CN111381290A - 工作台及其使用方法 - Google Patents
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Abstract
一种工作台及其使用方法，工作台包括：置物平台，所述置物平台上包括至少一个检测区域，各所述检测区域用于容纳第一检测目标和第二检测目标；第一检测系统，位于所述置物平台上，且设置于所述第一检测目标对应的检测区域内，检测第一检测目标存在与否；第二检测系统，位于所述置物平台上，且设置于所述第二检测目标对应的检测区域内，检测第二检测目标的存在与否。在每个区域内对该区域的检测目标的有无进行检测，能够有效保证所述工作台上同时具有第一检测目标与第二检测目标，避免所述第一检测目标与第二检测目标不同时具备就进入下一步加工而引起混料的现象。
Description
技术领域
本发明涉及半导体靶材加工领域，特别涉及一种工作台及其使用方法。
背景技术
在对半导体靶材进行加工的过程中，要经过多道工序加工，在对半导体靶材进行加工之前，所述靶材要放在料台上，通过机械手将靶材抓取后，进行后续的加工，所述靶材在进行每一步的加工过程的信息要进行记录，记录的纸张为检移票，所以每个所述靶材对应一张检移票，在加工过程中，每个所述靶材有固定且专属的检移票。
现有技术中，上料是通过人工的方式，机械手具有固定的抓取动作以及抓取点，人工将靶材和检移票放置在料台上，机械手进行抓取后进行后续操作；人工操作中若是出现失误，忘记在料台上放置检移票或者放置位置不当，机械手不能抓取到，在后面的加工过程中就会出现靶材没有对应的检移票信息的情况，从而出现混料风险。
因此，急需一种方法，避免上料过程中出现靶材和该靶材对应的检移票不能一一对应的情况。
发明内容
本发明解决的问题是避免上料过程中出现靶材和该靶材对应的检移票不能一一对应的情况。
为解决上述问题，本发明提供一种工作台，包括置物平台，所述置物平台上包括至少一个检测区域，各所述检测区域用于容纳第一检测目标和第二检测目标；第一检测系统，位于所述置物平台上，且设置于所述第一检测目标对应的检测区域内，检测第一检测目标存在与否；第二检测系统，位于所述置物平台上，且设置于所述第二检测目标对应的检测区域内，检测第二检测目标的存在与否。
可选的，所述第一检测系统包括至少一个传感器。
可选的，所述第二检测系统包括第一传感单元和第二传感单元。
可选的，所述第一传感单元包括至少一个传感器，所述第二传感单元包括至少两对传感器。
可选的，所述第二传感单元中的传感器两两呈对角线设置。
可选的，还包括：台阶组件，所述台阶组件设置在所述第二检测目标的检测区域内。
可选的，所述传感器为光电传感器。
本发明还提供一种上述工作台的使用方法，包括：提供第一检测目标、第二检测目标；将所述第一检测目标放置在所述第一检测目标对应的检测区域内，所述第一检测系统对所述第一检测目标有无进行检测；将所述第二检测目标放置在所述第二检测目标对应的检测区域内，所述第二检测系统对所述第二检测目标有无进行检测。
可选的，所述第一检测系统包括一个光电传感器，当光电传感器接受到所述第一检测目标的反射光线，确定所述第一检测目标存在。
可选的，所述第二检测系统设置在所述第一检测目标对应的检测区域以外。
可选的，将所述第二检测目标放置在所述第二检测目标对应的检测区域内时，所述第二检测系统包括第一传感单元以及第二传感单元；所述第一传感单元对所述第二检测目标的有无进行检测；所述第二传感单元对所述第二检测目标的位置是否放置准确进行检测。
可选的，所述第一传感单元包括一个光电传感器，当光电传感器接受到所述第二检测目标的反射光线，确定所述第二检测目标存在。
与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：
工作台具有第一检测目标区域和第二检测目标区域，在每个区域内对该区域的检测目标的有无进行检测，能够有效保证所述工作台上同时具有第一检测目标与第二检测目标，这样就能保证第一检测目标与第二检测目标能够同时进入下一步的加工流程中，避免所述第一检测目标与第二检测目标不同时具备就进行下一步加工流程的现象。
附图说明
图1是一实施例提供的工作台的示意图；
图2是图1中沿A-A线的剖视图；
图3是另一实施例提供的工作台示意图。
具体实施方式
现有技术中，通过人工将靶材和检移票放置在料台上固定位置，然后机械手将料台上的靶材进行抓取，进行后续加工。
经发明人分析研究，上述上料方式中，机械手抓取频率和位置是固定的，人工操作中，若是出现忘记在料台上放置检移票或者放置位置不当，机械手就不能抓取到，那么就会造成后续的加工过程中，靶材漏掉对应的检移票或靶材和检移票不一一对应的情况，从而出现混料风险。
