この種のシステムでは、温度制御対象物の温度変動等に応じて循環回路の冷凍能力或いは加熱能力を調節することが望まれる場合がある。この際、冷凍回路の蒸発器の冷凍能力や循環回路に設けたヒータの加熱能力を調節してもよいが、即応性に欠けるため、温度制御対象物側へ供給する液体の流量を調節することが望ましい。
しかしながら、循環回路が単なるループ状である場合において上述のような流量調節を行うと、温度制御対象物側からの液体の戻り量が変化し、冷凍回路によって循環回路側の液体を安定的に所望の温度に温調することが困難となる状況が生じ得る。その結果、温度制御対象物に望まれる冷凍能力或いは加熱能力を安定的に出力することができなくなる虞がある。
また、例えば−50℃以下に温調された超低温のブライン等を上述のような循環回路で循環させる場合、循環回路上の各種機器に対して低温に耐え得るような対策を施さなければ、種々の不具合が生じてしまう。例えば液体に意図せずに水分が含まれた場合、凍結した水分が機器内の構成部品を損傷させたり、その動作に影響を及ぼしたりする状況が生じ得る。このような低温の液体により生じ得る問題への対策は、極力簡易に且つコストを抑制して実施することが望ましい。
本発明は上記実情を考慮してなされたものであり、温度制御対象物側へ供給する液体の流量を調節した場合にあっても循環される液体の流量を一定にすることができ、特に低温の液体によって温度制御対象物を安定的に且つ迅速に所望の温度に温調することができる液体温調装置を提供することを目的とする。
本発明にかかる液体温調装置は、上流端部と下流端部との間に設けられるポンプの駆動によって前記上流端部から前記下流端部に向けて液体を通流させ、前記下流端部から温度制御対象物側へ供給した液体を前記上流端部に流入させることが可能なメイン流路と、前記メイン流路における前記上流端部と前記下流端部との間の部分に接続し、前記メイン流路を通流する液体を冷却する冷却器と、前記メイン流路における前記ポンプの下流側で且つ前記冷却器との接続部分の下流側に設けられる第1流量調節弁と、前記メイン流路における前記ポンプの下流側で且つ前記冷却器との接続部分の下流側であって、前記第1流量調節弁よりも上流側の部分から分岐し、前記メイン流路における前記ポンプの上流側で且つ前記冷却器との接続部分の上流側の部分に接続されるバイパス流路と、前記バイパス流路に設けられる第2流量調節弁と、前記メイン流路における前記ポンプの下流側で且つ前記冷却器との接続部分の下流側であって、前記バイパス流路の流入側端部との接続部分よりも上流側の部分に設けられ、その上流側を通流する液体の圧力をその下流側を通流する液体の圧力よりも低下させる絞り部材と、前記絞り部材の上流側を通流する液体と下流側を通流する液体との差圧を検出する差圧センサと、前記差圧センサの検出結果に応じて、前記第2流量調節弁の開度を調節する制御部と、を備えることを特徴とする。
この液体温調装置では、温度制御対象物の温度変動等に応じて、第1流量調節弁の開度を調節することで温度制御対象物側へ供給する液体の流量を調節することが可能であり、この際、ポンプの運転を一定としたまま、第1流量調節弁の開度調節に連動して第2流量調節弁の開度を調節することで、冷却器に向けて戻る液体の流量を一定にすることが可能となる。具体的には第1流量調節弁の開度を調節した際、制御部が差圧センサによって検出される絞り部材の上流側を通流する液体と下流側を通流する液体との差圧に応じて、第2流量調節弁の開度を調節する。第1流量調節弁の開度が調節された際には、差圧センサが検出する差圧が変化し、流量変化を特定可能となり、変化に応じて第2流量調節弁の開度を調節することで、冷却器に向けて戻る液体の流量を一定にすることができる。ここで、このような絞り部材と差圧センサは、タービン式の流量計に設けられるような駆動部分を有さない静的なものであるため、簡易な構成で且つコストを抑制しながら、液体、特に低温の液体によって自身に損傷や動作不良が生じることを効果的に抑制することができる。これにより、温度制御対象物側へ供給する液体の流量を調節した場合にあっても循環される液体の流量を一定にすることができ、特に低温の液体によって温度制御対象物を安定的に且つ迅速に所望の温度に温調することができる。
本発明にかかる液体温調装置は、前記メイン流路における前記冷却器との接続部分の上流側であって、前記バイパス流路の流出側端部との接続部分の下流側に、液体を加熱するリターン側加熱器をさらに備えていてもよい。
