JP2006153429A - 恒温流体供給システム - Google Patents
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 202
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 11
- 239000002918 waste heat Substances 0.000 claims description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 56
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000003643 water by type Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F25B21/00—Machines, plants or systems, using electric or magnetic effects
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- F25B2321/00—Details of machines, plants or systems, using electric or magnetic effects
- F25B2321/02—Details of machines, plants or systems, using electric or magnetic effects using Peltier effects; using Nernst-Ettinghausen effects
- F25B2321/021—Control thereof
- F25B2321/0212—Control thereof of electric power, current or voltage
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2321/00—Details of machines, plants or systems, using electric or magnetic effects
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Abstract
【解決手段】 恒温流体供給システムにおいて、温度調整されていない冷却流体101の供給を受け、温度が安定した第1の恒温流体102を供給する第1の恒温流体供給装置10と、第1の恒温流体供給装置10からの第1の恒温流体102を冷却流体として用い、第1の恒温流体102よりも安定した温度の第2の恒温流体103を供給する第2の恒温流体供給装置20とを備えた。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係わる恒温流体供給システムを示す概略構成図である。
図5は、本発明の第2の実施形態に係わる恒温流体供給システムを示す概略構成図である。なお、図1と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明は省略する。
図6は、本発明の第3の実施形態に係わる恒温流体供給システムを示す概略構成図である。なお、図1と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明は省略する。
図8は、本発明の第4の実施形態に係わる恒温流体供給システムを示す概略構成図である。なお、図1と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明は省略する。
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではない。実施形態では、第1の恒温流体供給装置として、前記図2に示す蒸発器と凝縮器を持つ冷却機構を用いたもの、或いは前記図4に示す熱交換器を用いたものを利用したが、これらに限らず適宜変更可能である。第1の恒温流体供給装置は、第2の恒温流体供給装置ほどには精度を要求されないので、低コストに実現できるものを用いるのが望ましい。さらに、第2の恒温流体供給装置としてはペルチェ素子を用いたが、これに限らず十分な精度が得られるものであればよい。
20…第2の恒温流体供給装置
101…冷却水
102…恒温水(第1の恒温流体)
103…恒温水(第2の恒温流体)
11…凝縮器
12…蒸発器
13…圧縮器
14,15…電磁弁
16,46…温度計
17,47…コントローラ
18,48…ポンプ
21…ペルチェ素子
22,23…恒温流体流路
43…熱交換器
50…架台
Claims (5)
- 入力側に温度調整されていない冷却流体が供給され、出力側から温度が安定した第1の恒温流体を供給する第1の恒温流体供給装置と、
入力側に前記第1の恒温流体が供給され、出力側から前記第1の恒温流体よりも安定した温度の第2の恒温流体を供給する第2の恒温流体供給装置と、
を具備してなることを特徴とする恒温流体供給システム。 - 被恒温体の第1の部分と第2の部分をそれぞれ所定の温度に制御するための恒温流体供給システムであって、
入力側に温度調整されていない冷却流体が供給され、出力側から温度が安定した第1の恒温流体を供給し、且つ前記第1の恒温流体の一部を前記第1の部分に供給する第1の恒温流体供給装置と、
入力側に前記第1の恒温流体の残りの一部が供給され、出力側から前記第1の恒温流体よりも安定した温度の第2の恒温流体を前記第2の部分に供給する第2の恒温流体供給装置と、
を具備してなることを特徴とする恒温流体供給システム。 - 前記第1の恒温流体供給装置は、蒸発器と凝縮器を持つ冷却機構を用いて構成され、前記冷却流体と前記第1の恒温流体との間で熱交換を行うものであり、前記第1の恒温流体供給装置の入力側としての廃熱側に前記冷却流体の流路が形成され、前記第1の恒温流体供給装置の出力側としての冷却側に前記第1の恒温流体の流路が形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の恒温流体供給システム。
- 前記第2の恒温流体供給装置はペルチェ素子を用いて構成されたものであり、前記ペルチェ素子の入力側としての廃熱面側に前記第1の恒温流体の流路が形成され、前記ペルチェ素子の出力側としての吸熱面側に前記第2の恒温流体の流路が形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の恒温流体供給システム。
- 被恒温体の第1の部分と第2の部分をそれぞれ所定の温度に制御するための恒温流体供給システムであって、
入力側に温度調整されていない冷却流体が供給され、出力側から温度が安定した第1の恒温流体を供給する第1の恒温流体供給装置と、
入力側に前記第1の恒温流体が供給され、出力側から前記第1の部分に、前記第1の恒温流体よりも安定した温度の第2の恒温流体を供給する第2の恒温流体供給装置と、
入力側に前記第1の恒温流体が供給され、出力側から前記第2の部分に、前記第1の恒温流体よりも安定した温度の第3の恒温流体を供給する第3の恒温流体供給装置と、
を具備してなることを特徴とする恒温流体供給システム。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005299606A JP2006153429A (ja) | 2004-10-25 | 2005-10-14 | 恒温流体供給システム |
US11/256,079 US20060086114A1 (en) | 2004-10-25 | 2005-10-24 | Constant-temperature fluid supply system |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004309705 | 2004-10-25 | ||
JP2005299606A JP2006153429A (ja) | 2004-10-25 | 2005-10-14 | 恒温流体供給システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006153429A true JP2006153429A (ja) | 2006-06-15 |
Family
ID=36204924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005299606A Pending JP2006153429A (ja) | 2004-10-25 | 2005-10-14 | 恒温流体供給システム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060086114A1 (ja) |
JP (1) | JP2006153429A (ja) |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081002 |
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