JP2011530809A - 閉ループトルク監視によるパッド調節ディスクのインシトゥ性能予測 - Google Patents
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Abstract
Description
このPCT出願は、2009年8月7日出願の米国特許出願第12/187,637号、IN−SITU PERFORMANCE PREDICTION OF PAD CONDITIONING DISK BY CLOSED LOOP TORQUE MONITORINGに対する優先権を主張する。米国特許出願第12/187,637号を、参照として本明細書に組み込む。
材料除去率=X1TR+X2TS+X3C+X4R+X5S
とすることができる。上式で、
X1〜X5は、検出された動作条件に対する補正係数であり、
TRは、調節ディスクに印加される回転トルクであり、
TSは、調節ディスクアームに印加される掃引トルクであり、
Cは、調節ディスクに印加される圧縮力であり、
Rは、調節ディスクの回転率であり、
Sは、調節ディスクの掃引率である。
Claims (15)
- 化学的機械研磨のための装置であって、
ウェーハを処理する回転可能な研磨パッドと、
前記研磨パッドを調節する研削表面を有する回転可能な調節ディスクと、
前記調節ディスクに結合され、前記研磨パッド全体にわたって前記調節ディスクの研削表面を移動させるアームと、
前記調節ディスクに印加される回転トルクを検出するセンサと、
前記研磨パッドに対する前記調節ディスクの圧縮力を調整するアクチュエータと、
前記センサから回転トルクデータを受け取り、前記データを使用して、前記アクチュエータによって前記調節ディスクに印加される前記圧縮力を調整し、前記回転トルクの大きさを予め定義された範囲内で維持する制御装置と
を備える装置。 - 前記制御装置が、前記回転トルクの前記大きさが前記予め定義された範囲内の最小値を下回るとき、前記調節ディスクに対する前記アクチュエータの前記圧縮力を増大させ、前記回転トルクの前記大きさが前記予め定義された範囲内の最大値を超えたとき、前記調節ディスクに対する前記アクチュエータの前記圧縮力を低減させる、請求項1に記載の装置。
- 前記アームに結合され、前記研磨パッド全体にわたって前記調節ディスクを移動させるのに必要な掃引トルクの量を検出する掃引トルクセンサ
をさらに備え、前記制御装置が、前記掃引トルクセンサから掃引トルクデータを受け取って、前記掃引トルクの大きさを予め定義された範囲内で維持する、請求項1に記載の装置。 - 前記制御装置が、前記掃引トルクの前記大きさが前記予め定義された範囲内の最小値を下回るとき、前記調節ディスクに対する前記アクチュエータの前記圧縮力を増大させ、前記掃引トルクの前記大きさが前記予め定義された範囲内の大きさの値を超えたとき、前記調節ディスクに対する前記アクチュエータの前記圧縮力を低減させる、請求項3に記載の装置。
- 予期される回転トルク範囲を記憶するデータベース
をさらに備え、前記回転トルクの前記大きさと前記予期される回転トルク範囲とを比較して、前記回転トルクの前記大きさが前記予期される回転トルク範囲内であるかどうかを判断する、請求項1に記載の装置。 - 化学的機械研磨のための方法であって、
ウェーハを処理する回転可能な研磨パッド、研削表面を有する回転可能な調節ディスク、および前記調節ディスクに結合されて、前記研磨パッドの上で前記調節ディスクの研削表面を移動させるアームを提供することと、
前記研磨パッドに対して前記調節ディスクの研削表面を回転させることによって、前記研磨パッドを調節することと、
前記調節ディスクに印加される回転トルクを検出することと、
前記研磨パッドに対する前記調節ディスクの圧縮力を調整して、前記感知された回転トルクの大きさを、予め定義された範囲内で維持することと
を含む方法。 - 前記検出された回転トルクの前記大きさが前記予め定義された範囲内の最小値を下回るとき、前記研磨パッドに対する前記調節ディスクの前記圧縮力を増大させることと、
前記検出された回転トルクの前記大きさが前記予め定義された範囲内の最大値を超えたとき、前記研磨パッドに対する前記調節ディスクの前記圧縮力を低減させることと
をさらに含む、請求項6に記載の方法。 - 前記検出された回転トルクの前記大きさが前記予め定義された範囲内の最小値を下回るとき、前記調節ディスクの回転率を増大させることと、
前記検出された回転トルクの前記大きさが前記予め定義された範囲内の最大値を超える場合、前記調節ディスクの前記回転率を低減させることと
をさらに含む、請求項6に記載の方法。 - 前記検出されたトルクの前記大きさが前記予め定義された範囲内の最小値を下回る場合、前記アームの掃引率を増大させることと、
前記検出された回転トルクの前記大きさが前記予め定義された範囲内の最大値を超える場合、前記アームの掃引率を低減させることと
をさらに含む、請求項6に記載の方法。 - 予期される回転トルク範囲を記憶するデータベースを提供することと、
前記回転トルクの前記大きさと前記予期される回転トルク範囲とを比較して、前記回転トルクの前記大きさが前記予期される回転トルク範囲内であるかどうかを判断することと
をさらに含む、請求項11に記載の方法。 - 化学的機械研磨のための方法であって、
ウェーハを処理する回転可能な研磨パッド、研削表面を有する回転可能な調節ディスク、および前記調節ディスクに結合されて、前記研磨パッドの上で前記調節ディスクの研削表面を移動させるアームを提供することと、
前記研磨パッドに対して前記調節ディスクの研削表面を回転させることによって、前記研磨パッドを調節することと、
前記研磨パッド全体にわたって前記調節ディスクを移動させるように前記アームに印加される掃引トルクを検出することと、
前記研磨パッドに対する前記調節ディスクの圧縮力を調整して、前記検出された掃引トルクの大きさを、予め定義された範囲内で維持することと
を含む方法。 - 前記検出された掃引トルクの前記大きさが前記予め定義された範囲内の最小値を下回るとき、前記アームの掃引率を増大させることと、
前記検出された掃引トルクの前記大きさが前記予め定義された範囲内の最大値を超えるとき、前記アームの前記掃引率を低減させることと
をさらに含む、請求項11に記載の方法。 - 前記検出された回転トルクの前記大きさが前記予め定義された範囲内の最小値を下回るとき、前記調節ディスクの回転率を増大させることと、
