JP2012525684A5 - - Google Patents

Claims (28)

1. 第１の表面及び第２の表面を有する基板と、
   前記基板の第１の表面の上に設けた第１の端部及び第２の端部を有し、かつ動作周波数（λ）の１／４の奇数倍の長さを有する細片と、
   前記基板の前記第２の表面上に設けられ、かつ前記細片の第１の端部が接続された接地平面と、
   前記細片の第２の端部に隣接し、かつ前記接地平面に接続された接地電極とを備え、
   前記細片の第２の端部と前記接地電極との間には放電隙間が設けられ、
   さらに、前記細片への給電用電源への接続のためのコネクタと
   を備えたことを特徴とするプラズマ発生器。
2. 前記基板が誘電材料を含んでなる平面基板であり、前記細片が金属細片からなることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ発生器。
3. 前記接地平面に対して前記細片の第１の端部を接続させるために基板を介して設けられた第１のビアをさらに備えると共に、前記接地平面に対して前記接地電極を接続させるために基板を介して設けられた第２のビアを備えることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ発生器。
4. 前記コネクタは、電源のインピーダンスに適合するインピーダンスを供給するために、前記細片の上の任意の位置に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ発生器。
5. 大気圧または大気圧近傍でプラズマを発生し、前記プラズマの温度が３００〜１０００°Ｋであることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ発生器。
6. プラズマ発生器アレイを形成するために前記基板の第１の表面上に複数の細片をさらに設けたことを特徴とする請求項１に記載のプラズマ発生器。
7. プラズマ発生器アレイであって、
   第１の表面及び第２の表面を有する基板と、
   前記基板の第１の表面に設けられた複数の強固に接続された共振細片とを備え、
   該共振細片の端部と、対応する接地電極との間に複数の放電隙間が設けられ、かつ該放電隙間は互いに隣接しており、
   さらに、少なくとも一つの細片への電力供給のために電源と接続するためのコネクタと
   を備えたことを特徴とするプラズマ発生器アレイ。
8. 前記放電隙間が互いに同一直線上にあることを特徴とする請求項７に記載のプラズマ発生器アレイ。
9. 前記基板の第２の表面上に設けられた接地平面をさらに有することを特徴とする請求項７に記載のプラズマ発生器アレイ。
10. 前記各共振細片が動作周波数（λ）の１／４の奇数倍の長さを有することを特徴とする請求項７に記載のプラズマ発生器アレイ。
11. 電力は一つの共振細片へのみ供給され、残りの共振細片は共振結合を介してプラズマを発生することを特徴とする請求項７に記載のプラズマ発生器アレイ。
12. 大気圧又は大気圧近傍の圧力で連続なプラズマを生み出し、プラズマ温度が３００〜１０００°Ｋであることを特徴とする請求項７に記載のプラズマ発生器アレイ。
13. 前記放電隙間は、概ね円形配置で配列されていることを特徴とする請求項７に記載のプラズマ発生器アレイ。
14. 少なくとも２以上の周波数を含む入力電力を供給する電源をさらに備え、それぞれの周波数が前記アレイの異なる動作モードを励起することを特徴とする請求項７に記載のプラズマ発生器アレイ。
15. 前記基板を通して延びる開口部をさらに備えると共に、前記放電隙間はリング状のプラズマを形成するために該開口部の周囲に配列されていることを特徴とする請求項７に記載のプラズマ発生器アレイ。
16. 基板上に設けた複数の強固に結合された共振細片を有してなるプラズマ発生器アレイに電力を供給し、前記各共振細片の端部と、対応する接地電極との間に複数の放電隙間を設け、該放電隙間は互いに隣接して設けられて連続したプラズマを発生させることを特徴とするプラズマ発生方法。
17. 前記プラズマが、実質的に線形又は実質的にリング形状の何れかであるように放電隙間が配置されることを特徴とする請求項１６に記載のプラズマ発生方法。
18. 前記各共振細片の長さが、供給電力の動作周波数（λ）の１／４の奇数倍であることを特徴とする請求項１６に記載のプラズマ発生方法。
19. 少なくとも２以上の動作周波数で電力を供給することをさらに備え、それぞれの動作周波数は前記アレイの異なる動作モードを励起することを特徴とする請求項１６に記載のプラズマ発生方法。
20. 一つの共振細片へ電力を供給し、共振結合を介して残りの共振細片へプラズマを発生することをさらに備えたことを特徴とする請求項１６に記載のプラズマ発生方法。
21. 発生するプラズマでそこに配置された対象物を処理するために前記基板を介して延びる開口部を備え、前記開口部の周囲に放電隙間を設けることをさらに備え、前記対象物はワークピース又は流体の一つであることを特徴とする請求項１６に記載のプラズマ発生方法。
22. 前記プラズマで前記流体を光イオン化させるか、前記流体中で蛍光を誘発するかの何れかをさらに備えることを特徴とする請求項２１に記載のプラズマ発生方法。
23. 各細片の端部と対応する接地電極との間に互いに隣接する複数の放電隙間を区画する複数の強固に結合された共振細片を有してなるプラズマ発生器アレイを供給し、
    前記プラズマ発生器アレイの少なくとも一つの細片に電源を接続し、
    前記プラズマ発生器アレイの近くに変性させるべき表面の位置を定め、
    前記表面を変性させるために連続したプラズマを発生させることを特徴とする基板表面の変性方法。
24. 前記放電隙間が実質的に同一直線上にあり、前記プラズマが実質的に線形プラズマであるか、または前記放電隙間を概ね円形配置すると共に、前記プラズマがリング状プラズマであることを特徴とする請求項２３に記載の基板表面の変性方法。
25. 前記プラズマが、前記表面から材料を除去するか、前記基板の表面の化学的性質を変性するかの何れか一つを前記表面の材料に加えるにより該表面を変性することを特徴とする請求項２３に記載の基板表面の変性方法。
26. 前記プラズマが、前記表面を変性するために気体と反応することを特徴とする請求項２３に記載の基板表面の変性方法。
27. 前記気体が、シランガスであり前記表面がシリコンの堆積により変性されるか、フッ化炭素ガスであり前記表面がエッチングにより変性されるかの何れかであることを特徴とする請求項２６に記載の基板表面の変性方法。
28. 前記線状プラズマが、大気圧又は大気圧近傍の圧力で発生され、前記プラズマの温度が３００〜１０００°Ｋであることを特徴とする請求項２３に記載の基板表面の変性方法。