JP2012001343A

JP2012001343A - 処理設備

Info

Publication number: JP2012001343A
Application number: JP2010139787A
Authority: JP
Inventors: Shinji Ido; 真嗣井戸
Original assignee: JGC Corp
Current assignee: JGC Corp
Priority date: 2010-06-18
Filing date: 2010-06-18
Publication date: 2012-01-05
Anticipated expiration: 2030-06-18
Also published as: JP5745786B2

Abstract

【課題】被処理物に対して処理を行って処理物を得る複数の工程室と、被処理物または処理物からなる被搬送物を搬送してこれら工程室に対して被搬送物の受け渡しを行う搬送領域とが設けられた処理設備において、内部の領域の配置レイアウトの自由度が大きい処理設備を提供すること。
【解決手段】複数の工程室２１が平面的に配置された処理フロア１の階下に、搬送容器Ｃの搬送を行う搬送領域が形成された物流フロア２を設けると共に、処理フロア１と物流フロア２との間の床面１１に受け渡し口２２を形成し、物流フロア２を走行する搬送車５により受け渡し口２２を介して処理フロア１と物流フロア２との間において搬送容器Ｃの受け渡しを行う。また、処理フロア１において受け渡し口２２の側方に形成された開閉扉２２ｂに近接するようにスライド機構５５を配置して、搬送車５との間において、開閉扉２２ｂを介して搬送容器Ｃの受け渡しを行う。
【選択図】図１

Description

本発明は、被処理物に対して処理を行う工程室が複数設けられた処理設備に関する。

医薬品などの固形製剤を製造する工場などの処理設備には、図４２に示すように、例えば作業者が処理装置を用いて処理を行うための工程室１０２が複数箇所に設けられており、各々の工程室１０２において、被処理物である粉体原料やこの粉体原料から得られた中間生成物などの処理物に対して、秤量、造粒、篩過、錠剤への成形（打錠）、検査あるいは包装などの処理が行われる。これらの被処理物、中間生成物及び処理物は、コンテナなどの搬送容器内に収納された状態で例えばスタッカークレーン１００と呼ばれる搬送機構により各工程室１０２間において受け渡される。そのため各工程室１０２は、スタッカークレーン１００が配置された搬送室１０１の両側に沿って並べられる。図４２中、１０５は搬送口、１０４は未内装（未使用）のエリア（部屋）であり、この未内装エリア１０４は、工場を建設した後の増産時などにおいて、内装工事、搬送口１０５の形成及び処理装置の搬入などの改造工事が行われて工程室１０２として使用される。また、図４２において１０３は作業者が工程室１０２に出入りするための作業者用通路、１０７は処理装置の部材や配電盤を設置するための機械室であり、これら作業者用通路１０３及び機械室１０７は搬送室１０１に干渉しないように配置される。

しかしながら、このようにスタッカークレーン１００を用いる場合には、既述のように搬送室１０１と工程室１０２との間の位置関係が決まっているので、工場内の各領域の配置レイアウトの自由度が小さい。そのため、この工場では、新規設備（処理装置）の導入や工場建設後の増産などに柔軟に対応できなかったり、あるいは工場の建設コストが高くなったりする配置レイアウトを取らざるを得ない。即ち、例えば工程室１０２内に新しい処理装置を機械室１０７から搬入する場合には、これら機械室１０７と工程室１０２との間における作業者用通路１０３の壁面を取り壊すことになる。この時、作業者用通路１０３の内部雰囲気が汚染されないように、工事する領域１０６を作業者用通路１０３から区画しようとすると、作業者用通路１０３が領域１０６により途中で遮られて作業者が行き来できなくなる。その場合には、工場の一部または工場全体の操業を停止する必要があるので、この工場では新規設備を導入しにくい（工程室１０２と機械室１０７とが隣接していない）配置レイアウトを採っていると言える。また、未内装エリア１０４に搬送口１０５を形成する時において、搬送室１０１内の雰囲気が汚染されないように当該搬送口１０５の周囲における搬送室１０１を区画する場合には、スタッカークレーン１００の移動が妨げられてしまう。従って、未内装エリア１０４に予め搬送口１０５を形成しておく必要があるので、当該未内装エリア１０４には、この搬送口１０５の位置に対応できる処理装置しか導入できない。そのため、増設できる工程室１０２の種類が限られてしまい、工場建設後の増産に柔軟に対応できない。

また、作業者用通路１０３を通行する作業者の例えば衣服などを介したコンタミを防止するために、工程室１０２に入室する作業者の通路と工程室１０２から退室する作業者の通路とを別々に設ける場合には、これら２つの通路は作業者の作業性の面から工程室１０２と同じフロアに各々設けられることが好ましい。しかし、各々の工程室１０２が側方側から別の工程室１０２、搬送室１０１及び作業者用通路（入室用通路）１０３により囲まれているので、これら通路の一方（退室用通路）は、例えば搬送室１０１と工程室１０２との間において、当該搬送室１０１に沿って設けられることになる。そのため、搬送容器は、退室用通路の例えば上方位置を介して、当該上方位置に設けられたベルトコンベアなどの水平搬送機構を利用して、搬送室１０１から工程室１０２内に搬入されることになる。この場合には、各工程室１０２には、搬送容器の搬入される高さ位置と、作業者が処理を行う高さ位置（例えば工程室１０２の床面の高さレベル）との間において、搬送容器を昇降させるリフタなどの昇降装置が必要になるので、コストアップに繋がってしまう。
また、搬送室１０１が工場を２分するように配置されるので、例えば各工程室１０２内の大気の給排気を行うためのダクトや、各工程室１０２内を見学するための見学者通路を設ける場合には、配置できるスペースが限られてしまう。

特許文献１には、粉体を機器４０に投入する粉粒体投入システムについて記載されているが、既述の課題については何ら検討されていない。また、特許文献２には、スタッカークレーン１やフォークリフトについて記載されているが、フォークリフトの移動路（搬送軌道１２の上方領域）が２階の床面を貫通するように１階及び２階に亘って形成されると共に複数のヤード３〜９を環状に囲むように形成されているので、既述の課題を解決できるものではない。また、このようなフォークリフトを用いて物（搬送容器）の動線と人（作業者）の動線とを分離しようとすると、既述のスタッカークレーン１００を用いた工場と同様のレイアウトとなってしまう。更に、特許文献３には基板処理装置について記載されているが、既述の課題は検討されていない。

特開２００７−３０９１４特開平４−２５５７２（７４３頁下段左欄１４行目〜同１８行目、同頁下段右欄１５行目〜同１６行目）特開平９−２７５１２７

本発明はこのような事情の下になされたものであり、その目的は、被処理物に対して処理を行って処理物を得る複数の工程室と、被処理物または処理物からなる被搬送物を搬送してこれら工程室に対して被搬送物の受け渡しを行う搬送領域とが設けられた処理設備において、内部の領域の配置レイアウトの自由度が大きい処理設備を提供することにある。

本発明の処理設備は、
被処理物に対して処理を行って処理物を得るための工程室が複数配置された第１の階と、
この第１の階の階下に設けられ、被処理物または処理物からなる被搬送物を搬送するための第２の階と、
複数の工程室のうち少なくとも一つの工程室の床面に形成され、当該工程室と前記第２の階との間において被搬送物の受け渡しを行うための受け渡し口と、
この受け渡し口を介して前記少なくとも一つの工程室と前記第２の階との間で被搬送物の受け渡しを行うために、前記第２の階において水平に移動自在に設けられ、被搬送物を昇降自在に保持する受け渡し機構を有する搬送車と、
前記受け渡し口の周囲において前記第１の階の床面から上方に向かって伸びるように設けられ、当該受け渡し口の上方領域と前記少なくとも一つの工程室の内部の処理雰囲気とを区画するための区画壁と、
被搬送物の受け渡しを行うために前記区画壁に形成された搬送口及びこの搬送口を開閉するための扉と、
この扉が開いている時に、被搬送物が前記扉の閉鎖時における占有領域に位置する状態で前記受け渡し機構との間で被搬送物の受け渡しを行い、前記受け渡し機構に対して受け渡しを行う位置と前記扉よりも処理雰囲気側の位置との間で被搬送物を搬送できるように構成された搬送部と、を備えたことを特徴とする。
前記搬送部は、前記扉よりも処理雰囲気側に設けられた支持部と、被搬送物を下方側から保持すると共に、前記受け渡しを行う位置と前記扉よりも処理雰囲気側の位置との間で当該支持部により水平方向に進退自在に支持された保持部と、を備えたスライド機構であっても良い。
また前記搬送部は、前記扉よりも処理雰囲気側に設けられ、被搬送物を下方側から支持すると共に、前記処理雰囲気側の位置と前記受け渡し機構に対して受け渡しを行う位置との間で被搬送物を水平方向に搬送する水平搬送機構と、
前記扉と前記受け渡し口との間に設けられ、前記受け渡し機構に対して受け渡しを行う位置における被搬送物を、下方側から前記水平搬送機構と前記受け渡し機構との間で進退自在に支持する補助搬送部と、を含み、
被搬送物は、前記受け渡し機構と前記水平搬送機構との間において、当該被搬送物における前記受け渡し口側の領域を前記補助搬送部により下方側から支持された状態で受け渡されると共に、この補助搬送部により下方側から支持されながら処理雰囲気側の位置に対して搬入出されても良い。