前記検出された回転トルクの前記大きさが前記予め定義された範囲内の最大値を超える場合、前記調節ディスクの前記回転率を低減させることと
をさらに含む、請求項11に記載の方法。 - 予期される掃引トルク範囲を記憶するデータベースを提供することと、
前記回転トルクの前記大きさと前記予期される掃引トルク範囲とを比較して、前記掃引トルクの前記大きさが前記予期される掃引トルク範囲内であるかどうかを判断することと
をさらに含む、請求項11に記載の方法。 - 前記掃引トルクの前記大きさに基づいたアルゴリズムを使用して、前記研磨パッドからの材料除去率を予測すること
をさらに含む、請求項11に記載の方法。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012245589A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置の製造方法および化学機械研磨装置 |
JP2013526057A (ja) * | 2010-04-30 | 2013-06-20 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 一定除去速度を達成するためのパッド調整掃引トルクモデリング |
JP2014042968A (ja) * | 2012-08-28 | 2014-03-13 | Ebara Corp | ドレッシングプロセスの監視方法および研磨装置 |
JP2014161938A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Ebara Corp | ドレッサの研磨部材上の摺動距離分布の取得方法、ドレッサの研磨部材上の摺動ベクトル分布の取得方法、および研磨装置 |
KR20140118903A (ko) | 2013-03-29 | 2014-10-08 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 연마 장치 및 마모 검지 방법 |
KR20160079690A (ko) * | 2014-12-26 | 2016-07-06 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 연마 장치 및 그 제어 방법 |
JP2016175146A (ja) * | 2015-03-19 | 2016-10-06 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置およびその制御方法ならびにドレッシング条件出力方法 |
CN111291483A (zh) * | 2020-01-21 | 2020-06-16 | 中国科学院微电子研究所 | Cmp研磨率的优化方法和优化控制系统 |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7899571B2 (en) * | 2008-11-05 | 2011-03-01 | Texas Instruments Incorporated | Predictive method to improve within wafer CMP uniformity through optimized pad conditioning |
TWI381904B (zh) * | 2009-12-03 | 2013-01-11 | Nat Univ Chung Cheng | The method of detecting the grinding characteristics and service life of the polishing pad |
JP5511600B2 (ja) * | 2010-09-09 | 2014-06-04 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置 |
US8758085B2 (en) | 2010-10-21 | 2014-06-24 | Applied Materials, Inc. | Method for compensation of variability in chemical mechanical polishing consumables |
CN102554788B (zh) * | 2010-12-23 | 2015-01-07 | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 | 一种抛光垫修整方法 |
JP5898420B2 (ja) * | 2011-06-08 | 2016-04-06 | 株式会社荏原製作所 | 研磨パッドのコンディショニング方法及び装置 |
CN102962760A (zh) * | 2011-09-01 | 2013-03-13 | 上海华力微电子有限公司 | 一种保持研磨率稳定的装置及其方法 |
US20130217306A1 (en) * | 2012-02-16 | 2013-08-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | CMP Groove Depth and Conditioning Disk Monitoring |
JP5973883B2 (ja) * | 2012-11-15 | 2016-08-23 | 株式会社荏原製作所 | 基板保持装置および研磨装置 |
JP6121795B2 (ja) * | 2013-05-15 | 2017-04-26 | 株式会社荏原製作所 | ドレッシング装置、該ドレッシング装置を備えた研磨装置、および研磨方法 |
CN103331667B (zh) * | 2013-07-10 | 2015-12-02 | 张家港比迪凯磁技有限公司 | 一种磁芯表面毛刺擦拭装置 |
CN104128874A (zh) * | 2014-06-30 | 2014-11-05 | 上海华力微电子有限公司 | 化学机械研磨设备及其防止化学机械研磨残留的方法 |
JP6357260B2 (ja) | 2016-09-30 | 2018-07-11 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置、及び研磨方法 |
US11731232B2 (en) * | 2018-10-30 | 2023-08-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Irregular mechanical motion detection systems and method |
