JP5326971B2 - 半導体試験装置、半導体試験装置の制御方法、プログラム、及び記録媒体 - Google Patents
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Description
汎用LSIテスターは汎用性と価格面を考慮して搭載する測定ユニット構成が決まっており、一般的には図5に示すように数本のデバイス電源用電源ユニット(DPS:Device Power Supply)、複数のDC測定用電源ユニット(PMU:Programmable Measurement Unit)、ファンクションテスト用のピンエレクトロニクス(PE:Pin Electronics)の各ユニットで構成されている。
またDC測定用の電源ユニットは『電圧印加電流測定』および『電流印加電圧測定』の機能は有しているが、印加可能な電流は数十mA程度でありDC測定用電源ユニットのみで大電流を印加することは困難である。
例1)複数のDC測定用電源ユニットを並列に接続する方法
次に複数のDC測定用電源ユニットを並列に接続する方法を適用した一例を示す。
図6は、大電流負荷生成方法を示す半導体試験装置の一構成例である。
この例では『電流印加電圧測定』モードに設定した複数のDC測定用電源ユニットをテストボード上で並列に接続し、並列接続されたそれぞれのDC測定用電源ユニットが印加する電流の総和が電流負荷として測定対象のDUTに印加される。
図7は、大電流負荷生成方法を示す半導体試験装置の他の構成例である。
図7に負荷電流生成用に出力電圧に対応した抵抗値の抵抗をテストボード等に外付けする方法を適用した一例を示す。
この例では複数の大電流値条件、またはデバイスからの複数の出力電圧に対応するためにテストボード上に複数の抵抗がリレーを介して接続されている。
(1)は、DC測定用に用意された『電圧印加電流測定』および『電流印加電圧測定』用のDC測定用電源ユニット(以下、PMUと表記する。)であり複数用意されている。
(2)は、デバイス電源用に用意された電流クランプ機能を有する『電圧印加電流測定』用のデバイス電源用電源ユニット(以下、図面の説明ではDPSと表記する。)である。
ここで、テスターの電流クランプ機能については、例えば特許第2862296号公報を参照されたい。
複数のDC測定用電源ユニット(1)は、汎用LSIテスター(3)の内部で第1のプログラムによって制御可能なリレー群(6)を介して並列に接続されるとともに、並列接続された出力ノード(7)は第2のプログラムによって制御可能なリレー群(8)を介してデバイスの任意の端子に接続するためにテスターピン(5)に接続可能な構成である。
電圧印加電流測定機能を有するデバイス電源ユニットには、過電流が流れてデバイスが破壊することを防止するための電流クランプ機能がある。
例えば、何らかの故障が原因で測定被対象端子が1Ωの抵抗でGNDに短絡してしまっている場合を考える。
この被対象端子に5Vの電圧を印加して電流を測定するテストを行なうと5Aの電流が流れてしまいデバイスを破壊するおそれがある。
そこで、通常は電流クランプ機能を使用してプログラムで設定したクランプ電流値(例えば500mA)を超える電流が流れないように電流制限している。
この例の場合には被対象端子に5Vの電圧を印加すると電流クランプ機能によって被対象端子にはクランプ電流値(例えば500mA)が流れることになる。
本実施形態は、電圧印加電流測定機能の電源ユニットでありながら、この電流クランプ機能を積極的に利用することで定電流印加を実現しようとするものである。
実現方法としては上記の例のように過電流状態になる電圧値を印加することで設定したクランプ電流値で定電流印加が可能になる。
そこで、電圧印加電流測定機能の電源ユニットは電流測定機能を用いて電流クランプ状態での被対象端子に流れる電流を測定し、本来印加したい所定の電流値に対する差分を被対象端子に対して『電流印加電圧測定』可能な、DC測定用電源ユニットを並列に接続して電流補正をするのである。
図2、3のフローチャートについて説明する。
尚、動作の主体はCPU(21)である。また、(1)〜(18)は図中のステップS1〜S34の中の主要なステップを示す。
(1)測定プログラムからの印加電流設定値(Iout)を読込む(ステップS1)。
デバイスの測定に於いては特定端子に電流印加を行い、当該端子の電圧を測定する場合と、特定の端子に電流印加を行なうが特性を測定する端子は電流印加端子とは異なる場合とがある。電流印加端子と特性測定端子とが異なる場合には、電流印加とは別に測定のためにPMUが必要になる。
したがって、
(i)電流印加端子と測定端子とが同一の場合(ステップS3〜S18)
汎用LSIテスト装置に搭載されたPMU本数(M本)のすべてが電流印加に使用可能となる。
(ii)電流印加端子と測定端子が異なる場合(ステップS19〜S34)
汎用LSIテスト装置に搭載されたPMU本数(M本)の中の1本を測定に使用するので電流印加に使用可能なPMU本数をNとするとN=M-1となる。