本発明は、複数の工程室が配置された第１の階の階下に、被処理物または処理物からなる被搬送物の搬送を行う第２の階を設けると共に、第１の階と第２の階との間の床面に受け渡し口を形成し、第２の階を走行する搬送車によりこの受け渡し口を介して第２の階と工程室との間で被搬送物の受け渡しを行っている。そして、受け渡し口の周囲に設けられた区画壁の扉を介してこれら搬送車と工程室との間で被搬送物の受け渡しを行うにあたり、扉の閉鎖時における占有領域にて搬送車との間で被搬送物の受け渡しを行う搬送部を設けて、この搬送部により工程室内の処理雰囲気側に被処理物を搬入している。そのため、工程室が配置された第１の階と被搬送物の搬送を行う第２の階とを上下に区画できるので、第１の階に配置される各領域の配置レイアウトの自由度を大きく取ることができる。

本発明の生産工場の要部を概略的に示す縦断面図である。本発明の生産工場の一例を示す斜視図である。前記工場を示す縦断面図である。前記工場を示す縦断面図である。前記工場を示す平面図である。前記工場を示す平面図である。前記工場において被処理物が収納される搬送容器の一例を示す斜視図である。前記搬送容器が受け渡される受け渡し部材の一例を示す斜視図である。前記工場で用いられるスタッカークレーンを示す斜視図である。前記工場におけるスライド機構の一例を示す説明図である。前記工場における工程室の一例を示す縦断面図である。前記工場の作用の一例を示す縦断面図である。前記工場の作用の一例を示す平面図である。前記工場の作用の一例を示す縦断面図である。前記工場の作用の一例を示す縦断面図である。前記工場の作用の一例を示す縦断面図である。前記工場の作用の一例を示す縦断面図である。前記工場の作用の一例を示す平面図である。前記工場の作用の一例を示す縦断面図である。前記工場の作用の一例を示す平面図である。前記工場の作用の一例を示す縦断面図である。前記工場の作用の一例を示す平面図である。前記工場の作用の一例を示す縦断面図である。前記工場の作用の一例を示す平面図である。前記工場の他の例を示す縦断面図である。前記工場の他の例を示す縦断面図である。前記工場の他の例を示す縦断面図である。前記工場の他の例を示す縦断面図である。前記工場の他の例を示す縦断面図である。前記工場の他の例を示す平面図である。前記工場の他の例を示す平面図である。前記工場の他の例を示す縦断面図である。前記工場の他の例を示す斜視図である。前記工場の他の例を示す縦断面図である。前記工場の他の例を示す縦断面図である。前記工場の他の例を示す平面図である。前記工場の他の例を示す平面図である。前記工場の他の例を示す縦断面図である。前記工場の他の例を示す縦断面図である。前記工場の他の例を示す平面図である。前記工場の他の例を示す縦断面図である。従来の工場の一例を示す平面図である。

本発明の処理設備の一例として、被処理物である原料粉末から製品（処理物）である医薬品の固形製剤を製造する医薬品製造工場を例に挙げて、図１〜図１１を参照して説明する。先ず、この工場の要部について図１を参照して概略的に説明すると、この工場には、原料粉末やこの原料粉末から得られる中間生成物などの処理物に対して、例えば保管、秤量、後述の搬送容器Ｃへの原料粉末の充填、造粒、篩過、錠剤への成形（打錠）、コーティング、検査及び包装などの処理を行うための工程室２１が平面的に複数配置された第１の階をなす処理フロア１が設けられており、この処理フロア１の階下には、被処理物または処理物が内部に収納された被搬送物である搬送容器Ｃを搬送して工程室２１に対して受け渡すための第２の階である物流フロア２が配置されている。処理フロア１と物流フロア２との間の床面１１には、搬送容器Ｃの受け渡しを行うための受け渡し口２２が複数箇所に形成されている。処理フロア１には、この受け渡し口２２に近接するように、これらフロア１、２間の雰囲気を区画するための区画壁２２ａが設けられており、この区画壁２２ａに形成された開閉扉２２ｂ及び受け渡し口２２を介してフロア１、２間で搬送容器Ｃを受け渡すために、搬送部であるスライド機構（スライドステーション）５５が工程室２１内に設けられている。これら処理フロア１及び物流フロア２により階層構造体３が構成されている。尚、前記「検査」及び「包装」もこの明細書では「処理」という用語に含まれるものとする。

続いて、工場の各部の詳細について説明する。物流フロア２には、図４に示すように、搬送容器Ｃを搬送して工程室２１との間において受け渡しを行うために、例えばＡＧＦ（ＡｕｔｏＧｕｉｄｅｄＦｏｒｋｌｉｆｔ）などである搬送車５が複数台配置されており、各々の搬送車５は、水平方向に走行（移動）する走行車本体５ａと、搬送容器Ｃを昇降自在に保持する受け渡し機構であるフォーク５ｂと、を備えている。このフォーク５ｂによって、例えば箱型の容器である搬送容器Ｃは、図７に示すように、高さ方向における概略中央位置において左右両側から支持される。また、フォーク５ｂは後述するように、搬送車５が水平移動する時には下方側の物流フロア２側に縮退し、工程室２１との間において搬送容器Ｃを受け渡す時には、受け渡し口２２を介して処理フロア１側に伸び出すように構成されている。

物流フロア２の床面１１には、図５に示すように、例えば磁気テープなどの搬送路６が付設されており、この搬送路６は、例えば受け渡し口２２の各々の下方位置を楕円状に結ぶ本線（周回軌道）６ａと、この本線６ａから分岐する複数の分岐路６ｂと、を備えている。分岐路６ｂは、例えば搬送車５が故障した時やメンテナンスを受ける時に当該搬送車５を作業者が退避させる退避分岐路８ａと、この退避分岐路８ａに退避した搬送車５に代えて搬送を行う予備の搬送車５が待機する予備分岐路８ｂと、搬送車５が後述の受け渡し部材１５に臨む位置を走行できるように配置された受け渡し用分岐路８ｃと、から構成されている。搬送車５の下面側には、搬送路６（搬送領域）に沿って水平方向に移動できるように、当該搬送路６を検知する図示しない検知部が設けられている。

図５中９は、床面１１における搬送車５の停止位置例えば受け渡し口２２の下方位置に付設された磁気棒などのマーカーであり、搬送車５は下面に設けられた図示しないセンサーなどによりマーカー９の有無を検出し、後述の制御部１０の指示によりこのマーカー９の上方において停止して、搬送容器Ｃの受け渡し動作を行うこととなる。この物流フロア２の床面１１には、受け渡し口２２の下方位置などにおいて搬送車５が１８０°反転できるように、例えば本線６ａから分岐して円状に伸びる図示しない反転用搬送路が設けられていても良い。また、この搬送車５としては、例えば作業者がマニュアルで運転（操縦）するフォークリフトなどであっても良い。尚、物流フロア２内には、工場の補強のために、搬送車５の動作に干渉しない位置に床面１１と天井面とを接続する複数の柱部が設けられているが、図示を省略している。

また、この例においては、既述の図２〜図４に示すように、処理フロア１と物流フロア２とからなる階層構造体３が複数階層例えば２層積層されており、上下の階層の物流フロア２、２同士の間で搬送容器Ｃを搬送するために、バーチカルリフターやエレベータなどの昇降装置、この例ではスタッカークレーン１２が工場に外部側から隣接して設けられている。このスタッカークレーン１２は、工場の端部例えば後述の打錠室２５に隣接する位置において、複数階層の物流フロア２に亘って設けられた昇降室１３内に配置されている。この昇降室１３と物流フロア２との間の壁面には、図３に示すように、これら昇降室１３と物流フロア２との間において搬送容器Ｃの受け渡しを行うための搬入出口１４、１４が各々開口している。物流フロア２においてこの搬入出口１４に臨む位置には、スタッカークレーン１２と搬送車５との間において搬送容器Ｃを受け渡すための受け渡し部材１５が設けられている。この受け渡し部材１５は、図８に示すように、例えば搬送容器Ｃの搬送方向（後述の搬送台４５の進退方向）に対して互いに離間して並ぶ２つの棒状部材１５ａ、１５ａから構成されている。尚、図２においては、スタッカークレーン１２や搬入出口１４の描画を省略している。また、図４においては便宜的にこのスタッカークレーン１２を描画している。

昇降室１３内の床面には、図５に示すように、工場の外壁に沿って水平に配置されたレール４１が設けられている。スタッカークレーン１２は、図９に示すように、互いに間隔を開けて鉛直方向に伸びる２本の柱部４２、４２及びこの柱部４２、４２を上下から支持する基部４３、４３を備えている。この図９中４４及び４６は夫々リフト及び車輪であり、スタッカークレーン１２がレール４１上を走行すると共に、柱部４２、４２に沿って搬送容器Ｃを昇降できるように構成されている。このリフト４４上には、搬送容器Ｃを載置するための搬送台４５が設置されており、この搬送台４５は、前記棒状部材１５ａ、１５ａの離間寸法よりも狭く形成されると共に、階層構造体３（物流フロア２）に対して水平方向に進退自在に構成されている。

そして、このスタッカークレーン１２から物流フロア２に搬送容器Ｃを搬送する時には、この搬送台４５上に搬送容器Ｃを載置して、既述の搬入出口１４を介して棒状部材１５ａ、１５ａの上方位置にスタッカークレーン１２から当該搬送台４５を伸張させ、次いで搬送台４５が棒状部材１５ａ、１５ａ間を下側に通過するようにリフト４４を下降させることにより、受け渡し部材１５上に搬送容器Ｃが載置されることになる。また、物流フロア２から搬送容器Ｃを受け取る時には、この順番と逆の順序でスタッカークレーン１２が動作することとなる。そして、既述の搬送車５がこの受け渡し部材１５から搬送容器Ｃを受け取る時には、搬送車５が受け渡し部材１５に臨む位置に移動すると共に、例えば搬送容器Ｃの下方側からあるいはこの搬送容器Ｃの高さ方向における概略中央位置において搬送容器Ｃを支持して持ち上げることになる。搬送車５から受け渡し部材１５に搬送容器Ｃを引き渡す時には、この搬送動作と逆の順番で搬送車５が動作する。尚、スタッカークレーン１２は、荷物用エレベーター、バーチカルリフター、またはバーチカルコンベア等の昇降装置であってもよい。

