JP2012013719A - Ｃｏｆアライメントマーク - Google Patents

Abstract

【課題】目合わせにより液晶セルに対するＣＯＦのＸ・Ｙ方向のシフト量をコントロールして、ＣＯＦと液晶セルとのＸ・Ｙ方向の位置関係を自由且つ簡単に調整できるように改良したＣＯＦアライメントマークを提供する。
【解決手段】ＣＯＦ２に形成されたアライメントマークであって、液晶セルの方形のセルマーク６を囲むように形成された、左側及び右側の互いに平行な複数の縦帯状マーク１ａと、前側及び後側の互いに平行な複数の横帯状マーク１ｂとから成り、左右両側の縦帯状マーク１ａ及び前後両側の横帯状マーク１ｂが一定の幅寸法Ｗと一定の相互間隔Ｇを備えたＣＯＦアライメントマーク１とする。左右両側の縦帯状マーク１ａと前後両側の横帯状マーク１ｂを、それぞれＸ方向とＹ方向のシフト量を目測する目盛として目合わせでシフト量をコントロールし、ＣＯＦと液晶セルのＸ・Ｙ方向の位置関係を自由に調整する。
【選択図】図２

Description

本発明は、ＣＯＦ（チップオンフィルム）に形成されるアライメントマークに関し、更に詳しくは、ＣＯＦを液晶セルに圧着する際のアライメント作業を正確に行えるだけでなく、目合わせによりＣＯＦのＸ方向（左右方向）およびＹ方向（前後方向）のシフト量をコントロールして、ＣＯＦと液晶セルとのＸ・Ｙ方向の位置関係を自由且つ簡単に調整できるように改良したＣＯＦアライメントマークに関する。

従来の一般的なＣＯＦアライメントマーク１００は、図４に示すように、互いに平行な二つの横帯状マーク１００ａ，１００ａからなるものであって、図５に示すように、ＣＯＦ（チップオンフィルム）２のフィルム端縁部に設けられた端子列３の左右両側に一対形成されている。

このＣＯＦアライメントマーク１００は、ＣＯＦ２の端子列３を液晶セル４の端縁部に形成された端子列５に重ねて圧着する際に、液晶セル４の端子列５の両側に形成された方形のセルマーク６が、図４に仮想線で示すように、ＣＯＦアライメントマーク１００の二つの横帯状マーク１００ａ，１００ａの間に嵌まり込んだ状態になると、アライメント作業が正確に行われ、ＣＯＦ２の端子列３と液晶セル４の端子列５がＸ方向（左右方向）にもＹ方向（前後方向）にも位置ズレすることなく重なり合うようになっている。

尚、図５では、端子列３及びアライメントマーク１００を表側にしてＣＯＦ２を示しているが、ＣＯＦ２を液晶セル４に熱圧着するときには、ＣＯＦ２を裏返しにしてアライメント作業を行い、ＣＯＦ２の端子列３と液晶セル４の端子列５を重ね合わせることは言うまでもない。

一方、電極が形成された一対の基板を一定の間隔で対向させ、その間に液晶を封じ込んだ液晶表示装置において、両基板の対向する面上に、両基板を粗に位置合わせするアライメントマークと、該アライメントマーク内に設けられた精密に位置合わせするアライメントマークを備えた液晶表示装置が知られている（特許文献１）。

また、液晶表示パネルの端子部と外部回路基板を、それらに対向的に形成されているアライメントマーク対により手動で位置決めするにあたって、一方のアライメントマークを、所定形状の幹マークと、該幹マークから引き出された枝マークとで構成し、他方のアライメントマークを、中央に幹マークと同形状のブランク部を有する枠マークと、該枠マークから枝マークの両辺に沿って形成された一対のラインマークとで構成した液晶表示素子も知られている（特許文献２）。

特開平６−２１４２０４号公報 特開２００１−１８８２４３号公報

しかしながら、図４，図５に示すような二つの横帯状マーク１００ａ，１００ａからなる従来のＣＯＦアライメントマーク１００は、目合わせでアライメント作業を行う場合、セルマーク６のシフトの判別が容易でなく、特に、Ｘ方向（左右方向）のシフトのシビアな判別が難しいため、精度良くアライメント作業を行うことが困難であった。

また、装置のバラツキなどの原因でＣＯＦ２と液晶セル４の本圧着後に意図しないズレが生じ、その調整が困難な場合には、意図的にＣＯＦアライメントマーク１００に対するセルマーク６の位置をＸ・Ｙ方向に所要量だけシフトさせ、圧着後のズレをなくして圧着作業を続けなければならないこともあるが、従来のＣＯＦアライメント１００は目合わせでシフト量が分からないため、意図的にＸ・Ｙ方向に所要量シフトさせて圧着後のズレをなくすことは不可能であった。

