JP2012043041A

JP2012043041A - Remote control system

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Publication number: JP2012043041A
Application number: JP2010181401A
Authority: JP
Inventors: Hirotaka Ochiai; 弘毅落合; Yasuyuki Fuji; 泰行藤
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2010-08-13
Filing date: 2010-08-13
Publication date: 2012-03-01
Also published as: CN102375447A

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To further efficiently perform an operation to a plurality of processing devices than a conventional one.SOLUTION: This remote control system remote-controls, by a remote control PC 4, a plurality of processing devices 3a-3n each of which includes a holding section 36a holding a workpiece, a processing section 36b processing the workpiece held by the holding section 36a, an image pickup section 36c capturing an image of the workpiece held by the holding section 36a, and a control section 31 controlling them. This remote control system can display a selection image displaying the plurality of processing devices 3a-3n, and an operation image for operating the processing device 3 selected from the selection image, on a display section 42 of the remote control PC 4; and the plurality of processing devices 3a-3n displayed on the selection image are selectively operated by the operation image.

Description

本発明は、遠隔操作システムに関し、特に、半導体ウェーハ等の被加工物に加工処理を施す複数の加工装置を遠隔操作する遠隔操作システムに関する。 The present invention relates to a remote operation system, and more particularly to a remote operation system that remotely operates a plurality of processing apparatuses that perform processing on a workpiece such as a semiconductor wafer.

ＩＣ，ＬＳＩ等のデバイスが複数形成されたウェーハは、裏面が研削されて所定の厚さに形成された後、ダイシング装置等の加工装置によって個々のデバイスに分割されて携帯電話、パソコン等の電子機器に利用される。 A wafer on which a plurality of devices such as IC and LSI are formed is ground to a predetermined thickness by grinding the back surface, and then divided into individual devices by a processing device such as a dicing device, and electronic devices such as mobile phones and personal computers. Used for equipment.

例えば、ダイシング装置においては、高速回転する切削ブレードが保持手段に保持された被加工物における加工位置に配置され、切削ブレードと保持手段とを相対的に移動させることで、切削ブレードが切り込んだ量のみ切削加工が施される（例えば、特許文献１参照）。 For example, in a dicing machine, the amount of cutting blade cut by moving the cutting blade and the holding means relative to each other when the cutting blade rotating at high speed is disposed at the processing position on the workpiece held by the holding means. Only a cutting process is given (for example, refer patent document 1).

このようなダイシング装置においては、個々にオペレーションパネルを装備するものが知られている（例えば、特許文献２参照）。このオペレーションパネルは、操作者がダイシング装置への指示を入力する際、或いは、ダイシング装置に搭載される撮像手段で撮像した被加工物の情報を表示する際などに利用される。 As such a dicing apparatus, one equipped with an operation panel is known (for example, see Patent Document 2). The operation panel is used when an operator inputs an instruction to the dicing apparatus, or when displaying information on a workpiece imaged by an imaging unit mounted on the dicing apparatus.

特開２００３−３３４７５１号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-334751 特開２００９−１１７７７６号公報JP 2009-117776 A

ところで、ダイシング装置などのオペレーションに被加工物の撮像情報を必要とする加工装置は工場内に複数設置されるのが一般的である。このように複数のダイシング装置が設置される環境下において、個々の装置に対してそれぞれのオペレーションパネルで操作を行うことは非効率であった。 By the way, in general, a plurality of processing apparatuses that require imaging information of a workpiece for operation such as a dicing apparatus are installed in a factory. In such an environment where a plurality of dicing apparatuses are installed, it is inefficient to perform operations on each operation panel for each apparatus.

本発明は、このような実情に鑑みて成されたものであって、複数の加工装置に対して従来よりも効率的にオペレーションを行うことができる遠隔操作システムを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a remote operation system capable of operating a plurality of processing devices more efficiently than before.

本発明の遠隔操作システムは、ワークを保持する保持手段と、前記保持手段に保持されたワークを加工する加工手段と、前記保持手段に保持されたワークを撮像する撮像手段と、前記保持手段、加工手段及び撮像手段を制御する制御手段とを有する加工装置を遠隔操作する遠隔操作システムであって、複数の前記加工装置の前記制御手段に選択的に接続できる表示部を有する端末手段を備え、前記表示部は、複数の前記加工装置を表示する選択画像と、前記選択画像に表示された複数の前記加工装置から選択された加工装置を操作するための操作画像とを表示可能であり、前記操作画像は、前記撮像手段により取得した撮像画像及び前記制御手段に指示を入力する指示入力画像を含み、前記選択画像に表示される複数の加工装置を前記操作画像によって選択的に操作できることを特徴とする。 The remote operation system of the present invention includes a holding unit that holds a workpiece, a processing unit that processes the workpiece held by the holding unit, an imaging unit that images the workpiece held by the holding unit, the holding unit, A remote operation system for remotely operating a processing apparatus having a control means for controlling the processing means and the imaging means, comprising a terminal means having a display unit that can be selectively connected to the control means of a plurality of the processing apparatuses, The display unit can display a selection image for displaying a plurality of the processing devices and an operation image for operating a processing device selected from the plurality of processing devices displayed in the selection image, The operation image includes a captured image acquired by the imaging unit and an instruction input image for inputting an instruction to the control unit, and a plurality of processing devices displayed on the selected image are displayed on the operation image. Characterized in that it selectively operated by.

上記遠隔操作システムによれば、端末手段の表示部に、複数の加工装置を表示する選択画像と、選択画像上の複数の加工装置から選択された加工装置を操作するための操作画像とが表示されることから、端末手段で操作画像を介して複数の加工装置を選択的に操作することができるので、個々の加工装置のオペレーションパネルによる個別の操作入力を省略でき、複数の加工装置に対して従来よりも効率的にオペレーションを行うことが可能となる。 According to the remote operation system, the display unit of the terminal unit displays a selection image for displaying a plurality of processing devices and an operation image for operating a processing device selected from the plurality of processing devices on the selected image. Therefore, since it is possible to selectively operate a plurality of processing devices through operation images on the terminal means, it is possible to omit individual operation inputs from the operation panel of each processing device, and to a plurality of processing devices. Therefore, it becomes possible to operate more efficiently than before.

本発明の遠隔操作システムにおいて、前記加工装置は、前記操作画像を表示する操作手段を有し、前記選択画像から選択された前記加工装置の前記操作手段に表示される前記操作画像に、前記端末手段から操作可能な状態であることを表示させることが好ましい。 In the remote operation system of the present invention, the processing device includes an operation unit that displays the operation image, and the terminal is displayed on the operation image displayed on the operation unit of the processing device selected from the selected image. It is preferable to display that the device is operable.

また、本発明の遠隔操作システムにおいて、前記選択画像には、表示された複数の前記加工装置の稼動状態が表示されることが好ましい。 In the remote operation system of the present invention, it is preferable that the selected images display operating states of the plurality of displayed processing apparatuses.

本発明によれば、複数の加工装置に対して従来よりも効率的にオペレーションを行うことが可能となる。 According to the present invention, it is possible to perform operations on a plurality of processing apparatuses more efficiently than before.

本発明の一実施の形態に係る遠隔操作システムのネットワーク構成図である。It is a network block diagram of the remote control system which concerns on one embodiment of this invention. 上記実施の形態に係る遠隔操作システムが有する遠隔操作ＰＣ及び加工装置の機能ブロック図である。It is a functional block diagram of remote operation PC and processing device which the remote control system concerning the above-mentioned embodiment has. 上記実施の形態に係る遠隔操作ＰＣの表示部に表示される選択画像の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the selection image displayed on the display part of remote control PC which concerns on the said embodiment. 上記実施の形態に係る加工装置のオペレーションパネルに表示される操作画像の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the operation image displayed on the operation panel of the processing apparatus which concerns on the said embodiment. 上記実施の形態に係る加工装置のオペレーションパネルに表示される撮像画像の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the captured image displayed on the operation panel of the processing apparatus which concerns on the said embodiment. 上記実施の形態に係る遠隔操作システムにおいて、遠隔操作ＰＣで加工装置の遠隔操作を行う場合の動作を説明するためのシーケンス図である。In the remote control system according to the above embodiment, it is a sequence diagram for explaining the operation when the remote control of the machining apparatus is performed by a remote control PC.

