JP4773326B2 - 圧力流体の圧力制御供給システム - Google Patents
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Description
2 循環路
2a バイパス路
3 貯留槽
4 ポンプ
5 熱交換器
6 冷凍機
7 凝縮器
8 膨張弁
9 加圧ポンプ
10 フィルター
11 アキュムレータ
20 温度制御部
21 温度センサ
22 圧力制御部
23 圧力センサ
24 サーボバルブ
25 安定化電源
26 駆動部
31 受液槽
32 冷却液槽
33 開放型減衰槽
34 拡散パイプ
35,36 撹拌器
Claims (4)
- 圧力流体を一定の圧力に制御して作動機器に供給する圧力流体の圧力制御供給システムであって、
供給先から戻ってきた前記圧力流体を収容する受液槽(31)と、
前記受液槽(31)から送られた前記圧力流体の温度を一定に制御する温度制御手段(4〜8,20,21)と、
前記温度制御手段(4〜8,20,21)によって一定の温度とした前記圧力流体を貯留する冷却液槽(32)と、
前記冷却液槽(32)と連通して前記圧力流体を貯留する開放型の流体槽であって、前記圧力流体の温度変動を減少させる開放型減衰槽(33)と、
前記冷却液槽(32)と前記開放型減衰槽(33)との間に前記開放型減衰槽(33)側に突出して設けられ、内周から外周に貫通する拡散口により前記冷却液槽(32)と前記開放型減衰槽(33)とを連通させる拡散パイプ(34)と、
前記圧力流体を加圧して送出する加圧ポンプ(9)と、
インバータ回路によって安定化した所定の駆動周波数により前記加圧ポンプ(9)を駆動する駆動部(26)と、
前記駆動部(26)に供給する電源電圧を安定化させた安定化電源(25)と、
前記加圧ポンプ(9)から送出された前記圧力流体の圧力変動を減衰させるアキュムレータ(11)と、
前記加圧ポンプ(9)から送出された前記圧力流体を前記作動機器を経由せずに前記受液槽(31)に戻すためのバイパス路(2a)と、
前記バイパス路(2a)を介して前記受液槽(31)に戻す前記圧力流体の流量を調整するためのサーボバルブ(24)と、
前記加圧ポンプ(9)から送出された前記圧力流体の圧力を検出する圧力センサ(23)と、
前記圧力センサ(23)による検出圧力が目標値となるように前記サーボバルブ(24)を調整して前記バイパス路(2a)を流通する前記圧力流体の流量を制御する圧力制御部(22)とを有する圧力流体の圧力制御供給システム。 - 請求項1に記載した圧力流体の圧力制御供給システムであって、
前記温度制御手段(4〜8,20,21)および前記圧力制御部(22)は、ノイズの影響を低減するためのノイズ低減手段を有するものである圧力流体の圧力制御供給システム。 - 請求項1,2のいずれか1項に記載した圧力流体の圧力制御供給システムであって、
前記温度制御手段(4〜8,20,21)は、PID制御によって前記圧力流体の温度制御を行うものである圧力流体の圧力制御供給システム。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載した圧力流体の圧力制御供給システムであって、
前記圧力制御部(22)は、PID制御によって前記圧力流体の圧力制御を行うものである圧力流体の圧力制御供給システム。
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JP2006329629A JP4773326B2 (ja) | 2006-12-06 | 2006-12-06 | 圧力流体の圧力制御供給システム |
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