以下、フローチャートについて説明を続ける。
ステップ2において、電圧測定端子が電流印加端子と同じ場合(ステップS2/Y)、印加電流設定値>PMU最大印加電流×PMU搭載数(M)であるか否かを判断する(ステップ3)。印加電流設定値>PMU最大印加電流×PMU搭載数(M)の場合(ステップS3/Y)、DPSのクランプ電流設定値=プログラムから読んだ印加電流設定値(Iout)に設定する(ステップS4)。
印加電流方向か否かを判断する。この場合、Yはマイナス(デバイスからテスターに向かう電流)、Nはプラス(テスターからデバイスに向かう電流)である(ステップS5)。
印加電流方向の場合(ステップS5/Y)、DPSで0V印加し、電流測定する。すなわち、デバイスでの対象端子に0V印加し、電流を測定する(ステップS6)。
補正電流計算をする。すなわち、|補正電流値|=|印加電流設定値|−|DPF電流測定値|を計算する(ステップ7)。
|クランプ電流設定分解能|>|補正電流値|であるか否かを判定する(ステップS8)。
|クランプ電流設定分解能|>|補正電流値|である場合(ステップS8/Y)、PMU1本あたりの電流値を計算する。すなわち、PMU設定電流(Ip2)=|補正電流値|/PMU本数(M)を計算する(ステップS9)。
DPSはクランプ電流値印加し、PMUはPMUで補正電流値(Ip2×M本)を印加する(ステップS10)。
測定対象端子の特性測定、電流値を印加しているPMUで電圧測定して終了する(ステップS11)。
電圧測定端子が電流印加端子以外の端子の場合(ステップS2/N)は後述する。
印加電流設定値>PMU最大印加電流×PMU搭載数(M)でない場合(ステップS/N)、PMUの1本あたりの電流値を計算する。すなわち、PMU設定電流(Ip1)=印加電流設定値/PMU本数(M)を計算する(ステップS13)。
PMUはPMUで電流値(Ip1×M本)を印加し(ステップS18)、ステップS11を進む。
印加電流方向がプラスの場合(ステップS5/N)、DPSでVCC印加し、電流測定する(ステップS14)。
補正値電流を計算する。すなわち、|補正電流値|=|印加電流設定値|−|DPS電流測定値|を計算する(ステップS15)。
|クランプ電流設定分解能|>|補正電流値|であるか否かを判定する(ステップS17)。
|クランプ電流設定分解能|>|補正電流値|である場合(ステップS17/Y)、ステップS9に進み、|クランプ電流設定分解能|>|補正電流値|でない場合(ステップS/N)、(DPS印加電圧=DPS印加電圧値+Δ電圧値)の電圧を印加し、電流を測定し(ステップS16)、ステップS15に戻る。
|クランプ電流設定分解能|>|補正電流値|でない場合(ステップS8/N)、(DPS印加電圧=DPS印加電圧値−Δ電圧値)の電圧を印加し、電流を測定し(ステップS12)、ステップS7に戻る。
※(9)から(12)のフローはクランプ電流設定をしなければクランプ電流以上のマイナス電流が流れる状態を実現するためのフローである。
※(15)から(18)のフローはクランプ電流設定をしなければクランプ電流以上のプラス電流が流れる状態を実現するためのフローである。
電流印加端子と測定端子とが同一の場合についてのフローと異なる点は電流印加に用いられるPMU本数が汎用LSIテスト装置に搭載したPMU本数Mではなく、1本少ないN=M-1であることと測定対象端子が電流印加している端子とは異なる点のみである。
電圧測定端子が電流印加端子以外の端子の場合(ステップS2/N)、図2から図3に移って、印加電流設定値>PMU最大印加電流×PMU本数N、かつN=PMU本数−1であるか否かを判定する(ステップS19)。
印加電流設定値>PMU最大印加電流×PMU本数N、かつN=PMU本数−1である場合(ステップS19/Y)、DPSのクランプ電流設定値=プログラムから読んだ印加電流設定値(Iout)に設定する(ステップS20)。
印加電流方向か否かを判定する。Yはマイナス(デバイスからテスターに向かう電流)であり、Nはプラス(テスターからデバイスに向かう電流)である(ステップS21)。
印加電流方向である場合(ステップS21/Y)、DPSで0V印加し、電流測定する(ステップS22)。
補正電流計算する。すなわち、|補正電流値|=|印加電流設定値|−|DPS電流測定値|を計算する(ステップS23)。
|クランプ電流設定分解能|>|補正電流値|であるか否かを判定する(ステップS25)。
PMUの1本あたりの電流値を計算する。すなわち、PMU設定電流(Ip4)=|補正電流値|/PMU本数(N)を計算する(ステップS26)。
DPSはクランプ電流値印加し、PMUはPMUで補正電流値(Ip4×N本)を測定する(ステップS27)。
補正対象端子の特性測定し、補正電流印加に使用していないPMUで特性を測定し(ステップS28)、終了する。