以下、本発明の一実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。本発明の一実施の形態に係る遠隔操作システムは、被加工物（ワーク）に加工処理を施す複数の加工装置を、これらの複数の加工装置の遠隔地に配備された遠隔操作装置を構成するパーソナルコンピュータ（以下、「ＰＣ」という）で遠隔操作するものである。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In a remote operation system according to an embodiment of the present invention, a plurality of processing devices that perform processing on a workpiece (work) are configured as remote operation devices that are disposed in remote locations of the plurality of processing devices. It is remotely operated by a personal computer (hereinafter referred to as “PC”).

なお、本実施の形態に係る遠隔操作システムにおける被加工物（ワーク）は、特に限定されるものではないが、例えば、シリコンウェーハ（Ｓｉ）やガリウムヒソ（ＧａＡｓ）、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）等の半導体ウェーハや、チップ実装用としてウェーハの裏面に設けられるＤＡＦ（Die Attach Film）等の粘着部材、あるいは半導体製品のパッケージ、セラミック、ガラス、サファイア（Ａｌ_２Ｏ_３）系の無機材料基板、液晶ディスプレイドライバー等の各種電子部品などが含まれる。 The workpiece (workpiece) in the remote operation system according to the present embodiment is not particularly limited, but for example, a semiconductor such as a silicon wafer (Si), gallium terrestrial (GaAs), or silicon carbide (SiC). Adhesive members such as DAF (Die Attach Film) provided on the back side of wafers and wafers for chip mounting, semiconductor product packages, ceramics, glass, sapphire (Al ₂ O ₃ ) inorganic material substrates, liquid crystal display drivers And various electronic parts.

また、本実施の形態に係る遠隔操作システムにおける遠隔操作対象となる加工装置は、特に限定されるものではないが、例えば、ワークに対して切削加工を施すダイシング装置、ワークに対して研磨研削加工を施す研磨研削装置、ウェーハの裏面に設けられたＤＡＦ等の粘着部材を伸長するエキスパンド装置、ワークに対してレーザ加工を施すレーザ加工装置（例えば、レーザ孔開け装置）などが含まれる。 In addition, the processing device to be remotely operated in the remote operation system according to the present embodiment is not particularly limited. For example, a dicing device that performs cutting on the workpiece, and polishing and grinding on the workpiece A polishing grinding apparatus that performs the above processing, an expanding apparatus that extends an adhesive member such as DAF provided on the back surface of the wafer, a laser processing apparatus (for example, a laser drilling apparatus) that performs laser processing on the workpiece, and the like.

図１は、本発明の一実施の形態に係る遠隔操作システム１のネットワーク構成図である。図１に示すように、遠隔操作システム１は、例えば、工場２に配備された複数の加工装置３ａ〜３ｎと、工場２の遠隔地に配備された遠隔操作ＰＣ４とがネットワーク接続されて構成される。なお、遠隔操作ＰＣ４は、端末手段を構成するものであり、複数の加工装置３ａ〜３ｎは、遠隔操作ＰＣ４により遠隔操作される装置（被遠隔操作装置）を構成するものである。ここでは、遠隔操作ＰＣ４が工場２の遠隔地に配備される場合について示すが、工場２内に配備することも可能である。 FIG. 1 is a network configuration diagram of a remote operation system 1 according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the remote operation system 1 is configured, for example, by connecting a plurality of processing devices 3 a to 3 n deployed in a factory 2 and a remote operation PC 4 deployed in a remote area of the factory 2 via a network. The The remote operation PC 4 constitutes terminal means, and the plurality of processing apparatuses 3a to 3n constitute an apparatus (remote operation apparatus) remotely operated by the remote operation PC 4. Here, a case where the remote operation PC 4 is deployed in a remote place of the factory 2 is shown, but it is also possible to deploy in the factory 2.

遠隔操作ＰＣ４は、例えば、イーサネット（登録商標）によって構築されたＬＡＮ（Local Area Network）５により複数の加工装置３ａ〜３ｎに接続されている。なお、遠隔操作ＰＣ４と複数の加工装置３ａ〜３ｎとを接続するネットワークについては、ＬＡＮ５に限定されるものではなく、ＷＡＮ（Wide Area Network）やインターネットを採用することも可能である。また、これらのネットワークの接続形態については、有線接続であるか、無線接続であるかは問わない。遠隔操作ＰＣ４は、これらのネットワークを介して複数の加工装置３ａ〜３ｎの後述する制御部３１に接続可能に構成されている。 The remote operation PC 4 is connected to a plurality of processing devices 3a to 3n by a LAN (Local Area Network) 5 constructed by, for example, Ethernet (registered trademark). Note that the network connecting the remote operation PC 4 and the plurality of processing devices 3a to 3n is not limited to the LAN 5, and a WAN (Wide Area Network) or the Internet can also be adopted. Further, the connection form of these networks does not matter whether it is a wired connection or a wireless connection. The remote operation PC 4 is configured to be connectable to a control unit 31 (described later) of the plurality of processing devices 3a to 3n via these networks.

本実施の形態に係る遠隔操作システム１においては、ＶＮＣ（Virtual Network Computing）を利用し、遠隔操作ＰＣ４による加工装置３ａ〜３ｎの遠隔操作を実現している。すなわち、遠隔操作ＰＣ４は、加工装置３ａ〜３ｎの表示部を構成するオペレーションパネルに表示された画像を確認しながら、これらの加工装置３ａ〜３ｎを遠隔操作することができるものとなっている。 In the remote operation system 1 according to the present embodiment, the remote operation of the processing devices 3a to 3n by the remote operation PC 4 is realized using VNC (Virtual Network Computing). That is, the remote operation PC 4 can remotely operate these processing devices 3a to 3n while confirming images displayed on the operation panels constituting the display units of the processing devices 3a to 3n.

図２は、本実施の形態に係る遠隔操作システム１が有する遠隔操作ＰＣ４及び加工装置３ａ〜３ｎの機能ブロック図である。なお、図２に示す遠隔操作ＰＣ４及び加工装置３ａ〜３ｎにおいては、説明の便宜上、本発明に関連する構成要素のみを示している。また、加工装置３ａ〜３ｎは、同様の構成を有することから、加工装置３ａを代表してその構成について説明し、加工装置３ｂ〜３ｎの構成の説明は省略する。 FIG. 2 is a functional block diagram of the remote operation PC 4 and the processing devices 3a to 3n included in the remote operation system 1 according to the present embodiment. In the remote control PC 4 and the processing devices 3a to 3n shown in FIG. 2, only the components related to the present invention are shown for convenience of explanation. Moreover, since the processing apparatuses 3a-3n have the same structure, the structure is demonstrated on behalf of the processing apparatus 3a, and description of the structure of the processing apparatuses 3b-3n is abbreviate | omitted.

図２に示すように、遠隔操作ＰＣ４は、装置全体の制御を行う制御部４１を備える。制御部４１は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）等を備え、ＲＯＭに格納されたプログラムをＲＡＭに展開してＣＰＵに実行させることにより、各加工装置３ａ〜３ｎの遠隔操作処理などを実行する。この制御部４１に表示部４２、記憶部４３、操作部４４、通信部４５及びＶＮＣ処理部４６が接続され、制御部４１の制御の下で動作可能に構成されている。 As shown in FIG. 2, the remote operation PC 4 includes a control unit 41 that controls the entire apparatus. The control unit 41 includes, for example, a CPU (Central Processing Unit), a RAM (Random Access Memory), a ROM (Read Only Memory), and the like, and a program stored in the ROM is expanded in the RAM and executed by the CPU. The remote operation processing of each processing apparatus 3a-3n is performed. A display unit 42, a storage unit 43, an operation unit 44, a communication unit 45, and a VNC processing unit 46 are connected to the control unit 41 and are configured to be operable under the control of the control unit 41.