US11980995B2 (en) * | 2021-03-03 | 2024-05-14 | Applied Materials, Inc. | Motor torque endpoint during polishing with spatial resolution |
CN114986380A (zh) * | 2022-05-30 | 2022-09-02 | 上海华力微电子有限公司 | 一种提高研磨效率的方法以及研磨系统 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11138418A (ja) * | 1997-09-02 | 1999-05-25 | Matsushita Electron Corp | 化学的機械研磨装置及び化学的機械研磨方法 |
JP2001260001A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-09-25 | Hitachi Ltd | 半導体装置の平坦化方法及びその装置 |
JP2005022028A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-01-27 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 研磨パッドのドレッシング装置及び該装置を有する加工装置 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3466374B2 (ja) * | 1995-04-26 | 2003-11-10 | 富士通株式会社 | 研磨装置及び研磨方法 |
US6191038B1 (en) * | 1997-09-02 | 2001-02-20 | Matsushita Electronics Corporation | Apparatus and method for chemical/mechanical polishing |
US5993302A (en) * | 1997-12-31 | 1999-11-30 | Applied Materials, Inc. | Carrier head with a removable retaining ring for a chemical mechanical polishing apparatus |
US6623334B1 (en) * | 1999-05-05 | 2003-09-23 | Applied Materials, Inc. | Chemical mechanical polishing with friction-based control |
US6306008B1 (en) * | 1999-08-31 | 2001-10-23 | Micron Technology, Inc. | Apparatus and method for conditioning and monitoring media used for chemical-mechanical planarization |
JP4476398B2 (ja) * | 1999-11-02 | 2010-06-09 | 三菱マテリアル株式会社 | ウェーハ研磨装置及び研磨状態検出方法 |
US6517414B1 (en) * | 2000-03-10 | 2003-02-11 | Appied Materials, Inc. | Method and apparatus for controlling a pad conditioning process of a chemical-mechanical polishing apparatus |
US6796885B2 (en) * | 2000-06-02 | 2004-09-28 | Freescale Semiconductor, Inc. | Pad conditioner coupling and end effector for a chemical mechanical planarization system and method therfor |
US6343974B1 (en) * | 2000-06-26 | 2002-02-05 | International Business Machines Corporation | Real-time method for profiling and conditioning chemical-mechanical polishing pads |
JP2002052463A (ja) * | 2000-08-09 | 2002-02-19 | Hitachi Ltd | 研磨装置及び研磨方法 |
KR100462868B1 (ko) * | 2001-06-29 | 2004-12-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체 폴리싱 장치의 패드 컨디셔너 |
DE60320227T2 (de) * | 2002-02-20 | 2009-05-20 | Ebara Corp. | Verfahren und einrichtung zum polieren |
JP2003318140A (ja) * | 2002-04-26 | 2003-11-07 | Applied Materials Inc | 研磨方法及び装置 |
JP2004142083A (ja) * | 2002-10-28 | 2004-05-20 | Elpida Memory Inc | ウエハ研磨装置およびウエハ研磨方法 |
JP4125148B2 (ja) * | 2003-02-03 | 2008-07-30 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置 |
US6722948B1 (en) * | 2003-04-25 | 2004-04-20 | Lsi Logic Corporation | Pad conditioning monitor |
DE10324429B4 (de) * | 2003-05-28 | 2010-08-19 | Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale | Verfahren zum Betreiben eines chemisch-mechanischen Polier Systems mittels eines Sensorsignals eines Polierkissenkonditionierers |