この場合、バイパス流路を通流する液体の流量によって冷却器の上流側で変化し得る液体の温度をリターン側加熱器の加熱によって一定にすることができる。これにより、冷却器の上流側の液体の温度の一定化と冷却器に向けて戻る液体の流量の一定化とを両立させることで、液体を冷却器によって極めて安定的に所望の温度に温調することができ、温調精度を向上させることができる。
また本発明にかかる液体温調装置は、前記メイン流路における前記ポンプの下流側で且つ前記冷却器との接続部分の下流側であって、前記バイパス流路の流入側端部との接続部分よりも上流側に、液体を加熱する供給側加熱器をさらに備えていてもよい。
この場合、供給側加熱器の加熱により、温度制御対象物側へ供給する液体の温度を所望の温度に柔軟に且つ精度良く温調することが可能となる。
また前記制御部は、前記第1流量調節弁が基準開度に設定され、前記第2流量調節弁が基準開度に設定され、且つ前記ポンプが基準回転数で駆動された際の前記絞り部材の上流側を通流する液体と下流側を通流する液体との差圧を基準差圧として記憶しており、前記第1流量調節弁の開度が調節された際に、前記絞り部材の上流側を通流する液体と下流側を通流する液体との差圧が前記基準差圧となるように前記第2流量調節弁を調節するようになっていてもよい。
この場合、簡易的な制御で冷却器に向けて戻る液体の流量を一定にすることができる。
また本発明にかかる液体温調装置は、前記冷却器によって−50℃以下に冷却された液体を通流させてもよい。
この場合、通流させる液体が−50℃以下に冷却されたものであっても、絞り部材と差圧センサが静的なものであり、低温の液体によって生じ得る損傷や動作不良を効果的に抑制することができるものであるため、液体を支障無く通流させて、超低温域の温調を安定的に実現することが可能となる。
また前記絞り部材は、オリフィス板又はベンチュリ管であってもよい。
この場合、絞り部材を極めて簡易的に構成でき、特にベンチュリ管の場合には、全体が継ぎ目なく一体的となるため、損傷の発生を確実に抑制することができ、液体が低温である場合において特に有効に液体を温度制御対象物に供給することが可能となる。
本発明によれば、温度制御対象物側へ供給する液体の流量を調節した場合にあっても循環される液体の流量を一定にすることができ、特に低温の液体によって温度制御対象物を安定的に且つ迅速に所望の温度に温調することができる。
以下に、添付の図面を参照して、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。
図1は、本発明の実施の形態にかかる液体温調装置1の概略図である。図1に示されるように、本実施の形態にかかる液体温調装置1は、冷却器10と、液体供給回路100と、制御部200と、を備えている。
冷却器10はヒートポンプ式の冷凍装置であり、図1に示される蒸発器11によって液体供給回路100を通流する液体を冷却する。冷却器10は、図示省略する圧縮機、凝縮器、膨張弁を経た冷媒を蒸発器11に供給するようになっている。本実施の形態では、蒸発器11を通流する冷媒が極めて低温まで降下され、液体供給回路100における液体が冷却器10によって冷却された直後の状態において、一例として−50℃以下まで冷却されるようになっている。
液体供給回路100は、上流端部101Uと下流端部101Dとの間に設けられるポンプ111の駆動によって上流端部101Uから下流端部101Dに向けて液体を通流させるメイン流路101を有し、メイン流路101は、下流端部101Dから温度制御対象物である負荷150側へ供給した液体を上流端部101Uに流入させることが可能となっている。
負荷150は配管151を介して上流端部101Uと下流端部101Dとに接続されており、配管151は、例えば上流端部101U及び下流端部101Dのそれぞれに例えばカップリング部を介して接続される。本実施の形態では、負荷150が配管151を介して上流端部101U及び下流端部101Dに接続されるが、負荷150は直接的に上流端部101U及び下流端部101Dに接続されてもよい。また上流端部101U及び下流端部101Dは、液体供給回路100に含まれる温調部に接続され、温調部を介して液体温調装置1とは別体の温度制御対象物を温調するようになっていてもよい。