続いて、処理フロア１について詳述する。この処理フロア１には、既述の図２、図４及び図６に示すように、複数の工程室２１が前後方向（図２中Ｙ方向）に一列に配置されており、この工程室２１の列が左右方向（図２中Ｘ方向）に平行に互いに離間するように複数列例えば２列配置されている。各々の工程室２１内には、既述の処理を行うための処理装置２７が設けられている。工程室２１の床面１１（処理フロア１と物流フロア２との間の床面１１）には、搬送容器Ｃの受け渡しを行うための受け渡し口２２が形成されている。そして、処理フロア１において、各々の受け渡し口２２の外縁から当該処理フロア１の内部領域（処理雰囲気）側に離間した位置には、図１（ｂ）にも示すように、処理フロア１の床面１１から天井面に向かって伸びるように、処理フロア１の雰囲気と物流フロア２の雰囲気とを区画するための区画壁２２ａが当該受け渡し口２２の周囲に設けられている。この区画壁２２ａには、開閉扉（ドア）２２ｂにより開閉される搬送口２２ｃが形成されている。この開閉扉２２ｂは、当該開閉扉２２ｂの両側の領域（受け渡し口２２の上方領域と工程室２１内の雰囲気）との間において、気流が行き来しにくいようにこれら領域を区画するためのものである。従って、開閉扉２２ｂは、当該開閉扉２２ｂと搬送口２２ｃとの間に形成された隙間を介して、これら両側の領域の間に形成された圧力差に応じて、これら領域の一方側から他方側に雰囲気が少しずつ通流するように構成されている。後述の扉４８ａ及び搬入出口２４についても同様である。既述の図１（ｂ）では、区画壁２２ａにより囲まれる床面１１よりも受け渡し口２２を小さく描いているが、受け渡し口２２は、実際には当該区画壁２２ａの下方側が全面に亘って開口した状態となっている。尚、図１（ｂ）は、区画壁２２ａを一部切り欠いて示している。

この搬送口２２ｃは、搬送車５により搬送容器Ｃの受け渡しを行う時に、後述の制御部１０からの指示により、あるいは作業者により各々開閉される。また、後述するように、工程室２１内に搬送容器Ｃを例えば一時的に保管する場合には、図６に示すように、この保管する領域（保管領域４８）と区画壁２２ａとの間の壁面には、扉４８ａにより開閉自在な開口部４８ｂが形成される。尚、区画壁２２ａは、図６に示すように、工程室２１の内壁面を兼用している場合もある。

また、工程室２１内には、搬送口２２ｃに近接するように、搬送車５との間において搬送容器Ｃの受け渡しを行うためのスライド機構５５が搬送部として設けられている。このスライド機構５５は、図７にも示すように、搬送容器Ｃを下方側から支持する例えば板状の保持部５５ａと、搬送口２２ｃ及び開閉扉２２ｂの閉鎖時における占有領域を介して工程室２１の内部の処理雰囲気と受け渡し口２２側との間で保持部５５ａを水平方向に進退自在に支持する進退支持部５５ｂと、が上側からこの順番で積層されている。保持部５５ａにおける受け渡し口２２側の先端部は、上方側に向かって垂直に屈曲して起立面部５５ｃをなしており、保持部５５ａ上の搬送容器Ｃが受け渡し口２２側に落下しないようにいわばストッパーとして設けられている。この進退支持部５５ｂは、図１０に示すように、例えばエアシリンダーなどの駆動機構５６とリニアガイドなどのガイド機構５７とを備えており、この駆動機構５６の駆動に伴って、ガイド機構５７によってガイドしながら保持部５５ａを水平方向に進退させるように構成されている。尚、図７は、区画壁２２ａを一部切り欠いて示している。

即ち、駆動機構５６は、基端部５６ａと、基端部５６ａに対して保持部５５ａの進退方向に沿って移動（突没）する進退部５６ｂと、を備えており、基端部５６ａが進退支持部５５ｂに固定され、進退部５６ｂの先端側が保持部５５ａの下面に接続されている。また、ガイド機構５７は、進退部５６ｂの進退方向に沿って配置されたガイド軸５７ａと、このガイド軸５７ａにガイドされて（嵌合して）スライドするスライド部５７ｂとを備えており、ガイド軸５７ａが進退支持部５５ｂに固定され、スライド部５７ｂが保持部５５ａの下面に設けられている。これら駆動機構５６とガイド機構５７とは、保持部５５ａの進退方向に対して直交する方向に例えば２組設けられており、例えば後述の制御部１０からの指示により、搬送口２２ｃを介して保持部５５ａを進退させて、搬送車５（フォーク５ｂ）との間で搬送容器Ｃの受け渡しを行うように構成されている。このスライド機構５５は、既述の保管領域４８にも設けられている。

ここで、既述の受け渡し口２２は、図６に示すように、各々の工程室２１毎に個別に設けられている場合もあるし、一つの受け渡し口２２が互いに隣接する複数例えば２つの工程室２１、２１において共用されている場合もある。例えば受け渡し口２２の形成された工程室２１を第１の工程室２１ａ、受け渡し口２２の形成されていない工程室２１を第２の工程室２１ｂと呼ぶと、第１の工程室２１ａの受け渡し口２２は、第２の工程室２１ｂに近接配置されている。そして、第１の工程室２１ａと第２の工程室２１ｂとの間の壁面には、搬送容器Ｃの受け渡しを行うための搬入出口２４が形成されている。また、この搬入出口２４は例えばドアなどの開閉機構２４ａにより開閉されるように構成されており、搬送容器Ｃは、第２の工程室２１ｂに対して、受け渡し口２２、第１の工程室２１ａ及び搬入出口２４を介して搬送車５により搬送される。従って、既述のスライド機構５５は、第１の工程室２１ａでは受け渡し口２２に近接して配置されており、第２の工程室２１ｂでは搬入出口２４に近接する位置に設けられている。

また、例えば打錠処理を行う工程室２１、即ち図１１に示す打錠室２５は、間仕切り２６によって投入区域２５ａと処理区域２５ｂとの上下２層に区画されている。この打錠室２５には、物流フロア２と処理フロア１との間の床面１１（処理区域２５ｂの床面）及び間仕切り２６を上下に亘って貫通するように、既述の受け渡し口２２が各々形成されている。即ち、投入区域２５ａ及び処理区域２５ｂには、夫々専用の受け渡し口２２、２２が形成されており、この例ではこれら２つの受け渡し口２２、２２は平面で見た時の位置が重なっていると言える。投入区域２５ａ及び処理区域２５ｂにおいて受け渡し口２２、２２の外縁から投入区域２５ａ側及び処理区域２５ｂ側に夫々離れた位置には、既述の区画壁２２ａが各々設けられており、この区画壁２２ａよりも投入区域２５ａ側及び処理区域２５ｂ側には、各々既述のスライド機構５５、５５が設けられている。処理区域２５ｂにおけるスライド機構５５の保持部５５ａには、当該スライド機構５５に載置される搬送容器Ｃの下面中央部に対応するように、図示しない開口部が形成されている。区画壁２２ａの搬送口２２ｃは、開閉扉２２ｂにより各々開閉される。

処理区域２５ｂには、被処理物に対して打錠処理を行うための処理装置（打錠機）２７が設けられており、間仕切り２６には、処理区域２５ｂのスライド機構５５に載置された搬送容器Ｃの下面と処理装置２７とを接続する管状の投入路２７ａを引き回すための開口部２６ａが形成されている。この投入路２７ａは、処理区域２５ｂにおけるスライド機構５５の保持部５５ａに形成された開口部を介して、搬送容器Ｃの下面に接続される。図１１では、投入区域２５ａにおける搬送容器Ｃ（スライド機構５５）と処理区域２５ｂにおける処理装置２７とを左右に離間して配置しているが、スライド機構５５の下方に処理装置２７を位置させても良いし、スライド機構５５から処理装置２７の上方位置まで搬送容器Ｃを搬送する水平搬送機構を投入区域２５ａに配置して、搬送容器Ｃから処理装置２７へ被処理物を投入落下させても良い。

処理区域２５ｂにおいて、処理装置２７の側方位置には、処理装置２７において打錠処理が行われた処理物を収納するための搬送容器Ｃがスライド機構５５上に載置されている。図１１中２７ｂは、処理装置２７において打錠処理が終了した処理物を取り出して、処理区域２５ｂに載置された搬送容器Ｃに収納するための搬送部材である。尚、図６においては、この打錠室２５を簡略化して示している。また、搬送車５において搬送容器Ｃを上下に昇降させる機構については、図１１などでは簡略化して示している。

また、工程室２１としては、例えば図６に未使用エリア３１として示すように、内壁面や床面に内装が施されていない領域（部屋）が設けられている場合がある。この未使用エリア３１は、工場を建設した後に、例えば医薬品を増産するために工程室２１を増設する場合などに当該工程室２１として使用される領域であり、そのため工場を建設した時点では使用されていない領域である。この未使用エリア３１においては、受け渡し口２２が形成されておらず、隣接する工程室２１の受け渡し口２２を共用することになる。また、処理装置２７の種類により搬送容器Ｃの設置される位置（スライド機構５５の設置位置）が異なる場合があるので、この未使用エリア３１には搬入出口２４が形成されておらず、工程室２１を増設する時に、当該工程室２１（未使用エリア３１）内に設けられる処理装置２７の種類などに応じて搬入出口２４が工事により形成されることになる。また、工程室２１を増設する時には、この搬入出口２４の工事と共に、内装工事や後述の処理装置２７を搬入する工事などが行われることになる。尚、予めドアなどにより開閉される搬入出口２４を形成しておいても良い。