经发明人分析研究，需要一个新的工作台，所述工作台能够对放上去的靶材和检移票的有无进行判断，当同时具有靶材和检移票时，机械手才可以进行抓取，这样就能保证靶材和检移票同时进入下一步的加工流程中，避免靶材漏掉检移票的情况。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
图1是一实施例提供的工作台的示意图，图2是图1中沿A-A线的剖视图。
参考图1与图2，本发明提供一种工作台，包括：置物平台100，所述置物平台上包括至少一个检测区域，各所述检测区域用于容纳第一检测目标和第二检测目标；第一检测系统，位于所述置物平台100上，且设置于所述第一检测目标对应的检测区域内，检测第一检测目标存在与否；第二检测系统，位于所述置物平台上，且设置于所述第二检测目标对应的检测区域内，检测第二检测目标的存在与否。
本实施例中，所述置物平台100表面为长方形，水平放置，材料为不锈钢，用于放置检测目标。
本实施例中，包括两个检测区域，分别为第一检测区域11与第二检测区域21，所述第一检测区域11用于容纳第一检测目标，所述第二检测区域21用于容纳第二检测目标。
本实施例中，所述第一检测目标为检移票，检移票的大小是一张A4纸的大小，上面记录着对应的靶材的信息，所以所述第一检测区域11容纳区域的大小形状与一张A4纸相同。所述第一检测区域11通过具有厚度的塑胶块在所述第一检测区域11的边缘围饶，通过螺钉固定在所述置物平台100上，当所述检移票放入所述第一检测区域11时，所述检移票不会前后左右移动。
在其他实施例中，所述第一检测区域11的大小形状与所述第一检测目标的大小形状对应，不限于A4纸的形状。
本实施例中，所述第二检测目标为靶材，靶材表面为圆形，具有一定厚度，所以所述第二检测区域21容纳区域的大小形状与所述靶材相同。参考图2，所述第二检测区域21内具有台阶组件，所述台阶组件包括台阶垫22；为节约空间，所述第一检测目标与所述第二检测目标平行放置，但是要避免直接接触，所以所述台阶垫22高度高于所述第一检测区域中的塑胶块的高度，所述台阶垫22通过螺接或焊接固定在所述置物平台上，然后将所述靶材放置在所述台阶垫22上；为保证放置在所述台阶垫22上的靶材不会前后左右晃动，所述台阶组件还包括固定柱23，所述固定柱23的高度与超过所述台阶垫22的高度，设置在所述第二检测区域21的边界上，用于限制所述靶材的移动。
本实施例中，所述台阶垫22的数量为3，分布在所述第二检测区域21的内部，且避免放置在所述第一检测区域11内，以避免影响所述第一检测目标的放置。
其他实施例中，所述台阶垫22的数量为2，对称设置在所述第二检测区域21内部，以保证所述靶材能够平稳放置，并且要避免设置在所述第一检测区域11内。
本实施例中，所述第一检测系统设置在所述第一检测区域11内，所述第一检测系统包括一个光电传感器，具体的，所述光电传感器为漫反射光电传感器，它是一种集发射器和接收器于一体的传感器，当有被检测物体经过时，物体将光电开关发射器发射的足够量的光线反射到接收器，于是所述漫反射光电传感器就产生了信号。参考图1中的第一漫反射光电传感器10，所述第一漫反射光电传感器10内嵌在所述置物平台100的内部，探测方向朝上。所述第一漫反射光电传感器10判定上方是否放有物体，从而通过所述第一漫反射光电传感器10判断所述第一检测区域内是否放有检移票。
本实施例中，所述第二检测系统包括第一传感单元和第二传感单元。
其中，所述第一传感单元包括至少一个传感器，本实施例中，所述第一传感单元包括一个传感器，具体的，所述传感器是一个漫反射光电传感器。具体参考图1中的第二漫反射光电传感器20，与上述检测原理一样，用于检测所述第二检测区域内是否放有靶材。需要说明的是，所述第二漫反射光电传感器20需避免放置在所述第一检测区域11内，以避免影响所述第一检测目标的放置。
其中，所述第二传感单元包括成对角线设置的两对传感器，每对传感器为一组对射光电传感器30，本实施例中，所述对射光点传感器30设置在所述置物平台的四个边角上。所述对射光电传感器20的发射器和接收器分别设置在结构上相互分离的两个传感器上，且所述对射光电传感器20的两个传感器的光轴相对。当第二检测目标经过发射器和接收器之间且阻断光线时，所述对射光电传感器20就产生信号。
因此，在设置所述对射光电传感器20时，首先，确定所述置物平台100内平稳放置检测目标后的高度，然后使所述对射光电传感器20中光轴的高度恰好高于所述置物平台100内平稳放置检测目标后的高度。这样设置的目的是可以检测在所述对射光电传感器20光轴通路中是否有阻挡；当有两对所述对射光电传感器20，且所述对射光电传感器20呈对角线设置时，可以检测一个平面内是否有阻挡；此时，当所述对射光电传感器20光轴之间放置的检测目标放置倾斜时，即可阻断所述对射光电传感器20发射器和接收器之间传输光信号，继而可以判断检测目标是否位置是否放置准确。
图3是另一实施例提供的工作台示意图。
参考图3，置物平台100设有两组上述检测系统，如图中a-a分界线两边分别为一组上述检测系统；可以同时检测两组第一检测目标以及第二检测目标的存在与否。