メイン流路101においては、上流端部101Uと下流端部101Dとの間であって、ポンプ111の下流側の部分に上述した冷却器10の蒸発器11が接続され、ポンプ111から吐出された後の液体が蒸発器11によって冷却されるようになっている。ポンプ111の配置位置はこのような態様に限られるものでなく、例えば冷却器10の下流側でもよい。ただし、冷却器10の下流側にポンプ111を配置すると、ポンプ111のモータ等の駆動部分が冷却後の液体を昇温させる虞がある。そのため、本実施の形態のように液体を極めて低温まで冷却する場合には、冷却器10の接続部分の上流側にポンプ111を配置することが望ましい。
また本実施の形態におけるメイン流路101においては、図1に示されるように、第1流量調節弁112と、バイパス流路113と、第2流量調節弁114と、絞り部材115と、差圧センサ116と、供給側加熱器117と、リターン側加熱器118と、が設けられている。
第1流量調節弁112は、メイン流路101におけるポンプ111の下流側で且つ冷却器10との接続部分の下流側に設けられ、温度制御対象物である負荷150側に供給する液体の流量を調節可能となっている。第1流量調節弁112は、モータによって開度を調節可能な比例式の二方弁であるが、比例式である限りにおいて、例えばエアオペレートバルブや電磁弁等であっても構わない。
バイパス流路113は、メイン流路101におけるポンプ111の下流側で且つ冷却器10との接続部分の下流側であって、第1流量調節弁112よりも上流側の部分から分岐し、メイン流路101におけるポンプ111の上流側で且つ冷却器10との接続部分の上流側の部分に接続されている。ここで、第2流量調節弁114はバイパス流路113に設けられている。第2流量調節弁114は、温度制御対象物である負荷150側に供給されることなくポンプ111側に戻る液体の流量を調節するために設けられている。第2流量調節弁114は、第1流量調節弁112と同様にモータによって開度を調節可能な比例式の二方弁であるが、比例式である限りにおいて、例えばエアオペレートバルブや電磁弁等であっても構わない。
絞り部材115は、メイン流路101におけるポンプ111の下流側で且つ冷却器10との接続部分の下流側であって、バイパス流路113の流入側端部113Aとの接続部分よりも上流側の部分に設けられ、その上流側を通流する液体の圧力をその下流側を通流する液体の圧力よりも低下させるために設けられている。具体的に本実施の形態における絞り部材115は円環状のオリフィス板であり、メイン流路101の配管内部に取り付けられている。
絞り部材115はオリフィス板に限られるものではなく、例えばベンチュリ管であってもよい。ベンチュリ管の場合には、全体が継ぎ目なく一体的となるため、液体が低温であることで生じ易くなる損傷の発生を確実に抑制することができ、コスト的にはオリフィス板の方が有利であるが、液体が低温である場合において特に有効に液体を供給することが可能となる。
そして差圧センサ116は、絞り部材115の上流側を通流する液体と下流側を通流する液体との差圧を検出する。差圧センサ116は、制御部200に検出値を出力するために制御部200に電気的に接続されている。本実施の形態では、差圧センサ116として日本電産コパル電子株式会社製のアンプ内蔵型圧力トランスジューサが用いられているが、特にその形式は限られるものではない。
また供給側加熱器117は、メイン流路101におけるポンプ111の下流側で且つ冷却器10との接続部分の下流側であって、バイパス流路113の流入側端部113Aとの接続部分よりも上流側に設けられ、さらに本実施の形態では絞り部材115の下流側に位置している。供給側加熱器117は例えば電気ヒータであり、その内部を通流する液体を加熱することが可能となっている。一方で、リターン側加熱器118は、メイン流路101における冷却器10との接続部分の上流側で且つポンプ111の上流側であって、バイパス流路113の流出側端部113Bとの接続部分の下流側に設けられている。リターン側加熱器118は、供給側加熱器117と同様に例えば電気ヒータであり、その内部を通流する液体を加熱することが可能となっている。
また本実施の形態における液体供給回路100は、第1温度センサ161、第2温度センサ162及び第3温度センサ163をさらに有している。第1温度センサ161は、メイン流路101における供給側加熱器117と第1流量調節弁112との間を通流する液体の温度を検出するようになっている。第2温度センサ162は負荷150に接続され、負荷150の温度を検出するようになっている。第3温度センサ163は、メイン流路101において冷却器10によって冷却される直前の液体の温度を検出するようになっている。各温度センサ161〜163は、制御部200に検出値を出力するために制御部200に電気的に接続されている。