工程室２１の列の左側の側面及び右側の側面の一方側及び他方側には、各々機械室６１及びこの工程室２１内において作業を行う作業者が当該工程室２１内に出入りするための作業者用通路６２が当該工程室２１の列に沿うように設けられている。この例においては、図２及び図４に示すように、工場の外壁に沿うように処理フロア１の両側に機械室６１、６１が配置され、２つの工程室２１、２１の列に挟まれるように（内側に）作業者用通路６２、６２が設けられている。この機械室６１において工場の外部に面する壁面（外壁）には、既述の処理装置２７の搬入出を行うための図示しないドアが形成されている。作業者用通路６２の天井面は、工程室２１の天井面よりも所定の高さだけ低くしても良い。

この機械室６１は、例えば、工程室２１内の処理装置２７に関連する部材例えば集塵機や空調機あるいは配電盤などの機械設備６１ａを設置するための領域であり、工程室２１や物流フロア２、あるいは作業者用通路６２などよりも清浄度が低いレベルに設定されている。これらの工程室２１と機械室６１との間の壁面には、処理装置２７と機械設備６１ａとを接続する配線や配管を引き回すための図示しない開口部が形成されている。また、この機械室６１は、後述するように、工場の外部と工程室２１との間において処理装置２７を例えば入れ替える場合に、工場の外壁（機械室６１の側面）に形成された図示しないドアから当該機械室６１を介して処理装置２７を搬送するための領域である。このように処理装置２７を入れ替える（交換する）例としては、例えば工程室２１内の古い処理装置２７を新しい処理装置２７に切り替える場合、あるいは当該工程室２１内における処理の種類が変更になる場合などがある。

この時、処理装置２７の入れ替えを行わない場合もあるし、また処理装置２７の大きさも処理の種類に応じて様々である。そのため、機械室６１と工程室２１との間において処理装置２７を搬入出する場合には、例えば工事を行うことにより、機械室６１と工程室２１との間の壁面にその都度開口部が形成されることになる。尚、この壁面に予め開口部を形成しておき、処理装置２７の搬送を行わない時には扉等で塞ぐようにしても良い。また、この機械室６１は、工程室２１に面する壁面以外の３つの側面のうちのいずれかの側面が工場の外壁に接するように配置されていれば良い。尚、図６においては、既述の機械設備６１ａを模式的に１つだけ描画している。

そして、この処理フロア１には、これらの工程室２１、機械室６１及び作業者用通路６２からなる処理ステーション７が平行に複数列に亘って例えば２列に設けられており、作業者用通路６２の側面における工程室２１とは反対側の面には、例えば作業者用通路６２の側壁及び工程室２１の側壁に形成された図示しない窓を介して見学者が工程室２１内を見学するための見学者用通路６３が作業者用通路６２（工程室２１）に沿って配置されている。この見学者用通路６３の天井面は、作業者用通路６２の天井面と同じ程度の高さレベルに設定されている。この例では、見学者用通路６３を介して左右両側の作業者用通路６２、工程室２１及び機械室６１が左右対称となるように配置されており、従ってこの場合には、左右の２つの処理ステーション７において見学者用通路６３を兼用している。尚、図４及び図６中２９は、作業者用通路６２から工程室２１内に作業者が出入りするためのドアである。また、これらの作業者用通路６２、物流フロア２及び工程室２１内は、コンタミの発生を抑えるために清浄な雰囲気に保たれている。

作業者用通路６２及び見学者用通路６３の上方には、工程室２１の側面の上部側に隣接するように、例えば天井面が工程室２１の天井面と同程度の高さレベルとなるように配置された通気路（ダクト）３５が設けられており、この通気路３５は、前後方向に並ぶ工程室２１に沿って長く形成されている。この通気路３５は、工程室２１の雰囲気を工場の外部に排気したり、あるいは工場の外部などから清浄な大気を吸引したりするための領域であり、各工程室２１から例えば工場の外部に伸びる図示しない給気路や排気路が引き回されている。

この工場は、図５に示すように、スタッカークレーン１２及び搬送車５の搬送動作や開閉扉２２ｂの開閉動作を制御する制御部１０を備えている。この制御部１０は、ＣＰＵ、メモリ及びプログラム格納部を備えており、被処理物に対して処理を行って処理物が得られるように、工場の各部（搬送車５やスタッカークレーン１２）に対して制御信号を出力するように構成されている。このプログラム格納部内に格納されるプログラムは、例えばハードディスク、コンパクトディスク、マグネットオプティカルディスクあるいはメモリーカードなどの図示しない記憶媒体から制御部１０にインストールされる。

次に、この工場の作用について図１２〜図２４を参照して説明する。先ず、例えば物流フロア２と同じ階層に設けられた図示しない倉庫から、搬送車５により原料粉末が収納された図示しない梱包容器である被搬送物を受け取る。この梱包容器は、搬送車５によって工程室２１の一つに搬入され、開梱されて内部の原料粉末が搬送容器Ｃに移される。続いて、例えば５００ｋｇ程度の重量となるように原料粉末が収納された搬送容器Ｃは、図１２（ａ）に示すように、搬送車５によってこの搬送容器Ｃ内の被処理物に対して処理が行われる工程室２１に向かって搬送される。即ち、図１３に示すように、搬送車５が既述の搬送路６における軌道を検出しながら搬送路６（本線６ａ）に沿って例えば時計回りに移動する。次いで、搬送車５は工程室２１の受け渡し口２２の下方位置に設けられたマーカー９を検知すると停止して、所定の受け渡し動作を行う。具体的には、搬送車５が図１２（ｂ）に示すように受け渡し口２２を介してフォーク５ｂを上昇させると、受け渡し口２２の側方側の搬送口２２ｃが開放される。

次いで、搬送車５は、スライド機構５５に搬送容器Ｃが設置される高さ位置よりも僅かに高い高さ位置（搬送容器Ｃの下面が起立面部５５ｃの上面よりも高くなる位置）において、搬送口２２ｃを介して工程室２１内に向かって搬送容器Ｃが進入するように例えば後退する。また、図１２（ｃ）に示すように、スライド機構５５において保持部５５ａが搬送口２２ｃ及び開閉扉２２ｂの閉鎖時における占有領域を介して搬送車５に向かって伸び出し、搬送容器Ｃの下方位置に当該保持部５５ａが位置する。そして、図１４（ａ）に示すように、搬送車５のフォーク５ｂを下降させて、スライド機構５５の保持部５５ａ上に搬送容器Ｃを載置する。

しかる後、搬送車５は図１４（ｂ）に示すように、例えばフォーク５ｂを僅かに下降させると共に受け渡し口２２の下方位置まで前進し、同図（ｃ）に示すようにフォーク５ｂを物流フロア２内に縮退させる。また、搬送容器Ｃを保持した保持部５５ａを工程室２１の内部領域に縮退させると共に、開閉扉２２ｂにより搬送口２２ｃを閉じる。この時、保持部５５ａ上の搬送容器Ｃは、当該保持部５５ａの縮退動作により受け渡し口２２側に落下あるいは横滑りしようとするが、保持部５５ａにおける搬送車５側の先端部には起立面部５５ｃが設けられているので、受け渡し口２２側に落下しない。工程室２１への搬送容器Ｃの搬入を終えた搬送車５は、次の搬送を行うために搬送路６に沿って例えば時計回りに移動していく。

そして、作業者は作業者用通路６２からこの工程室２１内に入室すると共に、通気路３５を介して当該工程室２１内あるいは処理装置２７の内部の雰囲気を調整して、この処理装置２７を用いて搬送容器Ｃ内の被処理物に対して処理を行う。その後、この工程室２１内において処理が行われた処理物は、例えば搬送容器Ｃ内に収納されて、搬入された順番と逆の順序で搬送車５により物流フロア２へと搬出される。この時、スライド機構５５により搬送容器Ｃを受け渡し口２２側に向けて搬送すると、搬送容器Ｃは例えば停止した時に受け渡し口２２側に向かって横滑したり倒れたりしそうになるが、起立面部５５ｃにより落下が防止される。この搬送容器Ｃは、図示しない倉庫あるいは次の処理を行うための工程室２１に、搬送路６に沿って搬送車５により例えば時計回りに搬送される。この搬送容器Ｃ内の処理物は、続く工程室２１においては被処理物として処理が行われる。尚、図１２及び図１４においては、処理装置２７を省略しており、またスライド機構５５については模式的に示している。後述の図１５及び図１６も同様である。

この時、次の処理を行う工程室２１において先の処理が終わっていない場合には、例えば図１５に示すように、例えば受け渡し口２２の下方位置において既述の図示しない反転用搬送路に沿って搬送車５が移動して例えば１８０°反転する。そして、搬送車５は、工程室２１内における処理装置２７や作業者に干渉しない位置（保管領域４８）に搬送口２２ｃを介して搬送容器Ｃを進入させ、既述のようにスライド機構５５との協働作用により工程室２１内に搬送容器Ｃを搬入する。この搬送車５は、別の搬送を行うために移動していき、その後当該工程室２１において先の処理が終わると、例えば作業者により、あるいは搬送車５により、この干渉しない位置に載置された搬送容器Ｃが処理装置２７に近接する位置（例えばスライド機構５５）に設置されることになる。

また、例えば受け渡し口２２を共有している工程室２１ｂでは、図１６（ａ）に示すように、この工程室２１ｂに隣接する工程室２１ａの受け渡し口２２から搬送車５のフォーク５ｂが上方に向かって伸び出し、次いで同図（ｂ）に示すように、搬入出口２４を介してこの搬送車５とスライド機構５５との間において搬送容器Ｃの受け渡しが行われる。その後、既述のようにスライド機構５５が工程室２１ｂ内に縮退し、搬送容器Ｃが当該工程室２１ｂに搬入される。