一方、前記特許文献１の液晶表示装置は、粗な位置合わせ用のアライメントマークで上下基板を粗に位置合わせした後、高精度なアライメントマークで高精度に位置合わせすることによって、位置合わせに要する時間を短縮することができるが、意図的に上下基板のアライメントマークをＸ・Ｙ方向に所望量だけシフトさせることはできない。

また、前記特許文献２の液晶表示素子も、液晶表示パネルと外部回路基板に形成された特定形状のアライメントマーク対によって、液晶表示パネルと外部回路基板との位置合わせを手動で正確に行うことができるが、やはり、意図的にアライメントマーク対をＸ・Ｙ方向に所望量だけシフトさせることはできない。

本発明は上記事情の下になされたもので、その解決しようとする課題は、ＣＯＦを液晶セルに圧着する際のアライメント作業を正確に行えるだけでなく、目合わせにより液晶セルに対するＣＯＦのＸ・Ｙ方向のシフト量をコントロールして、ＣＯＦと液晶セルとのＸ・Ｙ方向の位置関係を自由且つ簡単に調整できるように改良したＣＯＦアライメントマークを提供することにある。
そして、ＣＯＦアライメントマークを、圧着時に溶融した導電性接着剤（ＡＣＦ）の流動を妨げない形状にして、ＣＯＦと液晶セルとの接着力の低下、ピール強度の低下、ＣＯＦの剥離などを防止することも課題としている。

上記課題を解決するため、本発明に係るＣＯＦアライメントマークは、ＣＯＦに形成されたアライメントマークであって、ＣＯＦを圧着する液晶セルの方形のセルマークを囲むように形成された、左側の互いに平行な複数の縦帯状マークと、右側の互いに平行な複数の縦帯状マークと、前側の互いに平行な複数の横帯状マークと、後側の互いに平行な複数の横帯状マークとから成り、左右両側の縦帯状マークおよび前後両側の横帯状マークが一定の幅寸法と一定の相互間隔を備えていることを特徴とするものである。

本発明のＣＯＦアライメントマークにおいては、左右両側の縦帯状マークの長さが、方形のセルマークの左右両辺の長さよりも長いことが望ましい。
また、前後両側の横帯状マークが、方形のセルマークの前後両辺に近接するように形成された二つの横帯状マークを除いて、マーク中央部に切欠部を備えて分断されていることも望ましい。

本発明のＣＯＦアライメントマークは、左右両側の複数の縦帯状マークと前後両側の複数の横帯状マークによって囲まれる方形の中央空間部に液晶セルの方形のセルマークが嵌まり込んだ状態になると、アライメント作業がＸ・Ｙ方向に正確に行われ、ＣＯＦの端子列と液晶セルの端子列が位置ズレすることなく重なり合うようになっている。このアライメント作業は、セルマークの左右両辺に近接する左右の二つ縦帯状マークによってセルマークのＸ方向（左右方向）の位置ずれをシビアに判断でき、セルマークの前後両辺に近接する前後の二つの横帯状マークによってＹ方向（前後方向）の位置ずれをシビアに判断できるので、精度良く行うことができる。

しかも、本発明のＣＯＦアライメントマークは、左右両側の互いに平行な複数の縦帯状マークおよび前後両側の互いに平行な複数の横帯状マークが、それぞれ一定の幅寸法と一定の相互間隔を備えているので、目合わせによりＣＯＦアライメントマークに対するセルマークの位置を意図的にシフトさせる場合には、左右両側の複数の縦帯状マークがＸ方向のシフト量を示す目盛の役目を果たし、前後両側の複数の横帯状マークがＹ方向のシフト量を示す目盛の役目を果たすことになる。従って、目合わせによりＣＯＦアライメントマークに対するセルマークのＸ・Ｙ方向のシフト量を所望量となるようにコントロールして、ＣＯＦと液晶セルとのＸ・Ｙ方向の位置関係を自由且つ簡単に調整することができる。

また、本発明のＣＯＦアライメントマークにおいて、左右両側の縦帯状マークの長さを、方形のセルマークの左右両辺の長さよりも長くしたものは、意図的にＸ方向にシフトさせるときに、縦帯状マークの両端部がセルマークの前後両辺から突き出して目視できるため、Ｘ方向のシフト量を目測し易くなる。

更に、本発明のＣＯＦアライメントマークにおいて、前後両側の複数の横帯状マークが、方形のセルマークの前後両辺に近接するように形成された二つの横帯状マークを除いて、マーク中央部に切欠部を備えて分断されたものであると、圧着時に溶融した導電性接着剤（ＡＣＦ）が、横帯状マークの相互空間部と上記の切欠部を通って流動しやすくなるため、導電性接着剤の流動が妨げられた場合に生じる欠点、即ち、導電性接着剤の硬化不良、ＣＯＦと液晶セルとの接着力の低下、ピール強度の低下、ＣＯＦの剥離などを防止することができる。

