JP5331873B2 - 回折格子カプラー、システムおよび方法 - Google Patents
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Description
(i)回折格子カプラーの軟質ポリマーフィルムを試料に圧着することにより、該試料上に該回折格子カプラーを装着させ、
(ii)レーザーから放射される光線で該回折格子カプラーを照射することにより、該回折格子カプラーに具備される導波路内で少なくとも1種の導波モードを励起させ、
(iii)該回折格子カプラー上への該放射光線の入射角を走査し、
(iv)導波モードの励起角を記録し、
(v)モデリング法を使用して、試料の特定のパラメータを算出する。
好ましくは、試料は、基板上に沈着された薄膜材料またはバルク材料、あるいは基板上に沈着された薄膜の積層である。
図2は、本発明による回折格子カプラーの例示的な実施態様の断面図を示す。
図3は、本発明による回折格子カプラーの例示的な実施態様の断面図を示す。
図4は、本発明による回折格子カプラーの例示的な実施態様の断面図を示す。
図5aから図5hは、図2に基づく実施例を例示的に説明する。
図6aから図6dは、図3に基づく実施例を例示的に説明する。
図7aから図7fは、本発明による回折格子カプラーの製造例を示す。
図8は、プローブの特性評価方法の流れを説明する。
図9a〜9cは、TE偏光に関する入射角に対する回折格子プローブの透過率(9a)、プローブを透過した光によって形成されたスポットの画像(9b)、および、実施例において使用した構造の断面図(9c)を示す。
図10a〜10cは、導波路プローブの励起の実施例および共鳴状態および非共鳴状態におけるプローブを透過した光によって形成されたスポットの画像を示す。
図10d〜10gは、図10aのカプラーをガラス基板上へ装着させる方法を示すもので、ガラス表面へ密着するプローブの漸進的変化を示す。
図11は、ポリマーフィルムの実施例を示す。
図12は、本発明による混成DGC-PDMS系を使用して、うね状導波路内への面外光の結合を例証する。
図13は、窒化ケイ素製の導波路上にプローブを装着させた場合と、装着させない場合における、該窒化ケイ素製の導波路に対して形成された電界のモード分布を示す。
(41.8度−40.1度/50nm/0.05度)−1=1.5nm、(測定精度は、FWHMでのピークの角度幅に相当する0.05度と仮定した)。100nm〜125nmの範囲における分解能は、以下のように規定される:(39.08度−37.8度/25nm/0.05度)-1=1nm、(測定精度は、FWHMでのピークの角度幅に相当する0.05度と仮定した)。
(i)回折格子カプラー(200、300、400)の軟質フィルム(220、320、420)を、試料(230、330、430)に対して圧着することにより、上記方法に従って調製した回折格子カプラーまたは導波路プローブを、試料(230、330、430)上へ装着させ;
(ii)レーザーから放射された光線で回折格子カプラーを照射することにより、回折格子カプラー(200、300、400)内に具備された導波路(201、301、401)内で少なくとも1種の導波モードを励起させ;
(iii)プローブを形成する導波路の回折格子上に放射された光線の入射角を走査し;
(iV)導波モードの励起角を記録し;
(v)常套のモデリング法を用いて、試料の特定のパラメータを算出する。
Claims (13)
- 第1表面(102、202、302、402)と、該第1表面(102、202、302、402)に対置する第2表面(103、203、303、403)とを有する光導波路(101、201、301、401)を具備し、該光導波路(101、201、301、401)が該表面の一方の面上に回折格子(110、210、310、410)を有し、該光導波路(101、201、301、401)が少なくとも1種の硬質な光学材料から形成される回折格子カプラー(100、200、300、400)であって、
該回折格子カプラーが、該光導波路(101、201、301、401)上に沈着されて付着された軟質ポリマーフィルム(120、220、320、420)を更に具備し、該軟質ポリマーフィルム(120、220、320、420)が、該光導波路(101、201、301、401)を部分的に包囲すると共に、該光導波路(101、201、301、401)の該2つの表面の一方の面を開放させ、試料(230、330、430)へ該軟質ポリマーフィルム(120、220、320、420)を付着させることによって、該回折格子カプラー(100、200、300、400)を該試料(230、330、430)に装着させて一時的に密着させることを特徴とする、該回折格子カプラー(100、200、300、400)。 - 軟質ポリマーフィルムがポリ(ジメチルシロキサン)から成る請求項1に記載の回折格子カプラー(100、200、300、400)。
- 回折格子カプラー(100、200、300、400)を試料(230、330、430)に装着したときに、該回折格子カプラー(100、200、300、400)と該試料(230、330、430)との間に空隙が生じない請求項1または2に記載の回折格子カプラー(100、200、300、400)。
- 回折格子(110、210、310、410)が複数の隆起(112、212,312,412)を具備し、該隆起(112、212、312、412)が直線形状である請求項1から3のいずれかに記載の回折格子カプラー(100、200、300、400)。
- 光導波路(101、201、301、401)が少なくとも1つの層を具備する請求項1から4のいずれかに記載の回折格子カプラー(100、200、300、400)。
- 光導波路(101、201、301、401)が平面的な導波路である請求項1から5のいずれかに記載の回折格子カプラー(100、200、300、400)。
- 光導波路(101、201、301、401)に回折格子(110、210、310、410)がエッチングされた請求項1から6のいずれかに記載の回折格子カプラー(100、200、300、400)。
- 回折格子(110、210、310、410)が、該回折格子(110、210、310、410)がエッチングされた導波路(101、201、301、401)の層を構成する材料と異なる材料から成る請求項7に記載の回折格子カプラー(100、200、300、400)。
- 請求項1〜8のいずれかに記載の回折格子カプラー(200、300、400)と、該回折格子カプラー(200、300、400)の軟質ポリマーフィルム(220、320、420)を介して該回折格子カプラー(200、300、400)に装着される試料(230、330、430)と、
該回折格子カプラー(100、200、300、400)を照射する光源とを具備する、試料の特性評価を行うシステムであって、
該光源の光を該試料(230、330、430)へ導くことによって、該回折格子カプラー(200、300、400)に具備される導波路(201、301、401)内の少なくとも1つの導波モードを励起させるように、該回折格子カプラー(200、300、400)を構成する該システム。 - 試料(230、330、430)が、基板上に沈着された薄膜材料またはバルク材料、あるいは基板上に沈着された薄膜の積層である請求項9に記載のシステム。
- 試料の屈折率を測定するための請求項1〜8のいずれかに記載の回折格子カプラー(100、200、300、400)の使用であって、該試料が基板上に沈着された薄膜材料またはバルク材料、あるいは基板上に沈着された薄膜の積層である該使用。
- 以下の工程(i)〜(v)を含む、試料の特性評価方法:
(i) 請求項1〜8のいずれかに記載の回折格子カプラー(200、300、400)の軟質ポリマーフィルム(220、320、420)を試料(230、330、430)に対して圧着させることにより、該試料(230、330、430)上に該回折格子カプラー(200、300、400)を装着させ;
(ii) レーザーから放射される光線で該回折格子カプラー(200、300、400)を照射することにより、該回折格子カプラー(200、300、400)に具備される導波路(201、301、401)内での少なくとも1つの導波モードを励起させ;
(iii) 該回折格子カプラー(200、300、400)上への該放射光線の入射角を走査し;
(iv) 導波モードの励起角を記録し;
(v) モデリング法を使用して、試料の特定のパラメータを算出する。 - 試料(230、330、430)が、基板上に沈着された薄膜材料またはバルク材料、あるいは基板上に沈着された薄膜の積層である請求項12に記載の方法。
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