そして、次の処理を行う工程室２１が例えばこの物流フロア２の上層側の階層構造体３に配置されている場合には、図１７（ａ）及び図１８に示すように、搬送車５が受け渡し用分岐路８ｃに沿って受け渡し部材１５に向かって移動して、この受け渡し部材１５に搬送容器Ｃを載置する。スタッカークレーン１２は、この受け渡し部材１５に臨む位置に搬送台４５を移動させて搬送容器Ｃを受け取る。そして、スタッカークレーン１２は、上層側の階層構造体３における物流フロア２の受け渡し部材１５に臨む位置に搬送容器Ｃを上昇させる。次いで、図１７（ｂ）に示すように、スタッカークレーン１２は、この受け渡し部材１５を介して搬送車５に搬送容器Ｃを受け渡す。こうして下層側の物流フロア２（搬送車５）から上層側の物流フロア２に対して搬送容器Ｃが搬送され、続く処理が順次行われていくことになる。また、上層側の物流フロア２から下層側の物流フロア２に搬送容器Ｃが搬送される場合も、同様に搬送車５及びスタッカークレーン１２により搬送容器Ｃが受け渡されることになる。尚、スタッカークレーン１２は、荷物用エレベーター、バーチカルリフター、またはバーチカルコンベア等の昇降装置であってもよい。

また、既述の打錠処理を行う工程室２１（打錠室２５）の投入区域２５ａに搬送容器Ｃを搬送する場合には、図１９（ａ）に示すように、処理区域２５ｂの受け渡し口２２及び投入区域２５ａの受け渡し口２２を介して、搬送車５が搬送容器Ｃを投入区域２５ａと同じ高さ位置まで上昇させて、スライド機構５５との協働作用により投入区域２５ａ内に搬入する。また、同図（ｂ）に示すように、例えば別の搬送車５は、受け渡し口２２から処理物を収納する空の搬送容器Ｃを打錠室２５側に上昇させる。この搬送容器Ｃは、搬送口２２ｃを介してスライド機構５５に受け渡され、次いで当該スライド機構５５によって処理区域２５ｂ内に搬入される。そして、作業者がこの打錠室２５内に設けられた図示しない階段を上って、投入区域２５ａの搬送容器Ｃの下面に設けられた図示しない投入口に投入路２７ａの開口端を接続し、この搬送容器Ｃから被処理物を処理装置２７に投入する。この被処理物は、処理装置２７において打錠処理が行われて、搬送部材２７ｂにより処理区域２５ｂの搬送容器Ｃ内に処理物として収納される。

打錠処理を所定の時間行うと、搬送車５及びスライド機構５５により、処理物が収納された搬送容器Ｃが打錠室２５（処理区域２５ｂ）から搬出される。そして、例えば別の搬送車５により再度空の搬送容器Ｃが処理区域２５ｂに搬入されて、打錠処理が続けられる。そして、例えば投入区域２５ａの搬送容器Ｃ内の被処理物がなくなるか少なくなるまで、搬送車５による処理区域２５ｂへの搬送容器Ｃの搬入出が行われる。その後、投入区域２５ａの搬送容器Ｃが空になったり被処理物が少なくなったりした場合には、搬送車５により当該搬送容器Ｃが搬出されることになる。
以上の工程室２１における例えば処理装置２７や作業者の動作は、例えば見学者用通路６３を通行する見学者により見学（点検）される。そして、例えば複数の階層の工程室２１において被処理物に対して複数の処理を順次行うことにより、最終製品である医薬品が製造される。

次に、工程室２１内の処理装置２７を取り替える（入れ替える）場合について説明する。先ず、図２０（ａ）及び図２１（ａ）に示すように、工事により工程室２１内に発生する粉塵などが当該工程室２１から物流フロア２や作業者用通路６２あるいは他の工程室２１に出て行かないように、受け渡し口２２あるいは搬入出口２４を例えば板状の覆い部材６５により密閉すると共に、ドア２９を閉じる。次いで、図２０（ｂ）に示すように、工事を行って機械室６１と工程室２１との間の壁面を取り壊す。また、受け渡し口２２の周囲の区画壁２２ａについても、処理装置２７の搬送に干渉する場合には取り壊す。この工事により粉塵などが発生するが、工程室２１を閉じているので、粉塵はこの工程室２１から物流フロア２や作業者用通路６２あるいは当該工程室２１に隣接する工程室２１には出て行かない。

そして、図２０（ｃ）及び図２１（ｂ）に示すように、工程室２１から処理装置２７を機械室６１を介して工場の外部に搬出し、例えば新しい処理装置２７を当該工程室２１内に搬入する。この時、機械室６１が２階以上の高さの階層に配置されている場合には、処理装置２７は例えば工場の外部からクレーンなどを用いて搬送される。その後、この工程室２１内の清掃及び工程室２１と機械室６１との間の壁面が形成されて（修復されて）、区画壁２２ａを再度形成すると共に覆い部材６５を取り外して既述のように処理が再開される。尚、これらの図２０及び図２１においては、１つの工程室２１のみを描画している。

また、既述の未使用エリア３１に対して新たに工程室２１を設置する場合には、図２２（ａ）及び図２３（ａ）に示すように、この未使用エリア３１と受け渡し口２２を共用する（隣接する）工程室２１において、同様に受け渡し口２２を覆い部材６５により塞ぎ、また必要に応じて区画壁２２ａを取り壊し、図２２（ｂ）及び図２３（ｂ）に示すように、未使用エリア３１とこの工程室２１との間の壁面を工事により取り壊して搬入出口２４を形成する。この搬入出口２４の位置は、例えば当該未使用エリア３１に設置される処理装置２７の種類やスライド機構５５の位置に応じて設定される。そして、例えばこの未使用エリア３１に対して、内装工事及び機械室６１との間の壁面を取り壊して新たに処理装置２７及びスライド機構５５を搬入する工事を行うことにより、この未使用エリア３１に対して新たな工程室２１が設けられることになる。

この場合においても、工事を行っている時には、粉塵などは未使用エリア３１及びこの未使用エリア３１と受け渡し口２２を共用する工程室２１から、物流フロア２や作業者用通路６２あるいは他の工程室２１には出て行かない。そして、同様に清掃や機械室６１との間の壁面の修復を行い、次いで区画壁２２ａを形成した後、この未使用エリア３１は工程室２１として使用されることになる。

そして、例えば搬送車５が故障した場合やメンテナンスを受ける場合には、図２４に示すように、例えば作業者により当該搬送車５を退避分岐路８ａに退避させ、予備分岐路８ｂにて待機する搬送車５を本線６ａに移動させて、退避分岐路８ａに退避した搬送車５に代えて搬送を受け持たせることになる。

上述の実施の形態によれば、複数の工程室２１が平面的に配置された処理フロア１の階下に、搬送容器Ｃの搬送を行う搬送領域が形成された物流フロア２を設けると共に、処理フロア１と物流フロア２との間の床面１１に受け渡し口２２を形成し、物流フロア２を走行する搬送車５により受け渡し口２２を介して工程室２１と物流フロア２との間において搬送容器Ｃの受け渡しを行っている。そして、受け渡し口２２及び開閉扉２２ｂを介して搬送容器Ｃの受け渡しを行うにあたり、当該開閉扉２２ｂに近接するようにスライド機構５５を工程室２１内に配置して、搬送車５との間において、スライド機構５５を用いて搬送容器Ｃの受け渡しを行っている。そのため、搬送車５から側方側に向かって伸び出すフォーク５ｂの長さ寸法を抑えることができる。従って、例えば搬送容器Ｃが重量物の場合でも、スライド機構５５に対して当該搬送容器Ｃの受け渡しを行う時に、搬送車５が転倒する程度まで当該搬送車５のバランスが崩れない。このように、本発明では、従来から用いられていた工程室２１への側方側からの搬送容器Ｃの搬送という考え方に対して、階下の物流フロア２と階上の処理フロア１とにおいて搬送容器Ｃを受け渡すといった新規な考え方を採っている。そのため、処理フロア１には搬送容器Ｃの搬送を行う搬送路を設けなくて済むので、いわば物の動線である物流フロア２と人の動線である作業者用通路６２とを上下に区画して別個に配置できるので、処理フロア１の各領域（工程室２１、機械室６１、作業者用通路６２及び見学者用通路６３）の配置レイアウトの自由度を大きく取ることができる。

また、処理フロア１のレイアウトの自由度が大きいことから、例えば工程室２１と機械室６１とを隣接させることができる。通常、機械室６１が工場の外壁に面していることから、工場を建設した後に工程室２１内の処理装置２７を入れ替える場合には、機械室６１を介して工場の外部と工程室２１との間で処理装置２７等の機器を運搬することになる。従って、工程室２１と機械室６１とが隣接していると、例えば作業者用通路６２を塞ぐ工事などを行うことなく、また他の工程室２１に影響を及ぼすことなく、工事を行う工程室２１における処理を停止するだけで処理装置２７を導入できる。この結果、処理装置２７を容易に且つ速やかに交換でき、従って新規設備の導入に柔軟に対応できる。また、例えば別途作業者用通路６２を引き回すなど、工事を想定したレイアウトを採る必要がないので、工場の設計を行いやすい利点もあるし、また工場の設置面積を抑えることができる。

更に、未使用エリア３１に対して工程室２１を増設する場合においても、この未使用エリア３１と受け渡し口２２を共用する工程室２１の処理を停止するだけで工事を行うことができるので、例えば医薬品の増産などにも容易に対応することができる。また、未使用エリア３１に対して工程室２１を増設する場合には、当該未使用エリア３１（工程室２１）に設置される処理装置２７の種類やスライド機構５５の位置に合わせて搬入出口２４の形成場所を設定できるので、未使用エリア３１を様々な工程室２１に対応させることができる。
従って、工場を建設した後に例えば医薬品の新しい製造方法や処理装置２７などの新技術が開発された場合でも、容易にこれらの新技術を工場に導入できるので、また増産などにも容易に対応できるので、自由度の高い工場を得ることができる。

