JP2012027098A5 - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012027098A5 JP2012027098A5 JP2010163250A JP2010163250A JP2012027098A5 JP 2012027098 A5 JP2012027098 A5 JP 2012027098A5 JP 2010163250 A JP2010163250 A JP 2010163250A JP 2010163250 A JP2010163250 A JP 2010163250A JP 2012027098 A5 JP2012027098 A5 JP 2012027098A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- detection unit
- optical scanning
- slit
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Description
本発明は、複数のビームを発する発光手段を備えた光走査装置に関する。
そこで、本発明は、主走査方向の走査密度を詳細に補正することができる光走査装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の光走査装置は、被走査面に対し、副走査方向にずらした複数のビームを発する発光手段と、前記発光手段から発せられる複数のビームを前記副走査方向に対して垂直な主走査方向に偏向し、前記被走査面で走査させる回転多面鏡と、前記主走査方向における前記被走査面から外れた領域で前記ビームを検知する第１の検知手段と、前記第１の検知手段から前記主走査方向に所定の距離だけ離れて配置され、前記被走査面から外れた領域で前記ビームを検知する第２の検知手段とを備えた光走査装置において、前記複数のビームのうち、第１のビームが前記第１の検知手段と前記第２の検知手段との間を走査する第１の走査時間を計測し、前記第１のビームと異なる第２のビームが前記第１の検知手段と前記第２の検知手段との間を走査する第２の走査時間を計測する計測手段と、前記第１のビームと前記第２のビームの波長差に基づいて設定される補正係数を記憶する記憶手段と、前記第１の走査時間と、前記第２の走査時間と前記補正係数との演算結果とが等しくなるように、前記第１の検知手段および前記第２の検知手段の少なくとも一方の位置を調整する位置調整手段とを備えたことを特徴とする。
本発明の請求項１に係る光走査装置によれば、第１の走査時間と、第２の走査時間と補正係数との演算結果とが等しくなるように、第１の検知手段および第２の検知手段の少なくとも一方の位置を調整するので、主走査方向の走査密度を詳細に補正することができる。また、ビーム間の波長が異なっても、その波長差から通過時間差を補正するので、第１の検知手段および第２の検知手段を正確に平行に調整することができる。
請求項３に係る光走査装置によれば、ビームが第１の検知手段と第２の検知手段との間を走査する走査時間を計測するので、簡単に補正係数を求めることができる。
請求項４に係る光走査装置によれば、第１の発光部と第２の発光部の温度差を用いて補正係数を取得するので、複数の発光部が集積されても、各発光部の温度から波長差を補正し、第１の検知手段および第２の検知手段を正確に平行に調整することができる。
請求項５に係る光走査装置によれば、第１の検知手段および第２の検知手段の少なくとも一方の傾きを変更するので、第１の検知手段および第２の検知手段を正確に平行に調整することできる。
請求項６に係る光走査装置によれば、スリットを通ったビームを検知するので、第１の検知手段および第２の検知手段を正確に平行に調整することできる。
Claims (6)
- 被走査面に対し、副走査方向にずらした複数のビームを発する発光手段と、前記発光手段から発せられる複数のビームを前記副走査方向に対して垂直な主走査方向に偏向し、前記被走査面で走査させる回転多面鏡と、前記主走査方向における前記被走査面から外れた領域で前記ビームを検知する第１の検知手段と、前記第１の検知手段から前記主走査方向に所定の距離だけ離れて配置され、前記被走査面から外れた領域で前記ビームを検知する第２の検知手段とを備えた光走査装置において、
前記複数のビームのうち、第１のビームが前記第１の検知手段と前記第２の検知手段との間を走査する第１の走査時間を計測し、前記第１のビームと異なる第２のビームが前記第１の検知手段と前記第２の検知手段との間を走査する第２の走査時間を計測する計測手段と、
前記第１のビームと前記第２のビームの波長差に基づいて設定される補正係数を記憶する記憶手段と、
前記第１の走査時間と、前記第２の走査時間と前記補正係数との演算結果とが等しくなるように、前記第１の検知手段および前記第２の検知手段の少なくとも一方の位置を調整する位置調整手段とを備えたことを特徴とする光走査装置。 - 前記演算結果は、前記第２の走査時間と前記補正係数との積であることを特徴とする請求項１記載の光走査装置。
- 前記第１のビームと前記第２のビームの波長差、および前記ビームが前記第１の検知手段と第２の検知手段との間を走査する走査時間を用いて、前記補正係数を取得する補正係数取得手段を備えたことを特徴とする請求項１または２記載の光走査装置。
- 前記発光手段は、
前記複数のビームをそれぞれ発する複数の発光部と、
前記複数の発光部のうち、前記第１のビームを発する第１の発光部の温度を検知する第１の温度検知手段と、
前記複数の発光部のうち、前記第２のビームを発する第２の発光部の温度を検知する第２の温度検知手段とを有し、
前記補正係数取得手段は、さらに、前記第１の発光部と前記第２の発光部の温度差を用いて、前記補正係数を取得することを特徴とする請求項３記載の光走査装置。 - 前記第１の検知手段および前記第２の検知手段の少なくとも一方は、前記主走査方向に対して傾きが可変自在に設けられ、
前記位置調整手段は、前記第１の検知手段および前記第２の検知手段の少なくとも一方の傾きを変更することを特徴とする請求項１乃至４いずれか１項に記載の光走査装置。 - 前記第１の検知手段および前記第２の検知手段は、それぞれ第１のスリットおよび第２のスリットを有し、前記第１のスリットおよび前記第２のスリットを通して入射するビームを検知し、
前記位置調整手段は、前記第１のスリットと前記第２のスリットが平行になるように調整することを特徴とする請求項１乃至５いずれか１項に記載の光走査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010163250A JP5460505B2 (ja) | 2010-07-20 | 2010-07-20 | 光走査装置 |
| US13/187,095 US8400488B2 (en) | 2010-07-20 | 2011-07-20 | Optical scanning apparatus and control method therefor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010163250A JP5460505B2 (ja) | 2010-07-20 | 2010-07-20 | 光走査装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012027098A JP2012027098A (ja) | 2012-02-09 |