US6931330B1 (en) * | 2003-06-30 | 2005-08-16 | Lam Research Corporation | Methods for monitoring and controlling chemical mechanical planarization |
US6953382B1 (en) * | 2004-06-24 | 2005-10-11 | Novellus Systems, Inc. | Methods and apparatuses for conditioning polishing surfaces utilized during CMP processing |
-
2008
- 2008-08-07 US US12/187,637 patent/US8096852B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2009
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-
2014
- 2014-10-15 JP JP2014210661A patent/JP2015065439A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11138418A (ja) * | 1997-09-02 | 1999-05-25 | Matsushita Electron Corp | 化学的機械研磨装置及び化学的機械研磨方法 |
JP2001260001A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-09-25 | Hitachi Ltd | 半導体装置の平坦化方法及びその装置 |
JP2005022028A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-01-27 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 研磨パッドのドレッシング装置及び該装置を有する加工装置 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013526057A (ja) * | 2010-04-30 | 2013-06-20 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 一定除去速度を達成するためのパッド調整掃引トルクモデリング |
JP2012245589A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置の製造方法および化学機械研磨装置 |
US9808908B2 (en) | 2012-08-28 | 2017-11-07 | Ebara Corporation | Method of monitoring a dressing process and polishing apparatus |
JP2014042968A (ja) * | 2012-08-28 | 2014-03-13 | Ebara Corp | ドレッシングプロセスの監視方法および研磨装置 |
US11325224B2 (en) | 2012-08-28 | 2022-05-10 | Ebara Corporation | Method of monitoring a dressing process and polishing apparatus |
US10675731B2 (en) | 2012-08-28 | 2020-06-09 | Ebara Corporation | Method of monitoring a dressing process and polishing apparatus |
JP2014161938A (ja) * | 2013-02-22 | 2014-09-08 | Ebara Corp | ドレッサの研磨部材上の摺動距離分布の取得方法、ドレッサの研磨部材上の摺動ベクトル分布の取得方法、および研磨装置 |
KR20140118903A (ko) | 2013-03-29 | 2014-10-08 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 연마 장치 및 마모 검지 방법 |
US9530704B2 (en) | 2013-03-29 | 2016-12-27 | Ebara Corporation | Polishing apparatus and wear detection method |
US9144878B2 (en) | 2013-03-29 | 2015-09-29 | Ebara Corporation | Polishing apparatus and wear detection method |
JP2016124063A (ja) * | 2014-12-26 | 2016-07-11 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置およびその制御方法 |
US10016871B2 (en) | 2014-12-26 | 2018-07-10 | Ebara Corporation | Polishing apparatus and controlling the same |
KR20160079690A (ko) * | 2014-12-26 | 2016-07-06 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 연마 장치 및 그 제어 방법 |
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JP2016175146A (ja) * | 2015-03-19 | 2016-10-06 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置およびその制御方法ならびにドレッシング条件出力方法 |
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