また、搬送車５に水平移動と搬送容器Ｃの昇降動作とを行わせていることから、各々の工程室２１毎に受け渡し口２２の位置や搬送容器Ｃを載置する高さ位置（スライド機構５５の高さ位置）がまちまちであっても、各々の工程室２１には昇降装置が不要になり、そのため工場を安価に建設できる。即ち、例えばコーティングを行う工程室２１では、処理装置２７が大型のため、搬送容器Ｃの載置される高さ位置が処理フロア１の床面１１から例えば２．５ｍ程度高い位置となったりする場合もある。しかし、その場合であっても当該工程室２１には昇降装置を設けることなく、例えば図２５に示すように、この工程室２１に搬送容器Ｃが載置される高さ位置に応じてスライド機構５５を設けることによって、即ち例えば処理装置２７にスライド機構５５を組み合わせて設けることによって、当該高さ位置に対してスライド機構５５及び搬送車５により搬送容器Ｃを直接受け渡しできる。

更に、搬送車５により階下から階上へ搬送容器Ｃを受け渡していることから、隣接する工程室２１、２１間において受け渡し口２２を共用できるので、受け渡し口２２の設置数を抑えることができる。更にまた、物流フロア２と作業者用通路６２とを別個に設けていることから、搬送車５と作業者との衝突を防ぐことができるし、作業者による搬送容器Ｃや被処理物あるいは処理物への干渉を防止できる。また、見学者用通路６３を工程室２１の側方位置に設けることができるので、例えば工程室２１の上方に設ける場合よりも例えば処理装置２７の動作などを確実に見学（点検）することができる。

更に、水平な物流フロア２において搬送車５により搬送容器Ｃを搬送していることから、例えば複数階層の工程室２１に沿って高さ方向にスタッカークレーンの搬送室を設ける場合に比べて、当該物流フロア２内を例えば作業者が容易に清掃することができる。また、物流フロア２には複数の搬送車５を設けているので、例えば１台が故障した場合やメンテナンスを行う場合でも、当該搬送車５の受け持つ搬送を他の搬送車５が肩代わりすることができる。

また、上下の階層の物流フロア２、２間に亘って搬送容器Ｃを搬送する必要がある場合、スタッカークレーン１２により搬送容器Ｃを昇降させることができるので、階層構造体３を積層でき、工場の設置面積を抑えることができる。この時、スタッカークレーン１２の昇降室１３は複数階層の物流フロア２に面するように、つまり工場の外壁などに面するように自由に設置できるので、工場内のレイアウトに干渉しない。

また、受け渡し口２２の周囲において、物流フロア２の雰囲気と処理フロア１の雰囲気とを区画する区画壁２２ａを設けることによって、例えば各工程室２１と物流フロア２との間におけるコンタミの流入出を抑えることができるので、複数の工程室２１間における物流フロア２を介したクロスコンタミを抑えることができる。この時、例えば工程室２１から物流フロア２へのコンタミの流出のおそれがない場合あるいは少ない場合には、例えば図２６に示すように、区画壁２２ａを設けなくても良い。

また、スライド機構５５における駆動機構５６としては、図２７に示すように、ラックピニオン式の機構であっても良い。即ち、この場合において駆動機構５６は、保持部５５ａと共に進退自在に構成され、下面に多数の溝が形成されると共に当該保持部５５ａの進退方向に沿って水平に伸びるラック部５６ｃと、このラック部５６ｃの溝に歯合するギア状の凹凸が外周面に多数形成されると共に、ラック部５６ｃに外周面が歯合しながら軸周りに回転自在に進退支持部５５ｂに固定されたピニオン部５６ｄと、を備えている。そして、図示しないモータなどによりピニオン部５６ｄを回転させると、このピニオン部５６ｄの外周面に歯合してラック部５６ｃが進退し、ガイド機構５７によってガイドされながら保持部５５ａが前後に移動する。

更に、この駆動機構５６は、図２８に示すように、チェーン方式で駆動する機構であっても良い。この場合には、進退支持部５５ｂは、保持部５５ａを下方側から進退自在に支持するガイド部材５８ａと、このガイド部材５８ａに沿って保持部５５ａを進退させるためのチェーン駆動部５８ｂとにより構成される。ガイド部材５８ａの上面及び保持部５５ａの裏面には、保持部５５ａの進退方向に沿うように、互いに嵌合する凹部及び凸部（いずれも図示せず）が夫々形成されている。

チェーン駆動部５８ｂは、駆動チェーン５９ａと、この駆動チェーン５９ａの一端側を保持部５５ａに固定するために当該保持部５５ａの裏面に設けられた固定部５９ｂと、駆動チェーン５９ａの他端側に接続されると共に外周面において当該駆動チェーン５９ａを巻き取り及び払い出しできるように軸周りに回転自在に構成された回転部５９ｃと、この回転部５９ｃを軸周りに回転自在に支持するモータＭと、により構成されている。ガイド部材５８ａの側面には、駆動チェーン５９ａを走行自在に保持すると共に、回転部５９ｃと固定部５９ｂとの間において蛇腹状に引き回すために、軸受け部５９ｄが前記進退方向に互いに離間して２箇所に設けられている。

また、駆動チェーン５９ａ、固定部５９ｂ及び回転部５９ｃは、この例では２組設けられており、モータＭによるチェーン５９ａの巻き取り方向及び払い出し方向が互いに逆向きとなるように配置されている。また、これらチェーン５９ａ、５９ａの一方は、回転部５９ｃから固定部５９ｂに向かって、前記軸受け部５９ｄ、５９ｄのうち一方側及び他方側を介して引き回され、チェーン５９ａ、５９ａの他方は、回転部５９ｃから固定部５９ｂに向かって、前記軸受け部５９ｄ、５９ｄのうち他方側及び一方側を介して引き回されている。尚、図２８では、これらチェーン５９ａ、５９ａの引き回し方法を説明するため、これらチェーン５９ａ、５９ａの一方及び他方を夫々太線及び破線で描画している。

そして、これらチェーン５９ａ、５９ｂのうち一方を回転部５９ｃを介してモータＭにより巻き取ると、保持部５５ａが例えば受け渡し口２２に向かってガイド部材５８ａに沿って水平に前進すると共に、他方のチェーン５９ａが回転部５９ｃから払い出され（伸び出し）、チェーン５９ａ、５９ａのうち他方を巻き取ると、保持部５５ａが工程室２１側に後退すると共に一方のチェーン５９ａが回転部５９ｃから払い出される。こうしてチェーン駆動部５８ｂは、モータＭの回転方向に応じて、保持部５５ａが前進または後退するように構成されている。

尚、既述のように、搬送車５は搬送容器Ｃを高さ方向における概略中央位置において側方側から保持し、一方スタッカークレーン１２は下方側から搬送容器Ｃを保持するように構成されているので、既述の受け渡し部材１５を設けずに、これらの搬送車５とスタッカークレーン１２との間において搬送容器Ｃを直接受け渡すようにしても良い。また、搬送車５については、当該搬送車５上においてフォーク５ｂを進退させる機構や搬送車５の進退方向に対して左右方向にフォーク５ｂを移動させる機構を持たせても良いし、あるいは搬送車５上においてフォーク５ｂ（搬送容器Ｃ）の向きを調整できるようにしても良い。

また、既述のように、搬送車５は搬送容器Ｃを中央部において両側から保持しているので、物流フロア２の床面１１に対して搬送容器Ｃを直接受け渡しできる。従って、図２９（ａ）に示すように、例えば処理が終了した搬送容器Ｃや、処理の途中で一時的に保管する搬送容器Ｃあるいは空になった搬送容器Ｃを物流フロア２における搬送車５の動作に干渉しない位置に載置しても良い。このように物流フロア２をいわば倉庫（載置領域）として用いることで、倉庫用のスペースを別途設けることなく搬送容器Ｃを安価に保管できる。更に、図２９（ｂ）に示すように、物流フロア２に棚７１を設けて、この棚７１を倉庫として用いても良い。

また、以上の例においては、２つの隣接する工程室２１ａ、２１ｂ間で受け渡し口２２を共有する例について説明したが、図３０に示すように、隣接する３つの工程室２１の中央の工程室２１ａに受け渡し口２２を形成し、この受け渡し口２２を当該工程室２１ａに隣接する工程室２１ｂ、２１ｃで共有しても良い。この時、例えば受け渡し口２２と工程室２１ｃ（２１ｂ）の搬入出口２４とが離れている場合には、受け渡し口２２と当該搬入出口２４との間にコンベア９１またはスライド機構５５を設けても良い。尚、この図３０では、区画壁２２ａや処理装置２７については省略している。以下の図３１でも同様である。

更に、図３１（ａ）に示すように、コンベア９１を設けずに、工程室２１ｂ、２１ｃの搬入出口２４、２４に各々近接するように、工程室２１ａに２つの受け渡し口２２、２２を形成しても良いし、あるいは同図（ｂ）に示すように、工程室２１ｂ、２１ｃの各々の搬入出口２４、２４に近接するように大きく受け渡し口２２を形成しても良い。この場合には、例えば受け渡し口２２の上方領域を介して工程室２１ａと機械室６１との間において処理装置２７を搬送する時には、例えば受け渡し口２２を塞ぐように例えば金属製の図示しない運搬路が設けられ、処理装置２７はこの運搬路上を搬送されることになる。

