JP2012038970A - 熱処理方法及びその熱処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体並びに熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】熱板の設定温度を第1の温度T1から第2の温度T2に変更し、熱板の温度が第2の温度T2に到達する前に、熱板による基板群の最初の基板の熱処理を開始し、熱処理を開始した後の熱板の温度データを取得し、熱板の温度が第2の温度T2に到達する際に、取得した熱板の温度データに基づいて、熱板の設定温度を第2の温度T2から変更し、第2の温度T2から設定温度が変更された熱板により最初の基板を熱処理する第1の工程S14〜S16と、最初の基板の熱処理の後、熱板の設定温度を第2の温度T2に戻し、熱板の温度が第2の温度T2に保持されている状態で、熱板により基板群の次の基板を熱処理する第2の工程S17とを有する。
【選択図】図9
Description
130 露光後ベーク装置
170 熱板
171 ヒータ
172 ヒータ制御装置
220 本体制御部
W ウェハ(基板)
Claims (13)
- 所定温度に設定された熱板上に、複数の基板よりなる基板群の各基板を順次載置して熱処理する熱処理方法において、
前記熱板の設定温度を第1の温度から第2の温度に変更し、前記熱板の温度が前記第2の温度に到達する前に、前記熱板による前記基板群の最初の基板の熱処理を開始し、熱処理を開始した後の前記熱板の温度データを取得し、前記熱板の温度が前記第2の温度に到達する際に、取得した前記熱板の温度データに基づいて、前記熱板の設定温度を前記第2の温度から変更し、設定温度が変更された前記熱板により前記最初の基板を熱処理する第1の工程と、
前記最初の基板の熱処理の後、前記熱板の設定温度を前記第2の温度に戻し、前記熱板の温度が前記第2の温度に保持されている状態で、前記熱板により前記基板群の次の基板を熱処理する第2の工程と
を有する、熱処理方法。 - 前記第1の工程は、取得した前記熱板の温度データに基づいて、前記熱板の設定温度を前記第2の温度から変更しなかった場合に前記最初の基板が前記熱板により与えられる熱量を予測し、予測した前記熱量と、前記次の基板が前記熱板により与えられる熱量とに基づいて、前記熱板の設定温度を変更するものである、請求項1に記載の熱処理方法。
- 前記熱板は、同心円状に設けられた複数の熱源を有するものであり、
前記第1の工程は、各熱源の設定温度を前記第1の温度から前記第2の温度に変更し、前記各熱源の温度が前記第2の温度に到達する前に、前記最初の基板の熱処理を開始し、熱処理を開始した後の前記各熱源の温度データを取得し、取得した前記各熱源の温度データに基づいて、前記各熱源の設定温度を前記第2の温度から変更しなかった場合に前記最初の基板が前記各熱源により与えられる熱量を予測し、予測したそれぞれの前記熱量と、前記次の基板が前記各熱源により与えられる熱量とに基づいて、前記各熱源の設定温度を変更するものである、請求項2に記載の熱処理方法。 - 所定温度に設定された熱板上に、複数の基板よりなる基板群の各基板を順次載置して所定時間熱処理する熱処理方法において、
前記熱板の設定温度を第1の温度から第2の温度に変更し、前記熱板の温度が前記第2の温度に到達する前に、前記熱板による前記基板群の最初の基板の熱処理を開始し、熱処理を開始した後の前記熱板の温度データを取得し、前記熱板の温度が前記第2の温度に到達する際に、取得した前記熱板の温度データに基づいて、前記最初の基板の熱処理時間を前記所定時間から変更し、変更された前記熱処理時間の間、前記熱板により前記最初の基板を熱処理する第1の工程と、
前記最初の基板の熱処理の後、前記熱処理時間を前記所定時間に戻し、前記熱板の温度が前記第2の温度に保持されている状態で、前記所定時間の間、前記熱板により前記基板群の次の基板を熱処理する第2の工程と
を有する、熱処理方法。 - 前記第1の工程は、取得した前記熱板の温度データに基づいて、前記最初の基板の熱処理時間を前記所定時間から変更しなかった場合に前記最初の基板が前記熱板により与えられる熱量を予測し、予測した前記熱量と、前記次の基板が前記熱板により与えられる熱量とに基づいて、前記熱処理時間を変更するものである、請求項4に記載の熱処理方法。
