JP5515432B2 - 三次元形状計測装置 - Google Patents
三次元形状計測装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5515432B2 JP5515432B2 JP2009133788A JP2009133788A JP5515432B2 JP 5515432 B2 JP5515432 B2 JP 5515432B2 JP 2009133788 A JP2009133788 A JP 2009133788A JP 2009133788 A JP2009133788 A JP 2009133788A JP 5515432 B2 JP5515432 B2 JP 5515432B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- calibration
- feature point
- dimensional shape
- shape measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 36
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 17
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 24
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 3
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- PXFBZOLANLWPMH-UHFFFAOYSA-N 16-Epiaffinine Natural products C1C(C2=CC=CC=C2N2)=C2C(=O)CC2C(=CC)CN(C)C1C2CO PXFBZOLANLWPMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000007736 thin film deposition technique Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
[1] 照射手段からスリット光を照射し、照射面に生ずる光切断線を撮像手段で撮像して三次元形状計測を行う三次元形状計測装置において、
載置される底部からの高さ寸法の異なる複数の平面部を有し、これら平面部それぞれには、前記スリット光の照射により生じる光切断線に対して非平行である直線の輪郭を有し、その輪郭を境にして反射率の異なるパターンを形成したキャリブレーション用ブロックと、
前記キャリブレーション用ブロックの前記底部から前記各平面部までの高さ寸法と前記パターンの位置座標とのリファレンスデータを記憶した記憶手段と、
前記キャリブレーション用ブロックを載置する載置手段と、
前記照射手段及び前記撮像手段の組合せと前記載置手段とのうちいずれか一方を移動させる移動手段と、
前記撮像された光切断線から特徴点を検出し、撮像画像における特徴点座標を求める検出手段と、
前記特徴点座標から前記パターンに係る座標を計算し、この計算された座標と前記リファレンスデータとに基づいて校正用データを生成する生成手段と、
前記生成された校正用データを用いて前記照射手段及び前記撮像手段の三次元方向のキャリブレーションを行う制御手段と、
を備えたことを特徴とする三次元形状計測装置。
[2] 前記キャリブレーション用ブロックは、
前記複数の平面部それぞれに、前記スリット光の照射により生じる光切断線に対して非平行である直線の輪郭をそれぞれ有した複数の幾何学的パターンを二次元に配列し、これら複数の幾何学的パターンの内外部で反射率が異なるようなパターンを形成したことを特徴とする上記[1]記載の三次元形状計測装置。
[3] 前記キャリブレーション用ブロックの複数の幾何学的パターンを、前記光切断線の走査方向に略平行する列ごとに一意の模様、又は隣接する幾何学的パターンが同一模様とならないように形成したことを特徴とする上記[2]記載の三次元形状計測装置。
20 撮像部
30 載置台
40 キャリブレーション用ブロック
50 制御部
60 記憶部
70 特徴点検出部
80 校正用データ生成部
90 載置台駆動部
SL スリット光
RL 反射光
LL 輝線
Claims (3)
- 照射手段からスリット光を照射し、照射面に生ずる光切断線を撮像手段で撮像して三次元形状計測を行う三次元形状計測装置において、
載置される底部からの高さ寸法の異なる複数の平面部を有し、これら平面部それぞれには、前記スリット光の照射により生じる光切断線に対して非平行である直線の輪郭を有し、その輪郭を境にして反射率の異なるパターンを形成したキャリブレーション用ブロックと、
前記キャリブレーション用ブロックの前記底部から前記各平面部までの高さ寸法と前記パターンの位置座標とのリファレンスデータを記憶した記憶手段と、
前記キャリブレーション用ブロックを載置する載置手段と、
前記照射手段及び前記撮像手段の組合せと前記載置手段とのうちいずれか一方を移動させる移動手段と、
前記撮像された光切断線から特徴点を検出し、撮像画像における特徴点座標を求める検出手段と、
前記特徴点座標から前記パターンに係る座標を計算し、この計算された座標と前記リファレンスデータとに基づいて校正用データを生成する生成手段と、
前記生成された校正用データを用いて前記照射手段及び前記撮像手段の三次元方向のキャリブレーションを行う制御手段と、
を備えたことを特徴とする三次元形状計測装置。 - 前記キャリブレーション用ブロックは、
前記複数の平面部それぞれに、前記スリット光の照射により生じる光切断線に対して非平行である直線の輪郭をそれぞれ有した複数の幾何学的パターンを二次元に配列し、これら複数の幾何学的パターンの内外部で反射率が異なるようなパターンを形成したことを特徴とする請求項1記載の三次元形状計測装置。 - 前記キャリブレーション用ブロックの複数の幾何学的パターンを、前記光切断線の走査方向に略平行する列ごとに一意の模様、又は隣接する幾何学的パターンが同一模様とならないように形成したことを特徴とする請求項2記載の三次元形状計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009133788A JP5515432B2 (ja) | 2009-06-03 | 2009-06-03 | 三次元形状計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009133788A JP5515432B2 (ja) | 2009-06-03 | 2009-06-03 | 三次元形状計測装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014075228A Division JP5786999B2 (ja) | 2014-04-01 | 2014-04-01 | 三次元形状計測装置、三次元形状計測装置のキャリブレーション方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010281621A JP2010281621A (ja) | 2010-12-16 |
JP5515432B2 true JP5515432B2 (ja) | 2014-06-11 |
Family
ID=43538499
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009133788A Expired - Fee Related JP5515432B2 (ja) | 2009-06-03 | 2009-06-03 | 三次元形状計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5515432B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6131001B2 (ja) * | 2012-05-01 | 2017-05-17 | 株式会社安藤・間 | カメラキャリブレーション用3次元パターン |