印加電流設定値>PMU最大印加電流×PMU本数N、かつN=PMU本数−1でない場合(ステップS19/N)、PMUの1本あたりの電流値を計算する。すなわち、PMU設定電流(Ip3)=印加電流設定値/PMU本数(N)を計算する(ステップS29)。
PMUはPMUで補正電流値(Ip3×N本)を印加し(ステップS34)、ステップS28に進む。
印加電流方向がプラスの場合(ステップS21/N)、DPSでVCC印加し、電流測定する(ステップS30)。
補正電流計算する。すなわち、補正電流値=印加電流設定値+DPS電流測定値を計算する(ステップS31)。
|クランプ電流設定分解能|>|補正電流値|であるか否かを判定する(ステップS33)。
|クランプ電流設定分解能|>|補正電流値|であるある場合(ステップS33/Y)、ステップS26に進み、|クランプ電流設定分解能|>|補正電流値|でない場合(ステップS33/N)、(DPS印加電圧=DPS印加電圧値+Δ電圧値)の電圧を印加し、電流を測定し(ステップS32)、ステップS31に戻る。
|クランプ電流設定分解能|>|補正電流値|でない場合(ステップS25/N)、(DPS印加電圧=DPS印加電圧値−Δ電圧値)の電圧を印加し、電流を測定し(ステップS24)、ステップS23に戻る。
同図において、DPSはクランプ電流設定して電圧印加を行い、PMUは電流印加電圧測定モードで並列に接続することを示している。
以上で説明した本発明にかかる半導体試験装置は、コンピュータで処理を実行させるプログラムによって実現されている。コンピュータとしては、例えばパーソナルコンピュータやワークステーションなどの汎用的なものが挙げられるが、本発明はこれに限定されるものではない。よって、一例として、プログラムにより本発明を実現する場合の説明を以下で行う。
このようなプログラムは、コンピュータに読み取り可能な記録媒体に記憶されていてもよい。
ここで、記録媒体としては、例えば、CD−ROM(Compact Disc Read Only Memory)、フレキシブルディスク(FD)、CD−R(CD Recordable)、DVD(Digital Versatile Disk)などのコンピュータで読み取り可能な記録媒体、フラッシュメモリ、RAM(Random Access Memory)、ROM(Read Only Memory)、FeRAM(強誘電体メモリ)等の半導体メモリやHDD(Hard Disc Drive)が挙げられる。
2 DPS
3 汎用LSIテスター
4 プログラム制御可能なリレー群
6 第1のプログラム制御可能なリレー群
8 第2のプログラム制御可能なリレー群
9 第3のプログラム制御可能なリレー
10 DUT
20 バスライン
21 CPU
22 RAM
23 ROM
24 I/O
Claims (8)
- 複数のデバイス測定用のDC測定用電源ユニットと、
電流クランプ機能を有する複数のデバイス電源用電源ユニットと、を搭載した半導体試験装置において、
前記複数のDC測定用電源ユニットを並列に接続する第1のプログラム制御可能なリレー群と、
前記第1のプログラム制御可能なリレー群で並列接続された出力ノードをデバイスの任意のテスター端子に接続可能な第2のプログラム制御可能なリレー群と、
前記複数のデバイス電源用電源ユニットを前記出力ノードに並列に接続する第3のプログラム制御可能なリレー群と、を備えたことを特徴とする半導体試験装置。 - 前記デバイス電源用電源ユニットは、前記電流クランプ機能を使用して電流クランプ値を設定し、前記電流クランプ機能がなければ前記電流クランプ値を超える電流が前記デバイスの被対象端子に流れることになる電圧を印加することによって前記被対象端子には当該電流クランプ値の電流を印加するとともに、前記被対象端子に並列接続された1つ又は複数のDC測定用電源ユニットを電流印加電圧測定モードに設定して、前記デバイス電源用電源ユニットで測定した電流クランプ状態の電流値と所期の印加電流値との差分を電流印加して補正することを特徴とする請求項1記載の半導体試験装置。
- 電流印加後の電圧測定を、前記電流印加電圧測定モードで電流を追加補正するDC測定用電源ユニットを用いて行うようにしたことを特徴とする請求項1または2記載の半導体試験装置。
- 電流印加後の電圧測定を、前記電流印加電圧測定モードで電流を追加補正するDC測定ユニット以外の測定ユニットを用いて、電流印加している端子以外の端子の電圧または電流を測定するようにしたことを特徴とする請求項1または2記載の半導体試験装置。
- 前記デバイス電源用電源ユニットと前記DC測定用電源ユニットとを用いた電流印加電圧測定の一連の操作手順によるテスト方法をあらかじめ汎用LSIテスト装置のユーテリティソフトとして組み込んだことを特徴とする請求項1から4のいずれか一項記載の半導体試験装置。
- 複数のデバイス測定用のDC測定用電源ユニットと、電流クランプ機能を有する複数のデバイス電源用電源ユニットと、を搭載した半導体試験装置の制御方法において、
前記複数のDC測定用電源ユニットどうしを並列に接続し、
並列接続された出力ノードを任意のテスター端子または任意のデバイス端子に接続し、
