JP2012021666A - 温度調整システムおよび温度調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光路4を備えた光学機器Fが収容されるブースKと、光路4を囲繞するカバー3と、ブースK内でカバー3外のブース内温度を検出するブース内温度検出手段2と、カバー3内のカバー内温度を検出するカバー内温度検出手段5と、ブースK内に温調空気Pを通流させ温調空気Pの温度を調整可能な第1温度調整手段と、ブース内温度を制御対象温度として制御対象温度が設定温度になるように第1温度調整手段の運転を制御する制御手段Ebとを備えた温度調整システムDにて、制御手段Ebが、カバー内温度の設定温度に対する温度差が所定の基準値以上となる状態を温度乖離状態として判定し、温度乖離状態では制御対象温度をブース内温度からカバー内温度に切り替えるように構成される。
【選択図】図1
Description
しかしながら、この場合には、特許文献1に記載のように温度調整用の空気を光路内に直接送風することができず、カバー内である光路に存在する空気を、カバーの外からカバーを介して間接的に温度調整し安定化させることとなり、その安定化のために要する時間が非常に長くなるという問題があった。
一方、温度乖離状態においてカバー内温度の設定温度に対する温度差が減少傾向にある場合では、当該温度差が比較的小さめに設定された正常判定基準値を下回ることで正常状態と判定され、制御対象温度をカバー内温度からブース内温度に切り替えられる。これにより、カバー内温度を早期且つ十分に設定温度に近づけることができ、更に、切り替えた直後は当該温度差が乖離判定基準値未満であって温度乖離状態と判定されることはないため、制御対象温度がブース内温度からカバー内温度に戻ってといった所謂ハンチング現象を抑制することができる。その結果、より迅速にカバー内温度を設定温度近傍に安定化させることができる。
その特徴構成は、前記光路を囲繞するカバー内のカバー内温度の前記設定温度に対する温度差が所定の基準値以上となる状態を温度乖離状態として判定し、当該温度乖離状態では前記制御対象温度を前記ブース内温度から前記カバー内温度に切り替える点にある。
以下では、ブースKの構成及び温度調整装置Eの構成を説明した後、本願の特徴構成について説明する。
この第2冷凍サイクルC2は、冷媒Aを凝縮器32と第1膨張弁33との間から分岐させて、第1膨張弁33及び第1蒸発器34に対して並列に設けられた第1電磁弁47、第2膨張弁36及び第2蒸発器37の順に通流させ、第1蒸発器34と圧縮機31との間に戻すように構成されている。すなわち、第2冷凍サイクルC2は、第1冷凍サイクルC1の圧縮機31及び凝縮器32を共用するように構成され、圧縮機31、凝縮器32、第1電磁弁47、第2膨張弁36、第2蒸発器37、圧縮機31の順に冷媒Aを通流可能に構成されている。なお、第2蒸発器37は、膨張された冷媒Aと水Qとを熱交換させて水Qを冷却させるように構成されている。また、第2膨張弁36は、第2冷凍サイクルC2を通流する冷媒Aの流量を調整自在で、当該冷媒Aを膨張可能に構成されている。さらに、第1電磁弁47は、第2冷凍サイクルC2を通流する冷媒Aの断続、すなわち、当該冷媒Aの通流の停止状態と通流状態とに切換できるように構成されている。なお、第1電磁弁47を、冷媒Aの通流状態では当該冷媒Aの流量を調整可能な構成としてもよい。
この空気循環流路7において、第1蒸発器34と加熱用熱交換器35との間には、第1蒸発器34を通過した空気Pを、加熱用熱交換器35に供給する第1分岐空気P1と冷却部39に供給する第2分岐空気P2とに分岐する分岐手段61が設けられている。詳細な説明は省略するが、分岐手段61は、第1蒸発器34を通過した第1分岐空気P1を加熱用熱交換器35に導く第1流路61aと、第1蒸発器34を通過した第2分岐空気P2を冷却部39に導く第2流路61bとから構成されている。なお、第1流路61aと第2流路61bとは、第1流路61aを通流する第1分岐空気P1の流量と第2流路61bを通流する第2分岐空気P2の流量との関係が予め設定された関係(例えば、1対1)となるように流路面積等が調整されている。
さらに、この空気循環流路7において、加熱用熱交換器35及び冷却部39とブロア7aとの間には、加熱用熱交換器35を通過した第1分岐空気P1と冷却部39を通過した第2分岐空気P2とを合流させて、合流させた空気Pをブロア7aに供給する合流手段62が設けられている。詳細な説明は省略するが、合流手段62は、加熱用熱交換器35を通過した第1分岐空気P1をブロア7aに導く第3流路62aと、冷却部39を通過した第2分岐空気P2を第3流路62aの途中部分に供給する第4流路62bとから構成されている。
なお、図2に示すように、空気循環流路7に配設される加熱用熱交換器35及び冷却部39は一体の熱交換器として構成されている。
