JP2012015937A - フェライト・磁石素子、非可逆回路素子及びフェライト・磁石素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】加工変質層の層厚を極力薄くして挿入損失の劣化を抑制することのできるフェライト・磁石素子、非可逆回路素子及びフェライト・磁石素子の製造方法を得る。
【解決手段】互いに電気的に絶縁状態で交差して配置された第1及び第2中心電極を有するフェライト32と、該フェライト32に直流磁界を印加するようにフェライト32の両主面に接着剤42を介して固着した一対の永久磁石41とからなるフェライト・磁石素子。永久磁石41はフェライト32の主面と対向する面が研磨されており、かつ、該研磨面は加工変質層が0.1μm以下の厚みとされている。
【選択図】図1
【解決手段】互いに電気的に絶縁状態で交差して配置された第1及び第2中心電極を有するフェライト32と、該フェライト32に直流磁界を印加するようにフェライト32の両主面に接着剤42を介して固着した一対の永久磁石41とからなるフェライト・磁石素子。永久磁石41はフェライト32の主面と対向する面が研磨されており、かつ、該研磨面は加工変質層が0.1μm以下の厚みとされている。
【選択図】図1
Description
本発明は、フェライト・磁石素子、該素子を備えたアイソレータやサーキュレータなどの非可逆回路素子及びフェライト・磁石素子の製造方法に関する。
従来より、アイソレータやサーキュレータなどの非可逆回路素子は、予め定められた特定方向にのみ信号を伝送し、逆方向には伝送しない特性を有している。この特性を利用して、例えば、アイソレータは、自動車電話、携帯電話などの移動体通信機器の送信回路部に使用されている。
一般に、この種の非可逆回路素子では、中心電極が形成されたフェライトとそれに直流磁界を印加する永久磁石とからなるフェライト・磁石素子を備えている。特許文献1には、成形体の焼成時の温度管理を適切に行うことにより、磁束密度のばらつきの小さいフェライト系永久磁石を得る製造方法が記載されている。図9に示すように、この種の永久磁石41はフェライト32との固着面41aに磁場Gが発生するが、クラックなど微小な欠陥部分Kが発生していると、欠陥部分Kを通過する磁場G’に乱れが生じる。即ち、欠陥部分Kで磁場G’が局所的に弱くなり、これが非可逆回路素子の挿入損失の劣化につながっている。
従来、この種の永久磁石の表面は、研磨加工により表面粗さ(Ra)を0.5μm程度まで研磨していたが、この程度の研磨では、表面に形成される加工変質層が5μmほど残存し、磁場の乱れの原因となっていた。加工変質層とは、研磨加工により表面に生じた内部とは異なった層であって、結晶構造の破壊、乱れ、多結晶化、非結晶化などがあり、歪みや応力が残存する層をいう。
そこで、本発明の目的は、加工変質層の層厚を極力薄くして挿入損失の劣化を抑制することのできるフェライト・磁石素子、非可逆回路素子及びフェライト・磁石素子の製造方法を提供することにある。
本発明の第1の形態であるフェライト・磁石素子は、
互いに電気的に絶縁状態で交差して配置された複数の中心電極を有するフェライトと、該フェライトに直流磁界を印加するようにフェライトの主面に固着した永久磁石と、を備えたフェライト・磁石素子において、
前記永久磁石は前記フェライトの主面と対向する面が研磨されており、かつ、該研磨面は加工変質層が0.1μm以下の厚みであること、
を特徴とする。
互いに電気的に絶縁状態で交差して配置された複数の中心電極を有するフェライトと、該フェライトに直流磁界を印加するようにフェライトの主面に固着した永久磁石と、を備えたフェライト・磁石素子において、
前記永久磁石は前記フェライトの主面と対向する面が研磨されており、かつ、該研磨面は加工変質層が0.1μm以下の厚みであること、
を特徴とする。
本発明の第2の形態である非可逆回路素子は、前記フェライト・磁石素子を備えたことを特徴とする。
また、本発明の第3の形態であるフェライト・磁石素子の製造方法は、
互いに電気的に絶縁状態で交差して配置された複数の中心電極を有するフェライトと、該フェライトに直流磁界を印加するようにフェライトの主面に固着した永久磁石と、を備えたフェライト・磁石素子の製造方法において、
