JP2015168827A - スパッタリングカソード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ターゲットTの上方に設けられてターゲットのスパッタ面T1下方に局所的に磁場を発生させる磁場発生手段5と、磁場が発生した領域Mfをターゲットのスパッタ面に沿って走査させる走査手段6とを備えるスパッタリングカソードSCは、走査手段が、単一のモータ61と、モータの出力軸61aに連結される第1回転体62と、第1回転体の下方で出力軸に平行な回転軸66aを回転中心として第1回転体の回転に連動して回転する第2回転体66と、第2回転体の回転中心から偏心した位置に一側が回動自在に連結され、その他側に磁場発生手段が設けられるクランク軸68と、第2回転体の回転に連動する、同一線上での磁場発生手段の往復動をガイドするスライドガイド69bとを備える。
【選択図】図2
Description
Claims (2)
- ターゲットのスパッタ面と背向する側を上とし、当該ターゲットの上方に設けられてターゲットのスパッタ面下方に局所的に磁場を発生させる磁場発生手段と、磁場が発生した領域をターゲットのスパッタ面に沿って走査させる走査手段とを備えるスパッタリングカソードにおいて、
走査手段が、単一のモータと、モータの出力軸に連結される第1回転体と、第1回転体の下方で出力軸に平行な回転軸を回転中心として第1回転体の回転に連動して回転する第2回転体と、第2回転体の回転中心から偏心した位置に一側が回動自在に連結され、その他側に磁場発生手段が設けられる軸体と、第2回転体の回転に連動する、同一線上での磁場発生手段の往復動をガイドするガイド手段とを備えることを特徴とするスパッタリングカソード。 - 前記第1回転体と前記第2回転体との間に設けた減速ギア列を有し、ギア列の出力側のギアが前記回転軸に設けた他のギアに噛合することを特徴とする請求項1記載のスパッタリングカソード。
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