JP6179366B2 (ja) * | 2013-11-18 | 2017-08-16 | セイコーエプソン株式会社 | 標準ゲージ、三次元測定装置、及び、三次元測定装置のキャリブレーション方法 |
JP2015099048A (ja) * | 2013-11-18 | 2015-05-28 | セイコーエプソン株式会社 | 標準ゲージ、三次元測定装置、及び、三次元測定装置のキャリブレーション方法 |
EP3274654B1 (de) | 2015-03-26 | 2020-04-29 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH | Verfahren, vorrichtung und computerprogrammprodukt zum bestimmen von dimensionellen eigenschaften eines messobjekts |
KR102477658B1 (ko) * | 2016-07-07 | 2022-12-14 | 한화정밀기계 주식회사 | 보정규칙 생성방법 |
FI128204B (en) * | 2016-12-28 | 2019-12-31 | Helsingin Yliopisto | Reference piece to improve vertical resolution of radiation based imaging |
CN107339938A (zh) * | 2017-07-21 | 2017-11-10 | 长春工程学院 | 一种用于单目立体视觉自标定的异型标定块及标定方法 |
JP7156125B2 (ja) * | 2019-03-25 | 2022-10-19 | 日本製鉄株式会社 | 校正パラメータ算出方法 |
CN109990708A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-07-09 | 广州肖宁道路工程技术研究事务所有限公司 | 标定装置、标定系统及标定方法 |
CN110823130B (zh) * | 2019-10-22 | 2021-09-14 | 北京工业大学 | 一种结构光3d视觉快速自动标定装置及方法 |
KR20210109265A (ko) | 2020-02-27 | 2021-09-06 | 삼성전자주식회사 | 3차원 객체 전송 방법 및 장치 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3512092B2 (ja) * | 1994-07-29 | 2004-03-29 | マツダ株式会社 | キャリブレーション装置 |
JPH08110807A (ja) * | 1995-09-04 | 1996-04-30 | Omron Corp | 自動キャリブレーション方法およびその装置 |
JPH1047924A (ja) * | 1996-08-01 | 1998-02-20 | Kobe Steel Ltd | 3次元位置計測装置 |
JP2001082941A (ja) * | 1999-09-16 | 2001-03-30 | Gen Tec:Kk | キャリブレーション用3次元パターン |
JP2005250628A (ja) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Mitsubishi Electric Corp | カメラキャリブレーションパターン、装置、および方法 |
JP5296967B2 (ja) * | 2006-04-25 | 2013-09-25 | パナソニック株式会社 | 3次元形状計測装置 |
JP4924042B2 (ja) * | 2007-01-11 | 2012-04-25 | オムロン株式会社 | 三次元形状計測装置及びその校正方法、プログラム、並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
-
2009
- 2009-06-03 JP JP2009133788A patent/JP5515432B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010281621A (ja) | 2010-12-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5515432B2 (ja) | 三次元形状計測装置 | |
CN109115126B (zh) | 校准三角测量传感器的方法、控制和处理单元及存储介质 | |
EP2183546B1 (en) | Non-contact probe | |
CN101308012B (zh) | 双单目白光三维测量系统标定方法 | |
KR101485437B1 (ko) | 기준 위치 측정 장치 및 방법, 및 패턴 형성 장치 | |
JP5375201B2 (ja) | 三次元形状測定方法及び三次元形状測定装置 | |
CN105960569B (zh) | 使用二维图像处理来检查三维物体的方法 | |
JP2007263611A (ja) | 歪測定装置および歪測定方法 | |
JP5923054B2 (ja) | 形状検査装置 | |
JP6035031B2 (ja) | 複数の格子を用いた三次元形状計測装置 | |
JP2005004391A (ja) | 画像データ処理装置、画像データ補正方法、画像測定機、画像データ処理プログラムおよびこのプログラムを記録した記録媒体 | |
JP5956296B2 (ja) | 形状計測装置及び形状計測方法 | |
JP5786999B2 (ja) | 三次元形状計測装置、三次元形状計測装置のキャリブレーション方法 | |
US20120056999A1 (en) | Image measuring device and image measuring method | |
JP4856222B2 (ja) | 3次元形状測定方法 | |
JP2012013592A (ja) | 3次元形状測定機の校正方法及び3次元形状測定機 | |
JP6781969B1 (ja) | 測定装置及び測定方法 | |
KR101566129B1 (ko) | 라인 스캔 방식의 모아레 3차원 형상 측정 장치 및 방법 | |
JP2017125707A (ja) | 計測方法および計測装置 | |
JP2007163429A (ja) | 3次元距離測定方法およびその装置 | |
JP2012002612A (ja) | 校正用ボード及びこの校正用ボードを備えた校正用装置 | |
JP3823488B2 (ja) | Icリード浮き検査装置及び検査方法 | |
JP2006105942A (ja) | 三次元形状測定方法及び三次元形状測定装置 | |
JP2008170282A (ja) | 形状測定装置 | |
JP3880882B2 (ja) | 表面形状測定方法及びその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120516 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130513 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130521 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140304 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140317 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5515432 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |