスタが、前記メモリセルの前記縦型トランジスタと同じトランジスタからなるものであることを特徴とする請求項11に記載の半導体装置。 - 前記ダミー配線が、複数本設けられ、
複数本の前記ダミー配線のうち前記第1配線に隣接する第2ダミー配線が、前記第1配線に供給される電位と同じ電位が供給され、前記ダミートランジスタの前記下部拡散層にコンタクトを介して接続されているものであることを特徴とする請求項13に記載の半導体装置。 - 前記ダミー配線が、複数本設けられ、
複数本の前記ダミー配線のうち最も外側に配置されたダミー配線が、前記ダミートランジスタと絶縁されていることを特徴とする請求項13または請求項14に記載の半導体装置。 - 前記メモリセルが、前記縦型トランジスタに接続されたキャパシタを含むことを特徴とする請求項11〜請求項15のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記第2ダミー配線と前記第2配線との交点に設けられたダミートランジスタ上に、前記ダミートランジスタに接続されたダミーキャパシタが設けられていることを特徴とする請求項14〜請求項16のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記ダミー配線が、前記第1配線と同じ断面形状を有するものであり、
前記ダミー配線と前記第1配線との間隔が、隣接する前記第1配線間の間隔と同じであることを特徴とする請求項1〜請求項17のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記ダミー配線が、前記第1配線よりも上層に設けられた配線層からコンタクトプラグを介して電位が供給されるものであることを特徴とする請求項1〜請求項18のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記第2配線が、半導体基板内に埋め込まれて並列して延在する複数のものであり、
複数の前記第2配線のうち少なくとも最外列の前記第2配線が、第3ダミー配線であることを特徴とする請求項1〜請求項19のいずれか一項に記載の半導体装置。
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