JP2012041641A - 真空成膜装置、樹脂フィルムの真空成膜方法、および樹脂フィルム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空容器1内の上部に、成膜ローラ10に巻回された樹脂フィルムFがその被成膜面Sを下向きにして配設するとともに、真空容器1内の下部には、蒸着材料を電子ビームガン4によって蒸発させる蒸発源5と、この蒸発源5において蒸発させられた蒸着材料の材料蒸気Aに向けてプラズマBを照射するプラズマ放出源7とを、被成膜面Sに対向するように配置し、このうちプラズマ放出源7を、成膜ローラ10の軸線Oを含んで鉛直方向に延びる仮想平面Rから間隔をあけて配設する。
【選択図】図1
Description
3 ハース
4 電子ビームガン
5 蒸発源
6 アノード電極
7 プラズマ放出源
10 成膜ローラ
11〜13 防着板
A 材料蒸気
B プラズマ
F 樹脂フィルム
O 成膜ローラ10の軸線
S 被成膜面
R 成膜ローラ10の軸線を含んで鉛直方向に延びる仮想平面(被成膜面Sの中心面)
3 ハース
4 電子ビームガン
5 蒸発源
6 アノード電極
7 プラズマ放出源
10 成膜ローラ
11〜13 防着板
A 材料蒸気
B プラズマ
F 樹脂フィルム
O 成膜ローラ10の軸線
S 被成膜面
R 成膜ローラ10の軸線を含んで鉛直方向に延びる仮想平面(被成膜面Sの中心面)
P 成膜ローラ10の軸線O方向中央に位置して該軸線Oと直交する仮想平面
Claims (7)
- 真空容器内の上部に、成膜ローラに巻回された樹脂フィルムがその被成膜面を下向きにして配設されるとともに、上記真空容器内の底部には、蒸着材料を電子ビームガンによって蒸発させる蒸発源と、この蒸発源において蒸発させられた上記蒸着材料に向けてプラズマを照射するプラズマ放出源とが、上記被成膜面に対向するように配置されており、このうち上記プラズマ放出源は、上記成膜ローラの軸線を含んで鉛直方向に延びる仮想平面から間隔をあけて配設されていることを特徴とする真空成膜装置。
- 上記プラズマ放出源は、その上端部が上記被成膜面側を向くように傾けられていることを特徴とする請求項1に記載の真空成膜装置。
- 上記プラズマ放出源に設けたアノード電極の上端部が、上記蒸発源において蒸発させられる上記蒸着材料を保持したハースよりも鉛直方向に高い位置に配設されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の真空成膜装置。
- 上記プラズマ放出源に設けたアノード電極と、上記蒸発源において蒸発させられる上記蒸着材料を保持したハースとが同電位とされていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の真空成膜装置。
- 上記成膜ローラは、絶縁されて上記真空容器内に支持されてフローティング電位とされていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の真空成膜装置。
- 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の真空成膜装置を用いた樹脂フィルムの真空成膜方法であって、上記成膜ローラ上を走行する上記樹脂フィルムに向けて、上記蒸発源から上記蒸着材料を蒸発させるとともに、この蒸発させられた蒸着材料に向けて上記プラズマ放出源によりプラズマを照射して、上記被成膜面に上記蒸着材料よりなる薄膜を成膜することを特徴とする樹脂フィルムの真空成膜方法。
- 請求項6に記載の樹脂フィルムの真空成膜方法により薄膜が成膜されていることを特徴とする樹脂フィルム。
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