JP2011512007A5 - - Google Patents

Claims (22)

1. ＲＦ電力をプラズマチャンバに結合するための装置であって、
   複数のＲＦ接続点を備える電極を備えたプラズマチャンバと、
   第１のＲＦ電源を含む複数のＲＦ電源であって、各ＲＦ電源が、前記ＲＦ接続点の１つにそれぞれ接続された出力端を有する、複数のＲＦ電源と、を備え、
   前記第１のＲＦ電源が、その出力端に第１のＲＦ電力信号を生成し、
   前記第１のＲＦ電源以外の各ＲＦ電源が、そのそれぞれの出力端に、前記第１のＲＦ電力信号と同じ周波数、および前記第１のＲＦ電力信号に対して相対的な、異なる非ゼロ位相オフセットを有するそれぞれのＲＦ電力信号を生成する、装置。
2. ＲＦ電力をプラズマチャンバに結合するための装置であって、
   第１、第２、第３、第４のＲＦ接続点を備える電極を備えたプラズマチャンバと、
   第１、第２、第３、第４のＲＦ電源と、を備え、
   各ＲＦ電源が、前記ＲＦ接続点の１つにそれぞれ接続された出力端を有し、そのそれぞれの出力端に、第１、第２、第３、第４のＲＦ電力信号を生成し、
   各ＲＦ電源が、それぞれの前記ＲＦ接続点に、それぞれのＲＦ電力信号を供給するために接続される、それぞれの出力端を有し、
   当該それぞれの第２、第３、第４のＲＦ電力信号は、前記第１のＲＦ電力信号と同じ周波数、および前記第１のＲＦ電力信号に対して相対的な、異なる非ゼロ位相オフセットを有する、装置。
3. ＲＦ電力をプラズマチャンバに結合するための装置であって、
   複数のＲＦ接続点を備える電極を備えたプラズマチャンバと、
   第１のＲＦ電源を含む複数のＲＦ電源であって、各ＲＦ電源が、前記ＲＦ接続点の１つにそれぞれ接続された出力端を有する、複数のＲＦ電源と、を備え、
   前記第１のＲＦ電源が、その出力端に第１のＲＦ電力信号を生成し、
   前記第１のＲＦ電源以外の各ＲＦ電源が、そのそれぞれの出力端に、前記第１のＲＦ電力信号と同じ周波数、および前記第１のＲＦ電力信号に対して相対的な、調整可能な位相オフセットを有するそれぞれのＲＦ電力信号を生成する、装置。
4. 前記ＲＦ接続点が、前記電極の２次元表面上に配置され、
   前記ＲＦ接続点の位置が、前記表面の両次元に沿って配置される、請求項１ないし３の何れか一項に記載の装置。
5. 前記ＲＦ接続点が、前記電極の矩形表面上に配置され、
   前記ＲＦ接続点の位置が、前記矩形表面のＸ軸およびＹ軸の両方に沿って配置される、請求項１ないし４のいずれか一項に記載の装置。
6. 前記ＲＦ接続点のそれぞれが、前記電極にそれぞれ対応する隅部の付近に位置する、請求項１ないし５のいずれか一項に記載の装置。
7. 前記ＲＦ接続点のそれぞれが、前記電極にそれぞれ対応する隅部に位置する、請求項１ないし５のいずれか一項に記載の装置。
8. 前記ＲＦ接続点のそれぞれが、前記電極の矩形表面の４つの隅部の付近に位置する、請求項５に記載の装置。
9. 前記ＲＦ接続点のそれぞれが、前記電極の矩形表面の４つの隅部に位置する、請求項５に記載の装置。
10. 前記非ゼロ位相オフセットのそれぞれが経時変化する、請求項１ないし９のいずれか一項に記載の装置。
11. ＲＦ発振器と、
    複数の位相シフタと、をさらに備え、
    各位相シフタが、前記ＲＦ発振器の出力端に接続された入力端を有し、
    各ＲＦ電源が、同期入力端を有し、
    前記第１のＲＦ電源以外の各ＲＦ電源の前記同期入力端が、前記位相シフタの出力端の１つにそれぞれ接続され、
