JP2012022012A - 干渉測定装置及び測定原点決定方法 - Google Patents
干渉測定装置及び測定原点決定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012022012A JP2012022012A JP2011241561A JP2011241561A JP2012022012A JP 2012022012 A JP2012022012 A JP 2012022012A JP 2011241561 A JP2011241561 A JP 2011241561A JP 2011241561 A JP2011241561 A JP 2011241561A JP 2012022012 A JP2012022012 A JP 2012022012A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light beam
- light
- measurement
- reflected
- reference surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 67
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 61
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 13
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 22
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 27
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 15
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 12
- 101100028789 Arabidopsis thaliana PBS1 gene Proteins 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 101100328883 Arabidopsis thaliana COL1 gene Proteins 0.000 description 3
- 101100328886 Caenorhabditis elegans col-2 gene Proteins 0.000 description 3
- 101100224481 Dictyostelium discoideum pole gene Proteins 0.000 description 3
- 101150110488 POL2 gene Proteins 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 3
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 3
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 101100328890 Arabidopsis thaliana COL3 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100243945 Fusarium vanettenii PDAT9 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100123718 Neurospora crassa (strain ATCC 24698 / 74-OR23-1A / CBS 708.71 / DSM 1257 / FGSC 987) pda-1 gene Proteins 0.000 description 1
- 208000012204 PDA1 Diseases 0.000 description 1
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 208000030770 patent ductus arteriosus 3 Diseases 0.000 description 1
- 101150102492 pda1 gene Proteins 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】 第1光源手段からの第1の光束と第2光源手段からの第2の光束を合波する第1の合波手段と、第1の光束と第2の光束が合波された光束を、2つの光束に分割し、一方の光束を被測定物の測定面に入射させ、他方の光束を参照面に入射させ、測定面からの反射光束と参照面からの反射光束を合波する光学系と、
測定面と参照面からの反射光束とに含まれている分割された2つの第1の光束により形成される光束と、2つの第2の光束により形成される光束を受光する受光手段と、
受光手段で受光した第1の光束に基づく第1の信号と受光手段で受光した第2の光束に基づく第2の信号とを用いて測定原点を決定する決定手段を有すること。
【選択図】 図1
Description
第1の光源手段よりも可干渉性の低い第2の光束を放射する第2の光源手段と、
前記第1の光束と前記第2の光束を合波する第1の合波手段と、
前記第1の光束と前記第2の光束が合波された光束を、それぞれ前記第1の光束と前記第2の光束の少なくとも一部を含む2つの光束に分割し、前記分割された一方の光束を被測定物の測定面に入射させ、他方の光束を参照面に入射させ、前記測定面からの反射光束と前記参照面からの反射光束を合波する光学系と、
前記光学系を介して前記測定面からの反射光束と前記参照面からの反射光束とに含まれている前記分割された2つの第1の光束により形成される光束と、前記測定面からの反射光束と前記参照面からの反射光束とに含まれている前記分割された2つの第2の光束により形成される光束を受光する受光手段と、
前記受光手段の出力に基づいて測定原点を決定する決定手段と、を有し、
前記決定手段は、前記受光手段で受光した前記第1の光束に基づく第1の信号と前記受光手段で受光した前記第2の光束に基づく第2の信号とを用いて前記測定原点を決定することを特徴としている。
前記第1の光束と前記第2の光束が合波された光束を、それぞれ前記第1の光束と前記第2の光束の少なくとも一部を含む2つの光束に分割し、前記分割された一方の光束を被測定物の測定面に入射させ、他方の光束を参照面に入射させ、前記測定面からの反射光束と前記参照面からの反射光束を合波する分割合波ステップと、
前記測定面からの反射光束と前記参照面からの反射光束とに含まれている前記分割された2つの第1の光束により形成される光束と、前記測定面からの反射光束と前記参照面からの反射光束とに含まれている前記分割された2つの第2の光束により形成される光束を受光手段により受光する受光ステップと、