在其他实施例中，所述置物平台可以设有多组上述检测系统，这样可以同时检测多组检测目标。
本发明还提供一种所述工作台的使用方法，提供第一检测目标、第二检测目标；当所述第一检测区域11内未放置任何物体时，所述第一光电传感器10不能接收到反射光线，确定此时所述第一检测区域11内没有第一检测目标；当所述第一检测区域11内放置第一检测目标，所述第一光电传感器10接收到来自顶部的反射光线，即确定此时所述第一检测区域11内放有第一检测目标；即完成所述第一检测系统对所述第一检测目标的有无进行检测。
所述第二检测系统包括第一传感单元以及第二传感单元。
所述第一传感单元包括一个光电传感器，当所述第二检测目标没有放置在所述第二检测区域21内时，所述第一检测单元的光电传感器不能接收到所述第二检测目标反射回来的光线，此时所述第二检测区域内没有放第二检测目标；当所述第二检测目标放置在所述第二检测区域21内时，所述第一检测单元的光电传感器接收到所述第二检测目标反射回来的光线，确定此时所述第二检测区域内放有第二检测目标；完成所述第一传感单元对所述第二检测目标的有无的检测。
所述第二检测单元为两组对角设置的漫反射光电传感器；当所述第二检测目标放置在所述第二检测区域21内时，所述第二检测目标由于操作不当会出现倾斜放置的现象，当所述第二检测目标倾斜，就会出现阻挡所述第二传感单元光轴上光线的通路，从而判定所述第二检测目标的位置没有放置准确。当所述第二检测目标放置准确或者没有放置，所述第二传感单元光轴上的光线处于通路，再结合第一传感单元确定是否放有第二检测目标，从而实现对第二检测目标的有无以及位置是否准确的判定，有利于帮助操作者摆正所述第二检测目标，以保障后续作业中机械手能够有效抓取。
本发明提供的工作台通过判定第一目标的有无以及第二目标的有无、位置是否准确，从而决定是否进行自动化流程中的下一步操作。具体的，只有当确定所述第一检测区域11内判定具有第一检测目标、所述第二检测区域内判定具有第二检测目标以及所述第二检测目标摆放位置正确时，才可进行下一步操作。
通过上述工作台及其操作方式，避免了现有技术上料操作中易出现的失误而造成遗漏检移票的情况，并且，一个工作台可以同时对多组检移票和靶材进行上料，都不会出现靶材漏掉检移票的情况，极大的提高了生产线的效率。
虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
Claims (12)
1.一种工作台，其特征在于，包括：
置物平台，所述置物平台上包括至少一个检测区域，各所述检测区域用于容纳第一检测目标和第二检测目标；
第一检测系统，位于所述置物平台上，且设置于所述第一检测目标对应的检测区域内，检测第一检测目标存在与否；
第二检测系统，位于所述置物平台上，且设置于所述第二检测目标对应的检测区域内，检测第二检测目标的存在与否。
2.如权利要求1所述工作台，其特征在于，所述第一检测系统包括至少一个传感器。
3.如权利要求1所述工作台，其特征在于，所述第二检测系统包括第一传感单元和第二传感单元。
4.如权利要求3所述工作台，其特征在于，所述第一传感单元包括至少一个传感器，所述第二传感单元包括至少两对传感器。
5.如权利要求4所述工作台，其特征在于，所述第二传感单元中的传感器两两呈对角线设置。
6.如权利要求2或4所述工作台，其特征在于，所述传感器为光电传感器。
7.如权利要求1所述工作台，其特征在于，还包括：台阶组件，所述台阶组件设置在所述第二检测目标的检测区域内。
8.一种如权利要求1～7任一项所述工作台的使用方法，其特征在于，包括：提供第一检测目标、第二检测目标；
将所述第一检测目标放置在所述第一检测目标对应的检测区域内，所述第一检测系统对所述第一检测目标有无进行检测；
将所述第二检测目标放置在所述第二检测目标对应的检测区域内，所述第二检测系统对所述第二检测目标有无进行检测。
9.如权利要求8所述的使用方法，其特征在于，所述第一检测系统包括一个光电传感器，当光电传感器接受到所述第一检测目标的反射光线，确定所述第一检测目标存在。
10.如权利要求8所述的使用方法，其特征在于，所述第二检测系统设置在所述第一检测目标对应的检测区域以外。
11.如权利要求8所述的使用方法，其特征在于，将所述第二检测目标放置在所述第二检测目标对应的检测区域内时，所述第二检测系统包括第一传感单元以及第二传感单元；
所述第一传感单元对所述第二检测目标的有无进行检测；
所述第二传感单元对所述第二检测目标的位置是否放置准确进行检测。
12.如权利要求11所述的使用方法，其特征在于，所述第一传感单元包括一个光电传感器，当光电传感器接受到所述第二检测目标的反射光线，确定所述第二检测目标存在。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20200707 |