JP2012001757A - エッチング液及びエッチング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】酸及びキレート化剤のいずれか一方と、リン酸エステル部位を含有する界面活性剤とを少なくとも含むエッチング液を用いて、銅の酸化物を主成分とする酸化銅含有層に対してエッチング処理を行う。
【選択図】なし
Description
50mmφのガラス平板基板上に、スパッタ法を用いて、下記の条件にて酸化銅を製膜した。なお、製膜後の酸化銅の価数は、XPSにて測定したところ、1.90を超えており、実質的に価数IIと言える。
ターゲット:酸化銅(II)(3インチφ)
電力(W):RF100
ガス種類:アルゴンと酸素の混合ガス(比率9:1)
圧力(Pa):0.5
膜厚(nm):20
露光用半導体レーザー波長:405nm
レンズ開口数:0.85
露光レーザーパワー:8.8mW
送りピッチ:100nm
水 30g
リン酸モノドデシルナトリウム 5mg
6M塩酸 2.1g
実施例1と同様の条件で製膜、露光した酸化銅を下記条件にて調製したエッチング液によってエッチングした。
水 20g
28%アンモニア水 10g
リン酸モノドデシルナトリウム 3mg
実施例1と同様の条件で製膜、露光した酸化銅を下記条件にて調製したエッチング液によってエッチングした。
水 30g
硫酸ドデシルナトリウム 5mg
6M塩酸 pH1.0になるまで加えた
実施例1と同様の条件で製膜、露光した酸化銅を下記条件にて調製したエッチング液によってエッチングした。
水 30g
6M塩酸 pH1.0になるまで加えた
実施例1と同様の条件で製膜、露光した酸化銅を下記条件にて調製したエッチング液によってエッチングした。
水 20g
28%アンモニア水 10g
Claims (8)
- 銅の酸化物を主成分とする酸化銅含有層をエッチングするためのエッチング液であって、酸及びキレート化剤のいずれか一方と、リン酸エステル部位を含有する界面活性剤とを少なくとも含むことを特徴とするエッチング液。
- 前記酸が、無機酸又は有機酸から選択されることを特徴とする請求項1に記載のエッチング液。
- 前記キレート化剤が、アンモニア、ビピリジル、フェナントロリン、シッフ塩基、及びこれらの誘導体からなる群より選択された少なくとも一種を含むことを特徴とする請求項1に記載のエッチング液。
- 前記リン酸エステル部位を含有する界面活性剤が下記の化学式(1)で示される化合物であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のエッチング液。
- 前記エッチング液中の前記界面活性剤の割合が0.00001重量%以上1重量%以下であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のエッチング液。
- 前記酸化銅含有層が、少なくとも熱分解された酸化銅領域を有することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載のエッチング液。
- 酸化銅含有層の所定の一部を熱分解した後に、エッチング液を供給して熱分解された部分とそうでない部分から熱分解された部分を除去するエッチング方法であって、
前記エッチング液として、請求項1から請求項6のいずれかに記載したエッチング液を用いることを特徴とするエッチング方法。 - 前記銅の酸化物の分解は、前記酸化銅含有層にレーザー光を照射して行うことを特徴とする請求項7に記載のエッチング方法。
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