制御部200について説明すると、本実施の形態における制御部200は上述したように各温度センサ161〜163に電気的に接続される一方で、第1流量調節弁112、第2流量調節弁114、供給側加熱器117及びリターン側加熱器118に電気的に接続されている。図2に示されるように、制御部200は液体供給回路100の各部を制御するための機能手段として、供給温度調節部201と、供給流量調節部202と、バイパス流量調節部203と、リターン温度調節部204と、を有している。これら各部は、例えばCPU等を含むコンピュータによって構成されるものであってもよい。
供給温度調節部201は、第1温度センサ161が検出する負荷150に供給される直前の液体の温度が目標供給温度となるように、供給側加熱器117の加熱能力を調節し、負荷150に供給される液体の温度を微調整するためのものである。上述の目標供給温度は、負荷150に応じて予め定められている。これにより、ポンプ111の運転を一定としたまま、つまりポンプ111が同一の流量で液体を吐出する状態としたまま、第1流量調節弁112の開度を一定とすることで、負荷150を一定の冷凍能力で冷却することが可能となる。
また供給流量調節部202は、第2温度センサ162の検出値に応じて、第1流量調節弁112の開度を調節する。負荷150には温度変化が生じる場合があり、この際、負荷150を一定の冷凍能力或いは加熱能力で温調すると、負荷150が所望の温度が外れる状況が生じ得る。これに対し、本実施の形態では供給流量調節部202が第2温度センサ162の検出値に応じて第1流量調節弁112の開度を調節することで、上述の状況を回避し、且つ負荷150を迅速に所望の温度に温調することが可能となる。
またバイパス流量調節部203は、差圧センサ116の検出結果に応じて、第2流量調節弁114の開度を調節する。上述のように供給流量調節部202が第2温度センサ162の検出値に応じて第1流量調節弁112の開度を調節した際には、負荷150側からポンプ111乃至冷却器10側に戻る液体の流量が変化する。この際に、冷却器10の冷凍能力が一定であると、液体は第1流量調節弁112の開度調節の前後で異なる状態に温調され、その下流側における液体に対する温調状態が不安定となる状況が生じ得る。これに対し、本実施の形態ではバイパス流量調節部203が差圧センサ116の検出結果に応じて第2流量調節弁114の開度を調節することで、負荷150側からポンプ111乃至冷却器10側に戻る液体の流量が変化することを回避することが可能となる。
より詳しくは、本実施の形態におけるバイパス流量調節部203は、第1流量調節弁112が基準開度に設定され、第2流量調節弁114が基準開度に設定され、且つポンプ111が基準回転数で駆動された際の絞り部材115の上流側を通流する液体と下流側を通流する液体との差圧を基準差圧として記憶しており、第1流量調節弁112の開度が調節された際に、絞り部材115の上流側を通流する液体と下流側を通流する液体との差圧が前記基準差圧となるように第2流量調節弁114を調節するようになっている。
より具体的には、第1流量調節弁112を絞って供給する液体の流量を下げた場合、絞り部材115の下流側の圧力が上昇するため、この際、バイパス流量調節部203は第2流量調節弁114の開度を大きくするよう調節する。一方、第1流量調節弁112を開いて供給する液体の流量を上げた場合には、絞り部材115の下流側の圧力が低下するため、この際、バイパス流量調節部203は第2流量調節弁114の開度を小さくするよう調節する。なお、上述した第1流量調節弁112に設定される基準開度及び第2流量調節弁114に設定される基準開度は柔軟に設定することができ、例えば第1流量調節弁112に設定される基準開度が全開に設定され、第2流量調節弁114に設定される基準開度が全閉に設定されてもよい。或いは、第1流量調節弁112に設定される基準開度及び第2流量調節弁114に設定される基準開度がともに、全開と全閉との間の中間開度に設定されてもよい。