- 前記次の基板が与えられる熱量は、予め前記熱板の温度が前記第2の温度に保持されている状態で測定用基板の熱処理を開始し、前記測定用基板を熱処理する際に、前記熱板の温度データを取得し、取得した前記熱板の温度データに基づいて、算出されたものである、請求項2又は請求項5に記載の熱処理方法。
- コンピュータに請求項1から請求項6のいずれかに記載の熱処理方法を実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- 熱板を有し、所定温度に設定された前記熱板上に、複数の基板よりなる基板群の各基板を順次載置して熱処理する熱処理装置において、
前記熱板の設定温度を第1の温度から第2の温度に変更し、前記熱板の温度が前記第2の温度に到達する前に、前記熱板による前記基板群の最初の基板の熱処理を開始し、熱処理を開始した後の前記熱板の温度データを取得し、前記熱板の温度が前記第2の温度に到達する際に、取得した前記熱板の温度データに基づいて、前記熱板の設定温度を前記第2の温度から変更し、設定温度が変更された前記熱板により前記最初の基板を熱処理し、前記最初の基板の熱処理の後、前記熱板の設定温度を前記第2の温度に戻し、前記熱板の温度が前記第2の温度に保持されている状態で、前記熱板により前記基板群の次の基板を熱処理する制御部を有する、熱処理装置。 - 前記制御部は、取得した前記熱板の温度データに基づいて、前記熱板の設定温度を前記第2の温度から変更しなかった場合に前記最初の基板が前記熱板により与えられる熱量を予測し、予測した前記熱量と、前記次の基板が前記熱板により与えられる熱量とに基づいて、前記熱板の設定温度を変更するものである、請求項8に記載の熱処理装置。
- 前記熱板は、同心円状に設けられた複数の熱源を有するものであり、
前記制御部は、各熱源の設定温度を前記第1の温度から前記第2の温度に変更し、前記各熱源の温度が前記第2の温度に到達する前に、前記最初の基板の熱処理を開始し、熱処理を開始した後の前記各熱源の温度データを取得し、取得した前記各熱源の温度データに基づいて、前記各熱源の設定温度を前記第2の温度から変更しなかった場合に前記最初の基板が前記各熱源により与えられる熱量を予測し、予測したそれぞれの前記熱量と、前記次の基板が前記各熱源により与えられる熱量とに基づいて、前記各熱源の設定温度を変更するものである、請求項9に記載の熱処理装置。 - 熱板を有し、所定温度に設定された前記熱板上に、複数の基板よりなる基板群の各基板を順次載置して所定時間熱処理する熱処理装置において、
前記熱板の設定温度を第1の温度から第2の温度に変更し、前記熱板の温度が前記第2の温度に到達する前に、前記熱板による前記基板群の最初の基板の熱処理を開始し、熱処理を開始した後の前記熱板の温度データを取得し、前記熱板の温度が前記第2の温度に到達する際に、取得した前記熱板の温度データに基づいて、前記最初の基板の熱処理時間を前記所定時間から変更し、変更された前記熱処理時間の間、前記熱板により前記最初の基板を熱処理し、前記最初の基板の熱処理の後、前記熱処理時間を前記所定時間に戻し、前記熱板の温度が前記第2の温度に保持されている状態で、前記所定時間の間、前記熱板により前記基板群の次の基板を熱処理する制御部を有する、熱処理装置。 - 前記制御部は、取得した前記熱板の温度データに基づいて、前記最初の基板の熱処理時間を前記所定時間から変更しなかった場合に前記最初の基板が前記熱板により与えられる熱量を予測し、予測した前記熱量と、前記次の基板が前記熱板により与えられる熱量とに基づいて、前記熱処理時間を変更するものである、請求項11に記載の熱処理装置。
- 前記次の基板が与えられる熱量は、予め前記熱板の温度が前記第2の温度に保持されている状態で測定用基板の熱処理を開始し、前記測定用基板を熱処理する際に、前記熱板の温度データを取得し、取得した前記熱板の温度データに基づいて、算出されたものである、請求項9又は請求項12に記載の熱処理装置。
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