CN111033147B - 液体提供装置和液体调温系统 - Google Patents

Abstract

实施方式的液体提供装置具有：多个提供侧分支流路，它们从主流路的下游端部分支，将从下游端部流出的液体分别向液体提供对象的一侧提供；第1流量调节阀，其分别设置于提供侧分支流路；多个返回侧流路，它们与提供侧分支流路对应地设置，使从提供侧分支流路流出并经由液体提供对象的液体流入到主流路的上游端部；旁通流路，其从主流路的泵与下游端部之间的部分分支，并与泵的上游侧连接；第2流量调节阀，其调节通过旁通流路向泵的上游侧的部分流通的液体的流量；以及控制装置。控制装置对泵进行控制，以使泵的驱动恒定。第1流量调节阀是比例式的二通阀，第2流量调节阀是设置于主流路的比例式的三通阀。控制装置与多个第1流量调节阀的一部分或全部的开度的调节联动地对第2流量调节阀的开度进行调节。

Description

液体提供装置和液体调温系统

技术领域

本发明涉及能够将提供到温度控制对象物等多个液体提供对象的液体再次提供到各液体提供对象的液体提供装置和液体调温系统。

背景技术

公知有一种液体调温系统(例如，JP2015-14417A)，该液体调温系统具有制冷装置和循环装置，该制冷装置具有压缩机、冷凝器、膨胀阀以及蒸发器，该循环装置使盐水等液体循环，该液体调温系统通过制冷装置的蒸发器对循环装置的液体进行冷。在这样的液体调温系统的循环装置中，存在如下的类型等：该循环装置经由配管而与温度控制对象物连接，并经由该配管直接向温度控制对象物提供液体而进行温度控制；该循环装置一体地具有使液体流通的调温部，经由调温部对温度控制对象物进行温度控制。在前者中，向温度控制对象物提供液体而经由该温度控制对象物使液体循环，在后者中，经由调温部使液体循环。

JP2015-14417A公开了经由配管直接向温度控制对象物提供液体的类型的装置，该装置仅向一个温度控制对象物提供液体而使其循环。

发明内容

发明要解决的课题

在这种系统中，有时期望向多个温度控制对象物提供液体。此时，如JP2015-14417A所公开的那样，在循环装置仅向一个温度控制对象物(液体提供对象)提供液体的结构中，需要与各温度控制对象物对应地设置多个制冷装置和循环装置。但是，在该结构中，产生系统整体大型化且复杂化的问题。与此相对，如果使循环装置的流路分支为多个，从各分支流路向多个温度控制对象物提供液体，则能够抑制系统整体的大型化。

另外，在如上所述向多个温度控制对象物提供液体时，例如在多个温度控制对象物中的任意一个发生了异常的情况下，优选停止向存在异常的温度控制对象物提供液体。这里，在如上所述使流路分支为多个的结构中，通过在各分支流路中设置截止阀等，能够选择性地停止向温度控制对象物提供液体。

但是，在上述结构中，停止向某个温度控制对象物提供液体会引起向其他温度控制对象物提供的液体的压力上升。其结果为，液体的提供速度和温度会产生变化，因此有可能损害温度控制的稳定性。另外，由于液体的压力上升，对用于使液体循环的泵的负荷增大，也有可能产生泵的损伤和寿命的降低。

本发明是考虑到这样的实际情况而完成的，其目的在于，提供在从分支的流路向温度控制对象物等多个液体提供对象提供液体的结构中，能够抑制改变液体的提供方式时的流路内的液体的压力变动，由此能够确保液体提供的良好的稳定性的液体提供装置和液体调温系统。

用于解决课题的手段

本发明的液体提供装置具有：该液体提供装置具有：主流路，其在上游端部与下游端部之间具有泵，通过所述泵的驱动而使液体从所述上游端部朝向所述下游端部流通；多个提供侧分支流路，它们从所述主流路的所述下游端部分支，将从所述下游端部流出的液体分别向液体提供对象的一侧提供；第1流量调节阀，其设置在所述多个提供侧分支流路的各个提供侧分支流路上；多个返回侧流路，它们是与所述多个提供侧分支流路对应设置的多个流路，分别与所述主流路的所述上游端部连接，使从对应的所述提供侧分支流路流出并经由所述液体提供对象的液体流入到所述上游端部；旁通流路，其从所述主流路中的所述泵与所述下游端部之间的部分分支，并与所述主流路中的所述泵的上游侧的部分连接；第2流量调节阀，其对从所述主流路中的所述泵与所述下游端部之间的部分通过所述旁通流路向所述泵的上游侧的部分流通的液体的流量进行调节；以及控制装置，其对所述泵、多个所述第1流量调节阀以及所述第2流量调节阀进行控制，所述控制装置对所述泵进行控制，以使所述泵的驱动恒定。

根据本发明的液体提供装置，通过调节多个第1流量调节阀中的一部分或全部的开度，能够改变从多个提供侧分支流路的一部分或全部提供的液体的流量或停止液体的提供。此时，能够通过第2流量调节阀的调节而使通过旁通流路向泵的上游侧流通的液体的流量与所变化的流量对应地发生变化，或者，能够通过第2流量调节阀的调节而使因闭阀而未被提供的流量的液体通过旁通流路向泵的上游侧流通。通过这样的在旁通流路中流通的液体的流量的调节，即使泵的驱动恒定，也能够抑制流路中的液体的压力变动。由此，能够抑制改变液体的提供方式时的流路内的液体的压力变动，能够确保液体提供的良好的稳定性。

在本发明的液体提供装置中，也可以为，所述第1流量调节阀分别是比例式的二通阀，所述第2流量调节阀是设置于所述旁通流路的比例式的二通阀。并且，也可以为，所述控制装置与多个所述第1流量调节阀的一部分或全部的开度的调节联动地对所述第2流量调节阀的开度进行调节。

根据该结构，根据与使多个第1流量调节阀中的一部分或全部的开度发生变化时的关闭量或打开量相同的量或者在其上乘以规定的系数的量，使第2流量调节阀的开度向与第1流量调节阀相反的方向变化，由此能够通过简单的控制使期望的流量的液体返回到泵的上游侧，能够适当地抑制流路中的液体的压力变动。

更详细而言，在第1流量调节阀的节流口径与第2流量调节阀的节流口径相同的情况下，根据与使第1流量调节阀的开度发生变化时的关闭量或打开量相同的量，使第2流量调节阀的开度向与第1流量调节阀相反的方向发生变化，由此能够适当地抑制液体的压力变动。

另一方面，在第1流量调节阀的节流口径与第2流量调节阀的节流口径不同的情况下，对使第1流量调节阀的开度发生变化时的关闭量或打开量乘以规定的系数，根据与使第1流量调节阀的开度发生变化时的关闭量或打开量同等的量，使第2流量调节阀的开度向与第1流量调节阀相反的方向变化，由此能够适当地抑制液体的压力变动。

另外，在本发明的液体提供装置中，也可以为，所述第2流量调节阀是设置于所述主流路的比例式的三通阀，其具有构成所述主流路的一部分的流入端口和第1分配端口、以及与所述旁通流路连接的第2分配端口，所述第2流量调节阀能够将流入到所述流入端口的液体向所述第1分配端口和所述第2分配端口进行分配。并且，也可以为，所述控制装置与多个所述第1流量调节阀的一部分或全部的开度的调节联动地对所述第2流量调节阀的开度进行调节。

根据该结构，在使多个第1流量调节阀中的一部分或全部的开度发生变化时，能够通过三通阀的单一的动作来灵活地调节期望向第1流量调节阀侧流通的液体的流量和期望向旁通流路侧流通的液体的流量，由此能够简单且有效地抑制流路中的液体的压力变动。

另外，在本发明的液体提供装置中，也可以为，所述第2流量调节阀具有：阀主体，其具有阀座，该阀座由圆柱形状的空腔构成并且形成有截面为矩形状的第1阀口和截面为矩形状的第2阀口，该第1阀口用于使来自所述流入端口的液体向所述第1分配端口流通，该第2阀口用于使来自所述流入端口的液体向所述第2分配端口流通；以及阀芯，其形成为具有预先确定的中心角的半圆筒形状，并且旋转自如地配置在所述阀主体的阀座内，使得在将所述第1阀口从关闭状态切换为打开状态的同时将所述第2阀口从打开状态切换为关闭状态。

根据该结构，通过使第1阀口和第2阀口为截面矩形状，能够抑制液体向根据阀芯的位置而变化的第1阀口和第2阀口流动的流量的变化率，因此在使多个第1流量调节阀中的一部分或全部的开度发生变化时，能够提高期望向第1流量调节阀侧流通的液体的流量和期望向旁通流路侧流通的液体的流量的调节精度。

另外，在本发明的液体提供装置中，也可以为，所述阀芯的沿着周向的两端面形成为曲面形状。

根据该结构，能够更有效地抑制液体向根据阀芯的位置而变化的第1阀口和第2阀口流动的流量的变化率，因此能够有效地提高期望向第1流量调节阀侧流通的液体的流量和期望向旁通流路侧流通的液体的流量的调节精度。

另外，也可以为，所述控制装置在与多个所述第1流量调节阀的一部分或全部的开度的调节联动地对所述第2流量调节阀的开度进行调节时，使被调节开度的所述第1流量调节阀的一部分或全部的每单位时间的开度变化率与所述第2流量调节阀的每单位时间的开度变化率相同。

另外，也可以为，所述控制装置在与多个所述第1流量调节阀的一部分或全部的开度的调节联动地对所述第2流量调节阀的开度进行调节时，根据使针对多个所述第1流量调节阀的一部分或全部的操作信号反转后的操作信号，使所述第2流量调节阀进行动作。

另外，在本发明的液体提供装置中，也可以为，所述主流路的所述上游端部由能够贮存所述液体的罐构成，所述旁通流路与所述罐连接。

根据该结构，通过使返回侧流路和旁通流路在罐中合流，能够抑制因来自这些流路的液体的合流而可能产生的液体的压力变动或脉动，能够提高液体提供的稳定性

另外，在本发明的液体提供装置中，也可以为，所述控制装置在切断多个所述第1流量调节阀中的一部分或全部时，对所述第2流量调节阀进行控制，以使与被切断的所述第1流量调节阀所提供的液体的流量相同的流量的液体通过所述旁通流路向所述泵的上游侧流通。

根据该结构，通过使与被切断的第1流量调节阀所提供的液体的流量相同的流量的液体从主流路中的泵与下游端部之间的部分向泵的上游侧的部分返回，能够可靠地抑制因第1流量调节阀的闭阀(切断)而可能产生的流路内的液体的压力变动。

另外，在本发明的液体提供装置中，也可以为，所述控制装置在将所述第1流量调节阀全部控制为全开状态时，将所述第2流量调节阀控制为全闭状态。

根据该结构，在使第1流量调节阀分别为全开状态时，液体不从旁通流路向泵的上游侧流通，因此能够使泵高效地运转。

另外，在本发明的液体提供装置中，也可以为，在所述提供侧分支流路与所述返回侧流路之间经由配管而连接有所述液体提供对象。

另外，本发明的液体调温系统的特征在于，其具有所述液体提供装置和对所述液体提供装置所流通的液体进行冷却的制冷装置。

发明效果

根据本发明，在从分支的流路向多个液体提供对象提供液体的结构中，能够抑制改变液体的提供方式时的流路内的液体的压力变动，由此能够确保液体提供的良好的稳定性。

附图说明

图1是本发明的第1实施方式的液体调温系统的概略图。

图2是本发明的第2实施方式的液体调温系统的概略图。

图3是设置在第2实施方式的液体调温系统中的第2流量调节阀(比例式的三通阀)的剖视立体图。

图4是图3所示的第2流量调节阀的沿着图3的IV-IV线的概略剖视图，是对第2流量调节阀的动作进行说明的图。

图5是示出图3所示的第2流量调节阀的变形例的图。

图6是本发明的第3实施方式的液体调温系统的概略图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的各实施方式进行详细说明。

＜第1实施方式＞

图1是本发明的第1实施方式的液体调温系统1的概略图。图1所示的液体调温系统1具有制冷装置10和液体提供装置100。制冷装置10通过在其内部循环的热介质对液体提供装置100所流通的液体进行温度控制，液体提供装置100将由制冷装置10进行了温度控制的液体向作为液体提供对象的温度控制对象物(在本例中为后述的负载150)提供。制冷装置10和液体提供装置100与控制装置160电连接，通过控制装置160对制冷装置10和液体提供装置100的控制，在液体提供装置100中流通的液体被调整为期望的温度。

制冷装置10是通过利用配管15将压缩机11、冷凝器12、膨胀阀13以及蒸发器14按照该顺序以使热介质循环的方式连接起来而构成的。

压缩机11对从蒸发器14流出的低温且低压的气体状态的热介质进行压缩，并以高温且高压的气体状态提供给冷凝器12。冷凝器12利用冷却水对由压缩机11压缩的热介质进行冷却并且冷凝，以规定的冷却温度的高压的液体状态提供给膨胀阀13。冷凝器12的冷却水可以使用水，也可以使用其他制冷剂。图中的标号16表示向冷凝器12提供冷却水的冷却水配管。

膨胀阀13通过使从冷凝器12提供的热介质膨胀而使其减压，以低温且低压的气液混合状态提供给蒸发器14。蒸发器14使从膨胀阀13提供的热介质与液体提供装置100的液体进行热交换。这里，与液体进行了热交换的热介质成为低温且低压的气体状态，从蒸发器14流出并再次被压缩机11压缩。也可以为，这样的制冷装置10通过改变压缩机11的运转频率来调节转速，从而能够调节向冷凝器12提供的热介质的提供量，并且能够调节膨胀阀13的开度，由此能够调节向蒸发器14提供的热介质的提供量。在该情况下，通过上述那样的调节，制冷装置10的制冷能力可变。

液体提供装置100具有：主流路101，其通过设置在上游端部101U与下游端部101D之间的泵111的驱动而使液体从上游端部101U朝向下游端部101D流通；多个提供侧分支流路102，它们从主流路101的下游端部101D分支，将从下游端部101D流出的液体分别向液体提供对象的一侧提供；第1流量调节阀103，其设置在多个提供侧分支流路102的各个提供侧分支流路上；多个返回侧流路104，它们与多个提供侧分支流路102对应地设置；旁通流路105，其从主流路101中的泵111与下游端部101D之间的部分分支，并与泵111的上游侧的部分连接；以及第2流量调节阀106，其调节在旁通流路105中流通的液体的流量。本实施方式的液体提供装置100向液体提供对象(负载150)提供作为液体的乙二醇水溶液。但是，液体提供装置100向液体提供对象提供的液体没有特别限定。

为了便于说明，图1中的与主流路101对应的部分由双点划线包围。本实施方式的主流路101的上游端部101U由能够贮存所流通的液体的罐116构成，下游端部101D例如由接头构成，该接头具有能够连接多个提供侧分支流路102的多个连接口。另外，主流路101在上游端部101U与下游端部101D之间具有泵111、被调温部112以及加热部113。

泵111构成主流路101的一部分，产生用于使液体从上游端部101U朝向下游端部101D流通的驱动力。被调温部112设置于泵111的下游侧，与蒸发器14连接。在被调温部112中流通的液体与在蒸发器14中流通的低温的热介质进行热交换，由此液体被冷却。加热部113设置于被调温部112的下游侧，构成主流路101的一部分。加热部113例如是电加热器，能够对在其内部流通的液体进行加热。在液体提供装置100中，通过在被调温部112中冷却液体并利用加热部113加热液体，能够高精度地将液体调节为期望的温度。

在本例中，设置有3个提供侧分支流路102，与它们对应的第1流量调节阀103也设置有3个。提供侧分支流路102分别以与第1流量调节阀103的开度对应的流量向作为液体提供对象的负载150提供来自下游端部101D的液体。本实施方式的第1流量调节阀103分别是比例式的二通阀，更详细而言是比例式的气动阀。另外，第1流量调节阀103的形式不限于实施方式的例子。第1流量调节阀103只要是至少能够切换开闭的阀即可，例如可以是仅切换开闭的二通阀，也可以是由比例式的电磁阀或马达阀(电动阀)构成的流量调节阀。

返回侧流路104与提供侧分支流路102和第1流量调节阀103对应地设置有3个，返回侧流路104分别与主流路101的上游端部101U连接。各返回侧流路104使从对应的提供侧分支流路102流出并经由负载150(液体提供对象、温度控制对象物)的液体流入上游端部101U。这里，在本实施方式中，作为液体提供对象和温度控制对象物的负载150与液体提供装置100分体，经由配管151而与对应的提供侧分支流路102和返回侧流路104连接。另外，在图1中，为了便于说明，用双点划线表示负载150和配管151。配管151例如也可以经由联轴器部而分别与提供侧分支流路102和返回侧流路104连接。另外，提供侧分支流路102、第1流量调节阀103以及返回侧流路104分别设置有3个，但这样的数量仅是一例，提供侧分支流路102、第1流量调节阀103以及返回侧流路104的数量只要分别是2个以上，则没有特别限定。

接下来，旁通流路105从主流路101中的泵111与下游端部101D之间且加热部113的下游侧的部分分支，在泵111的上游侧与上游端部101U连接。本实施方式的第2流量调节阀106是设置于旁通流路105的比例式的二通阀，对通过旁通流路105从主流路101中的泵111与下游端部101D之间的部分向泵111的上游侧的部分流通的液体的流量进行调节。

更详细而言，第2流量调节阀106是比例式的马达阀(电动阀)，但第2流量调节阀106只要是至少能够切换开闭的阀即可，例如可以是仅切换开闭的二通阀，也可以是由比例式的电磁阀或气动阀构成的流量调节阀。

接下来，对控制装置160进行说明，控制装置160对制冷装置10中的压缩机11和膨胀阀13进行控制，并且对液体提供装置100中的泵111、加热部113、第1流量调节阀103以及第2流量调节阀106进行控制。具体而言，控制装置160根据液体提供装置100的液体的冷却所需的制冷能力而对压缩机11的转速和膨胀阀13的开度进行控制。另外，控制装置160将液体提供装置100中的泵111控制为恒定的转速，根据在加热部113的下游侧且下游端部101D的上游侧之间流通的液体的温度而对加热部113的加热能力进行控制。控制装置160对泵111进行控制，以使液体提供装置100中的泵111的驱动恒定。由此，在通常的运转时，液体以恒定的流通量在液体提供装置100内循环。通过这样以一定的流通量使液体循环，能够稳定地将通过被调温部112冷却后和通过加热部113加热后的液体的温度调节为期望的状态。

另外，控制装置160与第1流量调节阀103的开度的调节联动地调节第2流量调节阀106的开度。具体而言，本实施方式的控制装置160在将第1流量调节阀103全部控制为全开状态时，将第2流量调节阀106控制为全闭状态。而且，在从这样的第1流量调节阀103全部全开的状态起切断多个第1流量调节阀103中的一部分或全部时，控制装置160对第2流量调节阀106进行控制，以使与被切断的第1流量调节阀103所提供的液体的流量相同的流量的液体通过旁通流路105向泵111的上游侧流通。

更详细而言，在正常的运转状态的情况下，控制装置160如上述那样将第1流量调节阀103全部控制为全开状态，另一方面，将第2流量调节阀106控制为全闭状态。在从这样的正常的运转状态起例如在负载150的一部分中发生异常而希望停止向该负载150提供液体的情况下，控制装置160能够如上述那样切断第1流量调节阀103中的一部分，另一方面，对第2流量调节阀106进行控制，以使与被切断的第1流量调节阀103所提供的液体的流量相同的流量的液体通过旁通流路105向泵111的上游侧流通。由此，能够抑制改变液体的提供方式时的流路内的液体的压力变动。

另外，在对第2流量调节阀106进行控制以使与被切断的第1流量调节阀103所提供的液体的流量相同的流量的液体通过旁通流路105流通时，优选使第1流量调节阀103和第2流量调节阀106的每单位时间的开度变化率相同。

详细而言，控制装置160以第1流量调节阀103的开度的变化方向与第2流量调节阀106的开度的变化方向相互反向的方式使第1流量调节阀103和第2流量调节阀106同时进行动作，并且，通过使第1流量调节阀103的每单位时间的开度变化率与第2流量调节阀106的每单位时间的开度变化率相同，能够有效地抑制因第1流量调节阀103的开度变化而产生的液体的压力变动。在这样的控制中，控制装置160根据将用于对第1流量调节阀103进行开度控制的操作信号反转后的操作信号，使第2流量调节阀206进行动作，由此能够准确地使第1流量调节阀103的每单位时间的开度变化率与第2流量调节阀106的每单位时间的开度变化率一致，进而能够抑制因第1流量调节阀103的开度变化而产生的液体的压力变动。根据这样的控制，可得到能够简单且迅速地抑制因第1流量调节阀103的开度变化而产生的液体的压力变动的效果。

另外，特别是在第1流量调节阀103的节流口径与第2流量调节阀106的节流口径相同的情况下，使上述的第1流量调节阀103的每单位时间的开度变化率与第2流量调节阀106的每单位时间的开度变化率相同的控制能够极其有效地抑制因第1流量调节阀103的开度变化而产生的液体的压力变动。但是，即使在第1流量调节阀103的节流口径与第2流量调节阀106的节流口径不同的情况下，也可抑制因第1流量调节阀103的开度变化而产生的液体的压力变动。另一方面，在第1流量调节阀103的节流口径与第2流量调节阀106的节流口径不同的情况下，在使第1流量调节阀103和第2流量调节阀106进行开闭动作时，只要使第1流量调节阀103的每单位时间的开口面积的变化率与第2流量调节阀106的每单位时间的开口面积的变化率相同，就能够极其有效地抑制因第1流量调节阀103的开度变化而产生的液体的压力变动。但是，此时的针对第2流量调节阀106的操作信号的运算变得比较复杂。

另外，上述的“每单位时间的开度变化率”是指将第1流量调节阀103和第2流量调节阀106从某个开度变化为其他开度时的变化前后的开度之差除以单位时间而得到的值。例如，在开度从100％(全开状态)变化为80％的情况下，将变化前后的开度之差即开度变化量20％除以单位时间而得到的值成为开度变化率。

另外，例如为了调节制冷能力，控制装置160也可以从如上述那样将第1流量调节阀103全部控制为全开状态、另一方面将第2流量调节阀106控制为全闭状态的状态开始，将多个第1流量调节阀103中的一部分或全部的开度调节为中间开度。然后，控制装置160可以通过第2流量调节阀106的调节而使通过旁通流路105向泵111的上游侧流通的液体的流量与在这样的控制时减少的从第1流量调节阀103向负载150侧的液体的流量对应地发生变化。另外，控制装置160能够使成为中间开度的第1流量调节阀103中的一部分或全部的开度发生变化而使从提供侧分支流路102的一部分或全部提供的液体的流量发生变化，也能够通过第2流量调节阀106的调节而使通过旁通流路105向泵111的上游侧流通的液体的流量与此时变化的流量对应地发生变化。在如上述那样将多个第1流量调节阀103中的一部分或全部的开度从全开状态调节为中间开度时，通过第2流量调节阀106的调节而使通过旁通流路105向泵111的上游侧流通的液体的流量与所减少的从第1流量调节阀103向负载150侧的液体的流量对应地发生变化，在该情况下，也优选使第1流量调节阀103和第2流量调节阀106的每单位时间的开度变化率相同。另外，在使成为中间开度的第1流量调节阀103中的一部分或全部的开度发生变化而使从提供侧分支流路102的一部分或全部向负载150侧提供的液体的流量发生变化时，通过第2流量调节阀106的调节而使通过旁通流路105向泵111的上游侧流通的液体的流量与这样变化的流量对应地发生变化，在该情况下，也优选使第1流量调节阀103和第2流量调节阀106的每单位时间的开度变化率相同。

控制装置160根据使针对第1流量调节阀103的操作信号反转后的操作信号，使第2流量调节阀206进行动作，由此能够准确地使第1流量调节阀103的每单位时间的开度变化率与第2流量调节阀106的每单位时间的开度变化率一致。这里，在同时控制多个第1流量调节阀103的开度的情况下，也可以使针对多个第1流量调节阀103的操作信号反转后的操作信号相加而得到的操作信号用作针对第2流量调节阀206的操作信号。

接下来，对本实施方式的液体调温系统1的动作进行说明。

在开始液体调温系统1的温度控制的动作时，在本实施方式中，首先，在提供侧分支流路102和返回侧流路104上分别经由配管151连接负载150。负载150例如是需要温度控制的区域或部件，例如可以是在半导体制造装置中对晶片进行保持的载物台等。接下来，对制冷装置10中的压缩机11进行驱动，并且对液体提供装置100中的泵111进行驱动。此时，在制冷装置10中，膨胀阀13被控制为基准的开度，在液体提供装置100中，第1流量调节阀103全部被控制为全开状态，并且第2流量调节阀106被控制为全闭状态。由此，通过制冷装置10的蒸发器14对主流路101中的液体进行冷却，并在由加热部113进行加热调节之后提供到各提供侧分支流路102。然后，液体对各负载150进行温度控制，并通过对应的返回侧流路104流入罐116而循环到泵111。

然后，在上述那样的运转中，例如在负载150的一部分或全部发生了异常的情况下，控制装置160切断与发生了异常的负载150对应的多个第1流量调节阀103中的一部分或全部，并对第2流量调节阀106进行控制以使与被切断的第1流量调节阀103所提供的液体的流量相同的流量的液体通过旁通流路105向泵111的上游侧流通。由此，抑制改变第1流量调节阀103的液体的提供方式时的流路内的液体的压力变动。例如，在从各提供侧分支流路102以20L/min向负载150提供液体的情况下，假设一个负载150发生异常，为了停止向该负载150提供液体而进行了上述那样的控制。在该情况下，从对应的提供侧分支流路102以20L/min向2个负载150提供液体，从旁通流路105以20L/min向罐116流通液体。由此，不会产生使60L/min的液体向提供侧分支流路102侧流通那样的压力，因此能够抑制流路内的液体的压力变动(这里为压力上升)。

如以上说明的那样，在本实施方式中，通过调节多个第1流量调节阀103中的一部分或全部的开度，能够改变从多个提供侧分支流路102的一部分或全部提供的液体的流量或停止液体的提供。此时，能够通过第2流量调节阀106的调节而使通过旁通流路105向泵111的上游侧流通的液体的流量与所变化的流量对应地发生变化，或者，能够通过第2流量调节阀106的调节而使因闭阀而未被提供的流量的液体通过旁通流路105向泵的上游侧流通。通过这样的在旁通流路105中流通的液体的流量的调节，即使泵111的驱动恒定，也能够抑制流路中的液体的压力变动。由此，能够抑制改变液体的提供方式时的流路内的液体的压力变动，能够确保液体提供的良好的稳定性。

另外，在本实施方式中，第1流量调节阀103分别是比例式的二通阀，第2流量调节阀106也是设置于旁通流路105的比例式的二通阀。由此，根据与使多个第1流量调节阀103中的一部分或全部的开度发生变化时的关闭量或打开量相同的量或者在其上乘以规定的系数的量，使第2流量调节阀106的开度向与第1流量调节阀103相反的方向变化，由此通过简单的控制使期望的流量的液体返回到泵111的上游侧，能够适当地抑制流路中的液体的压力变动。这样的控制能够由控制装置160来进行。

另外，在本实施方式中，主流路101的上游端部101U由能够贮存液体的罐116构成，旁通流路105与罐116连接。由此，通过使返回侧流路104和旁通流路105在罐116中合流，能够抑制因来自这些流路的液体的合流而可能产生的液体的压力变动或脉动，能够提高液体提供的稳定性。

另外，本实施方式的控制装置160在切断多个第1流量调节阀103中的一部分或全部时，对第2流量调节阀106进行控制以使与被切断的第1流量调节阀103所提供的液体的流量相同的流量的液体通过旁通流路105向泵111的上游侧流通。由此，通过使与被切断的第1流量调节阀103所提供的液体的流量相同的流量的液体从主流路101中的泵111与下游端部101D之间的部分向泵111的上游侧的部分返回，能够可靠地抑制因第1流量调节阀103的闭阀(切断)而可能产生的流路内的液体的压力变动。

另外，控制装置160在将第1流量调节阀103全部控制为全开状态时，将第2流量调节阀106控制为全闭状态。由此，在使第1流量调节阀103分别为全开状态时，液体不从旁通流路105向泵111的上游侧流通，因此能够使泵高效地运转。

＜第2实施方式＞

接下来，参照图2至图4对本发明的第2实施方式进行说明。对本实施方式的结构部分中的与第1实施方式的结构部分相同的部分标注相同的标号而省略说明。

如图2所示，在第2实施方式中，用于调节在旁通流路105中流通的液体的流量的第2流量调节阀206是三通阀，该结构与第1实施方式的结构不同。第2流量调节阀206是设置于主流路101的比例式的三通阀，其具有构成主流路101的一部分的流入端口206A和第1分配端口206B、以及与旁通流路105连接的第2分配端口206C，能够将流入到流入端口206A的液体向第1分配端口206B和第2分配端口206C进行分配。

图3是本实施方式的第2流量调节阀206的剖视立体图，图4是沿着图3的IV-IV线并且利用沿与IV-IV线的箭头方向垂直的方向延伸的面将本实施方式的第2流量调节阀206切断时的概略剖视图。

如图3所示，第2流量调节阀206具有：阀主体214，其具有阀座213，该阀座213由圆柱形状的空腔构成(由圆柱形状的孔部的内周面构成)并且形成有截面为矩形状的第1阀口211和截面为矩形状的第2阀口212，该第1阀口用于使来自流入端口206A的液体向第1分配端口206B流通，第2阀口212用于使来自流入端口206A的液体向第2分配端口206C流通；以及阀芯240，其形成为具有预先确定的中心角的半圆筒形状，并且旋转自如地配置在阀主体214的阀座213内，使得在将第1阀口211从关闭状态切换为打开状态的同时将第2阀口212从打开状态切换为关闭状态。另外，图3示出了沿着圆柱形状的阀座213的轴向切断阀主体214的截面。

如图3所示，阀主体214具有圆筒状的供流入端口206A连接的流入口210，流入口210朝向圆柱形状的阀座213的轴向一侧(图3中的下侧)从阀座213开口。流入端口206A与构成主流路101的配管连接，使温度调节后的液体从该配管流入。流入端口206A固定于阀主体214的外壁并与流入口210连接。第1阀口211和第2阀口212形成为在与阀座213的轴向垂直的方向上彼此相对。

第1分配端口206B形成为圆筒状，固定于阀主体214的外壁并与第1阀口211连接。在本例中，如图3所示，在第1分配端口206B的内侧端部与第1阀口211之间形成有矩形方筒状的第1连接流路221。第1连接流路221由阀主体214的内壁形成，具有与第1阀口211相似的截面矩形状。第2分配端口206C也形成为圆筒状，固定于阀主体214的外壁并与第2阀口212连接，在第2分配端口206C的内侧端部与第2阀口212之间也形成有矩形方筒状的第2连接流路222。第2连接流路222也由阀主体214的内壁形成，具有与第2阀口212相似的截面矩形状。

如图3所示，阀芯240具有：半圆筒形状的阀芯部241，其使第1阀口211和第2阀口212开闭；第1轴支承部242，其设置于阀座213的轴向的流入端口206A侧；第2轴支承部243，其设置于阀座213的与流入端口206A侧相反的一侧；以及联轴器部244，其从第2轴支承部243沿轴向突出并与省略图示的马达连结。第1轴支承部242形成为圆环状，能够使来自流入端口206A的液体流入阀座213内。另一方面，第2轴支承部243呈圆板状，覆盖阀座213以抑制液体从第2轴支承部243向外部漏出。通过将该第1轴支承部242和第2轴支承部243旋转自如地支承于阀座213，阀芯240能够通过与联轴器部244结合的马达绕阀座213的轴中心进行旋转。

在图4中，示出了阀芯240使第2阀口212为关闭状态而切断向第2分配端口206C分配液体、使第1阀口211为打开状态而仅向第1分配端口206B分配液体的状态起的切换的情况。通过使阀芯240从图4的(a)所示的状态起逆时针旋转，如图4的(b)所示，能够在将第2阀口212从关闭状态切换为打开状态的同时将第1阀口211从打开状态切换为关闭状态。另一方面，在从阀芯240使第1阀口211为关闭状态而切断向第1分配端口206B分配液体、使第2阀口212为打开状态而仅向第2分配端口206C分配液体的状态起使阀芯240例如绕顺时针旋转的情况下，能够在将第1阀口211从关闭状态切换为打开状态的同时将第2阀口212从打开状态切换为关闭状态。另外，如图4所示，在本实施方式中，阀芯240(阀芯部241)的沿周向的两端面241a、b形成为曲面形状。

在以上说明的本实施方式中，第2流量调节阀206是设置于主流路101的比例式的三通阀，具有构成主流路101的一部分的流入端口206A和第1分配端口206B、以及与旁通流路105连接的第2分配端口206C，能够将流入到流入端口206A的液体向第1分配端口206B和第2分配端口206C进行分配。由此，在使多个第1流量调节阀103中的一部分或全部的开度发生变化时，能够通过三通阀的单一的动作灵活地调节期望向第1流量调节阀103侧流通的液体的流量和期望向旁通流路105侧流通的液体的流量，由此能够简单且有效地抑制流路中的液体的压力变动。

在本实施方式中，在使多个第1流量调节阀103中的一部分或全部的开度发生变化时，与第1流量调节阀103中的一部分或全部的开度的调节联动地调节第2流量调节阀206的开度。此时，与第1实施方式同样，例如在对第2流量调节阀206进行控制以使与被切断的第1流量调节阀103所提供的液体的流量相同的流量的液体通过旁通流路105流通时，优选使第1流量调节阀103和第2流量调节阀106的每单位时间的开度变化率相同。更详细而言，优选使第1流量调节阀103的开度变化率与第2流量调节阀206的第2阀口212的开度变化率相同。

另外，在将多个第1流量调节阀103中的一部分或全部的开度从全开状态调节为中间开度时，通过第2流量调节阀206的调节而使通过旁通流路105向泵111的上游侧流通的液体的流量与所减少的从第1流量调节阀103向负载150侧的液体的流量对应地发生变化，在该情况下，也优选使第1流量调节阀103和第2流量调节阀206的每单位时间的开度变化率相同。另外，在使成为中间开度的第1流量调节阀103中的一部分或全部的开度发生变化而使从提供侧分支流路102的一部分或全部向负载150侧提供的液体的流量发生变化时，通过第2流量调节阀206的调节而使通过旁通流路105向泵111的上游侧流通的液体的流量与这样变化的流量对应地发生变化，在该情况下，也优选使第1流量调节阀103和第2流量调节阀206的每单位时间的开度变化率相同。

另外，第2流量调节阀206具有：阀主体214，其具有阀座213，该阀座213由圆柱形状的空腔构成并且形成有截面为矩形状的第1阀口211和截面为矩形状的第2阀口212，该第1阀口211用于使来自流入端口206A的液体向第1分配端口206B流通，该第2阀口212用于使来自流入端口206A的液体向第2分配端口206C流通；以及阀芯240，其形成为具有预先确定的中心角的半圆筒形状，并且旋转自如地配置在阀主体214的阀座213内，使得在将第1阀口211从关闭状态切换为打开状态的同时将第2阀口212从打开状态切换为关闭状态。由此，通过使第1阀口211和第2阀口212为截面矩形状，能够抑制液体向根据阀芯240的位置而变化的第1阀口211和第2阀口212流动的流量的变化率，因此在使多个第1流量调节阀103中的一部分或全部的开度发生变化时，能够提高期望向第1流量调节阀103侧流通的液体的流量和期望向旁通流路105侧流通的液体的流量的调节精度。

另外，在本实施方式的第2流量调节阀206中，阀芯240(阀芯部241)的沿着周向的两端面241a、b形成为曲面形状。由此，能够更有效地抑制液体向根据阀芯240的位置而变化的第1阀口211和第2阀口212流动的流量的变化率，因此能够有效地提高期望向第1流量调节阀103侧流通的液体的流量和期望向旁通流路105侧流通的液体的流量的调节精度。

另外，第2流量调节阀206的结构不限于上述结构。例如，如图5的变形例所示，第2流量调节阀206的阀主体(阀芯部241)的沿着周向的两端面也可以形成为平坦形状。但是，在该结构的情况下，如图5所示，在向第1流量调节阀103(第1阀口211)侧流通的液体的流量与向旁通流路105(第2阀口212)侧流通的液体的流量偏离1：1的状态的情况下，开度的变化率不是线性的。与此相对，在阀芯240(阀芯部241)的沿着周向的两端面241a、b形成为曲面形状的情况下，能够使开度的变化率以线性或接近线性的状态变化，能够更有效地抑制液体向第1阀口211和第2阀口212流动的流量的变化率，因此是有利的。

＜第3实施方式＞

接下来，参照图6对本发明的第3实施方式进行说明。对本实施方式的结构部分中的与第1实施方式的结构部分相同的部分标注相同的标号而省略说明。

如图6所示，在本实施方式中，在提供侧分支流路102和返回侧流路104之间分别经由配管151而连接有作为液体提供对象的调温部152，这一点与第1实施方式不同。调温部152使来自提供侧分支流路102的液体向返回侧流路104流通，使进入到内部的液体与温度控制对象物进行热交换，由此对温度控制对象物进行控制。

Claims (4)

1.一种液体提供装置，其特征在于，

该液体提供装置具有：

主流路，其在上游端部与下游端部之间具有泵，通过所述泵的驱动而使液体从所述上游端部朝向所述下游端部流通；

多个提供侧分支流路，它们从所述主流路的所述下游端部分支，将从所述下游端部流出的液体分别向液体提供对象的一侧提供；

第1流量调节阀，其设置在所述多个提供侧分支流路的各个提供侧分支流路上；

多个返回侧流路，它们是与所述多个提供侧分支流路对应设置的多个流路，分别与所述主流路的所述上游端部连接，使从对应的所述提供侧分支流路流出并经由所述液体提供对象的液体流入到所述上游端部；

旁通流路，其从所述主流路中的所述泵与所述下游端部之间的部分分支，并与所述主流路中的所述泵的上游侧的部分连接；

第2流量调节阀，其对从所述主流路中的所述泵与所述下游端部之间的部分通过所述旁通流路向所述泵的上游侧的部分流通的液体的流量进行调节；以及

控制装置，其对所述泵、多个所述第1流量调节阀以及所述第2流量调节阀进行控制，

所述控制装置对所述泵进行控制，以使所述泵的驱动恒定，

所述第1流量调节阀分别是比例式的二通阀，

所述第2流量调节阀是设置于所述主流路的比例式的三通阀，其具有构成所述主流路的一部分的流入端口和第1分配端口、以及与所述旁通流路连接的第2分配端口，所述第2流量调节阀能够将流入到所述流入端口的液体向所述第1分配端口和所述第2分配端口进行分配，

所述控制装置在与多个所述第1流量调节阀的一部分或全部的开度的调节联动地对所述第2流量调节阀的开度进行调节时，以所述第1流量调节阀的开度的变化方向与所述第2流量调节阀的开度的变化方向相互反向的方式使所述第1流量调节阀和所述第2流量调节阀同时进行动作，并使被调节开度的所述第1流量调节阀的一部分或全部的每单位时间的开度变化率与所述第2流量调节阀的每单位时间的开度变化率相同，

所述第2流量调节阀具有：

阀主体，其具有阀座，该阀座由圆柱形状的空腔构成并且形成有截面为矩形状的第1阀口和截面为矩形状的第2阀口，该第1阀口用于使来自所述流入端口的液体向所述第1分配端口流通，该第2阀口用于使来自所述流入端口的液体向所述第2分配端口流通；以及

阀芯，其形成为具有预先确定的中心角的半圆筒形状，并且旋转自如地配置在所述阀主体的阀座内，使得在将所述第1阀口从关闭状态切换为打开状态的同时将所述第2阀口从打开状态切换为关闭状态，

所述阀芯的沿着周向的两端面形成为曲面形状。

2.根据权利要求1所述的液体提供装置，其特征在于，

所述控制装置在与多个所述第1流量调节阀的一部分或全部的开度的调节联动地对所述第2流量调节阀的开度进行调节时，根据使针对多个所述第1流量调节阀的一部分或全部的操作信号反转后的操作信号，使所述第2流量调节阀进行动作。

3.根据权利要求1所述的液体提供装置，其特征在于，

在所述提供侧分支流路与所述返回侧流路之间经由配管而连接有所述液体提供对象。

4.一种液体调温系统，其特征在于，

该液体调温系统具有：

权利要求1所述的液体提供装置；以及

制冷装置，其对所述液体提供装置所流通的液体进行冷却。

Images