またリターン温度調節部204は、第3温度センサ163が検出する冷却器10によって冷却される直前の液体の温度が目標リターン温度となるように、リターン側加熱器118の加熱能力を調節する。上述の目標リターン温度は予め定められている。これにより、バイパス流路113を通流する液体の流量によって冷却器10の上流側で変化し得る液体の温度をリターン側加熱器118の加熱によって一定にすることが可能となる。
次に、本実施の形態にかかる液体温調装置1の動作について説明する。
液体温調装置1による温調動作を開始する際に、本実施の形態では、まず、メイン流路101の上流端部101U及び下流端部101Dに負荷150が配管151を介して接続される。負荷150は、例えば温度制御が必要な領域や部材であり、例えば半導体製造装置においてウェハを保持するステージなどであってもよい。次いで、冷却器10が駆動されるとともに、液体供給回路100におけるポンプ111が駆動される。この際、冷却器10では、膨張弁が基準開度に制御され、液体供給回路100では、第1流量調節弁112が基準開度に設定され、第2流量調節弁114が基準開度に設定され、且つポンプ111が基準回転数で駆動される。
これにより、冷却器10の蒸発器11によってメイン流路101における液体が冷却され、供給側加熱器117で加熱調節された後に、負荷150に供給される。この際、供給温度調節部201は、第1温度センサ161が検出する負荷150に供給される直前の液体の温度が目標供給温度となるように、供給側加熱器117の加熱能力を調節する。その後、液体は負荷150を所望の温度に温調するために一定の冷凍能力での冷却を行い、メイン流路101に戻りポンプ111に循環される。
そして上述のような運転中に例えば負荷150に温度変化が生じた場合に、本実施の形態では、まず供給流量調節部202が、第2温度センサ162の検出値、すなわち負荷150の温度に応じて、第1流量調節弁112の開度を調節する。これにより、負荷150を迅速に所望の温度に温調することが図られる。次いでバイパス流量調節部203が、差圧センサ116の検出結果に応じて、第2流量調節弁114の開度を調節する。これにより、第1流量調節弁112の開度調節によって負荷150側からポンプ111乃至冷却器10側に戻る液体の流量が変化することが回避される。
そしてリターン温度調節部204は、第3温度センサ163が検出する冷却器10によって冷却される直前の液体の温度が目標リターン温度となるように、リターン側加熱器118の加熱能力を調節する。これにより、バイパス流路113を通流する液体の流量によって冷却器10の上流側で変化し得る液体の温度をリターン側加熱器118の加熱によって一定に調節される。つまり、第1流量調節弁112の開度調節の前後において、冷却器10の上流側の液体の温度を一定にすることが可能となる。
以上に説明した本実施の形態では、温度制御対象物である負荷150の温度変動等に応じて、第1流量調節弁112の開度を調節することで負荷150側へ供給する液体の流量を調節することが可能であり、この際、ポンプ111の運転を一定としたまま、第1流量調節弁112の開度調節に連動して第2流量調節弁114の開度を調節することで、冷却器10に向けて戻る液体の流量を一定にすることが可能となる。具体的には第1流量調節弁112の開度を調節した際、制御部200が差圧センサ116によって検出される絞り部材115の上流側を通流する液体と下流側を通流する液体との差圧に応じて、第2流量調節弁114の開度を調節する。第1流量調節弁112の開度が調節された際には、差圧センサ116が検出する差圧が変化し、流量変化を特定可能となり、変化に応じて第2流量調節弁114の開度を調節することで、冷却器10に向けて戻る液体の流量を一定にすることができる。ここで、このような絞り部材115と差圧センサ116は、タービン式の流量計に設けられるような駆動部分を有さない静的なものであるため、簡易な構成で且つコストを抑制しながら、液体、特に低温の液体によって自身に損傷や動作不良が生じることを効果的に抑制することができる。これにより、本実施の形態によれば、温度制御対象物側へ供給する液体の流量を調節した場合にあっても循環される液体の流量を一定にすることができ、特に低温の液体によって温度制御対象物を安定的に且つ迅速に所望の温度に温調することができる。