前記フェライトの主面と対向する前記永久磁石の面を、#800、#2000、#4000、#8000の砥粒で順次研磨加工すること、
を特徴とする。
互いに電気的に絶縁状態で交差して配置された複数の中心電極を有するフェライトと、該フェライトに直流磁界を印加するようにフェライトの主面に固着した永久磁石と、を備えたフェライト・磁石素子の製造方法において、
前記フェライトの主面と対向する前記永久磁石の面を、#800、#2000、#4000、#8000の砥粒で順次研磨加工すること、
を特徴とする。
前記フェライト・磁石素子においては、永久磁石のフェライトの主面と対向する面を、その表面の加工変質層が0.1μm以下の厚みに研磨されているため、フェライトに印加される磁場の乱れがほとんど発生しなくなり、非可逆回路素子に組み込んだ場合、挿入損失の劣化が抑制される。
本発明によれば、加工変質層の層厚が薄いため、挿入損失の劣化を抑制できる。
以下、本発明に係るフェライト・磁石素子、非可逆回路素子及びフェライト・磁石素子の製造方法の実施例について添付図面を参照して説明する。なお、各実施例において共通する部品、部分には同じ符号を付し、重複する説明は省略する。
(アイソレータの構成、図1〜図4参照)
一実施例である2ポート型アイソレータ1は、図1に示すように、集中定数型アイソレータであり、概略、回路基板20と、フェライト32と一対の永久磁石41とからなるフェライト・磁石素子30と、整合回路素子としてチップタイプのコンデンサC1,C2,CS1,CS2,Rと、平板状ヨーク10と、接着剤層15と、で構成されている。
一実施例である2ポート型アイソレータ1は、図1に示すように、集中定数型アイソレータであり、概略、回路基板20と、フェライト32と一対の永久磁石41とからなるフェライト・磁石素子30と、整合回路素子としてチップタイプのコンデンサC1,C2,CS1,CS2,Rと、平板状ヨーク10と、接着剤層15と、で構成されている。
フェライト32には、図2に示すように、表裏の主面32a,32bに互いに電気的に絶縁された第1中心電極35及び第2中心電極36が形成されている。ここで、フェライト32は互いに対向する平行な第1主面32a及び第2主面32bを有する直方体形状をなしている。
また、永久磁石41はフェライト32に対して直流磁界を主面32a,32bに略垂直方向に印加するように主面32a,32bに対して、例えば、エポキシ系の接着剤42を介して接着され(図4参照)、フェライト・磁石素子30を形成している。永久磁石41の主面41aは前記フェライト32の主面32a,32bと同一寸法であり、互いの外形が一致するように主面32a,41a、主面32b,41aどうしを対向させて配置されている。
第1中心電極35は導体膜にて形成されている。即ち、図2に示すように、この第1中心電極35は、フェライト32の第1主面32aにおいて右下から立ち上がって2本に分岐した状態で左上に長辺に対して比較的小さな角度で傾斜して形成され、左上方に立ち上がり、上面32c上の中継用電極35aを介して第2主面32bに回り込み、第2主面32bにおいて第1主面32aと透視状態で重なるように2本に分岐した状態で形成され、その一端は下面32dに形成された接続用電極35bに接続されている。また、第1中心電極35の他端は下面32dに形成された接続用電極35cに接続されている。このように、第1中心電極35はフェライト32に1ターン巻回されている。そして、第1中心電極35と以下に説明する第2中心電極36とは、間に絶縁膜が形成されて互いに絶縁された状態で交差している。中心電極35,36の交差角は必要に応じて設定され、入力インピーダンスや挿入損失が調整されることになる。