    前記第１のＲＦ電源の前記同期入力端が、前記ＲＦ発振器の前記出力端に接続される、請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の装置。
12. 前記ＲＦ発振器の前記出力端と前記第１のＲＦ電源の前記同期入力端との間に接続された位相シフタをさらに備える、請求項１１に記載の装置。
13. 前記電極が、マニホルド後壁と、シャワーヘッドと、前記シャワーヘッドを前記マニホルド後壁に接続するサスペンションとを備えるガス入口マニホルドであり、
    前記ＲＦ接続点が、前記マニホルド後壁上にある、請求項１ないし１２のいずれか一項に記載の装置。
14. 複数のインピーダンス整合回路網をさらに備え、
    各インピーダンス整合回路網が、前記ＲＦ電源の１つにそれぞれ対応するＲＦ電源の前記出力端と、前記ＲＦ接続点の１つにそれぞれ接続される、請求項１ないし１３のいずれか一項に記載の装置。
15. ＲＦ電力をプラズマチャンバに結合するための装置であって、
    複数のＲＦ接続点を備える電極を備えたプラズマチャンバと、
    第１のＲＦ電源を含む複数のＲＦ電源と、を備え、
    各ＲＦ電源が、それぞれの前記ＲＦ接続点に、それぞれのＲＦ電力信号を供給するために接続される、それぞれの出力端を有し、
    各ＲＦ電源が、前記ＲＦ接続点の１つにそれぞれ対応するＲＦ接続点に接続された出力端を有し、それぞれのＲＦ電力信号は同じ周波数を有し、
    ＲＦ発振器と、
    複数の位相シフタと、をさらに備え、
    各位相シフタが、前記ＲＦ発振器の出力端に接続された入力端を有し、
    各ＲＦ電源が、同期入力端を有し、
    前記第１のＲＦ電源以外の各ＲＦ電源の前記同期入力端が、前記位相シフタの出力端の１つにそれぞれ接続され、
    前記第１のＲＦ電源の前記同期入力端が、前記ＲＦ発振器の前記出力端に接続される、装置。
16. 前記ＲＦ発振器の前記出力端と前記第１のＲＦ電源の前記同期入力端との間に接続された位相シフタをさらに備える、請求項１５に記載の装置。
17. 各位相シフタが異なる位相シフトを生成し、前記第１のＲＦ電源以外の各ＲＦ電源が、そのそれぞれの出力端に、前記第１のＲＦ電力信号と同じ周波数、および前記第１のＲＦ電力信号に対して相対的な、異なる非ゼロ位相オフセットを有する前記第１のＲＦ電源によって生成されたそれぞれのＲＦ電力信号を生成する、請求項１５または１６に記載の装置。
18. 前記非ゼロ位相オフセットのそれぞれが経時変化する、請求項１７に記載の装置。
19. 前記電極が、マニホルド後壁と、シャワーヘッドと、前記シャワーヘッドを前記マニホルド後壁に接続するサスペンションとを備えるガス入口マニホルドであり、
    前記ＲＦ接続点が、前記マニホルド後壁上にある、請求項１５ないし１８のいずれか一項に記載の装置。
20. 複数のインピーダンス整合回路網をさらに備え、
    各インピーダンス整合回路網が、前記ＲＦ電源の１つにそれぞれ対応するＲＦ電源の前記出力端と、前記ＲＦ接続点の１つにそれぞれ対応するＲＦ接続点との間に接続される、請求項１５ないし１９のいずれか一項に記載の装置。
21. ＲＦ接続点の数およびＲＦ電源の数が、少なくとも４であり、
    前記ＲＦ接続点が、前記電極の２次元表面上に配置され、
    前記ＲＦ接続点の位置が、前記表面の両次元に沿って配置される、請求項１５ないし２０のいずれか一項に記載の装置。
22. 前記ＲＦ接続点が、前記電極の矩形表面上に配置され、
    前記ＲＦ接続点の位置が、前記矩形表面のＸ軸およびＹ軸の両方に沿って配置される、請求項１５ないし２１のいずれか一項に記載の装置。