また本実施の形態では、液体温調装置1がメイン流路101における冷却器10との接続部分の上流側であってバイパス流路113の流出側端部113Bとの接続部分の下流側に、液体を加熱するリターン側加熱器118をさらに備える。これにより、バイパス流路113を通流する液体の流量によって冷却器10の上流側で変化し得る液体の温度をリターン側加熱器118の加熱によって一定にすることができる。これにより、冷却器10の上流側の液体の温度の一定化と冷却器10に向けて戻る液体の流量の一定化とを両立させることで、液体を冷却器10によって極めて安定的に所望の温度に温調することができ、温調精度を向上させることができる。
とりわけ制御部200は、第1流量調節弁112が基準開度に設定され、第2流量調節弁114が基準開度に設定され、且つポンプ111が基準回転数で駆動された際の絞り部材115の上流側を通流する液体と下流側を通流する液体との差圧を基準差圧として記憶しており、第1流量調節弁112の開度が調節された際に、絞り部材115の上流側を通流する液体と下流側を通流する液体との差圧が基準差圧となるように第2流量調節弁114を調節する。これにより、簡易的な制御で冷却器10に向けて戻る液体の流量を一定にすることができる。
<変形例>
次に上述の実施の形態にかかる液体温調装置1の変形例或いは参考例について図3を参照しつつ説明する。本実施の形態における構成部分のうちの上述の実施の形態の構成部分と同様のものについては、同一の符号を付して、説明を省略する。
図3に示されるように、本変形例では、絞り部材115及び差圧センサ116が設けられておらず、その代わりに、タービン式の流量センサ216が設けられている。流量センサ216は、メイン流路101におけるリターン側加熱器118の上流側であって、バイパス流路113の流出側端部113Bとの接続部分の下流側に設けられるが、他の位置に設けられてもよい。
そして制御部200は、流量センサ216の検出値に応じて、第2流量調節弁114の開度を調節するようになっている。詳しくは、変形例における制御部200は、リターン側加熱器118に戻る液体の流量が一定となるように第2流量調節弁114を調節するようになっている。より具体的には、第1流量調節弁112を絞って供給する液体の流量を下げた場合、流量センサ216が検出する流量は下がるため、この際、制御部200は、第2流量調節弁114の開度を大きくするよう調節する。一方、第1流量調節弁112を開いて供給する液体の流量を上げた場合には、流量センサ216が検出する流量は上がるため、この際、制御部200は、第2流量調節弁114の開度を小さくするよう調節する。
この変形例にかかる液体温調装置は、上流端部101Uと下流端部101Dとの間に設けられるポンプ111の駆動によって上流端部101Uから下流端部101Dに向けて液体を通流させ、下流端部101Dから温度制御対象物側へ供給した液体を上流端部101Uに流入させることが可能なメイン流路101と、メイン流路101における上流端部101Uと下流端部101Dとの間の部分に接続し、メイン流路101を通流する液体を冷却する冷却器10と、メイン流路101におけるポンプ111の下流側で且つ冷却器10との接続部分の下流側に設けられる第1流量調節弁112と、メイン流路101におけるポンプ111の下流側で且つ冷却器10との接続部分の下流側であって、第1流量調節弁112よりも上流側の部分から分岐し、メイン流路101におけるポンプ111の上流側で且つ冷却器10との接続部分の上流側の部分に接続されるバイパス流路113と、バイパス流路113に設けられる第2流量調節弁114と、第1流量調節弁112の開度が調節された際の温度制御対象物側へ供給される液体の変化量を検出するセンサ(流量センサ216)と、メイン流路101における冷却器10との接続部分の上流側であって、バイパス流路113の流出側端部113Bとの接続部分の下流側に設けられるリターン側加熱器118と、前記センサの検出結果に応じて、第2流量調節弁114の開度を調節するとともに、リターン側加熱器118を調節することで冷却器10に流入する液体を所定の温度に温調する制御部200と、を備えるものである。
この変形例によれば、冷却器10の上流側の液体の温度の一定化と冷却器10に向けて戻る液体の流量の一定化とを両立させることで、液体を冷却器10によって極めて安定的に所望の温度に温調することができ、温調精度を向上させることができる。なお本変形例においては、流量センサ216に代えて、第1流量調節弁112の開度変化から負荷150側に供給される液体の流量変化を検出するセンサが用いられてもよい。また流量センサ216は、例えばメイン流路101における第1流量調節弁112と下流端部101Dとの間に設けられてもよい。