JP2013527642A5

JP2013527642A5 -

Info

Publication number: JP2013527642A5
Application number: JP2012556530A
Authority: JP
Filing date: 2011-03-11
Publication date: 2014-04-24

Claims

プラズマ負荷に電力を供給するプラズマ供給装置であって、
前記プラズマ供給装置は少なくとも１つの直交結合器を有しており、当該少なくとも１つの直交結合器は少なくとも１つのキャパシタンスと少なくとも１つのインダクタンスを有しており、かつ互いに９０°だけ位相のずれた同じ周波数の２つのＨＦ電力信号を結合し、
前記直交結合器の第１有用信号端子と第２有用信号端子には、有用信号としてそれぞれ１つのＨＦ電力信号が供給され、当該ＨＦ電力信号は第３有用信号端子において有用信号として出力されるべき結合されたＨＦ電力に適合されており、
少なくとも１つの有用信号端子は第１インピーダンス用に設計されている、
プラズマ供給装置において、
前記少なくとも１つの直交結合器が前記第１インピーダンスよりも高い第２インピーダンス用に設計された第４有用信号端子を有するか、または、前記少なくとも１つの直交結合器（１５０、２５０、２６０、２９０、６１０、６２０、７１０）が３つの有用信号端子（１、２、３、２５１〜２５３、２６１〜２６３、２９１〜２９３、６１１〜６１３、６２１〜６２３、７１１〜７１３）だけを有する、ことを特徴とするプラズマ供給装置。
前記第２インピーダンスは前記第１インピーダンスの少なくとも４倍、好ましくは少なくとも１０倍である、請求項１に記載のプラズマ供給装置。
前記直交結合器（１５０、２５０、２６０、２９０、６１０、６２０、７１０）は１つのキャパシタンス（Ｃ）と１つのインダクタンス（Ｌ）だけを有する、請求項１または２に記載のプラズマ供給装置。
少なくとも１つのキャパシタンス（Ｃ）と少なくとも１つのインダクタンス（Ｌ）は、共通のプリント基板（１５１）上に配置されたプレーナ構造を含んでいる、請求項１から３のいずれか１項に記載のプラズマ供給装置。
前記直交結合器（１５０、２５０、２６０、２９０、６１０、６２０、７１０）のキャパシタンス（Ｃ）のリアクタンスは、前記直交結合器（１５０、２５０、２６０、２９０、６１０、６２０、７１０）のインダクタンス（Ｌ）の負のリアクタンスに等しい、請求項１から４のいずれか１項に記載のプラズマ供給装置。
前記直交結合器（１５０、２５０、２６０、２９０、６１０、６２０、７１０）のインダクタンス（Ｌ）のリアクタンスが

であり、前記直交結合器（１５０、２５０、２６０、２９０、６１０、６２０、７１０）のキャパシタンス（Ｃ）のリアクタンスが

であり、ここでＺ₀はシステムインピーダンスであり、Ｐ₁は第１有用信号端子における電力であり、Ｐ₂は第２有用信号端子における電力である、請求項１から５のいずれか１項に記載のプラズマ供給装置。
２つの有用信号端子（６１１、６１２、６２１、６２２）のそれぞれに、１つのインピーダンス整合した高周波源（８１０〜８４０）が接続されている、請求項１から６のいずれか１項に記載のプラズマ供給装置。
前記インピーダンス整合した高周波源（８１０〜８４０）はそれぞれ、４つの有用信号端子（５１１〜５１４、５２１〜５２４、５３１〜５３４、５４１〜５４４）を有する第２直交結合器（５１０、５２０、５３０、５４０）と、別の２つの高周波源（４１０〜４８０）と、成端抵抗（８１１、８２１、８３１、８４１）とを含んでおり、
前記第２直交結合器（５１０、５２０、５３０、５４０）の２つの有用信号端子（５１１、５１２、５２１、５２２、５３１、５３２、５４１、５４２）にはそれぞれ前記別の高周波源（４１０〜４８０）の一方が接続されており、前記第２直交結合器（５１０、５２０、５３０、５４０）の第３有用信号端子（５１３、５２３、５３３、５４３）にはそれぞれ前記第１直交結合器（６１０、６２０）の１つの有用信号端子（５１１、６１２、６２１、６２２）が接続されており、前記第２直交結合器（５１０、５２０、５３０、５４０）の第４有用信号端子（５１４、５２４、５３４、５４４）には前記成端抵抗（８１１、８２１、８３１、８４１）が接続されている、請求項７に記載のプラズマ供給装置。
３ＭＨｚ〜３０ＭＨｚの範囲の周波数において５００Ｗを超える高周波電力を発生させる複数の高周波源（２１０、２２０、２３０、２４０、４１０、４２０、４３０、４４０、４５０、４６０、４７０、４８０、８１０、８２０、８３０、８４０）が設けられている、請求項１から８のいずれか１項に記載のプラズマ供給装置。