表示部４２は、遠隔操作ＰＣ４で用いられる各種の情報を表示する。例えば、表示部４１は、遠隔操作される加工装置３ａ〜３ｎを選択するための選択画像や、遠隔操作する加工装置３ａ〜３ｎから送信される操作画像などを表示する。なお、これらの選択画像や操作画像の構成については後述する。 The display unit 42 displays various information used by the remote operation PC 4. For example, the display unit 41 displays a selection image for selecting the processing devices 3a to 3n to be remotely operated, an operation image transmitted from the processing devices 3a to 3n to be remotely operated, and the like. The configuration of these selection images and operation images will be described later.

記憶部４３は、遠隔操作ＰＣ４で用いられる各種の情報を記憶する。例えば、記憶部４３は、表示部４３に選択画像を表示するための情報や、加工装置３ａ〜３ｎから送信される装置に関する情報（以下、「装置情報」という）及び操作画像を表示するための情報などを記憶する。なお、記憶部４３は、制御部４１のＲＯＭやＲＡＭとして利用することも可能である。 The storage unit 43 stores various information used by the remote operation PC 4. For example, the storage unit 43 displays information for displaying the selected image on the display unit 43, information about the device transmitted from the processing devices 3a to 3n (hereinafter referred to as “device information”), and an operation image. Store information. Note that the storage unit 43 can also be used as a ROM or RAM of the control unit 41.

操作部４４は、例えば、キーボードやポインティングデバイスなどで構成され、操作者からの遠隔操作ＰＣ４に対する指示を受け付ける。例えば、操作部４４は、本遠隔操作システムのためのプログラム（以下、「遠隔操作プログラム」という）の起動指示や、表示部４２に表示された選択画像から、遠隔操作対象となる加工装置３ａ〜３ｎの選択指示を受け付ける。 The operation unit 44 is composed of, for example, a keyboard and a pointing device, and receives an instruction from the operator to the remote operation PC 4. For example, the operation unit 44 uses the processing device 3 a to be remotely operated from a start instruction of a program for the remote operation system (hereinafter referred to as “remote operation program”) or a selection image displayed on the display unit 42. 3n selection instructions are accepted.

通信部４５は、ＬＡＮ５を介して加工装置３ａ〜３ｎとの間の通信を制御する。例えば、通信部４５は、ＬＡＮ５を介して加工装置３ａ〜３ｎに対して装置情報を要求する制御信号（装置情報要求信号）を送信する一方、この装置情報要求信号に対して応答される装置情報を加工装置３ａ〜３ｎから受信する。 The communication unit 45 controls communication with the processing devices 3 a to 3 n via the LAN 5. For example, the communication unit 45 transmits a control signal (device information request signal) for requesting device information to the processing devices 3a to 3n via the LAN 5, and device information responded to the device information request signal. Are received from the processing devices 3a to 3n.

ＶＮＣ処理部４６は、加工装置３ａ〜３ｎとの画像共有に関する構成要素である、画像データ受信部４６ａ及び画像データ表示部４６ｂを備える。画像データ受信部４６ａは、加工装置３ａ〜３ｎから送信された画像データを受信する。画像データ表示部４６ｂは、画像データ受信部４６ａで受信した画像データを表示部４２に表示する。 The VNC processing unit 46 includes an image data receiving unit 46a and an image data display unit 46b, which are components related to image sharing with the processing devices 3a to 3n. The image data receiving unit 46a receives the image data transmitted from the processing devices 3a to 3n. The image data display unit 46 b displays the image data received by the image data receiving unit 46 a on the display unit 42.

また、ＶＮＣ処理部４６は、加工装置３ａ〜３ｎに対する操作入力に関する構成要素である、入力イベント取得部４６ｃ及び入力イベント送信部４６ｄを備える。入力イベント取得部４６ｃは、操作部４４に対する操作入力により生成される入力イベント信号を取得する。入力イベント送信部４６ｄは、入力イベント取得部４６ｃにより取得された入力イベント信号を加工装置３ａ〜３ｎに送信する。 In addition, the VNC processing unit 46 includes an input event acquisition unit 46c and an input event transmission unit 46d, which are components related to operation input to the processing devices 3a to 3n. The input event acquisition unit 46 c acquires an input event signal generated by an operation input to the operation unit 44. The input event transmission unit 46d transmits the input event signal acquired by the input event acquisition unit 46c to the processing devices 3a to 3n.

一方、加工装置３ａは、装置全体の制御を行う制御手段としての制御部３１を備える。制御部３１は、例えば、ＣＰＵ、ＲＡＭ及びＲＯＭ等を備え、ＲＯＭに格納されたプログラムをＲＡＭに展開してＣＰＵに実行させることにより、加工装置３ａにおける加工処理などを実行する。この制御部３１にオペレーションパネル３２、記憶部３３、通信部３４、ＶＮＣ処理部３５及び加工機構３６が接続され、制御部３１の制御の下で動作可能に構成されている。 On the other hand, the processing apparatus 3a includes a control unit 31 as a control unit that controls the entire apparatus. The control unit 31 includes, for example, a CPU, a RAM, a ROM, and the like, and executes a processing process in the processing apparatus 3a by expanding a program stored in the ROM into the RAM and causing the CPU to execute the program. An operation panel 32, a storage unit 33, a communication unit 34, a VNC processing unit 35, and a machining mechanism 36 are connected to the control unit 31 and are configured to be operable under the control of the control unit 31.

オペレーションパネル３２は、表示部及び操作部として機能するものであり、例えば、タッチパネルで構成される。オペレーションパネル３２は、加工装置３ａで用いられる各種の情報を表示すると共に、操作者からの加工装置３ａに対する指示を受け付ける。例えば、オペレーションパネル３２は、加工装置３ａを操作するための操作画像や、後述する加工機構３６の撮像部３６ｃで撮像された撮像画像などを表示する。また、オペレーションパネル３２は、操作画像から後述する加工機構３６への加工指示を受け付ける。 The operation panel 32 functions as a display unit and an operation unit, and includes, for example, a touch panel. The operation panel 32 displays various types of information used in the processing apparatus 3a and receives instructions from the operator for the processing apparatus 3a. For example, the operation panel 32 displays an operation image for operating the processing apparatus 3a, a captured image captured by an imaging unit 36c of the processing mechanism 36 described later, and the like. Further, the operation panel 32 receives a processing instruction from the operation image to a processing mechanism 36 described later.

記憶部３３は、加工装置３ａで用いられる各種の情報を記憶する。例えば、記憶部３３は、加工装置３ａにおけるステータス情報を含む装置情報や、操作画像をオペレーションパネル３２に表示するための情報などを記憶する。なお、記憶部３３は、制御部３１のＲＯＭやＲＡＭとして利用することも可能である。 The memory | storage part 33 memorize | stores the various information used with the processing apparatus 3a. For example, the storage unit 33 stores device information including status information in the processing device 3a, information for displaying an operation image on the operation panel 32, and the like. The storage unit 33 can also be used as a ROM or RAM for the control unit 31.

通信部３４は、ＬＡＮ５を介して遠隔操作ＰＣ４との間の通信を制御する。例えば、通信部３４は、ＬＡＮ５を介して遠隔操作ＰＣ４から装置情報要求信号を受信する一方、この装置情報要求信号に対して装置情報を遠隔操作ＰＣ４に送信する。 The communication unit 34 controls communication with the remote operation PC 4 via the LAN 5. For example, the communication unit 34 receives a device information request signal from the remote operation PC 4 via the LAN 5, and transmits device information to the remote operation PC 4 in response to the device information request signal.

