JP2011257330A - 測定装置、測定プログラムおよび測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】少ない回数の測定で被評価回路のビアの種別を適切に判別する。
【解決手段】本願に開示の技術は、一つの様態によれば、情報処理回路５のビア６に電圧を印加する測定装置１である。このような測定装置１は、電圧が印加されたビアに流れる電流の大きさを測定する。そして、測定装置１は、ビアに印加された電圧の強さと測定されたビアに流れる電流の大きさとの関係を用いて、電圧が印加されたビアの種別を判別する。
【選択図】図１

Description

本発明は、測定装置、測定プログラムおよび測定方法に関する。

従来、回路上の任意の箇所に擬似的な故障を発生させ、回路が故障した場合の動作を評価するクリップテストが知られている。このようなクリップテストを実行するクリップテスタは、例えば、被評価回路のビアにＧＮＤ（グランド）と同電位の探針を接触させることでビアの電圧を０Ｖ（ボルト）に固定し、擬似故障を発生させる。そして、クリップテスタは、擬似故障を発生させた被評価回路の動作を評価する。

また、クリップテスタは、被評価回路のビアのうち、電源ビア又はフィードバック端子の電圧を０Ｖに固定した場合には、被評価回路に設置された素子を破壊してしまう場合がある。つまり、被評価回路には、電源ビアとフィードバック端子とロジックビアとが混在しており、クリップテスタが電源ビア又はフィードバック端子をクリップテストの対象とした場合には、回路に設置された素子が破壊されてしまう。このため、クリップテスタは、測定対象のビアの種別を判定し、電源ビアとフィードバック端子とをクリップテストの対象から除外することで、ロジックビアのみをクリップテストの対象とする。

例えば、図１４に示す例では、クリップテスタは、被評価回路であるＰＴ板（プリント板）のＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ａｉｄｅｄ Ｄｅｓｉｇｎ）データを利用して、ＰＴ板が有する各ビアの種別と座標とを判定する。そして、クリップテスタは、電源ビアとフィードバック端子とをクリップテストの対象から除外し、ロジックビアに対してクリップテストを実行する。図１４は、従来のクリップテスタを説明するための図である。

ここで、他社製の回路に対してクリップテストを実行する場合など、クリップテスタが被評価回路のＣＡＤデータを利用できない場合がある。このような場合に、被評価回路のビアの種別を判別するため、被評価回路に設置された電源ラインと各ビアとの間の直流抵抗を用いて、電源ビアを判別する技術が知られている。具体的には、クリップテスタは、被評価回路上に設置された電源ラインと各ビアとの間の直流抵抗をそれぞれ測定する。そして、クリップテスタは、測定された直流抵抗の値が所定の閾値よりも低い場合には、測定対象のビアを電源ビアと判別し、クリップテストの対象から除外する。

特開２００６−０５３０４３号公報

しかしながら、上述した電源ビアを判別する技術では、電源ラインとビアとの間の直流抵抗を用いてビアの種別を判別するので、少ない回数の測定で被評価回路のビアの種別を適切に判別することができないという問題があった。

つまり、上述した電源ビアを判別する技術では、測定された直流抵抗を用いて測定対象のビアが電源ビアか否かを判別するのみで、フィードバック端子とロジックビアとを区別することができない。また、上述した電源ビアを判別する方法では、電源ラインから様々な部品を迂回した電流が測定対象のビアに流れた場合には、測定される直流抵抗の値が低くなるので、フィードバック端子又はロジックビアを電源ビアと誤認してしまう。

また、上述した電源ビアを判別する技術では、被評価回路上に複数の電源が存在する場合には、各電源に係る電源ラインとビアとの間の直流抵抗をそれぞれ測定するので、直流抵抗の測定回数が膨大になるという問題があった。

本願に開示の技術は、上述した問題に鑑みてなされたものであって、少ない回数の測定で被評価回路のビアの種別を適切に判別するという効果を奏する。

本願に開示の技術は、一つの態様によれば、情報処理回路の任意のビアに電圧を印加する測定装置である。また、測定装置は、電圧が印加されたビアに流れる電流の大きさを測定する。そして、測定装置は、印加された電圧の強さと測定された電流の大きさとの関係を用いて、電圧が印加されたビアの種別を判別する。

本願に開示の技術は、一つの態様によれば、少ない回数の測定で被評価回路のビアの種別を適切に判別するという効果を奏する。

図１は、実施例１に係る測定装置を説明するための図である。 図２は、実施例２に係る自動検査装置を説明するためのブロック図である。 図３は、各種ビアについて測定された電圧電流特性の一例を示すための図である。 図４は、電源ビアの電圧電流特性の一例を説明するための図である。 図５は、フィードバック端子の電圧電流特性の一例を説明するための図（１）である。 図６は、フィードバック端子の電圧電流特性の一例を説明するための図（２）である。 図７は、ロジックビアの電圧電流特性の一例を説明するための図である。 図８は、測定フェーズを説明するための図である。 図９は、分離フェーズを説明するための図である。 図１０は、クリップテスト実行フェーズを説明するための図である。 図１１は、各装置の処理の流れを説明するためのフローチャートである。 図１２は、各ビアの種別を判別する処理を説明するためのフローチャートである。 図１３は、測定プログラムを実行するコンピュータを説明するための図である。 図１４は、従来のクリップテスタを説明するための図である。

以下に添付図面を参照して本願に係る測定装置について説明する。

以下の実施例１では、図１を用いて、測定装置の一例を説明する。図１は、実施例１に係る測定装置を説明するための図である。なお、測定装置は、少なくとも情報処理回路における任意の回路部分について電圧電流特性を測定する装置である。

図１に示すように、測定装置１は、電圧印加部２、電流測定部３、判別部４を有する。電圧印加部２は、情報処理回路５のビア６に電圧を印加する。なお、ビア６は、情報処理回路５の全ビアのうち、任意のビアである。電流測定部３は、電圧印加部２によってビア６に電圧が印加された場合には、ビア６に流れる電流の大きさを測定する。判別部４は、電圧印加部２によって印加された電圧の強さと電流測定部３によって測定された電流の大きさとの関係を用いて、ビア６の種別を判別する。つまり、測定装置１は、ビア６の電圧電流特性を測定し、測定された電圧電流特性に基づいて、ビア６の種別を判別する。

