JP2012000921A5 - - Google Patents

Description

本発明の液体吐出ヘッド用基板は、液体を供給するため供給口が設けられた面を有する基体と、該基体の上に設けられたシリコン化合物からなる蓄熱層と、該蓄熱層の上に設けられ、電力を供給することで発熱する材料からなる発熱抵抗層と該発熱抵抗層に接続する一対の電極とからなる、液体を吐出口から吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子を被覆するように設けられたシリコン化合物からなる絶縁層と、前記蓄熱層と前記絶縁層との間であって、前記基体の前記面に垂直な方向から見て前記供給口と前記エネルギー発生素子の間に、金属材料からなり前記基体に設けられた一対の端子に電気的に接続された、前記蓄熱層及び前記絶縁層のうちの少なくとも一方の液体への溶出を検知するための配線と、を有することを特徴とする。

Claims (17)

1. 液体を供給するための供給口が設けられた面を有する基体と、
   該基体の上に設けられたシリコン化合物からなる蓄熱層と、
   該蓄熱層の上に設けられ、電力を供給することで発熱する材料からなる発熱抵抗層と該発熱抵抗層に接続する一対の電極とからなる、液体を吐出口から吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、
   前記エネルギー発生素子を被覆するように設けられたシリコン化合物からなる絶縁層と、
   前記蓄熱層と前記絶縁層との間であって、前記基体の前記面に垂直な方向から見て前記供給口と前記エネルギー発生素子の間に、金属材料からなり前記基体に設けられた一対の端子に電気的に接続された、前記蓄熱層及び前記絶縁層のうちの少なくとも一方の液体への溶出を検知するための配線と、
   を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板。
2. 前記配線の金属材料は、液体に接することで酸化還元反応を起こす材料であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用基板。
3. 前記配線の金属材料は、Ａｌ，Ｃｕ，Ａｕのいずれか、もしくはこれらの合金であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体吐出ヘッド用基板。
4. 前記一対の電極の材料と、前記配線の金属材料とは、同じであることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板。
5. 前記配線の上側に対応する前記絶縁層の上には、前記蓄熱層および前記絶縁層よりも液体に溶解されにくい材料からなる保護層が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板。
6. 前記保護層は、Ｔａ、Ｉｒ、Ｒｕ、炭素膜（ＤＬＣ）および炭化珪素膜（ＳｉＣ）のいずれかからなることを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド用基板。
7. 前記蓄熱層および前記絶縁層は、ＣＶＤ法を用いて形成されることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板。
8. 前記蓄熱層は、基体の上に設けられた第１の蓄熱層と第１の蓄熱層の上に設けられた第２の蓄熱層とからなり、
   前記第１の蓄熱層と前記第２の蓄熱層との間には、前記エネルギー発生素子を駆動するかを決定するための駆動素子と接続する他の電極が設けられており、
   前記第１の蓄熱層と前記第２の蓄熱層との間であって、前記垂直な方向から見て前記供給口と前記他の電極との間に、金属材料からなり前記基体の上に設けられた一対の端子に電気的に接続された、前記第１の蓄熱層及び前記第２の蓄熱層のうちの少なくとも一方の液体への溶出を検知するための他の配線が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板。
9. 前記配線と前記他の配線とは、前記第２の蓄熱層に設けられたスルーホールを介して接続されていることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッド用基板。
10. 前記他の配線の金属材料は、液体に接することで酸化還元反応を起こす材料であることを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の液体吐出ヘッド用基板。
11. 前記他の配線の金属材料は、Ａｌ，Ｃｕ，Ａｕのいずれか、もしくはこれらの合金であることを特徴とする請求項８乃至請求項１０のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板。
12. 前記他の電極の材料と、前記他の配線の前記金属材料とは、同じであることを特徴とする請求項８乃至請求項１１のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板。
13. 前記他の配線の上側に対応する前記絶縁層の上には、前記蓄熱層および前記絶縁層よりも液体に溶解されにくい材料からなる保護層が設けられていることを特徴とする請求項８乃至請求項１２のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板。
14. 前記基体は、複数の前記供給口を配列して設けられた供給口列を複数、有しており、
    前記供給口列の間には、複数の前記エネルギー発生素子を配置してなる素子列が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項１３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板。
15. 前記基体は、複数の前記供給口を有し、
    前記配線は、前記垂直な方向から見て前記複数の供給口を夫々取り囲むように設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項１４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板。
16. 液体を供給するための供給口が設けられた面を有する基体と、該基体の上に設けられたシリコン化合物からなる蓄熱層と、該蓄熱層の上に設けられ、電力を供給することで発熱する材料からなる発熱抵抗層と該発熱抵抗層に接続する一対の電極とからなる、液体を吐出口から吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子を被覆するように設けられたシリコン化合物からなる絶縁層と、を有する液体吐出ヘッド用基板と、
    前記吐出口と前記供給口とを連通する流路の壁を有し、前記液体吐出ヘッド用基板に接することで前記流路を構成する流路壁部材と、
    を備える液体吐出ヘッドにおいて、
    前記蓄熱層と前記絶縁層との間であって、前記基体の前記面に垂直な方向から見て前記供給口と前記エネルギー発生素子の間に、金属材料からなり前記基体に設けられた一対の端子に電気的に接続された、前記蓄熱層及び前記絶縁層のうちの少なくとも一方の液体への溶出を検知するための配線が設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
17. 前記蓄熱層および前記絶縁層の少なくとも一方が溶出し、前記配線が前記流路に露出したときに、前記一対の端子間に流れる電流値が変化することを特徴とする請求項１６に記載の液体吐出ヘッド。