ＶＮＣ処理部３５は、遠隔操作ＰＣ４との画像共有に関する構成要素である、画像データ取得部３５ａ及び画像データ送信部３５ｂを備える。画像データ取得部３５ａは、オペレーションパネル３２に表示される画像データを記憶部３３から取得する。画像データ送信部３５ｂは、画像データ取得部３５ａで取得した画像データを遠隔操作ＰＣ４に送信する。 The VNC processing unit 35 includes an image data acquisition unit 35a and an image data transmission unit 35b, which are components related to image sharing with the remote control PC 4. The image data acquisition unit 35 a acquires image data displayed on the operation panel 32 from the storage unit 33. The image data transmission unit 35b transmits the image data acquired by the image data acquisition unit 35a to the remote operation PC 4.

また、ＶＮＣ処理部３５は、遠隔操作ＰＣ４からの操作入力に関する構成要素である、入力イベント受信部３５ｃ及び入力イベント実行部３５ｄを備える。入力イベント受信部３５ｃは、遠隔操作ＰＣ４から送信された入力イベント信号を受信する。入力イベント実行部３５ｄは、入力イベント受信部３５ｃで受信した入力イベント信号に対する入力イベントを加工装置３ａ上で実行させる。 The VNC processing unit 35 includes an input event receiving unit 35c and an input event executing unit 35d, which are components related to operation input from the remote operation PC 4. The input event receiving unit 35c receives an input event signal transmitted from the remote operation PC 4. The input event execution unit 35d causes the processing device 3a to execute an input event for the input event signal received by the input event reception unit 35c.

加工機構３６は、ワークを保持する保持手段としての保持部３６ａと、この保持部３６ａに保持されたワークを加工する加工手段としての加工部３６ｂと、保持部３６ａに保持されたワークを撮像する撮像手段としての撮像部３６ｃとを備える。例えば、加工装置３ａがダイシング装置で構成される場合、加工部３６ｂは、高速回転可能に構成される切削ブレードを備え、この切削ブレードとワークを保持した保持部３６ａとを相対的に移動させてワークの切削加工を行う。また、撮像部３６ｃは、保持部３６ａに保持されたワークの切削位置の調整工程や、切削加工結果の確認工程などでワークの一部又は全部を撮像する。 The processing mechanism 36 images a holding unit 36a as a holding unit that holds the workpiece, a processing unit 36b as a processing unit that processes the workpiece held by the holding unit 36a, and a workpiece held by the holding unit 36a. And an imaging unit 36c as imaging means. For example, when the processing device 3a is configured by a dicing device, the processing unit 36b includes a cutting blade configured to be capable of high-speed rotation, and relatively moves the cutting blade and the holding unit 36a that holds the workpiece. Cutting the workpiece. In addition, the imaging unit 36c images a part or the whole of the workpiece in a process of adjusting the cutting position of the workpiece held by the holding unit 36a, a step of confirming the cutting result, or the like.

なお、加工装置３ａがダイシング装置以外の加工装置で構成される場合、主に加工部３６ｂの構成において相違する。例えば、加工装置３ａが研削研磨装置で構成される場合、加工部３６ｂは、高速回転可能に構成される研削砥石を備え、この研削砥石とワークを保持した保持部３６ａとを相対的に回転させてワークの研削研磨加工を行う。 In addition, when the processing apparatus 3a is comprised by processing apparatuses other than a dicing apparatus, it mainly differs in the structure of the process part 36b. For example, when the processing device 3a is configured by a grinding and polishing device, the processing unit 36b includes a grinding wheel configured to be capable of high-speed rotation, and relatively rotates the grinding wheel and the holding unit 36a that holds the workpiece. The workpiece is ground and polished.

本実施の形態に係る遠隔操作システム１において、加工装置３ａ〜３ｎにおけるＶＮＣ処理部３５は、画像共有サーバとして機能し、遠隔操作ＰＣ４におけるＶＮＣ処理部４６は、画像共有クライアントとして機能する。遠隔操作システム１においては、遠隔操作ＰＣ４からの画像要求に応じて、加工装置３ａ〜３ｎのＶＮＣ処理部３５がオペレーションパネル３２に表示される操作画像の画像データを送信することで、遠隔操作ＰＣ４の表示部４２でも同一の操作画像を表示することができる。また、この操作画像を確認しながら操作者が操作部４４を介して操作入力を行うことにより、遠隔操作ＰＣ４のＶＮＣ処理部４６が操作入力に応じた入力イベント信号を加工装置３ａ〜３ｎに送信することで、加工装置３ａ〜３ｎで入力イベント信号に応じた処理を実行することができる。このようにして遠隔操作ＰＣ４で加工装置３ａ〜３ｎの遠隔操作が実現されるものとなっている。 In the remote operation system 1 according to the present embodiment, the VNC processing unit 35 in the processing devices 3a to 3n functions as an image sharing server, and the VNC processing unit 46 in the remote operation PC 4 functions as an image sharing client. In the remote operation system 1, in response to an image request from the remote operation PC 4, the VNC processing unit 35 of the processing devices 3a to 3n transmits the image data of the operation image displayed on the operation panel 32, so that the remote operation PC 4 The same operation image can be displayed on the display unit 42. In addition, when the operator performs an operation input via the operation unit 44 while confirming the operation image, the VNC processing unit 46 of the remote operation PC 4 transmits an input event signal corresponding to the operation input to the processing devices 3a to 3n. By doing so, the processing apparatus 3a-3n can perform the process according to the input event signal. In this way, remote operation of the processing devices 3a to 3n is realized by the remote operation PC 4.

ここで、遠隔操作ＰＣ４の表示部４２に表示される選択画像の構成例、並びに、加工装置３ａ〜３ｎのオペレーションパネル３２に表示される操作画像の構成例について説明する。図３は、本実施の形態に係る遠隔操作ＰＣ４の表示部４２に表示される選択画像の一例を示す図である。図４は、本実施の形態に係る加工装置３のオペレーションパネル３２に表示される操作画像の一例を示す図である。なお、図４においては、加工装置３ａ〜３ｎがダイシング装置で構成される場合の操作画像の一例を示している。なお、以下においては、説明の便宜上、特に必要とする場合を除き、複数の加工装置３ａ〜３ｎを加工装置３と呼ぶものとする。 Here, a configuration example of the selected image displayed on the display unit 42 of the remote operation PC 4 and a configuration example of the operation image displayed on the operation panel 32 of the processing apparatuses 3a to 3n will be described. FIG. 3 is a diagram showing an example of a selection image displayed on the display unit 42 of the remote control PC 4 according to the present embodiment. FIG. 4 is a diagram showing an example of an operation image displayed on the operation panel 32 of the processing apparatus 3 according to the present embodiment. In addition, in FIG. 4, an example of the operation image in case the processing apparatuses 3a-3n are comprised with a dicing apparatus is shown. In the following description, for convenience of explanation, a plurality of processing apparatuses 3a to 3n are referred to as a processing apparatus 3 unless particularly required.

遠隔操作ＰＣ４の表示部４２に表示される選択画像においては、図３に示すように、複数の加工装置３の状態が一括的に表示される装置状態表示領域３０１が含まれている。この装置状態表示領域３０１には、遠隔操作システム１で遠隔操作可能な複数の加工装置３に対応する装置選択キー３０２が配列されている。これらの装置選択キー３０２は、遠隔操作ＰＣ４の操作者が遠隔操作を行う加工装置３を選択する際に利用される。すなわち、遠隔操作ＰＣ４の操作者は、図３に示す選択画像から特定の装置選択キー３０２を選択することにより、遠隔操作する加工装置３を選択することができるものとなっている。 The selection image displayed on the display unit 42 of the remote operation PC 4 includes an apparatus state display area 301 in which the states of the plurality of processing apparatuses 3 are collectively displayed as shown in FIG. In the device status display area 301, device selection keys 302 corresponding to a plurality of processing devices 3 that can be remotely operated by the remote operation system 1 are arranged. These device selection keys 302 are used when the operator of the remote operation PC 4 selects the processing device 3 to be remotely operated. That is, the operator of the remote operation PC 4 can select the processing device 3 to be remotely operated by selecting a specific device selection key 302 from the selection image shown in FIG.