既述の例では、スライド機構５５によって搬送車５との間において搬送容器Ｃの受け渡しを行ったが、図３２に示すように、このスライド機構５５に代えて、搬送容器Ｃを下方側から支持するコンベアなどの水平搬送機構１１１を設けても良い。この水平搬送機構１１１は、例えば同図（ｂ）に示すように、上面の高さ位置が搬送口２２ｃの下端位置よりも高くなるように構成された支持台１２０と、この支持台１２０上において工程室２１への搬送容器Ｃの搬入出方向に対して直交方向且つ水平に伸びるように円筒形状に形成された回動体１２１と、を備えている。回動体１２１は、例えば図示しないモータなどの駆動部により、支持台１２０において水平軸周りに回転自在に軸受けされており、この例では前記搬入出方向に沿って複数並べられている。この水平搬送機構１１１は、工程室２１内の処理雰囲気側において区画壁２２ａに近接配置されている。そして、この区画壁２２ａと受け渡し口２２との間には、水平搬送機構１１１と搬送車５との間における搬送容器Ｃの受け渡しを補助するために、搬送容器Ｃを下方側から支持する補助搬送部１１２が設けられている。

この補助搬送部１１２は、上面の高さ位置が既述の水平搬送機構１１１上における搬送容器Ｃの載置面の高さレベルと揃うように設けられた支持部１１４と、工程室２１に対する搬送容器Ｃの搬入出方向に対して直交方向且つ水平に伸びるように円筒形状に形成されると共に、水平方向軸周りに回転できるように、長さ方向における両端部が支持部１１４の上面において軸受けされた回動体１１３と、を備えている。従って、この補助搬送部１１２は、受け渡し口２２と水平搬送機構１１１との間において、搬送容器Ｃを下方側から前記搬入出方向に沿って進退自在に支持できるように構成されている。これらの補助搬送部１１２と水平搬送機構１１１との間の離間距離は、例えば前記搬入出方向における搬送容器Ｃの底面の長さ寸法の１／２以下好ましくは１／３以下に設定されている。これらの水平搬送機構１１１及び補助搬送部１１２により搬送部が構成される。

この水平搬送機構１１１及び補助搬送部１１２を設けた場合には、例えば受け渡し口２２を介して処理フロア１内に持ち上げられた搬送容器Ｃは、搬送口２２ｃと開閉扉２２ｂの開閉領域とを介して、補助搬送部１１２及び水平搬送機構１１１に跨がって載置される。そして、制御部１０によって水平搬送機構１１１が駆動すると、搬送容器Ｃの下面における受け渡し口２２側の領域が補助搬送部１１２により補助（支持）されながら、搬送容器Ｃの下面における工程室２１側の領域が当該水平搬送機構１１１によって工程室２１側に引き寄せられて、当該工程室２１内に搬送容器Ｃが搬入される。この時、これらの水平搬送機構１１１と補助搬送部１１２との間の離間距離を、既述のように搬送容器Ｃの搬入出方向における当該搬送容器Ｃの底面の長さ寸法の１／２以下好ましくは１／３以下に設定しているので、搬送容器Ｃが工程室２１内に向かって搬入される時に搬送容器Ｃの下端が補助搬送部１１２から離れても、搬送容器Ｃは受け渡し口２２に向かって転倒しない。工程室２１から搬送容器Ｃを搬出する時は、搬入時と逆の順序でこれら水平搬送機構１１１、補助搬送部１１２及び搬送車５が駆動する。この場合において、補助搬送部１１２としては、水平搬送機構１１１と同様のコンベアなどを配置しても良い。尚、図３２（ｂ）は区画壁２２ａ及び開閉扉２２ｂの一部を切り欠いて示している。

また、これら水平搬送機構１１１と補助搬送部１１２とを設ける場合には、スライド機構５５における起立面部５５ｃと同様に、受け渡し口２２側への搬送容器Ｃの横滑りや落下を防止する機構を設けても良い。具体的には、図３３に示すように、搬送容器Ｃの下端面は周縁部側において当該搬送容器Ｃを支持する枠状体２０１をなしており、いわば当該枠状体２０１により囲まれる内部領域が矩形に開口した状態になっている。そのため、水平搬送機構１１１により搬送される搬送容器Ｃの移動（受け渡し口２２側への落下）を防止する機構として、複数本平行に並べられた回動体１２１同士の間の隙間領域に、当該隙間領域を介して前記枠状体２０１の内部領域に対して概略板状の先端部が突没するように、例えば図示しないエアシリンダなどの昇降機構を備えたストッパー機構２００を設けても良い。このストッパー機構２００は、水平搬送機構１１１と搬送車５との間において搬送容器Ｃの受け渡しが行われる時の当該搬送容器Ｃに対して、枠状体２０１の工程室２１側における端部よりも僅かに受け渡し口２２側に配置される。

そして、水平搬送機構１１１によって搬送容器Ｃを例えば受け渡し口２２側から工程室２１内に向かって搬送している時には、ストッパー機構２００は搬送容器Ｃの移動に干渉しないように当該搬送容器Ｃの下面よりも下方側に位置し、一方搬送容器Ｃが工程室２１内から受け渡し口２２に向かって移動して搬送車５との間で受け渡しを行う位置に到達した時には、水平搬送機構１１１の駆動を停止させると共に、前記枠状体２０１の内部領域に対してストッパー機構２００がせり上がり、搬送容器Ｃの移動を停止させる。そのため、搬送容器Ｃは受け渡し口２２側に落下しない。その後、搬送車５により搬送容器Ｃが支持されて持ち上げられると、ストッパー機構２００は再び下方側へと縮退する。このように電気的な駆動ではなくハード的に駆動するストッパー機構２００を設けることにより、例えば水平搬送機構１１１上において搬送容器Ｃが横滑りしようとした場合であっても、あるいは電気的なトラブルにより水平搬送機構１１１の搬送動作が停止しなかった場合であっても、受け渡し口２２側への搬送容器Ｃの落下が防止される。

また、既述の例では、スライド機構５５や水平搬送機構１１１及び補助搬送部１１２を配置して、搬送車５との間において搬送容器Ｃの受け渡しを行ったが、例えばフォーク５ｂの長さ寸法が十分に長い場合や搬送容器Ｃが例えばフォークリフト積載重量に対して十分軽い場合には、図３４に示すように、スライド機構５５を設けずに、搬送車５により搬送口２２ｃを介して工程室２１内に搬送容器Ｃを直接受け渡しても良い。
また、未使用エリア３１を工程室２１に改造する場合について説明したが、この工場において例えば工程室２１に代えて配置されている図示しない倉庫を工程室２１に改造する場合にも同様に工事が行われることになる。

更に、既述の例では、打錠室２５に対して搬送容器Ｃの受け渡しを行うにあたって、投入区域２５ａに対して搬送容器Ｃの受け渡しを行う受け渡し口２２と、処理区域２５ｂに対して搬送容器Ｃの受け渡しを行う受け渡し口２２とを平面的に同じ位置に設けたが、図３５に示すように、これらの受け渡し口２２、２２を夫々別の位置に設けても良い。即ち、打錠室２５に平面的に２つの受け渡し口２２、２２を形成して、投入区域２５ａ及び処理区域２５ｂに対して搬送容器Ｃの受け渡しを行う経路を独立して夫々専用に設けても良い。従って、処理区域２５ｂに対して搬送容器Ｃの受け渡しを行う受け渡し口２２の上方位置は、間仕切り２６が配置されている。この場合には、夫々の投入区域２５ａ及び処理区域２５ｂに対してアクセスする搬送車５を共通化しても良いし、個別に設けても良く、個別に設ける場合にはこれら搬送車５、５の走行する物流フロア２内を区画しても良い。また、この例においても棚７１を設けても良い。尚、図３５においては、２つの受け渡し口２２、２２を左右に離間して配置しているが、受け渡し口２２、２２の形成位置としては、これら受け渡し口２２、２２に対してアクセスする搬送車５、５同士が干渉しないように、例えば横並びに近接して設けても良い。

更にまた、上下の物流フロア２、２間において搬送容器Ｃを搬送するためにスタッカークレーン１２を設けたが、物流フロア２、２間にて搬送容器Ｃを搬送しない場合には、このスタッカークレーン１２を設けなくても良い。また、階層構造体３を複数階層例えば２層に亘って積層したが、図３６に示すように１層であっても良い。尚、図３６においてもスライド機構５５を省略している。

また、処理フロア１と物流フロア２とを設けることによって工場の各領域の配置レイアウトの自由度が大きいことは既に述べたが、既述の例とは異なるレイアウトの工場について、図３７及び図３８を参照して説明する。この工場には、既述の機械室６１に代えて、工程室２１の並びに沿うように作業者用通路９５が設けられており、この作業者用通路９５と各工程室２１との間の側面には、作業者のためのドア２９が各々設けられている。この作業者用通路９５は、工程室２１に出入りする作業者の例えば衣服を介したコンタミを防止するために、各々の工程室２１に入室する作業者の通路と退室する作業者の通路とを別々にするために設けたものである。従って、作業者用通路６２、９５のうち一方は各々の工程室２１に入室する作業者のための通路であり、作業者用通路６２、９５のうち他方はこれら工程室２１から退室する作業者のための通路である。

このように２つの作業者用通路６２、９５を工程室２１に各々隣接するように配置した場合であっても、工程室２１には物流フロア２から搬送容器Ｃを搬入できるので、各々の工程室２１には、搬送容器Ｃを昇降させるためのリフタなどの昇降装置が不要である。従って、処理フロア１と物流フロア２とを上下に区画しているので、建設費のコストアップを抑えながら処理フロア１のレイアウトを自由に設定できる。