本発明の一実施形態に係るＣＯＦアライメントマークが形成されたＣＯＦと、液晶セルの一部を示した平面図である。 同ＣＯＦアライメントマークの拡大平面図である。 本発明の他の実施形態に係るＣＯＦアライメントマークの拡大平面図である。 従来のＣＯＦアライメントマークの拡大平面図である。 従来のＣＯＦアライメントマークが形成されたＣＯＦの一部と、液晶セルの一部を示した平面図である。

図１に示すＣＯＦ（チップオンフィルム）２は、その中央にＩＣチップなどのチップ７が搭載されたものであって、このチップ７を挟んで一方のフィルム端縁部には、液晶セル４の端子列５に圧着（熱圧着）される端子列３がＸ方向（左右方向）に配列形成されており、チップ７を挟んで他方のフィルム端縁部には、配線基板（不図示）の端子列に圧着される端子列８が形成されている。そして、チップ７とフィルム両端縁部の端子列３，８の各端子は、ＣＯＦ２に形成された配線パターン（不図示）によって接続されており、この配線パターンは絶縁皮膜で被覆されている。

液晶セル４の一段低い端縁部には、圧着によりＣＯＦ２の端子列３と接続される端子列５が形成されており、この端子列５の左右両側には、アライメント用の方形のセルマーク６，６が形成されている。そして、このセルマーク６，６に対応して、ＣＯＦ２の端子列３の左右両側には、本発明のＣＯＦアライメントマーク１，１が形成されている。ＣＯＦ２の端子列３、端子列８、アライメントマーク１，１はいずれも、配線パターンと同様に銅箔をフォトエッチングして形成されたものであり、これらは絶縁皮膜で被覆されることなくＣＯＦ２の表面に露出している。

尚、図１も図５と同様に、端子列３，８及びアライメントマーク１，１を表側にしてＣＯＦ２を図示しているが、ＣＯＦ２を液晶セル４に熱圧着するときには、ＣＯＦ２を裏返しにしてアライメント作業を行い、ＣＯＦ２の端子列３と液晶セル４の端子列５を重ね合わせることは言うまでもない。

ＣＯＦ２の端子列３の左右両側に形成された本発明のＣＯＦアライメントマーク１は、図２に拡大して示すように、仮想線で表されている方形のセルマーク６を四方から囲むように形成された、左側の互いに平行な複数（図２では三つ）の縦帯状マーク１ａ，１ａ，１ａと、右側の互いに平行な複数（図２では三つ）の縦帯状マーク１ａ，１ａ，１ａと、前側の互いに平行な複数（図２では三つ）の横帯状マーク１ｂ，１ｂ，１ｂと、後側の互いに平行な複数（図２では三つ）の横帯状マーク１ｂ，１ｂ，１ｂとから成るものであって、図示の如く液晶セルの方形のセルマーク６がアライメントマーク１の方形の中央空間部１ｃに嵌まり込んだ状態になると、アライメント作業がＸ・Ｙ方向に正確に行われ、ＣＯＦ２の端子列３と液晶セル４の端子列５が位置ズレすることなく重なり合うようになっている。このアライメント作業は、セルマーク６の左右両辺に近接する左右の二つ縦帯状マーク１ａ，１ａによってセルマーク６のＸ方向（左右方向）の位置ずれをシビアに判断でき、かつ、セルマーク６の前後両辺に近接する前後の二つの横帯状マーク１ｂ，１ｂによってＹ方向（前後方向）の位置ずれをシビアに判断できるので、精度良く行うことができる。

左右両側に形成された互いに平行な複数の縦帯状マーク１ａは、目合わせによりＣＯＦアライメントマーク１に対するセルマーク６の位置を意図的にシフトさせる際に、Ｘ方向のシフト量を示す目盛の役目を果たすように、縦帯状マーク１ａの幅寸法Ｗと相互間隔Ｇを一定にしている。縦帯状マーク１ａの幅寸法Ｗと相互間隔Ｇは、特に限定されないが、Ｘ方向のシフト量はＹ方向のシフト量よりも精度良く目測できることが重要であるので、この実施形態では幅寸法Ｗと相互間隔Ｇをそれぞれ５μｍに設定している。

また、前後両側に形成された互いに平行な複数の横帯状マーク１ｂは、目合わせによりＣＯＦアライメントマーク１に対するセルマーク６の位置を意図的にシフトさせる際に、Ｙ方向のシフト量を示す目盛の役目を果たすように、横帯状マーク１ｂの幅寸法と相互間隔を一定にしている。横帯状マーク１ｂの幅寸法と相互間隔は、縦帯状マーク１ａのそれらと同様に５μｍに設定してもよいが、Ｙ方向のシフト量はＸ方向のシフト量ほど精度良く目測できなくてもよいので、５μｍより粗く設定してもよい。このように横帯状マーク１ｂの幅寸法と相互間隔を粗く設定すると、圧着時に熱溶融した導電性接着剤が横帯状マーク１ｂの幅広の相互空間部を通って流動しやすいという利点がある。