第2中心電極36は導体膜にて形成されている。この第2中心電極36は、まず、0.5ターン目36aが第1主面32aにおいて右下から左上に長辺に対して比較的大きな角度で傾斜して第1中心電極35と交差した状態で形成され、上面32c上の中継用電極36bを介して第2主面32bに回り込み、この1ターン目36cが第2主面32bにおいてほぼ垂直に第1中心電極35と交差した状態で形成されている。1ターン目36cの下端部は下面32dの中継用電極36dを介して第1主面32aに回り込み、この1.5ターン目36eが第1主面32aにおいて0.5ターン目36aと平行に第1中心電極35と交差した状態で形成され、上面32c上の中継用電極36fを介して第2主面32bに回り込んでいる。以下同様に、2ターン目36g、中継用電極36h、2.5ターン目36i、中継用電極36j、3ターン目36k、中継用電極36l、3.5ターン目36m、中継用電極36n、4ターン目36o、がフェライト32の表面にそれぞれ形成されている。また、第2中心電極36の両端は、それぞれフェライト32の下面32dに形成された接続用電極35c,36pに接続されている。なお、接続用電極35cは第1中心電極35及び第2中心電極36のそれぞれの端部の接続用電極として共用されている。
また、接続用電極35b,35c,36pや中継用電極35a,36b,36d,36f,36h,36j,36l,36nはフェライト32の上下面32c,32dに形成された凹部37(図3参照)に銀、銀合金、銅、銅合金などの電極用導体を塗布又は充填して形成されている。また、上下面32c,32dには各種電極と平行にダミー凹部38も形成され、かつ、ダミー電極39a,39b,39cが形成されている。この種の電極は、マザーフェライト基板に予めスルーホールを形成し、このスルーホールを電極用導体で充填した後、スルーホールを分断する位置でカットすることによって形成される。なお、各種電極は凹部37,38に導体膜として形成したものであってもよい。
フェライト32としてはYIGフェライトなどが用いられている。第1及び第2中心電極35,36や各種電極は銀や銀合金の厚膜又は薄膜として印刷、転写、フォトリソグラフなどの工法で形成することができる。中心電極35,36の絶縁膜としてはガラスやアルミナなどの誘電体厚膜、ポリイミドなどの樹脂膜などを用いることができる。これらも印刷、転写、フォトリソグラフなどの工法で形成することができる。
なお、フェライト32を絶縁膜及び各種電極を含めて磁性体材料にて一体的に焼成することが可能である。この場合、各種電極を高温焼成に耐えるPd,Ag又はPd/Agを用いることになる。
永久磁石41は、通常、ストロンチウム系、バリウム系、ランタン・コバルト系のフェライトマグネットが用いられる。永久磁石41とフェライト32とを接着する接着剤42としては、一液性の熱硬化型エポキシ接着剤を用いることが最適である。また、各永久磁石41の下面両端部には、ダミー電極が設けられていてもよい。
回路基板20は、その表面に、前記フェライト・磁石素子30や各種整合回路素子を実装するための端子電極25a,25b,25c,25d,25eや図示しない入出力用電極、グランド電極が形成されている。
前記フェライト・磁石素子30は、回路基板20上に載置され、フェライト32の下面32dの電極35b,35c,36pが回路基板20上の端子電極25a,25b,25cとリフローにてはんだ接合される。また、チップタイプの整合回路素子C1,C2,CS1,CS2,Rが回路基板20上の端子電極25d,25eとリフローにてはんだ付けされる。
(回路構成及び動作、図5参照)
ここで、前記アイソレータ1の一回路例を図5の等価回路に示す。入力ポートP1は整合用コンデンサCS1を介して整合用コンデンサC1と終端抵抗Rとに接続され、整合用コンデンサCS1は第1中心電極35の一端に接続されている。第1中心電極35の他端及び第2中心電極36の一端は、終端抵抗R及びコンデンサC1,C2に接続され、かつ、コンデンサCS2を介して出力ポートP2に接続されている。第2中心電極36の他端及びコンデンサC2はグランドポートP3に接続されている。
ここで、前記アイソレータ1の一回路例を図5の等価回路に示す。入力ポートP1は整合用コンデンサCS1を介して整合用コンデンサC1と終端抵抗Rとに接続され、整合用コンデンサCS1は第1中心電極35の一端に接続されている。第1中心電極35の他端及び第2中心電極36の一端は、終端抵抗R及びコンデンサC1,C2に接続され、かつ、コンデンサCS2を介して出力ポートP2に接続されている。第2中心電極36の他端及びコンデンサC2はグランドポートP3に接続されている。
以上の等価回路からなる2ポート型アイソレータ1においては、第1中心電極35の一端が入力ポートP1に接続され他端が出力ポートP2に接続され、第2中心電極36の一端が出力ポートP2に接続され他端がグランドポートP3に接続されているため、挿入損失の小さな2ポート型の集中定数型アイソレータとすることができる。さらに、動作時において、第2中心電極36に大きな高周波電流が流れ、第1中心電極35にはほとんど高周波電流が流れない。
また、フェライト・磁石素子30は、フェライト32と一対の永久磁石41が接着剤42で一体化されていることで、機械的に安定となり、振動や衝撃で変形・破損しない堅牢なアイソレータとなる。
(永久磁石の製造方法)
前記永久磁石41は、原料の調整、湿式混合、仮焼成、湿式粉砕、湿式混合、湿式プレス成型、1回目の焼成、冷却、2回目の焼成の各工程を経て製造される。焼成後の冷却時に生じる残留応力を緩和して磁束密度のばらつきを小さくするためには、1回目の焼成温度をTaとしたとき、冷却温度をTa−500℃以下に設定し、2回目の焼成温度TbをTa−200℃〜Ta+50℃の範囲に設定することが好ましい。
前記永久磁石41は、原料の調整、湿式混合、仮焼成、湿式粉砕、湿式混合、湿式プレス成型、1回目の焼成、冷却、2回目の焼成の各工程を経て製造される。焼成後の冷却時に生じる残留応力を緩和して磁束密度のばらつきを小さくするためには、1回目の焼成温度をTaとしたとき、冷却温度をTa−500℃以下に設定し、2回目の焼成温度TbをTa−200℃〜Ta+50℃の範囲に設定することが好ましい。
具体的には、ストロンチウム系フェライトを原料とする磁石では、1回目の焼成工程において磁石の成形体を昇温速度200℃/hで昇温し、焼成温度Ta=1250℃で2時間保持し、冷却工程では成形体を降温速度300℃/hで室温(20℃)まで冷却して2時間保持し、次に、2回目の焼成工程において成形体を昇温速度200℃/hで昇温し、焼成温度Tb=1050℃〜1300℃で2時間保持し、その後、降温速度300℃/hで室温まで冷却する。
(永久磁石の表面研磨)
さらに、永久磁石41は、フェライト32に対向する主面41aを砥粒で研磨し、その表面粗さ(加工変質層厚)を所定値よりも小さくする。具体的には、ストロンチウム系フェライト磁石及びランタン・コバルト系フェライト磁石に対して、第1工程として#800の砥粒で約40分研磨し、第2工程として#2000の砥粒で約30分研磨し、第3工程として#4000の砥粒で約60分研磨し、第4工程として#8000の砥粒で約30分研磨することが好ましい。#800、#2000、#4000は炭化ケイ素からなる砥粒を使用し、#8000は酸化セリウムからなる砥粒を使用することができる。
さらに、永久磁石41は、フェライト32に対向する主面41aを砥粒で研磨し、その表面粗さ(加工変質層厚)を所定値よりも小さくする。具体的には、ストロンチウム系フェライト磁石及びランタン・コバルト系フェライト磁石に対して、第1工程として#800の砥粒で約40分研磨し、第2工程として#2000の砥粒で約30分研磨し、第3工程として#4000の砥粒で約60分研磨し、第4工程として#8000の砥粒で約30分研磨することが好ましい。#800、#2000、#4000は炭化ケイ素からなる砥粒を使用し、#8000は酸化セリウムからなる砥粒を使用することができる。
以上の研磨工程を経ることによって、加工変質層がほとんどなくなり、加工変質層にはクラックなどの欠陥部分がなくなる、あるいは、欠陥部分が極めて微小なものとなり、フェライト32に印加される磁場の乱れがほとんど解消される。それゆえ、この永久磁石41を備えたフェライト・磁石素子30を搭載したアイソレータ1の挿入損失の劣化が抑制されることになる。