例えば、電源ビアには、他の種別のビアよりも大容量のキャパシタが接続されるため、電源ビアに電圧を印加した場合には、他の種別のビアよりも大きな電流が流れる。このため、測定装置１は、大きな電流が流れるビアが電源ビアであると判別することができる。また、フィードバック端子には、抵抗が接続されるため、フィードバック端子に電圧を印加した場合には、印加された電圧の強さと比例する大きさの電流が流れる。このため、測定装置１は、印加した電圧と比例する電流が測定されたビアがフィードバック端子であると判別することができる。

結果として、測定装置１は、ビア６の電圧電流特性を用いて、ビア６の種別を適切に判別することができる。また、測定装置１は、ビア６の電圧電流特性を一度だけ計測すればよく、少ない測定回数でビア６の種別を適切に判別することができる。

以下の実施例２では自動検査装置の一例を説明する。なお、自動検査装置は、少なくとも、回路に設置された任意のビアにおける電圧電流特性を測定する装置である。

図２は、実施例２の自動検査装置を説明するためのブロック図である。図２に示すように、自動検査装置１０は、情報処理装置１６に接続される。また、情報処理装置１６は、クリップテスタ２０と接続される。

被評価回路２３は、複数のビア２４〜２７を有する回路である。ビア２４は、被評価回路２３上の座標（１００、１００）に位置する電源ビアである。ビア２５は、被評価回路２３上の座標（１００、２００）に位置するフィードバック端子である。ビア２６は、被評価回路２３上の座標（１００、３００）に位置するフィードバック端子である。ビア２７は、被評価回路２３上の座標（１００、４００）に位置するロジックビアである。

自動検査装置１０は、被評価回路２３に設置された任意のビアに電圧を印加するとともに、ビアに流れる電流を測定し、印加した電圧の強さと測定した電流の大きさとの関係を示す電圧電流特性のリストを作成する。そして、自動検査装置１０は、電圧電流特性のリストを情報処理装置１６に送信する。

情報処理装置１６は、自動検査装置１０によって測定された電圧電流特性のリストから被評価回路２３に設置された各ビアの種別を判別する。そして、情報処理装置１６は、被評価回路２３に設置された各ビアのうち、ロジックビアであると判別されたビアの位置をクリップテスタ２０に通知する。その後、クリップテスタ２０は、通知された位置に設置されたビアの電圧を強制的に０Ｖ（ボルト）にクランプすることで、擬似故障を発生させる。

以下の説明では、自動検査装置１０、情報処理装置１６、クリップテスタ２０が有する各部についてを説明し、その後、自動検査装置１０、情報処理装置１６、クリップテスタ２０が実行する処理の流れについて説明する。

まず、自動検査装置１０について説明する。図２に示すように、自動検査装置１０は、電圧電流特性計測器１１、プローブ位置通知部１４、プローブ１５を有する。また、電圧電流特性計測器１１は、電圧印加部１２と電流測定部１３とを有する。

プローブ１５は、被評価回路２３における任意の回路部分に接触することで、電圧電流特性計測器１１と被評価回路２３における任意の回路部分とを接続する。例えば、プローブ１５は、被評価回路２３の各ビア２４〜２７に接触することで、各ビア２４〜２７と電圧電流特性計測器１１とを接続する。

プローブ位置通知部１４は、被評価回路２３のクランプ対象となる全ての箇所のうち、プローブ１５が接触した位置を示す座標を電圧印加部１２に通知する。例えば、プローブ位置通知部１４は、被評価回路２３のビア２４にプローブ１５が接触した場合には、ビア２４の位置を示す座標（１００、１００）を電圧印加部１２に通知する。

電圧印加部１２は、被評価回路２３の任意のビアに電圧を変化させながら印加する。具体的には、電圧印加部１２は、プローブ１５が接触したビアの位置を示す座標をプローブ位置通知部１４から通知された場合には、プローブ１５を介して、プローブ１５が接触したビアに電圧を変化させながら印加する。例えば、電圧印加部１２は、電圧の値「−１．２Ｖ」、「１．２Ｖ」、「−１．２Ｖ」と、電圧の強さを往復するように変化させながら印加する。

そして、電圧印加部１２は、ビアの座標と印加した電圧の値とを対応付けて格納する電圧リストを作成し、ビアに電圧を印加する度にビアの座標と印加した電圧の値とを対応付けて電圧リストに格納する。その後、電圧印加部１２は、被評価回路２３の全てのビアに対して電圧を印加した場合には、電圧リストを情報処理装置１６の判別部１７へ送信する。

例えば、電圧印加部１２は、ビア２４の位置を示す座標（１００、１００）をプローブ位置通知部１４から通知された場合は、プローブ１５を介して、ビア２４に「−１．２Ｖ」、「１．２Ｖ」、「−１．２Ｖ」と、往復するように変化させながら電圧を印加する。そして、電圧印加部１２は、ビア２４の位置を示す座標（１００、１００）と、往復するように変化させながら印加した電圧の値−１．２Ｖ〜１．２Ｖとを対応付けて電圧リストに格納する。

また、電圧印加部１２は、ビア２５の位置を示す座標（１００、２００）をプローブ位置通知部１４から通知された場合には、プローブ１５を介して、ビア２５に「−１．２Ｖ」、「１．２Ｖ」、「−１．２Ｖ」と、往復するように変化させながら電圧を印加する。そして、電圧印加部１２は、ビア２５の位置を示す座標（１００、２００）と、往復するように変化させながら印加した電圧の値―１．２Ｖ〜１．２Ｖとを対応付けて電圧リストに格納する。

また、電圧印加部１２は、ビア２６の位置を示す座標（１００、３００）をプローブ位置通知部１４から通知された場合には、プローブ１５を介して、ビア２６に「−１．２Ｖ」、「１．２Ｖ」、「−１．２Ｖ」と、往復するように変化させながら電圧を印加する。そして、電圧印加部１２は、ビア２６の位置を示す座標（１００、３００）と、往復するように変化させながら印加した電圧の値―１．２Ｖ〜１．２Ｖとを対応付けて電圧リストに格納する。