| JP2012027098A5 true JP2012027098A5 (ja) | 2013-08-29 |
| JP5460505B2 JP5460505B2 (ja) | 2014-04-02 |
Family
ID=45493262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010163250A Expired - Fee Related JP5460505B2 (ja) | 2010-07-20 | 2010-07-20 | 光走査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8400488B2 (ja) |
| JP (1) | JP5460505B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103809288B (zh) * | 2012-11-09 | 2017-04-12 | 珠海艾派克微电子有限公司 | 激光扫描方法、装置及成像设备 |
| CN111381290A (zh) * | 2018-12-28 | 2020-07-07 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 工作台及其使用方法 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07270694A (ja) * | 1994-03-30 | 1995-10-20 | Konica Corp | 画像形成装置の同期信号発生装置 |
| JPH08132670A (ja) * | 1994-11-08 | 1996-05-28 | Canon Inc | 光ビ−ム同期検出装置及び画像形成装置 |
| JPH10177144A (ja) * | 1996-12-18 | 1998-06-30 | Konica Corp | 画像形成装置 |
| JP4322413B2 (ja) * | 1999-09-27 | 2009-09-02 | 株式会社リコー | 画像形成装置 |
| US6903758B1 (en) * | 2002-12-17 | 2005-06-07 | Xerox Corporation | Method for maintaining image squareness and image on image registration |
| JP4227817B2 (ja) * | 2003-02-28 | 2009-02-18 | 株式会社リコー | 画像形成装置 |
| JP4591058B2 (ja) * | 2004-11-26 | 2010-12-01 | 富士ゼロックス株式会社 | 光走査装置 |
| JP2006150696A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Canon Inc | 画像形成装置、及び画像形成方法 |
| JP2006251226A (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像形成装置 |
| JP4541940B2 (ja) * | 2005-03-16 | 2010-09-08 | 株式会社リコー | 画像形成装置、光ビーム位置補正方法及びプログラム |
| JP2007008152A (ja) * | 2005-05-31 | 2007-01-18 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置および画像形成方法 |
| US7889221B2 (en) * | 2006-06-09 | 2011-02-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical scanning apparatus |
| JP5094170B2 (ja) * | 2006-06-09 | 2012-12-12 | キヤノン株式会社 | 画像形成装置 |
| JP2009023162A (ja) * | 2007-07-18 | 2009-02-05 | Kyocera Mita Corp | 画像形成装置、画像書き出しタイミング設定方法 |
-
2010
- 2010-07-20 JP JP2010163250A patent/JP5460505B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-07-20 US US13/187,095 patent/US8400488B2/en not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE602007002185D1 (de) | Optische rastersonde | |
| JP2017129573A (ja) | 光電センサ及び物体検出方法 | |
| JP2011257402A5 (ja) | ||
| US20140027421A1 (en) | Method of Determining a Focal Point or Beam Profile of a Laser Beam in a Working Field | |
| JP5711925B2 (ja) | 光測距装置 | |
| JP5515432B2 (ja) | 三次元形状計測装置 | |
| JP2013134449A5 (ja) | ||
| JP2020113854A5 (ja) | ||
| US9329025B2 (en) | Measuring device | |
| US20150346484A1 (en) | Optical scanning device, method of adjusting optical scanning device, and image forming apparatus | |
| JP2015155895A (ja) | コーティングされた表面を有する材料を検査する装置及び方法 | |
| US8829405B2 (en) | Position reference sensor | |
| KR20130040026A (ko) | 측정 대상 물체에 대한 거리를 측정하는 방법 및 장치 | |
| JP2015011238A5 (ja) | ||
| JP2012027098A5 (ja) | 光走査装置 | |
| JP2013002819A (ja) | 平面度測定装置 | |
| JP2016512383A5 (ja) | ||
| JP5662046B2 (ja) | 変位センサ | |
| JP2014077660A (ja) | 検出装置 | |
| CN109544637B (zh) | 双目标定验证装置 | |
| JP5354838B2 (ja) | 光学的表面特性の検査装置及び検査方法 | |
| JP5838081B2 (ja) | 光特性ムラ測定装置及び光特性ムラ測定方法 | |
| JP5802917B2 (ja) | 距離画像カメラおよびこれを用いた距離測定方法 | |
| JP2020085477A (ja) | 光測距装置及び光測距方法 | |
| KR101197970B1 (ko) | 표면거칠기 측정값 보정 방법 및 장치 |