装置選択キー３０２は、表示態様によりそれぞれの加工装置３の状態が識別可能に構成されている。例えば、装置選択キー３０２は、外枠の有無及び配色により加工装置３の状態を識別可能に構成される。例えば、遠隔操作システム１に接続されている加工装置３には、外枠の有る装置選択キー３０２が割り当てられ、接続されていない加工装置３には、外枠の無い装置選択キー３０２が割り当てられる。また、待機中（非稼働中）である加工装置３には、薄灰色の装置選択キー３０２が割り当てられ、加工処理中（稼働中）である加工装置３には、緑色の装置選択キー３０２が割り当てられ、エラー状態にある加工装置３には、赤色の装置選択キー３０２が割り当てられる。 The device selection key 302 is configured so that the state of each processing device 3 can be identified by the display mode. For example, the device selection key 302 is configured so that the state of the processing device 3 can be identified by the presence / absence of the outer frame and the color scheme. For example, a device selection key 302 having an outer frame is assigned to the processing device 3 connected to the remote operation system 1, and a device selection key 302 having no outer frame is assigned to the processing device 3 not connected. . Further, a light gray device selection key 302 is assigned to the processing device 3 that is on standby (not operating), and a green device selection key 302 is assigned to the processing device 3 that is processing (operating). A red device selection key 302 is assigned to the processing device 3 that is assigned and in an error state.

遠隔操作ＰＣ４で表示される選択画像の装置状態表示領域３０１においては、このように外枠の有無及び配色により加工装置３の状態が表示されるので、操作者は、複数の加工装置３の状態を一括的に判断することができ、遠隔操作を行う加工装置３をスムーズに選択することができる。特に、装置状態表示領域３０１においては、複数の加工装置３の稼働状態が表示されることから、遠隔操作ＰＣ４の操作者において、遠隔操作を行うことができる加工装置３を効率的に選択することができる。さらに、装置状態表示領域３０１においては、加工装置３のエラー状態が表示されることから、該当する加工装置３を選択することで、エラー要因を調査することや、エラー要因を排除する対応を取ることができる。 In the device status display area 301 of the selected image displayed by the remote operation PC 4, the status of the processing device 3 is displayed by the presence / absence of the outer frame and the color scheme as described above. Can be collectively determined, and the processing device 3 that performs remote operation can be selected smoothly. In particular, in the apparatus status display area 301, since the operating states of the plurality of processing apparatuses 3 are displayed, the operator of the remote operation PC 4 can efficiently select the processing apparatus 3 that can perform the remote operation. Can do. Furthermore, since the error status of the machining device 3 is displayed in the device status display area 301, the error factor can be investigated and the error factor can be eliminated by selecting the corresponding machining device 3. be able to.

なお、ここでは、選択画像に複数の加工装置３の状態として、各加工装置３の稼働状態やエラー状態が装置選択キー３０２の表示態様によって一括的に表示される場合について説明している。しかしながら、選択画像に表示される複数の加工装置３の状態については、これらの限定されるものではなく適宜変更が可能である。例えば、加工装置３における加工履歴（加工実績や加工精度など）やメンテナンス履歴を、表示態様又は文字情報により表示することも可能である。このように加工履歴やメンテナンス履歴を選択画像に含める場合には、これらの情報に基づいて操作者において、所望の加工装置３（例えば、加工精度の高い加工装置３）を選択することが可能となる。 Here, a case is described in which the operating state and error state of each processing device 3 are collectively displayed according to the display mode of the device selection key 302 as the states of the plurality of processing devices 3 in the selected image. However, the states of the plurality of processing devices 3 displayed in the selected image are not limited to these and can be changed as appropriate. For example, the processing history (processing results, processing accuracy, etc.) and maintenance history in the processing apparatus 3 can be displayed by display mode or character information. As described above, when the processing history and the maintenance history are included in the selection image, the operator can select a desired processing device 3 (for example, a processing device 3 with high processing accuracy) based on the information. Become.

加工装置３のオペレーションパネル３２に表示される操作画像においては、図４に示すように、加工装置３に対する複数の操作入力メニューを含むトップメニュー領域４０１と、利用頻度が高い操作入力メニューへのショートカットメニューを含むショートカットメニュー領域４０２と、現在の加工装置３の状態を表示する状態表示領域４０３と、後述するセンサーキー４０４ａやアラーム／クリアキー４０４ｂなどの含む操作入力領域４０４とが含まれている。 In the operation image displayed on the operation panel 32 of the processing apparatus 3, as shown in FIG. 4, a top menu area 401 including a plurality of operation input menus for the processing apparatus 3 and shortcut menus for frequently used operation input menus. , A state display area 403 for displaying the current state of the processing apparatus 3, and an operation input area 404 including sensor keys 404a and alarm / clear keys 404b described later.

トップメニュー領域４０１においては、加工装置３の稼働指示時に選択されるフルオートメーションキー４０１ａやマニュアルオペレーションキー４０１ｂ、ワーク固有の情報の入力／確認時に選択されるデバイスデータキー４０１ｃ、切削ブレードに関する情報の入力／確認時に選択されるブレードメンテナンスキー４０１ｄ、加工装置３に対する各種の設定情報の入力／確認時に選択されるオペレータメンテナンスキー４０１ｅ、マシンメンテナンスキー４０１ｆやエンジニアリングメンテナンスキー４０１ｇなどの操作入力キー（以下、適宜「トップメニューキー」という）が表示されている。加工装置３の操作者は、これらのトップメニューキーを選択することで加工装置３に対する所望の操作を指示することができる。なお、これらのトップメニューキーは、加工装置３の制御部３１に指示を入力する指示入力画像の一部を構成する。 In the top menu area 401, a full automation key 401a and a manual operation key 401b selected at the time of instructing the operation of the processing apparatus 3, a device data key 401c selected at the time of input / confirmation of workpiece-specific information, and input / information about cutting blades Blade maintenance key 401d selected at the time of confirmation, operator maintenance key 401e selected at the time of inputting / confirming various setting information to the processing apparatus 3, operation input keys such as a machine maintenance key 401f and an engineering maintenance key 401g (hereinafter referred to as “appropriately” "Top menu key" is displayed. The operator of the processing apparatus 3 can instruct a desired operation on the processing apparatus 3 by selecting these top menu keys. Note that these top menu keys constitute a part of an instruction input image for inputting an instruction to the control unit 31 of the processing apparatus 3.