また、電圧印加部１２は、ビア２７の位置を示す座標（１００、４００）をプローブ位置通知部１４から通知された場合には、プローブ１５を介して、ビア２７に「−１．２Ｖ」、「１．２Ｖ」、「−１．２Ｖ」と、往復するように変化させながら電圧を印加する。そして、電圧印加部１２は、ビア２７の位置を示す座標（１００、４００）と、往復するように変化させながら印加した電圧の値―１．２Ｖ〜１．２Ｖとを対応付けて電圧リストに格納する。

その後、電圧印加部１２は、被評価回路２３の全てのビア２４〜２７に電圧を印加した場合には、各ビア２４〜２７の座標と各ビア２４〜２７に印加した電圧の値とを対応付けて格納した電圧リストを情報処理装置１６の判別部１７へ送信する。

電流測定部１３は、電圧印加部１２が任意のビアに電圧を変化させながら印加した場合には、電圧が印加されたビアに流れる電流の大きさの変化を測定する。具体的には、電流測定部１３は、プローブ１５がビア２４〜２７のいずれかに接触した場合には、プローブ１５を介して、プローブ１５が接触しているビアに流れる電流の電流値を測定する。つまり、電流測定部１３は、電圧印加部１２によって電圧が印加されたビアに流れる電流の電流値を測定する。

また、電流測定部１３は、測定された電流値を格納する電流リストを作成し、電流値を測定する度に、測定された電流値を電流リストに格納する。その後、電流測定部１３は、被評価回路２３が有する全てのビア２４〜２７について電流値を測定した場合には、各ビア２４〜２７について測定された電流値を格納したリ電流リストを情報処理装置１６の判別部１７へ送信する。

例えば、電流測定部１３は、プローブ１５がビア２４に接触している場合には、ビア２４に流れる電流値を測定し、測定された電流値を電流リストに格納する。また、電流測定部１３は、プローブ１５がビア２５に接触している場合には、ビア２５に流れる電流値を測定し、測定された電流値を電流リストに格納する。

また、電流測定部１３は、プローブ１５がビア２６に接触している場合には、ビア２６に流れる電流値を測定し、測定された電流値を電流リストに格納する。また、電流測定部１３は、プローブ１５がビア２７に接触している場合には、ビア２７に流れる電流値を測定し、測定された電流値を電流リストに格納する。その後、電流測定部１３は、各ビア２４〜２７について測定された電流値を格納した電流リストを後述する情報処理装置１６の判別部１７へ送信する。

このように、電圧電流特性計測器１１は、各ビア２４〜２７に電圧を印加し、印加された電圧を起因として流れる電流を測定することによって、各ビア２４〜２７の電圧電流特性を測定する。そして、電圧電流特性計測器１１は、各ビア２４〜２７の電圧電流特性と各ビア２４〜２７の位置を示す座標とを情報処理装置１６へ送信する。

次に、情報処理装置１６の各部について説明する。情報処理装置１６は、判別部１７と条件記憶部１８とを有する。条件記憶部１８は、ビアの種別を判別するための条件を複数記憶する。具体的には、条件記憶部１８は、ビアを電源ビアであると判別するための条件と、ビアをフィードバック端子であると判別するための条件とを記憶する。

ここで、条件記憶部１８が記憶する条件について説明する。例えば、条件記憶部１８は、自動検査装置１０があらかじめ測定した各種ビアの電圧電流特性に基づく条件を記憶する。つまり、条件記憶部１８は、経験値に基づく条件を記憶する。この条件の例としては、例えば、あらかじめ測定された電源ビアの電圧電流特性とフィードバック端子の電圧電流特性とロジックビアの電圧電流特性とに基づいて利用者が設定した判別式である。

ここで、図３を用いて、各種ビアの電圧電流特性に基づく判別式の例を説明する。図３は、種別が判別されたビアの電圧電流特性の例である。例えば、図３の「電源ビアの例１」に示すグラフ及び「電源ビアの例２」に示すグラフの例では、フィードバック端子又はロジックビアよりも大きな電流が流れている。つまり、電源ビアには、電圧ビアに接続されたキャパシタに電流が流れ込むので、フィードバック端子又はロジックビアよりも大きな電流が流れる。

このため、条件記憶部１８は、フィードバック端子又はロジックビアに流れる電流よりも大きな電流が流れるか否かを判別するための判別式を電源ビアと判別するための条件として記憶する。例えば、条件記憶部１８は、電源ビアであると判別するための判別式として、「Ｉａ（Ｖａ＝−１Ｖ）≦−２９０ｍＡ ｏｒ Ｉａ（Ｖａ＝０．２Ｖ）≧１ｍＡ」を記憶する。

ここで、「Ｉａ（Ｖａ＝ｘＶ）」とは、「ｘＶの電圧を印加したときに測定された電流の大きさ」を示す。つまり、判別式「Ｉａ（ｘ＝−１Ｖ）≦−２９０ｍＡ」とは、「−１Ｖの電圧が印加されたときに−２９０ｍＡ以下の電流が流れるか否か」という条件を示す。また、判別式「Ｉａ（Ｖａ＝０．２Ｖ）≧１ｍＡ」とは、「０．２Ｖの電圧が印加されたときに１ｍＡ以上の電流が流れるか否か」という条件を示す。これらの条件を示す判別式が「ｏｒ」で接続されているため、後述する判別部１７は、測定された電圧電流特性が判別式が示すいずれかの条件を満たす場合には、ビアを電源ビアであると判別する。

また、図３の「フィードバック端子の例１」に示すグラフ及び「フィードバック端子の例２」に示すグラフの例では、電源ビア及びロジックビアと異なり、印加された電圧に比例する電流が流れる。つまり、フィードバック端子では、フィードバック端子の抵抗因子を起因として、印加された電圧に比例する電流が流れる。

このため、条件記憶部１８は、測定された電圧電流特性が線形性を有するか否かを判別するための判別式をフィードバック端子と判別するための条件として記憶する。例えば、条件記憶部は、フィードバック端子であると判別するための第一判別式として「Ｉａ（Ｖａ＝０．２Ｖ）≧２０μＡ ａｎｄ Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）≧Ｉａ（Ｖａ＝０．２Ｖ）×３ ａｎｄ Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）≦Ｉａ（Ｖａ＝０．２Ｖ）×７」を記憶する。ここで、「Ｉａ（Ｖａ＝０．２Ｖ）≧２０μＡ」とは、「０．２Ｖの電圧が印加されたときに２０μＡ以上の電流が流れるか否か」という条件を示す。