前記複数のデバイス電源用電源ユニットを前記出力ノードに並列に接続することを特徴とする半導体試験装置の制御方法。 - 複数のデバイス測定用のDC測定用電源ユニットと、電流クランプ機能を有する複数のデバイス電源用電源ユニットと、を搭載した半導体試験装置を制御するプログラムにおいて、
コンピュータに、
第1のプログラム制御可能なリレー群が、前記複数のDC測定用電源ユニットを並列に接続する手順、
第2のプログラム制御可能なリレー群が、前記第1のリレー群で並列接続された出力ノードを任意のテスター端子または任意のデバイス端子に接続する手順、
第3のプログラム制御可能なリレー群が、前記複数のデバイス電源用電源ユニットを前記出力ノードに並列に接続する手順、
を実行させることを特徴とするプログラム。 - 請求項7記載のプログラムを記録したことを特徴とする記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009224657A JP5326971B2 (ja) | 2009-09-29 | 2009-09-29 | 半導体試験装置、半導体試験装置の制御方法、プログラム、及び記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009224657A JP5326971B2 (ja) | 2009-09-29 | 2009-09-29 | 半導体試験装置、半導体試験装置の制御方法、プログラム、及び記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011075308A JP2011075308A (ja) | 2011-04-14 |
JP5326971B2 true JP5326971B2 (ja) | 2013-10-30 |
Family
ID=44019472
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009224657A Expired - Fee Related JP5326971B2 (ja) | 2009-09-29 | 2009-09-29 | 半導体試験装置、半導体試験装置の制御方法、プログラム、及び記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5326971B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114884381B (zh) * | 2022-07-13 | 2022-10-04 | 广东盈峰科技有限公司 | 一种数控高精度超低纹波高压直流源装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH026759A (ja) * | 1988-06-25 | 1990-01-10 | Nec Corp | 論理集積回路の試験装置 |
JPH0639344Y2 (ja) * | 1988-06-27 | 1994-10-12 | 株式会社アドバンテスト | 電流・電圧制限回路 |
JP2000081460A (ja) * | 1998-06-25 | 2000-03-21 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Ic試験装置用電源装置 |
JP2002139539A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-05-17 | Advantest Corp | 半導体デバイスの電源電流測定方法・電源電流測定装置 |
JP2002286800A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-03 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 半導体試験装置 |
JP2006010572A (ja) * | 2004-06-28 | 2006-01-12 | Sharp Corp | 電子部品の電気特性の測定方法およびその測定装置 |
JP4334463B2 (ja) * | 2004-12-02 | 2009-09-30 | イノテック株式会社 | 半導体集積回路のテスト装置および方法 |
-
2009
- 2009-09-29 JP JP2009224657A patent/JP5326971B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011075308A (ja) | 2011-04-14 |
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|
A977 | Report on retrieval |
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