JP2011505496A - 回転マグネトロンの任意走査経路の制御 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 中心軸の周りでのマグネトロンの方位角移動および半径移動を可能にする走査機構を有するスパッタリングチャンバ内で前記マグネトロンの移動を制御するための制御機構であって、
前記走査機構に機械的に結合された2つのモータと、
ポーリング通信リンクを通じてシステムコントローラに接続され、前記マグネトロンの走査経路に関するコマンドを受領し、前記2つのモータの回転速度、およびそれらの間の回転位相を別々に制御するモーションコントローラと
を備える制御機構。 - 前記モーションコントローラと前記2つのモータのうちそれぞれのモータとの間に接続された2つの駆動回路をさらに備える、請求項1に記載の制御機構。
- 前記2つのモータがサーボモータであり、前記駆動回路が、前記それぞれのモータからエンコーダ信号を受領する、請求項2に記載の制御機構。
- 前記モーションコントローラが、前記走査経路の複数の走査プロファイルが記録されたメモリを含み、
前記システムコントローラから送出されるプロファイルコマンドが、走査プロファイルを選択し、
前記モーションコントローラが、前記回転速度および回転位相を、前記選択された走査プロファイルに従って制御する
請求項1ないし3のいずれか一項に記載の制御機構。 - 前記走査プロファイルが、時間と前記回転位相の複数の対を含む、請求項4に記載の制御機構。
- 前記コマンドがコマンドチケットを含み、前記モーションコントローラが、第1のコマンド内で受領した前記コマンドチケットの第1の値を格納し、直後のコマンドを、そのコマンドチケットの値が、前記第1の値以外の許容値である場合にだけ実行する、請求項1ないし3のいずれか一項に記載の制御機構。
- 中心軸の周りで回転可能な第1のアームと、
前記第1のアーム上の、前記中心軸からオフセットされた旋回軸の周りで回転可能であり、前記旋回軸からオフセットされた場所で前記マグネトロンを支持する第2のアームと、
前記2本のアームの存在をそれぞれが検出する、配設された2つのセンサと
をさらに備え、
前記コマンドが動的帰着コマンドを含み、
前記モーションコントローラが、前記動的帰着コマンドに応答して、前記アームが動いている間の前記2つのセンサからの信号を処理して、前記アームが所定の時間に所定の位置にあるかどうかを判定する
請求項1ないし3のいずれか一項に記載の制御機構。 - 前記センサ同士が、前記中心軸から異なる2つの半径で配設される、請求項7に記載の制御機構。
- 前記センサが、それぞれが光ビームを放出し、光を検出する光センサであり、前記制御機構が、前記第1および第2のアーム上に配設された反射体をさらに備える、請求項8に記載の制御機構。
- プラズマスパッタチャンバ内でターゲットに隣接して回転するマグネトロン用の2軸走査機構を制御する方法であって、
複数のコマンドをモーションコントローラに周期的に送出するステップと、
前記モーションコントローラ内でそれらのコマンドを解釈して、前記走査機構に結合された2つのモータに駆動信号を送出し、それによって、前記ターゲットに隣接して前記マグネトロンの走査経路を実行するステップと
を含む方法。 - 前記モーションコントローラ内に複数の走査プロファイルを格納するステップをさらに含み、
前記複数のコマンドの1つが、前記走査プロファイルの1つを選択するプロファイルコマンドであり、前記モーションコントローラが、前記選択された走査プロファイルに対応する前記走査経路を前記走査機構に実行させる前記駆動信号を送出する
請求項10に記載の方法。 - 各コマンドが、複数の動作値の1つを有するコマンドチケットを含み、前記モーションコントローラが前記コマンドを、そのコマンドチケットが直前に送出されたコマンドの動作値とは異なる動作値を有する場合にだけ解釈する、請求項10または11に記載の方法。
- 前記複数のコマンドの1つが動的帰着コマンドであり、
前記動的帰着コマンドが送出されたとき、前記モーションコントローラが、前記走査機構の2つの部分の位置を感知する2つのセンサに問い合わせて、前記部分が予め選択された時間に予め選択された位置にあるかどうかを判定すること
をさらに含む、請求項10または11に記載の方法。 - 前記部分が前記予め選択された時間に前記予め選択された位置にない場合、前記走査機構を再帰着させる、請求項13に記載の方法。
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