ショートカットメニュー領域４０２においては、切削ブレードの交換時又はメンテナンス時に選択されるブレード・セットアップキー４０２ａ、複数のワークを収納したカセットの入れ替え時に選択されるニュー・カセットキー４０２ｂ、保持部３６ｂを構成するチャックテーブル（Ｃ／Ｔ）におけるバキューム圧情報の設定／確認時に選択されるＣ／Ｔバキュームキー４０２ｃ、英字や数字などの入力時に選択される入力キー４０２ｄなどの操作入力キー（以下、適宜「ショートカットメニューキー」という）が表示されている。トップメニューキーは、階層構造を有しており、所望の操作を指示するまで複数の選択動作が必要となる。これに対し、ショートカットメニューキーによれば、加工装置３の操作者は、トップメニューキーを用いる場合と比べて操作入力キーの選択動作を低減しながら加工装置３に対する所望の操作を指示することができる。なお、これらのショートカットメニューキーは、加工装置３の制御部３１に指示を入力する指示入力画像の一部を構成する。 In the shortcut menu area 402, a blade setup key 402a selected at the time of cutting blade replacement or maintenance, a new cassette key 402b selected at the time of replacement of a cassette storing a plurality of workpieces, and a chuck constituting a holding portion 36b. Operation input keys such as a C / T vacuum key 402c selected at the time of setting / confirming vacuum pressure information in the table (C / T), an input key 402d selected at the time of inputting alphabetic characters or numbers, etc. Key)) is displayed. The top menu key has a hierarchical structure, and a plurality of selection operations are required until a desired operation is instructed. On the other hand, according to the shortcut menu key, the operator of the machining apparatus 3 can instruct a desired operation on the machining apparatus 3 while reducing the selection operation of the operation input key compared to the case of using the top menu key. . Note that these shortcut menu keys constitute a part of an instruction input image for inputting an instruction to the control unit 31 of the processing apparatus 3.

状態表示領域４０３においては、現在の加工装置３の状態が、遠隔操作ＰＣ４による遠隔操作状態であるかが表示される。具体的には、図４に示すように、遠隔操作ＰＣ４により遠隔操作状態が開始された日付及び時刻情報と、遠隔操作状態を示す報知情報（ＲｅｍｏｔｅＣｔｌ）とが表示される。このように操作画像の状態表示領域４０３においては、加工装置３が遠隔操作状態であるかが表示されるので、加工装置３の操作者は、加工装置３を操作可能であるかを即時に判断することができる。 In the state display area 403, it is displayed whether the current state of the machining apparatus 3 is a remote operation state by the remote operation PC 4. Specifically, as shown in FIG. 4, date and time information when the remote operation state is started by the remote operation PC 4 and notification information (Remote Ctl) indicating the remote operation state are displayed. In this way, in the operation image state display area 403, it is displayed whether or not the processing device 3 is in the remote operation state, so the operator of the processing device 3 immediately determines whether or not the processing device 3 can be operated. can do.

なお、この状態表示領域４０３は、遠隔操作ＰＣ４から遠隔操作可能な状態を表示する領域として機能する。すなわち、状態表示領域４０３に遠隔操作状態を示す報知情報（ＲｅｍｏｔｅＣｔｌ）が表示されていない場合には、加工装置３が遠隔操作ＰＣ４により遠隔操作可能な状態であることを示す。このように状態表示領域４０３に加工装置３が遠隔操作可能な状態であるかが示されることから、操作者においては、加工装置３が遠隔操作ＰＣ４により遠隔操作される可能性があることを認識することができる。 The status display area 403 functions as an area for displaying a status that can be remotely operated from the remote operation PC 4. That is, when the notification information (Remote Ctl) indicating the remote operation state is not displayed in the state display area 403, it indicates that the processing apparatus 3 is in a state where it can be remotely operated by the remote operation PC 4. Thus, since the status display area 403 indicates whether or not the processing device 3 is in a remotely operable state, the operator recognizes that the processing device 3 may be remotely operated by the remote operation PC 4. can do.

操作入力領域４０４においては、チャックテーブルにおけるバキューム圧情報などを検知するセンサーの出力値の確認時に選択されるセンサーキー４０４ａや、緊急事態の発生又は回避に伴って警報の出力時又は停止時に選択されるアラーム／クリアキー４０４ｂなどの操作入力キーが表示される。加工装置３の操作者は、操作入力領域４０４に表示された、これらの操作入力キーを選択することで、緊急時等に必要となる処理を迅速に加工装置３に指示することができる。 In the operation input area 404, the sensor key 404a that is selected when confirming the output value of the sensor that detects the vacuum pressure information on the chuck table or the like is selected when an alarm is output or stopped when an emergency occurs or is avoided. An operation input key such as an alarm / clear key 404b is displayed. The operator of the processing apparatus 3 can quickly instruct the processing apparatus 3 to perform processing necessary in an emergency or the like by selecting these operation input keys displayed in the operation input area 404.

このような構成を有する操作画像において、トップメニューキー又はショートカットメニューキーを介して特定の操作入力キーが選択されると、加工機構３６における撮像部３６ｃに対して、保持部３６ａに保持されたワークの一部の撮像が指示され、その撮像画像が操作画像の一部又は全部に表示される。 In the operation image having such a configuration, when a specific operation input key is selected through the top menu key or the shortcut menu key, the workpiece held in the holding unit 36a is compared with the imaging unit 36c in the processing mechanism 36. A part of imaging is instructed, and the captured image is displayed on a part or all of the operation image.

例えば、操作画像上からティーチモードを指示する操作入力キーが選択された場合に撮像部３６ｃに撮像指示が与えられる。ここで、ティーチモードとは、加工装置３に対して、アラインメント処理を行うのに必要な基準となるアラインメントパターン（画像）及び切断予定ライン（ストリート）の情報を登録するモードである（図５参照）。ティーチモードにより、加工装置３にターゲット（目印）Ｔの形状と、ターゲットＴから切断予定ラインまでの距離とを記憶させることが可能となる。なお、このティーチモードにおける具体的な作業は、撮像部３６ｃで撮像された画面を操作者が確認しながら手動で行われる。アライメント処理とは、加工装置３において自動で加工処理を開始するさいに、ティーチモードで記憶されたターゲットＴの形状及びターゲットＴから切断予定ラインまでの距離によって自動的にワーク上から切断ラインを検出する処理である。 For example, when an operation input key for instructing the teach mode is selected on the operation image, an imaging instruction is given to the imaging unit 36c. Here, the teach mode is a mode for registering information on an alignment pattern (image) and a planned cutting line (street) as a reference necessary for performing an alignment process with respect to the processing apparatus 3 (see FIG. 5). ). With the teach mode, it is possible to store the shape of the target (marker) T and the distance from the target T to the planned cutting line in the processing apparatus 3. The specific work in the teach mode is manually performed while the operator confirms the screen imaged by the imaging unit 36c. The alignment process automatically detects the cutting line on the workpiece based on the shape of the target T stored in the teach mode and the distance from the target T to the planned cutting line when the processing apparatus 3 automatically starts the processing. It is processing to do.

図５は、加工装置３のオペレーションパネル３２に表示される撮像画像の一例を示す図である。図５においては、操作画像上からティーチモードを指示する操作入力キーが選択された場合の撮像画像の一例を示している。図５に示す撮像画像においては、保持部３６ａに保持されたワークの表面を拡大した撮像画像が表示される。上述したように、ティーチモードにおいては、図５に示す撮像画像から操作者による手動作業によりターゲットＴの形状と、ターゲットＴから切断予定ラインＬ１、Ｌ２までの距離Ｄ１、Ｄ２とが加工装置３に登録される。操作画像には、このように操作画像上からの操作入力に応じて図５に示すような撮像画像が表示される。 FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a captured image displayed on the operation panel 32 of the processing apparatus 3. FIG. 5 shows an example of a captured image when an operation input key for instructing the teach mode is selected from the operation image. In the captured image shown in FIG. 5, a captured image obtained by enlarging the surface of the work held by the holding unit 36a is displayed. As described above, in the teach mode, the shape of the target T and the distances D1 and D2 from the target T to the scheduled cutting lines L1 and L2 from the captured image shown in FIG. be registered. In the operation image, a captured image as shown in FIG. 5 is displayed according to the operation input from the operation image.