また、既述の各例では、工程室２１を前後方向に一列に配置したが、搬送車５により下方側の物流フロア２から処理フロア１に対して搬送容器Ｃの受け渡しを行っていることから、ある一つの工程室２１から側方側を見た時に、周囲の全ての４つの面に別の工程室２１が配置されているレイアウトも採ることができる。具体的には、処理フロア１において工程室２１が配置される領域を縦横夫々３つの領域に壁面を用いて区画して、当該領域を夫々工程室２１として用いても良い。この場合には、例えば各々工程室２１には、床面１１に受け渡し口２２が各々形成され、作業者は９つの工程室２１のうち中央の工程室２１に対しては、当該工程室２１の周囲の工程室２１を介して出入りする。即ち、工程室２１が配置された処理フロア１の階下に物流フロア２を設けることによって、当該処理フロア１には搬送容器Ｃの搬送用の搬送軌道を設ける必要がないので、例えば既述のスタッカークレーン１００だけに頼って搬送容器Ｃの搬送を行う場合と比べて、処理フロア１のレイアウトの自由度を極めて高くすることができる。

ここで、受け渡し口２２を共有する工程室２１ａ、２１ｂをこの処理フロア１内に配置したが、いずれの工程室２１についても受け渡し口２２を形成しても良い。その場合には、未使用エリア３１については隣接する工程室２１と受け渡し口２２と共用しても良いし、あるいはこの未使用エリア３１に予め受け渡し口２２を形成しても良い。また、隣接する工程室２１ａ、２１ｂにおいて受け渡し口２２を共用する場合には、工程室２１ａにおける受け渡し口２２をこれらの工程室２１ａ、２１ｂの間の壁面に沿って長く形成しても良い。このように受け渡し口２２を形成することにより、搬入出口２４を形成する位置について、高さ位置だけでなく横方向についても自由度が高くなる。
また、区画壁２２ａについて、処理フロア１の床面１１から天井面までに亘って配置したが、図３９に示すように、工程室２１（処理フロア１）の天井面よりも受け渡し口２２の上方位置における天井面を低く設定しても良い。

更に、既述の工場に、搬送車５のフォーク５ｂの異常動作を防止するためのインターロック機構を設けても良い。即ち、受け渡し口２２を介してフォーク５ｂを上昇させる時に、搬送車５の例えば故障によってフォーク５ｂが処理フロア１の天井面に衝突しそうになった場合に、制御部１０を介さずに搬送車５の電源を直接遮断（オフに）する機構を設けても良い。このようなインターロック機構について一例を挙げて簡単に説明すると、インターロック機構は、受け渡し口２２の上方における処理フロア１の天井面に設けられ、発光部と受光部とからなる光センサと、この光センサから伝達される信号（受光信号が途切れたこと）に基づいて、当該受け渡し口２２の下方に位置する搬送車５の電源を遮断する電源遮断部（いずれも図示せず）とを備えている。そして、光センサにおいて受光信号が遮られると、即ち搬送車５のフォーク５ｂが処理フロア１の天井面に衝突しそうになると、受け渡し口２２の下方に位置する搬送車５に対して電源スイッチをオフにするように信号が送信されて、フォーク５ｂが処理フロア１の天井面に衝突する前に当該搬送車５の電源が遮断される。

この電源遮断部は、例えば物流フロア２の床面１１に埋設された光センサや電磁誘導式のスイッチなどであっても良いし、この場合には、例えば工場の外壁及び床面１１に引き回されたケーブルなどを介して、処理フロア１の天井面の光センサにおける信号が電源遮断部に伝達されて、搬送車５の下面に設けられた図示しないスイッチ部に対して電源の遮断信号が送信される。また、この電源遮断部としては、処理フロア１の天井面の光センサにおいて光が遮断されると、工場全体の電源をオフにする機構であっても良い。更に、電源遮断部としては、処理フロア１または物流フロア２が複数の領域に平面的に区画されていて、これら各領域毎に電力供給部が互いに独立して設けられている場合には、故障した搬送車５が置かれている領域（光センサにおいて光が遮断された領域）に対応する電力供給部の電力を遮断する機構であっても良い。

また、図４０に示すように、搬送容器Ｃの内部または外部を洗浄するための洗浄室１２１を物流フロア２に設けても良い。この図４０中１２２は、洗浄室１２１に対して搬送容器Ｃを搬入するための搬入口であり、１２３は、洗浄室１２１から搬送容器Ｃを搬出するための搬出口である。また、図４０中８ｄ、８ｅは、搬送車５によって洗浄室１２１に搬送容器Ｃを搬入出するために、本線６ａから搬入口１２２及び搬出口１２３に各々近接する位置に分岐する分岐路である。尚、洗浄室１２１内には、搬送車５との間において搬送容器Ｃの受け渡しを行うために、既述の受け渡し部材１５と同様に構成された受け渡し機構がこれら搬入口１２２及び搬出口１２３に近接する位置に各々設けられている。

この洗浄室１２１の内部には洗浄装置１２０が設けられており、この洗浄装置１２０は、図４１に示すように、搬送容器Ｃを下方側から支持して鉛直軸周りに回転させる回転ステージ１２４と、この回転ステージ１２４上の搬送容器Ｃに対して側方側及び上方側から例えば粉末状のドライアイスを各々吹き付けるためのノズル１２５、１２５とを備えている。図４１中１２６は、ノズル１２５、１２５を夫々水平方向や鉛直方向に移動させるための移動機構であり、Ｖはドライアイス供給路１２７に設けられたバルブである。ドライアイスは、供給源１２８からスクリューフィーダ１２９によってドライアイス供給路１２７に供給され、送気機構１３０から吐出されるガスによってノズル１２５から搬送容器Ｃに吹き付けられるように構成されている。

そして、被処理物や処理物が取り出されて例えば内部が空になった使用済みの搬送容器Ｃは、受け渡し口２２から搬送車５によって物流フロア２に取り出されて、洗浄室１２１に搬入される。この洗浄室１２１において、ドライアイスを搬送容器Ｃに吹き付けることによって、当該搬送容器Ｃの外側あるいは内側における表面の汚れが除去される。清浄になった搬送容器Ｃは、別の処理のために使用される。このようにドライアイスを用いて搬送容器Ｃを洗浄することによって、例えば搬送容器Ｃの内部に洗浄液が入ったり、図示しないパッキン部に残る水分によって続く工程で処理物に悪影響を及ぼしたりする不具合がない。尚、この洗浄装置１２０として、液体状の洗浄液（例えば蒸留水や純水など）を用いても良いし、この場合には洗浄装置１２０と共に、例えばドライエアを吹き付けて搬送容器Ｃを乾燥させる乾燥室を洗浄室１２１に設けても良い。このように液体状の洗浄液を用いる場合には、回転ステージ１２４に代えて、搬送容器Ｃを載置するための載置台が設けられ、搬送容器Ｃは静置された状態（回転していない状態）で洗浄液により洗浄される。

また、既述の例では固形製剤を製造する医薬品工場を例に本発明について説明したが、例えばこのような固形製剤以外にも、被処理物に対して処理を行う工程室２１が複数設けられた処理設備例えば食品、化学品を製造する工場などに本発明を適用しても良い。

Ｃ搬送容器
１処理フロア
２物流フロア
５搬送車
２１工程室
２２受け渡し口
２２ａ区画壁
２２ｂ開閉扉
２２ｃ搬送口
５５スライド機構
５５ａ保持部
５６駆動機構

Claims

被処理物に対して処理を行って処理物を得るための工程室が複数配置された第１の階と、
この第１の階の階下に設けられ、被処理物または処理物からなる被搬送物を搬送するための第２の階と、
複数の工程室のうち少なくとも一つの工程室の床面に形成され、当該工程室と前記第２の階との間において被搬送物の受け渡しを行うための受け渡し口と、
この受け渡し口を介して前記少なくとも一つの工程室と前記第２の階との間で被搬送物の受け渡しを行うために、前記第２の階において水平に移動自在に設けられ、被搬送物を昇降自在に保持する受け渡し機構を有する搬送車と、
前記受け渡し口の周囲において前記第１の階の床面から上方に向かって伸びるように設けられ、当該受け渡し口の上方領域と前記少なくとも一つの工程室の内部の処理雰囲気とを区画するための区画壁と、
被搬送物の受け渡しを行うために前記区画壁に形成された搬送口及びこの搬送口を開閉するための扉と、
この扉が開いている時に、被搬送物が前記扉の閉鎖時における占有領域に位置する状態で前記受け渡し機構との間で被搬送物の受け渡しを行い、前記受け渡し機構に対して受け渡しを行う位置と前記扉よりも処理雰囲気側の位置との間で被搬送物を搬送できるように構成された搬送部と、を備えたことを特徴とする処理設備。
前記搬送部は、前記扉よりも処理雰囲気側に設けられた支持部と、被搬送物を下方側から保持すると共に、前記受け渡しを行う位置と前記扉よりも処理雰囲気側の位置との間で当該支持部により水平方向に進退自在に支持された保持部と、を備えたスライド機構であることを特徴とする請求項１に記載の処理設備。
前記搬送部は、前記扉よりも処理雰囲気側に設けられ、被搬送物を下方側から支持すると共に、前記処理雰囲気側の位置と前記受け渡し機構に対して受け渡しを行う位置との間で被搬送物を水平方向に搬送する水平搬送機構と、
前記扉と前記受け渡し口との間に設けられ、前記受け渡し機構に対して受け渡しを行う位置における被搬送物を、下方側から前記水平搬送機構と前記受け渡し機構との間で進退自在に支持する補助搬送部と、を含み、
被搬送物は、前記受け渡し機構と前記水平搬送機構との間において、当該被搬送物における前記受け渡し口側の領域を前記補助搬送部により下方側から支持された状態で受け渡されると共に、この補助搬送部により下方側から支持されながら処理雰囲気側の位置に対して搬入出されることを特徴とする請求項１に記載の処理設備。