前記受光手段で受光した前記第1の光束に基づく第1の信号と前記受光手段で受光した前記第2の光束に基づく第2の信号とを用いて前記測定原点を決定ステップと、を有することを特徴としている。
図1(A)、(B)は、本発明の実施例1の要部側面図と要部正面図である。
:ΔΛは半値幅を示し、ここでは30nmである。
:λは光SLDの中心波長、ここでは0.84μm
:ΔVlは光路長差
図3は、このときの光路長差Δ1に対するビジビリティVとの関係を示す図である。
図7は本発明の実施例2の要部概略図である。実施例2は実施例1に比べて次の点が異なっている。
(イ)半導体レーザLDとダイオードSLDの駆動を原点検出時に交互にON−OFFする。
(ロ)SLD受光系は半導体レーザLDによる干渉信号の受光系LDのうち、偏光素子アレイ3CH−POLと3分割の受光素子PDAを兼ねている。そして光SLDの干渉信号Oは3分割受光素子PDA(PDA1〜PDA3)の干渉信号Uに対応するPDA−1からの信号を使用する。
(ハ)波長による分離がいらない。図8に示す光LDと光SLDのパワースペクトルのように、光LDと光SLDの波長差を小さくすることで、偏光ビームスプリッタPBS等の波長による特性のズレを少なくすることが出来る、その為合波手段HMとしてハーフミラーを使用している。
本発明の実施例3の構成は、図7と略同じである。
COL1、COL2、COL3 コリメータレンズ LNS1、LNS2 レンズ
DM1、DM2 ダイクロイックミラー HM ハーフミラー
PBS 偏光ビームスプリッタ NBS 非偏光ビームスプリッタ
GRN 屈折率分布型ロッド状レンズ 3CH−POL、POL2 偏光素子
PDA 受光素子アレイ PD 受光素子 M1 被測定反射面
M2 参照反射面 P1,P2,P3 集光位置 f 焦点距離
GBS 光束分割素子
Claims (5)
- 可干渉性の第1の光束を放射する第1の光源手段と、
第1の光源手段よりも可干渉性の低い第2の光束を放射する第2の光源手段と、
前記第1の光束と前記第2の光束を合波する第1の合波手段と、
前記第1の光束と前記第2の光束が合波された光束を、それぞれ前記第1の光束と前記第2の光束の少なくとも一部を含む2つの光束に分割し、前記分割された一方の光束を被測定物の測定面に入射させ、他方の光束を参照面に入射させ、前記測定面からの反射光束と前記参照面からの反射光束を合波する光学系と、
前記光学系を介して前記測定面からの反射光束と前記参照面からの反射光束とに含まれている前記分割された2つの第1の光束により形成される光束と、前記測定面からの反射光束と前記参照面からの反射光束とに含まれている前記分割された2つの第2の光束により形成される光束を受光する受光手段と、
前記受光手段の出力に基づいて測定原点を決定する決定手段と、を有し、
前記決定手段は、前記受光手段で受光した前記第1の光束に基づく第1の信号と前記受光手段で受光した前記第2の光束に基づく第2の信号とを用いて前記測定原点を決定することを特徴とする干渉測定装置。 - 前記決定手段は、前記第2の信号の強度に関する情報を用いることを特徴とする請求項1に記載の干渉測定装置。
- 前記決定手段は、前記第2の信号のピークを検出する検出手段を含み、前記検出手段の出力と周期信号である前記第1の信号との関係が所定の関係である場合に前記測定原点を決定することを特徴とする干渉測定装置。
- 前記光学系は、前記第1の光束と前記第2の光束が合波された光束を、それぞれ前記第1の光束と前記第2の光束の少なくとも一部を含む2つの光束に分割する分割面を含み、
前記第2の信号は前記分割面から前記測定面の光路と、前記分割面から前記参照面までの光路の光路長が等しい或いはほぼ等しい場合に出力される信号であることを特徴とする請求項1または2に記載の干渉測定装置。 - 第1の光源からの可干渉性の第1の光束と、第2の光源からの第1の光束よりも可干渉性の低い第2の光束を合波する合波ステップと、
前記第1の光束と前記第2の光束が合波された光束を、それぞれ前記第1の光束と前記第2の光束の少なくとも一部を含む2つの光束に分割し、前記分割された一方の光束を被測定物の測定面に入射させ、他方の光束を参照面に入射させ、前記測定面からの反射光束と前記参照面からの反射光束を合波する分割合波ステップと、
前記測定面からの反射光束と前記参照面からの反射光束とに含まれている前記分割された2つの第1の光束により形成される光束と、前記測定面からの反射光束と前記参照面からの反射光束とに含まれている前記分割された2つの第2の光束により形成される光束を受光手段により受光する受光ステップと、
前記受光手段で受光した前記第1の光束に基づく第1の信号と前記受光手段で受光した前記第2の光束に基づく第2の信号とを用いて前記測定原点を決定ステップと、を有することを特徴とする測定原点決定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011241561A JP5355659B2 (ja) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | 干渉測定装置及び測定原点決定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011241561A JP5355659B2 (ja) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | 干渉測定装置及び測定原点決定方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005218980A Division JP4914040B2 (ja) | 2005-07-28 | 2005-07-28 | 干渉測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012022012A true JP2012022012A (ja) | 2012-02-02 |
JP5355659B2 JP5355659B2 (ja) | 2013-11-27 |
Family
ID=45776366
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011241561A Expired - Fee Related JP5355659B2 (ja) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | 干渉測定装置及び測定原点決定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5355659B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2516281A (en) * | 2013-07-17 | 2015-01-21 | Cambridge Consultants | Optical apparatus and methods |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63309804A (ja) * | 1987-06-11 | 1988-12-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | レ−ザ干渉測定方法 |