遠隔操作ＰＣ４により加工装置３の遠隔操作が行われた場合、このような操作画像（撮像画像が一部又は全部に表示された操作画像を含む）は、遠隔操作ＰＣ４の表示部４２にも表示される。このように遠隔操作ＰＣ４の表示部４２に図４に示す操作画像又は図５に示す撮像画像が表示されることから、遠隔操作ＰＣ４の操作者は、遠隔操作対象となる加工装置３のオペレーションパネル３０２に表示される操作画像を確認するのと同様の要領で、この加工装置３の遠隔操作を行うことができるものとなっている。 When the processing apparatus 3 is remotely operated by the remote operation PC 4, such an operation image (including an operation image in which the captured image is displayed in part or in whole) is also displayed on the display unit 42 of the remote operation PC 4. Is done. Since the operation image shown in FIG. 4 or the captured image shown in FIG. 5 is displayed on the display unit 42 of the remote operation PC 4 in this way, the operator of the remote operation PC 4 can operate the operation panel of the processing apparatus 3 to be remotely operated. This processing device 3 can be remotely operated in the same manner as confirming the operation image displayed on 302.

以下、本実施の形態に係る遠隔操作システム１において、遠隔操作ＰＣ４で加工装置３の遠隔操作を行う場合の動作について説明する。図６は、本実施の形態に係る遠隔操作システム１において、遠隔操作ＰＣ４で加工装置３の遠隔操作を行う場合の動作を説明するためのシーケンス図である。なお、図６においては、説明の便宜上、遠隔操作が行われる単一の加工装置３のみを示している。 Hereinafter, in the remote operation system 1 according to the present embodiment, an operation when the remote operation PC 4 performs remote operation of the machining apparatus 3 will be described. FIG. 6 is a sequence diagram for explaining an operation in the case where the remote operation PC 4 performs remote operation of the machining apparatus 3 in the remote operation system 1 according to the present embodiment. In FIG. 6, only a single processing device 3 that is remotely operated is shown for convenience of explanation.

図６に示すように、遠隔操作ＰＣ４において、操作者により操作部４４を介して遠隔操作プログラムの起動が指示されると、遠隔操作プログラムが起動され、表示部４２に選択画像が表示される（ステップ（以下、「ＳＴ」という）６０１）。なお、ここでは、加工装置３の現在の状態が反映されていない選択画像が表示される。この選択画像が表示されると、遠隔操作ＰＣ４から複数の加工装置３に対して装置情報を要求する制御信号（以下、「装置情報要求信号」という）が送信される（ＳＴ６０２）。 As shown in FIG. 6, in the remote operation PC 4, when an operator instructs the activation of the remote operation program via the operation unit 44, the remote operation program is activated and a selection image is displayed on the display unit 42 ( Step (hereinafter referred to as “ST”) 601). Here, a selection image that does not reflect the current state of the processing apparatus 3 is displayed. When this selected image is displayed, a control signal requesting device information (hereinafter referred to as “device information request signal”) is transmitted from the remote operation PC 4 to the plurality of processing devices 3 (ST602).

遠隔操作ＰＣ４から装置情報要求信号を受信すると、各加工装置３では記憶部３３に保持された装置情報（例えば、加工処理中やエラー状態であることを示すステータス情報）が取得される。そして、取得された装置情報が遠隔操作ＰＣ４に送信される（ＳＴ６０３）。なお、加工装置３から遠隔操作ＰＣ４に送信される装置情報には、加工履歴やメンテナンス履歴等の情報を含めることも可能である。 When a device information request signal is received from the remote operation PC 4, each processing device 3 acquires device information (for example, status information indicating that processing is in progress or an error state) held in the storage unit 33. Then, the acquired device information is transmitted to the remote operation PC 4 (ST603). Note that the device information transmitted from the processing device 3 to the remote control PC 4 can include information such as a processing history and a maintenance history.

各加工装置３から装置情報を受信すると、図３に示すように、各加工装置３の状態が反映された選択画像が表示部４２に表示される。このように選択画像が表示された状態において、操作者から操作部４４を介して遠隔操作を行う特定の加工装置３の選択が行われると（すなわち、装置選択キー３０２が選択されると）、遠隔操作ＰＣ４から特定の加工装置３に対して操作画像を要求する制御信号（以下、「操作画像要求信号」という）が送信される（ＳＴ６０４）。 When apparatus information is received from each processing apparatus 3, a selection image reflecting the state of each processing apparatus 3 is displayed on the display unit 42 as shown in FIG. In a state where the selected image is displayed as described above, when the operator selects a specific processing device 3 that performs remote operation via the operation unit 44 (that is, when the device selection key 302 is selected). A remote operation PC 4 transmits a control signal requesting an operation image to the specific processing device 3 (hereinafter referred to as “operation image request signal”) (ST604).

遠隔操作ＰＣ４から操作画像要求信号を受信すると、ＶＮＣ処理部３５の画像データ取得部３５ａにより操作画像の画像データ（以下、適宜「操作画像データ」という）が記憶部３３から取得され（ＳＴ６０５）、取得された操作画像データが画像データ送信部３５ｂから遠隔操作ＰＣ４に送信される（ＳＴ６０６）。この場合、例えば、図４に示すような操作画像が遠隔操作ＰＣ４に送信される。 When the operation image request signal is received from the remote operation PC 4, image data of the operation image (hereinafter referred to as “operation image data” as appropriate) is acquired from the storage unit 33 by the image data acquisition unit 35a of the VNC processing unit 35 (ST605). The acquired operation image data is transmitted from the image data transmission unit 35b to the remote operation PC 4 (ST606). In this case, for example, an operation image as shown in FIG. 4 is transmitted to the remote operation PC 4.

加工装置３から送信された操作画像データは、ＶＮＣ処理部４６の画像データ受信部４６ａにより受信され（ＳＴ６０７）、画像データ表示部４６ｂにより表示部４２に表示される（ＳＴ６０８）。これにより、遠隔操作ＰＣ４の表示部４２に、遠隔操作対象となる加工装置３のオペレーションパネル３２に表示された操作画像と同一の操作画像が表示されることとなる。なお、加工装置３のオペレーションパネル３２に表示された操作画像に撮像画像が含まれる場合には、遠隔操作ＰＣ４の表示部４２にも同様に、撮像画像を含む操作画像が表示される。 The operation image data transmitted from the processing apparatus 3 is received by the image data receiving unit 46a of the VNC processing unit 46 (ST607) and displayed on the display unit 42 by the image data display unit 46b (ST608). As a result, the same operation image as the operation image displayed on the operation panel 32 of the processing apparatus 3 to be remotely operated is displayed on the display unit 42 of the remote operation PC 4. When a captured image is included in the operation image displayed on the operation panel 32 of the processing apparatus 3, an operation image including the captured image is also displayed on the display unit 42 of the remote operation PC 4.

操作画像が表示されると、遠隔操作ＰＣ４においては、操作者からの操作部４４を介した操作入力が行われるまで待機する。そして、操作者から操作入力が行われると、ＶＮＣ処理部４６の入力イベント取得部４６ｃにより、その内容が操作画像上の座標点として取得される（ＳＴ６０９）。そして、入力イベント送信部４６ｄにより、その内容が、操作内容を示す制御信号（以下、「操作内容信号」という）とされて加工装置３に送信される（ＳＴ６１０）。 When the operation image is displayed, the remote operation PC 4 stands by until an operation input from the operator via the operation unit 44 is performed. When an operation input is made by the operator, the contents are acquired as coordinate points on the operation image by the input event acquisition unit 46c of the VNC processing unit 46 (ST609). Then, the input event transmitting unit 46d transmits the content as a control signal indicating the operation content (hereinafter referred to as “operation content signal”) to the processing apparatus 3 (ST610).

遠隔操作ＰＣ４から送信された操作内容信号は、ＶＮＣ処理部３５の入力イベント受信部３５ｃにより受信される（ＳＴ６１１）。そして、入力イベント受信部３５ｃにより受信された操作内容信号に対応する処理が入力イベント実行部３５ｄにより実行される（ＳＴ６１２）。このようにして遠隔操作ＰＣ４からの操作入力に応じて加工装置３の遠隔操作が行われる。 The operation content signal transmitted from the remote operation PC 4 is received by the input event receiving unit 35c of the VNC processing unit 35 (ST611). Then, the process corresponding to the operation content signal received by the input event receiving unit 35c is executed by the input event executing unit 35d (ST612). In this way, the remote operation of the machining apparatus 3 is performed in response to an operation input from the remote operation PC 4.

このように本実施の形態に係る遠隔操作システム１においては、遠隔操作ＰＣ４の表示部４２に、複数の加工装置３を表示する選択画像と、この選択画像から選択された加工装置３を操作するための操作画像とを表示可能とし、操作画像によって複数の加工装置３を選択的に操作するようにしたことから、個々の加工装置３のオペレーションパネル３２による個別の操作入力を省略でき、複数の加工装置３に対して従来よりも効率的にオペレーションを行うことが可能となる。この結果、複数の加工装置３を操作する作業員を削減することができ、ワークの加工処理に要するコストを低減することが可能となる。 As described above, in the remote operation system 1 according to the present embodiment, the selected image for displaying the plurality of processing devices 3 on the display unit 42 of the remote operation PC 4 and the processing device 3 selected from the selected images are operated. The operation images for the display can be displayed, and the plurality of processing devices 3 are selectively operated according to the operation images. Therefore, the individual operation input by the operation panel 32 of each processing device 3 can be omitted. It becomes possible to operate the processing apparatus 3 more efficiently than before. As a result, the number of workers who operate the plurality of processing devices 3 can be reduced, and the cost required for workpiece processing can be reduced.

特に、本実施の形態に係る遠隔操作システム１においては、遠隔操作ＰＣ４の表示部４２に表示される操作画像に、加工装置３の撮像部３６ｃで撮像された撮像画像を表示するようにしたことから、遠隔操作ＰＣ４の操作者において、撮像画像を確認しながら加工装置３を操作することができるので、遠隔操作ＰＣ４を利用しながらも、加工装置３のオペレーションパネル３２を操作しているのと同様の感覚で加工装置３を操作することが可能となる。 In particular, in the remote operation system 1 according to the present embodiment, the captured image captured by the imaging unit 36c of the processing device 3 is displayed on the operation image displayed on the display unit 42 of the remote operation PC 4. Since the operator of the remote operation PC 4 can operate the processing device 3 while confirming the captured image, the operator operates the operation panel 32 of the processing device 3 while using the remote operation PC 4. It becomes possible to operate the processing apparatus 3 with the same feeling.

また、本実施の形態に係る遠隔操作システム１においては、遠隔操作ＰＣ４の表示部４２に表示される操作画像が、加工装置３のオペレーションパネル３２に表示される操作画像と同一であることから、加工装置３の操作者に新たな操作の習得を要求することがない。このため、加工装置３の操作実績があれば、遠隔操作ＰＣ４から容易に加工装置３を操作することが可能である。 In the remote operation system 1 according to the present embodiment, the operation image displayed on the display unit 42 of the remote operation PC 4 is the same as the operation image displayed on the operation panel 32 of the processing apparatus 3. The operator of the processing apparatus 3 is not required to learn a new operation. For this reason, if there is a record of operation of the processing apparatus 3, the processing apparatus 3 can be easily operated from the remote operation PC 4.

なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。また、本発明は、その目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。さらに、上記実施の形態においては、本発明を遠隔操作システムに具現化して説明しているが、遠隔操作方法としても成立し、コンピュータに上記実施の形態に係る動作の全部又は一部を実行させるためのプログラム（遠隔操作プログラム）としても成立するものである。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment, It can change and implement variously. The present invention can be implemented with appropriate modifications without departing from the scope of the object. Further, in the above embodiment, the present invention is described by being embodied in a remote operation system, but it is also realized as a remote operation method, and causes a computer to execute all or part of the operation according to the above embodiment. It is also established as a program (remote operation program).

また、上記実施の形態においては、選択画像の装置状態表示領域３０１に、複数の加工装置３に対応する装置選択キー３０２が配列される場合について説明している。遠隔操作ＰＣ４による遠隔操作の効率を向上する観点から、複数種類の加工装置３が遠隔操作対象となる場合に装置選択キー３０２の配列を変更することや、各加工装置３の種類を識別可能に表示することは実施の形態として好ましい。例えば、同一の種類の加工装置３を共通する領域に配列することや、加工装置３の種類に応じて配色を変更することが考えられる。 Further, in the above embodiment, a case has been described in which device selection keys 302 corresponding to a plurality of processing devices 3 are arranged in the device state display area 301 of the selected image. From the viewpoint of improving the efficiency of remote operation by the remote operation PC 4, it is possible to change the arrangement of the device selection keys 302 and identify the type of each machining device 3 when a plurality of types of machining devices 3 are remote operation targets. Displaying is preferable as an embodiment. For example, it is conceivable to arrange the processing devices 3 of the same type in a common area, or to change the color scheme according to the type of the processing device 3.

以上説明したように、本発明は、遠隔操作ＰＣ４の表示部４２に表示される操作画像を介して複数の加工装置３を選択的に操作することで、複数の加工装置３に対して従来よりも効率的にオペレーションを行うことができるという効果を有し、特に、複数の加工装置が設置される工場に適用される遠隔操作システムに有用である。 As described above, according to the present invention, the plurality of processing apparatuses 3 are selectively operated via the operation image displayed on the display unit 42 of the remote operation PC 4 to thereby conventionally operate the plurality of processing apparatuses 3. Is also effective for a remote operation system applied to a factory where a plurality of processing apparatuses are installed.

１遠隔操作システム
２工場
３、３ａ〜３ｎ加工装置
３１制御部
３２オペレーションパネル
３３記憶部
３４通信部
３５ＶＮＣ処理部
３５ａ画像データ取得部
３５ｂ画像データ送信部
３５ｃ入力イベント受信部
３５ｄ入力イベント実行部
４遠隔操作ＰＣ
４１制御部
４２表示部
４３記憶部
４４操作部
４５通信部
４６ＶＮＣ処理部
４６ａ画像データ受信部
４６ｂ画像データ表示部
４６ｃ入力イベント取得部
４６ｄ入力イベント送信部
３０１装置状態表示領域
３０２装置選択キー
４０１トップメニュー領域
４０２ショートカットメニュー領域
４０３状態表示領域 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Remote operation system 2 Factory 3, 3a-3n Processing apparatus 31 Control part 32 Operation panel 33 Memory | storage part 34 Communication part 35 VNC processing part 35a Image data acquisition part 35b Image data transmission part 35c Input event reception part 35d Input event execution part 4 Remote control PC
41 control unit 42 display unit 43 storage unit 44 operation unit 45 communication unit 46 VNC processing unit 46a image data reception unit 46b image data display unit 46c input event acquisition unit 46d input event transmission unit 301 device state display area 302 device selection key 401 top menu Area 402 Shortcut menu area 403 Status display area

Claims

Controlling the holding means for holding the workpiece, the processing means for processing the workpiece held by the holding means, the imaging means for imaging the workpiece held by the holding means, and the holding means, the processing means and the imaging means A remote operation system for remotely operating a processing apparatus having a control means,
Terminal means having a display unit that can be selectively connected to the control means of a plurality of the processing apparatus, the display unit is a selection image that displays a plurality of the processing apparatus, and a plurality of display displayed on the selection image An operation image for operating the processing device selected from the processing device can be displayed, and the operation image includes a captured image acquired by the imaging unit and an instruction input image for inputting an instruction to the control unit. A remote operation system capable of selectively operating a plurality of processing devices displayed in the selected image by the operation image.

The processing apparatus has an operation means for displaying the operation image, and the operation image displayed on the operation means of the processing apparatus selected from the selected image is operable from the terminal means. The remote operation system according to claim 1, wherein the information is displayed.

The remote operation system according to claim 1, wherein the selected images display operating states of the plurality of displayed processing apparatuses.