永久磁石の表面粗さと表面の加工変質層厚との関係は、図6に示すとおりであり、表面粗さが小さくなるに伴って加工変質層の層厚が小さくなる。本発明者らの実験によれば、前記第1工程では、表面粗さ(Ra)が0.5μm、加工変質層厚は5μmに研磨された。前記第2工程では、表面粗さ(Ra)が0.2μm、加工変質層厚は3μmに研磨された。前記第3工程では、表面粗さ(Ra)が0.11μm、加工変質層厚は1.5μmに研磨された。前記第4工程では、表面粗さ(Ra)が0.065μm、加工変質層厚は0.1μmに研磨された。
表面粗さと挿入損失との関係は、図7に示すとおりであり、表面粗さが小さくなるに伴って挿入損失が向上する。前記第1工程で表面粗さ(Ra)が0.5μmのとき、挿入損失は0.37dBであった。前記第2工程で表面粗さ(Ra)が0.2μmのとき、挿入損失は0.35dBであった。前記第3工程で表面粗さ(Ra)が0.11μmのとき、挿入損失は0.34dBであった。前記第4工程で表面粗さ(Ra)が0.065μmのとき、挿入損失は0.33dBであった。
加工変質層厚と挿入損失との関係は、図8に示すとおりであり、加工変質層厚が小さくなるに伴って挿入損失が向上する。前記第1工程で加工変質層厚が5μmのとき、挿入損失は0.37dBであった。前記第2工程で加工変質層厚が3μmのとき、挿入損失は0.35dBであった。前記第3工程で加工変質層厚が1.5μmのとき、挿入損失は0.34dBであった。前記第4工程で加工変質層厚が0.1μmのとき、挿入損失は0.33dBであった。永久磁石の表面研磨による挿入損失の改善は、加工変質層厚が0.1μm以下の厚みのとき最も効果的に発揮される。
(他の実施例)
なお、本発明に係るフェライト・磁石素子、非可逆回路素子及びフェライト・磁石素子の製造方法は前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。
なお、本発明に係るフェライト・磁石素子、非可逆回路素子及びフェライト・磁石素子の製造方法は前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。
特に、整合回路の構成やフェライト・磁石素子を回路基板に搭載する形態は任意である。また、整合回路素子は全てがチップタイプではなく、回路基板を多層基板にて構成し、該多層基板の内部電極として、整合回路素子の一部ないし全てを内蔵してもよい。また、前述した永久磁石の製造工程、研磨工程はあくまで一例である。
以上のように、本発明は、フェライト・磁石素子及び非可逆性回路素子に有用であり、特に、挿入損失の劣化を抑制できる点で優れている。
1…アイソレータ
30…フェライト・磁石素子
32…フェライト
35…第1中心電極
36…第2中心電極
41…永久磁石
41a…主面(研磨面)
30…フェライト・磁石素子
32…フェライト
35…第1中心電極
36…第2中心電極
41…永久磁石
41a…主面(研磨面)
Claims (5)
- 互いに電気的に絶縁状態で交差して配置された複数の中心電極を有するフェライトと、該フェライトに直流磁界を印加するようにフェライトの主面に固着した永久磁石と、を備えたフェライト・磁石素子において、
前記永久磁石は前記フェライトの主面と対向する面が研磨されており、かつ、該研磨面は加工変質層が0.1μm以下の厚みであること、
を特徴とするフェライト・磁石素子。 - 前記永久磁石は、ストロンチウム系磁石又はランタン・コバルト系磁石であること、を特徴とする請求項1に記載のフェライト・磁石素子。
- 請求項1又は請求項2に記載のフェライト・磁石素子を備えたこと、を特徴とする非可逆回路素子。
- 互いに電気的に絶縁状態で交差して配置された複数の中心電極を有するフェライトと、該フェライトに直流磁界を印加するようにフェライトの主面に固着した永久磁石と、を備えたフェライト・磁石素子の製造方法において、
前記フェライトの主面と対向する前記永久磁石の面を、#800、#2000、#4000、#8000の砥粒で順次研磨加工すること、
を特徴とするフェライト・磁石素子の製造方法。 - #800の砥粒で約40分、#2000の砥粒で約30分、#4000の砥粒で約60分、#8000の砥粒で約30分、それぞれ研磨加工すること、を特徴とする請求項4に記載のフェライト・磁石素子の製造方法。
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