上記のように、左右両側に複数ずつ形成された縦帯状マーク１ａはＸ方向のシフト量を目測する目盛の役目を果たし、前後両側に複数ずつ形成された横帯状マーク１ｂはＹ方向のシフト量を目測する目盛の役目を果たすため、目合わせによりＣＯＦアライメントマーク１に対するセルマーク６のＸ・Ｙ方向のシフト量を所望量となるようにコントロールして、ＣＯＦ２と液晶セル４とのＸ・Ｙ方向の位置関係を自由且つ簡単に調整することができる。

左右両側に複数ずつ形成された縦帯状マーク１ａの長さＬａは、セルマーク６の左右両辺の長さよりも１０μｍ〜１０数μｍ程度長くなっている。このように長くなっていると、セルマーク６を意図的にＸ方向にシフトさせたときに、縦帯状マーク１ａの両端部がセルマーク６の前後両辺から突き出して目視できるため、Ｘ方向のシフト量の目測が一層容易になるという利点がある。

これに対し、上下両側に複数ずつ形成された横帯状マーク１ｂの長さＬｂは、セルマーク６の上下両辺の長さより１０μｍ〜１０数μｍ程度短くなっている。このように短くなっていると、セルマーク６の前後両辺に近接する二つの横帯状マーク１ｂ，１ｂの両端と、セルマーク６の左右両辺に近接する二つの縦帯状マーク１ａ，１ａの両端部との間に、空隙部Ｖが形成されるため、圧着時に熱溶融した導電性接着剤がこの空隙部Ｖを通って流動し易くなるという利点がある。

図３に示すＣＯＦアライメントマーク１０は、前後両側に複数ずつ形成された横帯状マーク１ｂが、セルマーク６の前後両辺に近接する前後二つの横帯状マーク１ｂを除いて、マーク中央部に切欠部１ｄを形成することによって左右に分断されており、前側の複数の横帯状マーク１ｂと後側の複数の横帯状マーク１ｂがそれぞれＵ字状と逆Ｕ字状を呈している。このＣＯＦアライメントマーク１０のその他の構成は、前記ＣＯＦアライメントマーク１のそれと同様であるので、図３において同一部材に同一符号を付し、説明を省略する。

このようなＣＯＦアライメントマーク１０は、前述した作用効果に加えて、圧着時に溶融した導電性接着剤が、横帯状マーク１ｂの相互空間部から上記切欠部１ｄを通ってスムーズに流動するため、導電性接着剤の流動が妨げられた場合に生じる欠点、即ち、導電性接着剤の硬化不良、ＣＯＦと液晶セルとの接着力の低下、ピール強度の低下、ＣＯＦの剥離などを防止できる利点がある。また、前側と後側の複数の横帯状マーク１ｂがＵ字状と逆Ｕ字状を呈しているので、セルマーク６の左右の平行を確認でき、角度ズレを予防することもできる。

以上のＣＯＦアライメントマーク１，１０はいずれも、左右両側の縦帯状マーク１ａの数および前後両側の横帯状マーク１ｂの数を、それぞれ三つずつとしているが、二つずつとしてもよいし、四つずつ若しくはそれ以上としてもよいことは言うまでもない。

１，１０ ＣＯＦアライメントマーク
１ａ 縦帯状マーク
１ｂ 横帯状マーク
１ｃ 方形の中央空間部
１ｄ 切欠部
２ ＣＯＦ
３ ＣＯＦの端子列
４ 液晶セル
５ 液晶セルの端子列
６ 方形のセルマーク

Claims (3)

1. ＣＯＦに形成されたアライメントマークであって、ＣＯＦを圧着する液晶セルの方形のセルマークを囲むように形成された、左側の互いに平行な複数の縦帯状マークと、右側の互いに平行な複数の縦帯状マークと、前側の互いに平行な複数の横帯状マークと、後側の互いに平行な複数の横帯状マークとから成り、左右両側の縦帯状マークおよび前後両側の横帯状マークが一定の幅寸法と一定の相互間隔を備えていることを特徴とするＣＯＦアライメントマーク。
2. 左右両側の縦帯状マークの長さが、方形のセルマークの左右両辺の長さよりも長いことを特徴とする請求項１に記載のＣＯＦアライメントマーク。
3. 前後両側の横帯状マークが、方形のセルマークの前後両辺に近接するように形成された二つの横帯状マークを除いて、マーク中央部に切欠部を備えて分断されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のＣＯＦアライメントマーク。

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