また、「Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）≧Ｉａ（Ｖａ＝０．２Ｖ）×３」とは、「１Ｖの電圧が印加されたときに０．２Ｖの電圧が印加されれたときの３倍以上の電流が流れるか否か」という条件を示す。また、「Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）≦Ｉａ（Ｖａ＝０．２Ｖ）×７」とは「１Ｖの電圧が印加されたときに０．２Ｖの電圧が印加されたときの７倍以下の電流が流れるか否か」という条件を示す。これらの条件を示す判別式が「ａｎｄ」で接続されているため、後述する判別部１７は、測定された電圧電流特性が、第一判別式が示す全ての条件を満たす場合には、ビアをフィードバック端子であると判別する。

また、条件記憶部１８は、フィードバック端子であると判別する第二判別式として「Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）≧５０μＡ ａｎｄ Ｉａ（Ｖａ＝−１Ｖ）≦Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）×−０．８ ａｎｄ Ｉａ（Ｖａ＝−１Ｖ）≧Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）×−１．２」を記憶する。ここで、「Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）≧５０μＡ」とは、「１Ｖの電圧が印加されたときに５０μＡ以上の電流が流れるか否か」という条件を示す。

また、「Ｉａ（Ｖａ＝−１Ｖ）≦Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）×−０．８」とは、「−１Ｖの電圧が印加されたときに１Ｖの電圧が印加されれたときの−０．８倍以下の電流が流れるか否か」という条件を示す。また、「Ｉａ（Ｖａ＝−１Ｖ）≧Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）×−１．２」とは「−１Ｖの電圧が印加されたときに１Ｖの電圧が印加されたときの−１．２倍以上の電流が流れるか否か」という条件を示す。後述する判別部１７は、第二判別式が示す全ての条件を測定された電圧電流特性が満たすと判定した場合には、ビアをフィードバック端子であると判別する。

また、図３の「ロジックビアの例１」に示すグラフ及び「ロジックビアの例２」に示すグラフの例では、電源ビアほど大きな電流が測定されておらず、また、フィードバック端子のように比例する電圧電流特性も測定されていない。このため、条件記憶部１８は、ロジックビアと判別するための条件を示す判別式を記憶しないものとし、後述する判別部１７は、測定されたビアが各ビアを識別するための条件を満たさないビアをロジックビアと判別するものとした。

図２に戻って、判別部１７は、電圧印加部１２によって印加された電圧の強さと電流測定部１３によって測定された電流の大きさとの関係を用いて、電圧印加部１２によって電圧が印加されたビアの種別を判別する。そして、判別部１７は、電流測定部１３によって測定された電流の大きさの変化が、電圧印加部１２によって印加された電圧の強さに対して線形性を有する場合には、電圧印加部１２によって電圧が印加されたビアをフィードバック端子であると判別する。

また、判別部１７は、電圧印加部１２によって被評価回路２３のビアに所定の電圧が印加された際に電流測定部１３によって測定された電流の大きさが所定の閾値を越えた場合には、電圧が印加されたビアが電源ビアであると判別する。

具体的には、判別部１７は、電圧印加部１２が作成した電圧リストと電流測定部１３によって作成された電流リストとを取得する。そして、判別部１７は、取得された電圧リストと電流リストとから各ビア２４〜２７の電圧電流特性を取得する。また、判別部１７は、条件記憶部１８に記憶された電源ビアと判別するための判別式及びフィードバック端子と判別するための判別式とを取得する。

また、判別部１７は、取得された各ビア２４〜２７の電圧電流特性が電源ビアと判別するための判別式を満たすか否かを判定する。そして、判別部１７は、測定された各ビア２４〜２７の電圧電流特性が電源ビアと判別するための判別式を満たすと判定した場合には、ビアを電圧ビアであると判定する。判別部１７は、ビアを電圧ビアであると判定した場合には、電圧ビアであると判別されたビアの位置を示す座標を破棄する。

また、判別部１７は、測定された各ビア２４〜２７の電圧電流特性が電源ビアと判別するための判別式を満たさないと判定した場合には、測定された電圧電流特性がフィードバック端子と判別するための第一判別式を満たすか否かを判定する。そして、判別部１７は、測定された電圧電流特性がフィードバック端子と判別するための第一判別式を満たすと判定した場合には、ビアをフィードバック端子であると判定する。

また、判別部１７は、測定された電圧電流特性がフィードバック端子と判別するための第一判別式を満たさないと判定した場合には、測定された電圧電流特性がフィードバック端子と判別するための第二判別式を満たすか否かを判定する。そして、判別部１７は、測定された電圧電流特性がフィードバック端子と判別するための第二判別式を満たすと判定した場合には、ビアをフィードバック端子であると判定する。その後、判別部１７は、ビアをフィードバック端子であると判定した場合には、フィードバック端子であると判別されたビアの位置を示す座標を破棄する。

また、判別部１７は、測定された電圧電流特性がフィードバック端子と判別するための第二判別式を満たさないと判定した場合には、ビアをロジックビアであると判定する。その後、判別部１７は、ロジックビアであると判別されたビアの位置を示す座標を格納する座標リストを作成し、ビアがロジックビアであると判別する度に、ロジックビアであると判別されたビアの位置を示す座標を座標リストに格納する。そして、判別部１７は、座標リストを情報処理装置１６に送信する。

以下、判別部１７が実行する処理の具体例を説明する。例えば、判別部１７は、電圧リストと電流リストとから電圧印加部１２が電圧を印加したビア２４の座標（１００、１００）と、図４に例示するビア２４の電圧電流特性とを取得する。図４は、電源ビアの電圧電流特性の一例を説明するための図である。

ここで、図４に示す例では、電圧印加部１２が−１Ｖの電圧を印加した場合に、電流測定部１３によって−２９０ｍＡ以下の電流が測定されている。また、図４に示す例では、電圧印加部１２が０．２Ｖの電圧を印加した場合に、電流測定部１３によって１ｍＡ以上の電流が測定されている。

このため、図４に示す例では、判別部１７は、ビア２４の電圧電流特性が判別式「Ｉａ（Ｖａ＝−１Ｖ）≦−２９０ｍＡ ｏｒ Ｉａ（Ｖａ＝０．２Ｖ）≧１ｍＡ」を満たすと判定する。この結果、判別部１７は、座標（１００、１００）のビア２４が電源ビアであると判別する。そして、判別部１７は、ビア２４の座標を破棄し、クリップテストの対象から除外する。

また、判別部１７は、電圧印加部１２が電圧を印加したビア２５の座標（１００、２００）と、図５に例示するビア２５の電圧電流特性とを取得する。図５は、電源ビアの電圧電流特性の一例を説明するための図である。

ここで、図５に示す例では、電圧印加部１２が−１Ｖの電圧を印加した場合に、電流測定部１３によって０Ａの電流が測定され、０．２Ｖの電圧を印加した場合に、電流測定部１３によって２０μＡの電流が測定されている。結果として、図５に示す例では、判別部１７は、ビア２５の電圧電流特性が判別式「Ｉａ（Ｖａ＝−１Ｖ）≦−２９０ｍＡ ｏｒ Ｉａ（Ｖａ＝０．２Ｖ）≧１ｍＡ」を満たさないと判定する。

このため、判別部１７は、ビア２５の電圧電流特性が判別式「Ｉａ（Ｖａ＝０．２Ｖ）≧２０μＡ ａｎｄ Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）≧Ｉａ（Ｖａ＝０．２Ｖ）×３ ａｎｄ Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）≦Ｉａ（Ｖａ＝０．２Ｖ）×７」を満たすか否かを判定する。図５に示す例では、電圧印加部１２が１Ｖの電圧を印加した場合に、１００μＡの電流が測定されている。つまり、電圧印加部１２が０．２Ｖの電圧を印加した時の５倍の電流が測定されている。

このため、判別部１７は、ビア２５の電圧電流特性がフィードバック端子であると判定するための第一判別式を満たすと判定する。この結果、判別部１７は、座標（１００、２００）のビア２５がフィードバック端子であると判別する。そして、判別部１７は、ビア２５の座標を破棄し、クリップテストの対象から除外する。

また、判別部１７は、電圧印加部１２が電圧を印加したビア２６の座標（１００、３００）と、図６に例示するビア２６の電圧電流特性とを取得する。図６は、フィードバック端子の電圧電流特性の一例を説明するための図（２）である。

ここで、図６に示す例では、電圧印加部１２が１Ｖの電圧を印加した場合に、電流測定部１３によって５０μＡの電流が測定されている。また、図６に示す例では、電圧印加部１２が−１Ｖの電圧を印加した場合に、−４５μＡの電流が測定されている。つまり、電圧印加部１２が１Ｖの電圧を印加した時の−０．９倍の電流が測定されている。

このため、図６に示す例では、判別部１７は、ビア２６の電圧電流特性が電源ビアであると判定するための判別式及びフィードバック端子であると判定するための第一判別式を満たさないと判定する。そして、判別部１７は、ビア２６の電圧電流特性が判別式「Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）≧５０μＡ ａｎｄ Ｉａ（Ｖａ＝−１Ｖ）≦Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）×−０．８ ａｎｄ Ｉａ（Ｖａ＝−１Ｖ）≧Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）×−１．２」を満たすか否かを判定する。

図６に示す例では、電圧印加部１２が１Ｖの電圧を印加した場合に、電流測定部１３によって５０μＡの電流が測定され、電圧印加部１２が−１Ｖの電圧を印加した場合に−４５μＡの電流が測定されている。つまり、図６に示す例では、電圧印加部１２が−１Ｖの電圧を印加した場合に、電圧印加部１２が１Ｖの電圧を印加した時の−０．９倍の電流が測定されている。このため、判別部１７は、ビア２６の電圧電流特性がフィードバック端子であると判定するための第二判別式を満たすと判定する。

この結果、判別部１７は、座標（１００、３００）のビア２６がフィードバック端子であると判別する。そして、判別部１７は、ビア２６の座標を破棄し、クリップテストの対象から除外する。

また、判別部１７は、電圧印加部１２が電圧を印加したビア２７の座標（１００、４００）と、図７に例示するビア２７の電圧電流特性とを取得する。図７は、ロジックビアの電圧電流特性の一例を説明するための図である。

ここで、判別部１７は、電圧印加部１２が−１Ｖの電圧を印加した場合に電流測定部１３によって−０．０５Ａの電流が測定され、電圧印加部１２が０Ｖ以上の電圧を印加した場合に０Ｖの電流が測定されている。このため、判別部１７は、ビア２７の電圧電流特性が条件記憶部１８に記憶された各判別式を満たさないと判定する。

この結果、判別部１７は、ビア２７がロジックビアであると判別し、ロジックビアであると判別されたビア２７の位置を示す座標（１００、４００）を座標リストに格納する。その後、判別部１７は、被評価回路２３の全てのビアについてビアの種別を判別したので、座標リストをクリップテスト実行部２１へ送信する。

このように、情報処理装置１６は、電圧電流特性を用いて、ビアの種別を適切に判別することができる。また、情報処理装置１６は、種別が判別されたビアのうち、ロジックビアの座標のみをクリップテスタ２０へ送信する。このため、情報処理装置１６は、電源ビアとフィードバック端子とをクリップテストの対象から除外することができる。

次に、クリップテスタ２０の各部について説明する。クリップテスト実行部２１は、被評価回路２３が有する各ビア２４〜２７のうち、電源ビアとフィードバック端子とをクリップテストの対象から外し、ロジックビアのみに対して、クリップテストを実行する。

具体的には、クリップテスト実行部２１は、ロジックビアの位置を示す座標が格納された座標リストを判別部１７から取得する。そして、クリップテスト実行部２１は、取得した座標リストの座標に位置するロジックビアに対して、後述する探針２２を接触させ、クリップテストを実行する。

例えば、クリップテスト実行部２１は、座標（１００、４００）が格納された座標リストを判別部１７から取得する。そして、クリップテスト実行部２１は、座標（１００、４００）に位置するロジックビア（ビア２７）に対して、探針２２を接触させ、クリップテストを実行する。

探針２２は、被評価回路２３の任意の回路部分に接触し、接触した回路部分の電位を強制的に０Ｖに固定することで、擬似的な故障を発生させる。例えば、探針２２は、被評価回路２３のビア２７に接触し、ビア２７の電位を０Ｖに固定することで、擬似的な故障を発生させる。

例えば、電圧電流特性計測器１１、電圧印加部１２、電流測定部１３、プローブ位置通知部１４、情報処理装置１６、判別部１７、クリップテスト実行部２１とは、電子回路である。ここで、電子回路の例として、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）やＦＰＧＡ （Field Programmable Gate Array）などの集積回路、またはＣＰＵ（Central Processing Unit）やＭＰＵ（Micro Processing Unit）などを適用する。

また、条件記憶部１８とは、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、フラッシュメモリ （flash memory）などの半導体メモリ素子、または、ハードディスク、光ディスクなどの記憶装置である。

次に、図８〜図１０を用いて、実施例２の自動検査装置１０、情報処理装置１６及びクリップテスタ２０が実行する処理の流れについて説明する。図８は、測定フェーズを説明するための図である。図９は、分離フェーズを説明するための図である。図１０は、クリップテスト実行フェーズを説明するための図である。図８〜図１０に示すように、自動検査装置１０が測定フェーズでの処理を実行し、情報処理装置１６が分離フェーズでの処理を実行し、クリップテスタ２０がクリップテスト実行フェーズでの処理を実行する。

まず、図８を用いて、自動検査装置１０が実行する処理のうち、測定フェーズについて説明する。自動検査装置１０は、測定フェーズとして、クランプ対象の全ポイントの電圧電流特性を測定する。つまり、自動検査装置１０は、被評価回路２３の各ビア２４〜２７の電圧電流特性をそれぞれ測定する。そして、自動検査装置１０は、各ビア２４〜２７の電圧電流特性の測定結果リストを作成する。その後、自動検査装置１０は、作成した測定結果リストを情報処理装置１６に送信し、測定フェーズを終了する。

次に、図９を用いて、情報処理装置１６が実行する分離フェーズについて説明する。分離フェーズでは、情報処理装置１６は、経験値に基づいた条件を示す判別式を用いて、クランプ対象外のビアを分離する。例えば、情報処理装置１６は、自動検査装置１０から測定結果リストを受信する。そして、情報処理装置１６は、測定結果リストに含まれる各ビア２４〜２７の電圧電流特性が各種ビアの種別を判別するための判別式を満たすか否かをプログラムによって判定する。そして、情報処理装置１６は、クランプ可能な座標のリストを出力する。

つまり、情報処理装置１６は、電源ビアの座標とフィードバック端子の座標とを除外し、ロジックビアの座標のみを出力する。その後、情報処理装置１６は、出力したリストをクリップテスタ２０へ送信し、クリップテスト実行フェーズを終了する。

ここで、経験値に基づいた条件とは、あらかじめ測定された各種ビアの電圧電流特性に基づく条件である。例えば、自動検査装置１０は、あらかじめ種別が判別された複数のビアに−３Ｖ〜３Ｖの電圧を往復するように印加し、電圧電流特性を測定する。そして、条件記憶部１８は、測定された電圧電流特性に基づいて利用者が設定した条件を示す判別式を記憶する。

次に、図１０を用いて、クリップテスタ２０が実行するクリップテスト実行フェーズについて説明する。まず、クリップテスタ２０は、情報処理装置１６からクランプ可能な座標のリストを受信する。そして、クリップテスタ２０は、受信されたリストに含まれる座標に対して、クリップテストを実行する。

つまり、クリップテスタ２０は、クランプ対象であるロジックビアのみに対して、クリップテストを実行する。例えば、図１０に示す例では、クリップテスタ２０は、被評価回路２３が有するビアのうち座標（１００、４００）に位置するロジックビア２７に対してのみクリップテストを実行する。

このように、自動検査装置１０は、被評価回路２３が有する各ビア２４〜２７の電圧電流特性を測定する。また、情報処理装置１６は、測定された各ビア２４〜２７の電圧電流特性を用いて、各ビアの種別を判別する。このため、クリップテスタ２０は、各ビア２４〜２７のうち情報処理装置１６によってロジックビアであると判別されたビア２７のみをクランプの対象とすることができる。

［各装置の処理の流れ］
次に、図１１を用いて、自動検査装置１０、情報処理装置１６が実行する処理の流れを説明する。図１１は、各装置の処理の流れを説明するためのフローチャートである。自動検査装置１０は、被評価回路２３が有するビアを判別させる命令を利用者から受けたことをトリガとして、処理を開始する。

まず、自動検査装置１０は、プローブ１５を電圧電流特性の測定対象となるビアまで移動させる（ステップＳ１０１）。次に、自動検査装置１０は、プローブ１５を用いて、ビアに電圧を印加する（ステップＳ１０２）。そして、自動検査装置１０は、電圧を印加したビアに流れた電流を測定する（ステップＳ１０３）。

次に、自動検査装置１０は、被評価回路２３が有する全てのビアについて電圧電流特性を測定したか否かを判定する（ステップＳ１０４）。自動検査装置１０は、被評価回路２３が有する全てのビアについて電圧電流特性を測定していないと判定した場合には（ステップＳ１０４否定）、プローブ１５を次に測定するビアまで移動させる（ステップＳ１０１）。また、自動検査装置１０は、被評価回路２３が有する全てのビアについて電圧電流特性を測定したと判定した場合には（ステップＳ１０４肯定）、測定した各ビアの電圧電流特性を情報処理装置１６へ送信する（ステップＳ１０５）。

次に、情報処理装置１６は、自動検査装置１０が測定した各ビアの電圧電流特性を受信した場合には、測定された各ビアの電圧電流特性を用いて、各ビアの種別を判別する処理を実行する（ステップＳ１０６）。次に、情報処理装置１６は、ロジックビアと判別されたビアの位置をクリップテスタ２０へ通知する（ステップＳ１０７）。その後、情報処理装置１６は、処理を終了する。

次に、図１２を用いて、情報処理装置１６が各ビアの種別を判別する処理について説明する。図１２は、各ビアの種別を判別する処理を説明するためのフローチャートである。

まず、情報処理装置１６は、全てのビアの種別を判別したか否かを判定する（ステップＳ２０１）。次に、情報処理装置１６は、全てのビアの種別を判定していないと判定した場合には（ステップＳ２０１否定）、電源ビアであると判別するための条件を測定された電圧電流特性が満たすか否かを判別する（ステップＳ２０２）。

つまり、情報処理装置１６は、判別式「Ｉａ（Ｖａ＝−１Ｖ）≦−２９０ｍＡ ｏｒ Ｉａ（Ｖａ＝０．２Ｖ）≧１ｍＡ」を電圧電流特性が満たすか否かを判定する。そして、情報処理装置１６は、電源ビアであると判別するための判別式を測定された電圧電流特性が満たすと判定した場合には（ステップＳ２０２肯定）、ビアを電源ビアであると判定し、クリップテストの対象外とする（ステップＳ２０３）。

また、情報処理装置１６は、電源ビアであると判別するための判別式を電圧電流特性が満たさないと判定した場合には（ステップＳ２０２否定）、フィードバック端子であると判別するための第一判別式を満たすか否かを判定する（ステップＳ２０４）。

つまり、情報処理装置１６は、判別式「Ｉａ（Ｖａ＝０．２Ｖ）≧２０μＡ ａｎｄ Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）≧Ｉａ（Ｖａ＝０．２Ｖ）×３ ａｎｄ Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）≦Ｉａ（Ｖａ＝０．２Ｖ）×７」を電圧電流特性が満たすか否かを判定する。そして、情報処理装置１６は、フィードバック端子であると判別するための第一判別式を電圧電流特性が満たすと判定した場合には（ステップＳ２０４肯定）、ビアをフィードバック端子であると判別し、クリップテストの対象外とする（ステップＳ２０５）。

また、情報処理装置１６は、ステップＳ２０４の条件を電圧電流特性が満たさないと判定した場合には（ステップＳ２０４否定）、フィードバック端子であると判別するための第二判別式を電圧電流特性が満たすか否かを判定する（ステップＳ２０６）。

つまり、情報処理装置１６は、判別式「Ｉａ（Ｖａ＝１Ｖ）≧５０μＡ ａｎｄ Ｉａ（Ｖａ＝−１Ｖ）≦Ｉａ（Ｖａ＝＋１Ｖ）×−０．８ ａｎｄ Ｉａ（Ｖａ＝−１Ｖ）≧Ｉａ（Ｖａ＝＋１Ｖ）×−１．２」を電圧電流特性が満たすか否かを判定する。そして、情報処理装置１６は、フィードバック端子であると判別するための第二判別式を電圧電流特性が満たすと判定した場合には（ステップＳ２０６肯定）、ビアをフィードバック端子であると判別し、クリップテストの対象外とする（ステップＳ２０５）。

また、情報処理装置１６は、ステップＳ２０６の条件を電圧電流特性が満たさないと判定した場合には（ステップＳ２０６否定）、ビアをロジックビアであると判別し、ビアの位置を示す座標をクランプ可能座標リストに追加する（ステップＳ２０７）。

次に、情報処理装置１６は、全ビアの種別を判別したか否かを判定する（ステップＳ２０８）。そして、情報処理装置１６は、全ビアの種別を判別したと判定した場合には（ステップＳ２０８肯定）、処理を終了する。また、情報処理装置１６は、全ビアの種別を判別していないと判定した場合には（ステップＳ２０８否定）、種別を判別していないビアの電圧電流特性が電源ビアと判別するための条件を満たすか否かを判定する（ステップＳ２０２）。

[実施例２の効果]
上述したように、実施例２の自動検査装置１０と情報処理装置１６とは、被評価回路２３の各ビア２４〜２７の電圧電流特性を測定し、測定された電圧電流特性を用いて、各ビア２４〜２７の種別を判別する。このため、自動検査装置１０と情報処理装置１６とは、１度の測定処理でビアの種別を適切に判別することができる。

例えば、自動検査装置１０と情報処理装置１６とは、ビアの電圧電流特性を用いてビアの種別を判別するので、フィードバック端子とロジックビアとを判別することができる。また、自動検査装置１０と情報処理装置１６とは、ビアの電圧電流特性を用いてビアの種別を判別するので、電源ビアと他の種別のビアとを誤認することなく、適切にビアの種別を判別することができる。

また、情報処理装置１６とは、電圧電流特性が線形であるか否かを判定することによってビアがフィードバック端子であるか否かを判別する。また、情報処理装置１６は、所定の電圧を印加した時に流れた電流の大きさに応じて、ビアが電源ビアであるか否かを判別する。このため、情報処理装置１６は、電源ビアとフィードバック端子とロジックビアとを誤認することなく適切に判別することができる。

これまで本発明の実施例について説明したが実施例は、上述した実施例以外にも様々な異なる形態にて実施されてよいものである。そこで、以下では実施例３として本発明に含まれる他の実施例を説明する。

（１）自動検査装置と情報処理装置との関係
上述した実施例２の自動検査装置１０と情報処理装置１６とは、別個の装置であったが、実施例はこれに限定されるものではなく、例えば、自動検査装置は情報処理装置の各部を有する自動検査装置であってもよい。また、自動検査装置と情報処理装置とを有するクリップテスタとして実施されてもよい。このような場合には、電圧電流特性を測定するためのプローブとクリップテストを実行するための探針とは共用のプローブ又は探針であってもよい。

（２）各種ビアと判別するための条件について
上述した実施例２では、各種ビアを判別するための条件の例として、複数の判別式について説明したが、実施例はこれに限定されるものではない。例えば、ＣＡＤデータ等によってあらかじめ種別が判別された複数のビアの電圧電流特性を測定し、各種別のビアについて測定された電圧電流特性に基づいて、異なる条件を算出してもよい。例えば、判別式のみならず、閾値を条件として用いても良い。

つまり、電圧電流特性の測定時間や、印加する電圧の範囲が異なる場合には、同一のビアについて異なる測定結果が得られる場合がある。このため、あらかじめ種別が判別されたビアの電圧電流特性を測定する際の測定時間に応じて、異なる条件を算出してもよい。

（３）印加される電圧の強さについて
上述した実施例２では、ビアの種別を判別するために−１．２Ｖ〜１．２Ｖの電圧が印加された。しかし、実施例はこれに限定されるものではなく、回路に応じて異なる範囲の電圧を印加してもよい。

（４）電圧電流特性を測定する位置について
上述した実施例では、ビアの電圧電流特性を測定したが、実施例は、これに限定されるものではなく、例えば、ビアに接続される端子部分、ボンディングワイヤなどの、被評価回路上の任意の回路部分について電圧電流特性を測定してもよい。

（５）プログラム
ところで、実施例１の測定装置、および実施例２の自動検査装置と情報処理装置とは、ハードウェアを利用して各種の処理を実現する場合を説明した。しかし、実施例はこれに限定されるものではなく、あらかじめ用意されたプログラムを測定装置、自動検査装置、又は、クリップテスタが有するコンピュータで実行することによって実現するようにしてもよい。そこで、以下では、図１３を用いて、実施例１に示した測定装置と同様の機能を有するプログラムを実行するコンピュータの一例を説明する。図１３は、測定プログラムを実行するコンピュータの一例を説明するための図である。

図１３に例示されたコンピュータ２００は、ＲＡＭ（Random Access Memory）１２０、ＲＯＭ（Read Only Memory）１３０、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）１５０がバス１８０で接続される。また、図１３に例示されたコンピュータ２００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１４０がバス１８０で接続される。さらにバス１８０には、ビアに電圧を印加するためのプローブと接続されるＩ／Ｏ（Input Output）１６０と、ビアに流れる電流の大きさを測定するためのプローブと接続されるＩ／Ｏ１７０とが接続される。

ＲＯＭ１３０には、電圧印加プログラム１３１、電流測定プログラム１３２、判別プログラム１３３があらかじめ保持される。ＣＰＵ１４０が各プログラム１３１〜１３３をＲＯＭ１３０から読み出して実行することによって、図１３に示す例では、各プログラム１３１〜１３３は、電圧印加プロセス１４１、電流測定プロセス１４２、判別プロセス１４３として機能するようになる。なお、各プロセス１４１〜１４３は、図１に示した各部２〜４と同様の機能を発揮する。また、各プロセス１４１〜１４５は、実施例２の各部と同等の機能を発揮するようにすることも可能である。

なお、本実施例で説明した測定プログラムは、あらかじめ用意されたプログラムをパーソナルコンピュータやワークステーションなどのコンピュータで実行することによって実現することができる。このプログラムは、インターネットなどのネットワークを介して配布することができる。また、このプログラムは、ハードディスク、フレキシブルディスク（ＦＤ）、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc Read Only Memory）、ＭＯ（Magneto Optical Disc）、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）などのコンピュータで読取可能な記録媒体に記録される。また、このプログラムは、コンピュータによって記録媒体から読み出されることによって実行することもできる。

１ 測定装置
２ 電圧印加部
３ 電流測定部
４ 判別部
１０ 自動検査装置
１１ 電圧電流特性計測器
１２ 電圧印加部
１３ 電流測定部
１６ 情報処理装置
１７ 判別部
２０ クリップテスタ
２３ 被評価回路
２４〜２７ ビア

Claims (7)

1. 回路における任意のビアに電圧を印加する電圧印加部と、
   前記電圧印加部によって前記ビアに電圧が印加された場合に、当該ビアに流れる電流の大きさを測定する電流測定部と、
   前記電圧印加部によって印加された電圧の強さと前記電流測定部によって測定された電流の大きさとの関係を用いて、前記電圧印加部によって電圧が印加されたビアの種別を判別する判別部と
   を有することを特徴とする測定装置。
2. 前記判別部は、前記電圧印加部によって前記任意のビアに所定の電圧が印加された際に、前記電流測定部によって測定された電流の大きさが所定の閾値を超えた場合には、当該ビアが電源ビアであると判別することを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
3. 前記電圧印加部は、前記任意のビアに電圧を変化させながら印加し、
   前記電流測定部は、電圧印加部が前記任意のビアに電圧を変化させながら印加した場合に、当該ビアに流れる電流の大きさの変化を測定し、
   前記判別部は、前記電流測定部によって測定された電流の大きさの変化が、前記電圧印加部によって印加された電圧の強さに対して線形性を有する場合には、前記電圧印加部によって電圧が印加されたビアをフィードバック端子に係るビアであると判別することを特徴とする請求項１又は２に記載の測定装置。
4. 前記判別部は、前記電圧印加部によって前記任意のビアに対して−１Ｖの電圧が印加された際に前記電流測定部によって−２９０ｍＡ以下の電流が測定された場合、又は、前記電圧印加部によって０．２Ｖの電圧が印加された際に前記電流測定部によって１ｍＡ以上の電流が測定された場合には、当該ビアを電源ビアであると判別することを特徴とする請求項２に記載の測定装置。
5. 前記判別部は、前記電圧印加部によって前記任意のビアに対して０．２Ｖの電圧が印加された際に前記電流測定部によって２０μＡ以上の電流が測定され、かつ、前記電圧印加部によって当該ビアに１Ｖの電圧が印加された際に該０．２Ｖの電圧を印加した際に測定された電流の３〜７倍の電流が前記電流測定部によって測定された場合、又は、前記電圧印加部によって前記任意のビアに対して１Ｖの電圧が印加された際に前記電流測定部によって５０μＡ以上の電流が測定され、かつ、前記電圧印加部によって当該ビアに−１Ｖの電圧が印加された際に該１Ｖの電圧を印加した際に測定された電流の−０．８〜−１２倍の電流が前記電流測定部によって測定された場合には、当該ビアをフィードバック端子に係るビアであると判別することを特徴とする請求項３に記載の測定装置。
6. 回路における任意のビアに電圧を印加する電圧印加手順と、
   前記電圧印加手順によって前記ビアに電圧が印加された場合に、当該ビアに流れる電流の大きさを測定する電流測定手順と、
   前記電圧印加手順で印加された電圧の強さと前記電流測定手順で測定された電流の大きさとの関係を用いて、前記電圧印加手順で電圧が印加されたビアの種別を判別する判別手順と
   をコンピュータに実行させることを特徴とする測定プログラム。
7. 回路における任意のビアに電圧を印加する電圧印加プロセスと、
   前記電圧印加プロセスによって前記ビアに電圧が印加された場合に、当該ビアに流れる電流の大きさを測定する電流測定プロセスと、
   前記電圧印加プロセスで印加された電圧の強さと前記電流測定プロセスで測定された電流の大きさとの関係を用いて、前記電圧印加手順で電圧が印加されたビアの種別を判別する判別プロセスと
   を含むことを特徴とする測定方法。

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