JPH05149708A (ja) * | 1991-11-27 | 1993-06-15 | Jasco Corp | 二光束干渉計の基準位置決め方法及び装置 |
JPH07190712A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Nikon Corp | 干渉計 |
JPH11183116A (ja) * | 1997-12-18 | 1999-07-09 | Nikon Corp | 光波干渉測定方法および装置 |
JP2000258142A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 非接触表面形状測定方法 |
JP2003344025A (ja) * | 2002-05-27 | 2003-12-03 | Fujitsu Ltd | プリズムアレイ形状の計測方法および計測装置 |
-
2011
- 2011-11-02 JP JP2011241561A patent/JP5355659B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63309804A (ja) * | 1987-06-11 | 1988-12-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | レ−ザ干渉測定方法 |
JPH05149708A (ja) * | 1991-11-27 | 1993-06-15 | Jasco Corp | 二光束干渉計の基準位置決め方法及び装置 |
JPH07190712A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Nikon Corp | 干渉計 |
JPH11183116A (ja) * | 1997-12-18 | 1999-07-09 | Nikon Corp | 光波干渉測定方法および装置 |
JP2000258142A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 非接触表面形状測定方法 |
JP2003344025A (ja) * | 2002-05-27 | 2003-12-03 | Fujitsu Ltd | プリズムアレイ形状の計測方法および計測装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2516281A (en) * | 2013-07-17 | 2015-01-21 | Cambridge Consultants | Optical apparatus and methods |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5355659B2 (ja) | 2013-11-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4804058B2 (ja) | 干渉測定装置 | |
JP4914040B2 (ja) | 干渉測定装置 | |
JPH0552540A (ja) | 干渉計レーザ表面粗さ計 | |
JP2553276B2 (ja) | 3波長光学測定装置及び方法 | |
JP5149486B2 (ja) | 干渉計、形状測定方法 | |
US9400175B2 (en) | Laser diode as interferometer-laser beam source in a laser tracker | |
JPH0198902A (ja) | 光波干渉測長装置 | |
JP2002505414A (ja) | 形状又は距離間隔、例えば粗面の面形状又は距離間隔の干渉計形測定装置 | |
JP2006112974A (ja) | 位置検出装置及び方法 | |
US20130194582A1 (en) | Multiwavelength interferometer | |
US6914682B2 (en) | Interferometer and position measuring device | |
US20130088722A1 (en) | Measurement apparatus | |
JPH07239208A (ja) | 干渉応用測定装置 | |
JP2007132727A (ja) | 干渉測定装置 | |
JP2010038552A (ja) | 多波長干渉変位測定方法及び装置 | |
JP4665290B2 (ja) | 間隔測定装置及び面形状測定装置 | |
JP5355659B2 (ja) | 干渉測定装置及び測定原点決定方法 | |
JP4998738B2 (ja) | 寸法測定装置及び寸法測定方法 | |
JPH11183116A (ja) | 光波干渉測定方法および装置 | |
JPH0843015A (ja) | 干渉測長システム | |
JP2006349382A (ja) | 位相シフト干渉計 | |
JP6503618B2 (ja) | 距離測定装置及びその方法 | |
JP3410802B2 (ja) | 干渉計装置 | |
Dobosz et al. | A new method of non-contact gauge block calibration using a fringe-counting technique: I. Theoretical basis | |
JP3795976B2 (ja) | 非接触温度測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130507 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130708 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130820 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130827 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5355659 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D03 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |