JP2011519071A5 - - Google Patents
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Claims (14)
- 第１表面（１０２、２０２、３０２、４０２）と、該第１表面（１０２、２０２、３０２、４０２）に対置する第２表面（１０３、２０３、３０３、４０３）とを有する光導波路（１０１、２０１、３０１、４０１）を具備し、該光導波路（１０１、２０１、３０１、４０１）が該表面の一方の面上に回折格子（１１０、２１０、３１０、４１０）を有し、該光導波路（１０１、２０１、３０１、４０１）が少なくとも１種の硬質な光学材料から形成される回折格子カプラー（１００、２００、３００、４００）であって、
該回折格子カプラーが、該光導波路（１０１、２０１、３０１、４０１）上に沈着されて付着された軟質ポリマーフィルム（１２０、２２０、３２０、４２０）を更に具備し、該軟質ポリマーフィルム（１２０、２２０、３２０、４２０）が、該光導波路（１０１、２０１、３０１、４０１）を部分的に包囲すると共に、該光導波路（１０１、２０１、３０１、４０１）の該２つの表面の一方の面を開放させ、試料（２３０、３３０、４３０）へ該軟質ポリマーフィルム（１２０、２２０、３２０、４２０）を付着させることによって、該回折格子カプラー（１００、２００、３００、４００）を該試料（２３０、３３０、４３０）に装着させて一時的に密着させることを特徴とする、該回折格子カプラー（１００、２００、３００、４００）。 - 軟質ポリマーフィルムがポリ（ジメチルシロキサン）から成る請求項１に記載の回折格子カプラー（１００、２００、３００、４００）。
- 回折格子カプラー（１００、２００、３００、４００）を試料（２３０、３３０、４３０）に装着したときに、該回折格子カプラー（１００、２００、３００、４００）と該試料（２３０、３３０、４３０）との間に空隙が生じない請求項１または２に記載の回折格子カプラー（１００、２００、３００、４００）。
- 回折格子（１１０、２１０、３１０、４１０）が複数の隆起（１１２、２１２，３１２，４１２）を具備し、該隆起（１１２、２１２、３１２、４１２）が光の入射角に従って制御可能である請求項１から３のいずれかに記載の回折格子カプラー（１００、２００、３００、４００）。
- 隆起（１１２、２１２、３１２、４１２）が直線形状である請求項４に記載の回折格子カプラー（１００、２００、３００、４００）。
- 光導波路（１０１、２０１、３０１、４０１）が少なくとも１つの層を具備する請求項１から５のいずれかに記載の回折格子カプラー（１００、２００、３００、４００）。
- 光導波路（１０１、２０１、３０１、４０１）が平面的な導波路である請求項１から６のいずれかに記載の回折格子カプラー（１００、２００、３００、４００）。
- 光導波路（１０１、２０１、３０１、４０１）に回折格子（１１０、２１０、３１０、４１０）がエッチングされた請求項１から７のいずれかに記載の回折格子カプラー（１００、２００、３００、４００）。
- 回折格子（１１０、２１０、３１０、４１０）が、該回折格子（１１０、２１０、３１０、４１０）がエッチングされた導波路（１０１、２０１、３０１、４０１）の層を構成する材料と異なる材料から成る請求項８に記載の回折格子カプラー（１００、２００、３００、４００）。
- 請求項１〜９のいずれかに記載の回折格子カプラー（２００、３００、４００）と、
該回折格子カプラー（２００、３００、４００）の軟質ポリマーフィルム（２２０、３２０、４２０）を介して該回折格子カプラー（２００、３００、４００）に装着される試料（２３０、３３０、４３０）と、
該回折格子カプラー（１００、２００、３００、４００）を照射する光源とを具備する、試料の特性評価を行うシステムであって、
該光源の光を該試料（２３０、３３０、４３０）へ導くことによって、該回折格子カプラー（２００、３００、４００）に具備される導波路（２０１、３０１、４０１）内の少なくとも１つの導波モードを励起させるように、該回折格子カプラー（２００、３００、４００）を構成する該システム。 - 試料（２３０、３３０、４３０）が、基板上に沈着された薄膜材料またはバルク材料、あるいは基板上に沈着された薄膜の積層である請求項１０に記載のシステム。
- 試料の屈折率を測定するための請求項１〜９のいずれかに記載の回折格子カプラー（１００、２００、３００、４００）の使用であって、該試料が基板上に沈着された薄膜材料またはバルク材料、あるいは基板上に沈着された薄膜の積層である該使用。
- 以下の工程(i)〜(v)を含む、試料の特性評価方法：
(i) 請求項１〜９のいずれかに記載の回折格子カプラー（２００、３００、４００）の軟質ポリマーフィルム（２２０、３２０、４２０）を試料（２３０、３３０、４３０）に対して圧着させることにより、該試料（２３０、３３０、４３０）上に該回折格子カプラー（２００、３００、４００）を装着させ；
(ii) レーザーから放射される光線で該回折格子カプラー（２００、３００、４００）を照射することにより、該回折格子カプラー（２００、３００、４００）に具備される導波路（２０１、３０１、４０１）内での少なくとも１つの導波モードを励起させ；
(iii) 該回折格子カプラー（２００、３００、４００）上への該放射光線の入射角を走査し；
(iv) 導波モードの励起角を記録し；
(v) モデリング法を使用して、試料の特定のパラメータを算出する。 - 試料（２３０、３３０、４３０）が、基板上に沈着された薄膜材料またはバルク材料、あるいは基板上に沈着された薄膜の積層である請求項１３に記載の方法。
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