JP2012018380A - 回折光学素子、光学系、及び、光学機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の回折光学素子は、第1の格子面と第1の格子壁面とを備えた第1の回折格子と、前記第1の格子壁面に配置された遮光部材と、第2の格子面と第2の格子壁面とを備え、該第2の格子面が前記第1の格子面と接し、かつ、該第2の格子壁面が前記遮光部材と接するように配置された第2の回折格子とを有し、前記遮光部材を構成する材料の消衰係数kが0.001<k<0.5を満たすように構成されている。
【選択図】図2
Description
0.001<k<0.5 … (1)
式(1)は、不要光を抑制するため条件式であるが、遮光部材20の効果をより高くするには、遮光部材20を構成する材料の消衰係数kは以下の式(2)を満足することがより好ましい。
0.005<k<0.3 … (2)
|nd3−nd2| < 0.2 … (3)
ただし、nd3は遮光部材のd線での屈折率、nd2は2つの回折格子の屈折率のうちの高い屈折率である。この関係を満たさない場合、2つの回折格子の屈折率のうち高い屈折率と遮光部材の界面の反射が大きくなるため、遮光部材で吸収することが困難となり好ましくない。
W/P < 0.07 … (4)
ここで、遮光部材全体の幅Wは実施例3のような多層膜の場合は各薄膜の和、実施例5、6のような厚層化する場合は最も幅が厚い部分の幅となる。また、式(4)の左辺が0.03より小さいほうが、第1の回折格子と第2の回折格子の位相の不整合領域が小さいため、より好ましい。
n2(sinθ2+sinθ1)=λ/P
これを、式変形すると以下のように表される。
sinθ2=λ/(n2×p)−sinθ1
反射回折光が第2回折格子の方向(射出側方向)に回折しなければよく、また、sinθ1を想定している画面外光の入射角度(入射角度は+10度だが、微細凹凸形状に対しての入射角度は+80度になる)から近似すると、以下のように表される。
λ/n2×p−0.98 < 0
これより、微細凹凸形状のピッチpは、以下の関係を満たすことが好ましい。
p < 0.98×λ/n2 … (5)
なお、本実施例の使用波長帯域は可視波長帯域のため、使用波長帯域の最短波長λは400nmである。また、微細凹凸形状のピッチpは、格子壁面全体で均一ピッチでなく、異なっていてもよい。
(比較例1)
以下、実施例1乃至3および7乃至9に対する比較例1としての回折光学素子について説明する。比較例1としての回折光学素子は、回折格子の材料および格子高さは実施例1〜3と同様で、格子壁面部に不要光抑制手段が設けられていない場合である。
(比較例2)
以下、実施例4乃至6に対する比較例2としての回折光学素子について説明する。比較例2としての回折光学素子は、回折格子の材料および格子高さは実施例4〜6と同様で、格子壁面部に不要光抑制手段が設けられていない場合である。
11:第1の回折格子
12:第2の回折格子
11a、12a:格子面
11b、12b:格子壁面
20、21、22、23、24、25:遮光部材
Claims (13)
- 第1の格子面と第1の格子壁面とを備えた第1の回折格子と、
前記第1の格子壁面に配置された遮光部材と、
第2の格子面と第2の格子壁面とを備え、該第2の格子面が前記第1の格子面と接し、
かつ、該第2の格子壁面が前記遮光部材と接するように配置された第2の回折格子と、を有し、
前記遮光部材を構成する材料の消衰係数kが以下の式を満たすことを特徴とする回折光学素子。
0.001<k<0.5 - 前記第1の回折格子は第1の屈折率を有し、
前記第2の回折格子は、前記第1の屈折率とは異なる第2の屈折率を有し、
前記遮光部材は、前記第1の格子壁面と前記第2の格子壁面における入射光束の全反射光および透過光を抑制させることを特徴とする請求項1に記載の回折光学素子。 - 前記遮光部材は、前記第1の格子壁面と前記第2の格子壁面との間に配置された膜形状構造であることを特徴とする請求項1又は2に記載の回折光学素子。
- 前記遮光部材を構成する材料の屈折率は、前記第1の回折格子または前記第2の回折格子を構成する材料のうち低い屈折率を有する材料の該屈折率より高いことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の回折光学素子。
- 前記遮光部材を構成する材料のd線の屈折率nd3、及び、前記第1の回折格子または前記第2の回折格子を構成する材料のうち高い屈折率を有する材料のd線の屈折率nd2は、以下の式を満たすことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の回折光学素子。
|nd3−nd2| < 0.2 - 前記遮光部材の全体の幅W及び格子ピッチPは、以下の式を満たすことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の回折光学素子。
W/P < 0.07 - 前記遮光部材は、互いに異なる複数の材料からなる部材を積層して構成された複数の膜形状構造であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の回折光学素子。
- 前記遮光部材の幅は、前記第1の格子壁面と前記第2の格子壁面の位置に応じて異なっていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の回折光学素子。
- 前記第1の回折格子または前記第2の回折格子を構成する材料のうち高い屈折率を有する回折格子の格子壁面と前記遮光部材との界面に、波長以下の微細構造が設けられていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の回折光学素子。
- 前記第1の回折格子または前記第2の回折格子を構成する材料のうち高い屈折率を有する回折格子の格子壁面と前記遮光部材との間の媒質には、波長以下の微細構造が設けられていることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の回折光学素子。
- 前記微細構造のピッチp、前記第1の回折格子または前記第2の回折格子を構成する材料のうち高い屈折率を有する材料の使用波長帯域の最短波長の屈折率n2、及び使用波長帯域の最短波長λが以下の関係を満たすことを特徴とする請求項9又は10に記載の回折光学素子。
p < 0.98×λ/n2 - 屈折光学素子と、
請求項1乃至11のいずれか1項に記載の回折光学素子と、を有することを特徴とする光学系。 - 請求項12に記載の光学系を有することを特徴とする光学機器。
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