図1に示すように、フィゾー光干渉計Fのレーザーの光路4を覆うカバー3は、カバー3内の空間3aを密封閉鎖するように形成されており、さらに、カバー3自身は、2重管構造に形成されたジャケット部6を備えて構成されている。そのジャケット部6には、第2温度調整手段として機能する温度調整装置Eから供給された水Qが通流可能に構成されている。そして、ジャケット部6には、ジャケット部6内を通流する水Qの入口6аと出口6bとが形成され、水Qによりカバー3を介してカバー3内の空間3aに存在する空気に伝熱して、空間3a内を温度調整可能に構成されている。なお、第2温度調整手段は、第1温度調整手段、制御部Eb及び操作部Eaとともに、温度調整装置Eに一体として構成されている。
なお、空気P及び水Qの温度調整を行う温度調整装置Eやブロア7a及び第2ポンプ8aをブースKの外に設けることで、それらの駆動による発熱がブースKの内部空間1の温度に影響を与えないように構成されている。
フィゾー光干渉計Fの起動時においては、ユーザが操作部Eaを操作して当該フィゾー光干渉計F及び温度調整装置Eを起動させると共に、フィゾー光干渉計Fのレーザーの光路4(空間3a)のカバー内温度が計測に最適な温度(設定温度:例えば23℃)となるように、当該設定温度を入力する。なお、フィゾー光干渉計F等の起動と同時に、予め設定された温度を記憶部(図示せず)から読み出して、設定温度として用いてもよい。
(A)上記実施形態においては、光路4を備えた光学機器としてフィゾー光干渉計Fを採用した例を述べたが、これに限らず、光学機器として、超精密な測定精度を必要とする測定器(例えば、分光器、エリプソメーター)やレーザー顕微鏡を採用することもでき、その他、ナノオーダの加工精度が要求される超精密な加工を行う加工機械等(例えば、半導体露光装置など)にも適用することができる。
3 カバー
4 レーザーの光路(検出光の通路)
5 カバー内温度検出手段
6 ジャケット部
E 温度調整装置(第1温度調整手段、第2温度調整手段)
Eb 制御部(制御手段)
D 温度調整システム
F フィゾー光干渉計(光学機器)
K ブース
P 空気(温調空気)
Q 水(ジャケット液)
A 冷媒(熱媒)
Claims (7)
- 検出光の通路である光路を備えた光学機器と、前記光学機器が収容されるブースと、前記光路を囲繞するカバーと、前記ブース内で前記カバー外の温度をブース内温度として検出するブース内温度検出手段と、前記カバー内の温度をカバー内温度として検出するカバー内温度検出手段と、前記ブース内に温調空気を通流させ当該温調空気の温度を調整可能な第1温度調整手段と、前記ブース内温度を制御対象温度として当該制御対象温度が設定温度になるように前記第1温度調整手段の運転を制御する制御手段とを備えた温度調整システムであって、
前記制御手段が、前記カバー内温度の前記設定温度に対する温度差が所定の基準値以上となる状態を温度乖離状態として判定し、当該温度乖離状態では前記制御対象温度を前記ブース内温度から前記カバー内温度に切り替えるように構成されている温度調整システム。 - 前記制御手段が、前記温度乖離状態において当該温度乖離状態でない正常状態に遷移したことを判定する際の前記基準値である正常判定基準値を、前記正常状態において前記温度乖離状態に遷移したことを判定する際の前記基準値である乖離判定基準値よりも小さく設定している請求項1に記載の温度調整システム。
- 前記カバーに、ジャケット液が通流可能なジャケット部が形成され、
前記ジャケット部に前記ジャケット液を通流させ当該ジャケット液の温度を調整可能な第2温度調整手段を備え、
前記制御手段が、前記カバー内温度が設定温度になるように前記第2温度調整手段の運転を制御する請求項1又は2に記載の温度調整システム。 - 前記制御手段が、前記温度乖離状態ではない正常状態では、前記第2温度調整手段による前記ジャケット液の温度調整を停止する請求項3に記載の温度調整システム。
- 前記温調空気及び前記ジャケット液が、同一の熱媒により温度調整された流体である請求項3又は4に記載の温度調整システム。
- 前記光学機器が、光干渉計である請求項1から5の何れか一項に記載の温度調整システム。
- 検出光の通路である光路を備えた光学機器が収容されるブース内に温調空気を通流させ、前記ブース内のブース内温度を制御対象温度として当該制御対象温度が設定温度となるように温度調整可能な温度調整方法であって、
前記光路を囲繞するカバー内のカバー内温度の前記設定温度に対する温度差が所定の基準値以上となる状態を温度乖離状態として判定し、当該温度乖離状態では前記制御対象温度を前記ブース内温度から前記カバー内温度に切り替える温度調整方法。
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JPH11337115A (ja) * | 1998-05-27 | 1999-12-10 | Fuji Denki Sosetsu Co Ltd | クリーンルームの局所空調システム |
JP2003178955A (ja) * | 2001-12-12 | 2003-06-27 | Canon Inc | 半導体露光装置の温度制御 |
JP2006036266A (ja) * | 2004-07-27 | 2006-02-09 | Daiwa Can Co Ltd | 製造設備 |
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2010
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