JP5048999B2 - 工作機械の温度制御システム - Google Patents
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Description
2 循環路
3 貯留槽
4,9 ポンプ
5 熱交換器
6 冷凍機
7 凝縮器
8 膨張弁
10 加熱手段
11 液温均一化手段
12 密封型減衰手段
20 温度制御部
21 冷却温度センサ
22 スレーブ温度センサ
23 マスター温度センサ
31 受液槽
32 冷却液槽
33 開放型減衰槽
34 拡散パイプ
35,36 撹拌器
121 密封容器
122 拡散パイプ
123 流入口
124 流出口
Claims (8)
- 工作機械に循環させるための熱媒体液を貯留する受液槽(31)と、
冷却用の熱交換器(5)と、前記受液槽(31)の熱媒体液を前記熱交換器(5)に強制的に送り込むポンプ(4)を備えた冷却手段(4,5,6,7,8)と、
前記冷却手段(4,5,6,7,8)によって冷却した熱媒体液を貯留し、前記受液槽(31)とは区分された冷却液槽(32)と、
前記冷却液槽(32)の熱媒体液の温度が最終目標温度よりも所定温度だけ低い温度となるように前記冷却手段(6,8)を制御する冷却制御手段(20)と、
前記冷却液槽(32)と連通して熱媒体液を貯留する開放型の貯留槽であって、熱媒体液の温度変動を減少させる開放型減衰槽(33)と、
前記開放型減衰槽(33)から送られた熱媒体液を加熱する加熱手段(10)と、
前記加熱手段(10)を通過した熱媒体液の空間的な温度分布を均一化するとともに時間的な温度分布も均一化する液温均一化手段(11)と、
前記加熱手段(10)による加熱後の熱媒体液であって前記液温均一化手段(11)に流入する前の熱媒体液の温度を検出する第1液温センサ(22)と、
前記液温均一化手段(11)から流出した熱媒体液の温度を検出する第2液温センサ(23)と、
前記最終目標温度と前記第2液温センサ(23)の検出値が等しくなるように加熱温度目標値を設定する主フィードバックループと、前記主フィードバックループの内部に含まれ、前記加熱温度目標値と前記第1液温センサ(22)の検出値が等しくなるように前記加熱手段(10)の駆動電力を制御する従フィードバックループを含む制御を行い、熱媒体液の温度が前記最終目標温度に維持されるように前記加熱手段(10)を制御する加熱制御手段(20)と、
前記液温均一化手段(11)を通過した熱媒体液の温度変動を減少させる密封型減衰手段(12)と、
前記密封型減衰手段(12)を通過して高精度に前記最終目標温度に維持された熱媒体液を前記工作機械に循環させるとともに、循環後の熱媒体液を前記受液槽に戻す循環路(2)とを有する工作機械の温度制御システム。 - 請求項1に記載した工作機械の温度制御システムであって、
前記加熱制御手段(20)は、前記主フィードバックループおよび前記従フィードバックループをPID制御によって行うものである工作機械の温度制御システム。 - 請求項2に記載した工作機械の温度制御システムであって、
前記加熱制御手段(20)は、前記加熱手段(10)の駆動電力をサイリスタによって制御するものである工作機械の温度制御システム。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載した工作機械の温度制御システムであって、
前記液温均一化手段(11)は、2系統の液体流通経路(A,B)を備えたプレート型熱交換器であり、その2系統の液体流通経路を直列に接続したものである工作機械の温度制御システム。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載した工作機械の温度制御システムであって、
前記開放型減衰槽(33)は、
前記冷却液槽(32)と連通して前記開放型減衰槽(33)内に突出し、内周側と外周側を貫通する複数の拡散口が形成された第1拡散パイプ(34)を備え、
前記冷却液槽(32)から流入した熱媒体液が第1拡散パイプ(34)を介して前記開放型減衰槽(33)内の熱媒体液と拡散混合するものである工作機械の温度制御システム。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載した工作機械の温度制御システムであって、
前記密封型減衰手段(12)は、
熱媒体液の流入口(123)と流出口(124)が設けられた密封容器(121)と、
前記流入口(123)に接続され、内周側と外周側を貫通する複数の拡散口が形成された第2拡散パイプ(122)とを備え、
前記流入口(123)から流入した熱媒体液が前記第2拡散パイプ(122)を介して前記密封容器(121)内の熱媒体液と拡散混合するものである工作機械の温度制御システム。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載した工作機械の温度制御システムであって、
各部に電力を供給する電源は、出力電圧を安定化した安定化電源である工作機械の温度制御システム。 - 請求項1〜7のいずれか1項に記載した工作機械の温度制御システムであって、
熱媒体液の流通部および貯留部は、断熱処理および熱遮蔽処理を施したものである工作機械の温度制御システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006329628A JP5048999B2 (ja) | 2006-12-06 | 2006-12-06 | 工作機械の温度制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006329628A JP5048999B2 (ja) | 2006-12-06 | 2006-12-06 | 工作機械の温度制御システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008142801A JP2008142801A (ja) | 2008-06-26 |
JP5048999B2 true JP5048999B2 (ja) | 2012-10-17 |
Family
ID=39603543
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006329628A Active JP5048999B2 (ja) | 2006-12-06 | 2006-12-06 | 工作機械の温度制御システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5048999B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11052504B1 (en) | 2020-02-10 | 2021-07-06 | Industrial Technology Research Institute | Temperature regulation system and temperature regulation method for machine tool |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5063711B2 (ja) * | 2010-01-13 | 2012-10-31 | 株式会社牧野フライス製作所 | 液温制御装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0731279B2 (ja) * | 1988-07-29 | 1995-04-10 | 株式会社日立製作所 | 減衰タンク |
JP3225546B2 (ja) * | 1991-09-19 | 2001-11-05 | 豊田工機株式会社 | 液温制御装置 |
JPH0825125B2 (ja) * | 1994-03-14 | 1996-03-13 | 関東精機株式会社 | 工作機械の温度制御方法及びその装置 |
JPH09277139A (ja) * | 1996-03-12 | 1997-10-28 | Kamui Sangyo Kk | 機械用液剤の冷却方法 |
JP3879798B2 (ja) * | 1998-07-13 | 2007-02-14 | エスペック株式会社 | 油冷却装置付環境試験装置 |
JP4564202B2 (ja) * | 2001-05-07 | 2010-10-20 | 高松機械工業株式会社 | 工作機械 |
JP2002353679A (ja) * | 2001-05-24 | 2002-12-06 | Mori Seiki Co Ltd | 制御盤の冷却装置 |
JP2005081496A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Nachi Fujikoshi Corp | 温度制御装置用減衰器及びその使用方法 |
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2006
- 2006-12-06 JP JP2006329628A patent/JP5048999B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11052504B1 (en) | 2020-02-10 | 2021-07-06 | Industrial Technology Research Institute | Temperature regulation system and temperature regulation method for machine tool |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008142801A (ja) | 2008-06-26 |
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