JP2000081460A - Ｉｃ試験装置用電源装置 - Google Patents
Ｉｃ試験装置用電源装置Info
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- JP2000081460A JP2000081460A JP10339538A JP33953898A JP2000081460A JP 2000081460 A JP2000081460 A JP 2000081460A JP 10339538 A JP10339538 A JP 10339538A JP 33953898 A JP33953898 A JP 33953898A JP 2000081460 A JP2000081460 A JP 2000081460A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 小容量の電源回路を並列的に接続して設定電
圧通りの出力電圧を安定的に供給できるようにする。 【解決手段】 この発明の電源装置は二つ以上の電源回
路を並列的に用いて一つの被測定ＩＣに電力を供給す
る。電源回路は設定電圧と出力電圧との誤差電圧に応じ
た電力を供給するものである。誤差電圧補正手段は一方
の電源電圧の出力電流が増加した場合には、その出力電
圧を下げるように誤差電圧に補正を加え、逆に、他方の
電源電圧の出力電流が減少した場合、その出力電圧を上
げるように誤差電圧に補正を加える。これによって、二
つの電源電圧の出力電流及び出力電圧を等しくし、安定
に電力供給動作を行うようにする。
圧通りの出力電圧を安定的に供給できるようにする。 【解決手段】 この発明の電源装置は二つ以上の電源回
路を並列的に用いて一つの被測定ＩＣに電力を供給す
る。電源回路は設定電圧と出力電圧との誤差電圧に応じ
た電力を供給するものである。誤差電圧補正手段は一方
の電源電圧の出力電流が増加した場合には、その出力電
圧を下げるように誤差電圧に補正を加え、逆に、他方の
電源電圧の出力電流が減少した場合、その出力電圧を上
げるように誤差電圧に補正を加える。これによって、二
つの電源電圧の出力電流及び出力電圧を等しくし、安定
に電力供給動作を行うようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣデバイス（集
積回路）の電気的特性を検査するＩＣ試験装置に係り、
特にＩＣデバイスに電力を供給するＩＣ試験装置用電源
装置に関する。
積回路）の電気的特性を検査するＩＣ試験装置に係り、
特にＩＣデバイスに電力を供給するＩＣ試験装置用電源
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】性能や品質の保証されたＩＣデバイスを
最終製品として出荷するためには、製造部門、検査部門
の各工程でＩＣデバイスの全部又は一部を抜き取り、そ
の電気的特性を検査する必要がある。ＩＣ試験装置はこ
のような電気的特性を検査する装置である。ＩＣ試験装
置は、被測定ＩＣに所定の試験用パターンデータを与
え、それによる被測定ＩＣの出力データを読み取り、被
測定ＩＣの基本的動作及び機能に問題が無いかどうかを
被測定ＩＣの出力データから不良情報を解析し、電気的
特性を検査している。
最終製品として出荷するためには、製造部門、検査部門
の各工程でＩＣデバイスの全部又は一部を抜き取り、そ
の電気的特性を検査する必要がある。ＩＣ試験装置はこ
のような電気的特性を検査する装置である。ＩＣ試験装
置は、被測定ＩＣに所定の試験用パターンデータを与
え、それによる被測定ＩＣの出力データを読み取り、被
測定ＩＣの基本的動作及び機能に問題が無いかどうかを
被測定ＩＣの出力データから不良情報を解析し、電気的
特性を検査している。
【０００３】ＩＣ試験装置におけるファンクション試験
は被測定ＩＣの入力端子にパターン発生手段から所定の
試験用パターンデータを与え、それによる被測定ＩＣの
出力データを読み取り、被測定ＩＣの基本的動作及び機
能に問題が無いかどうかを検査するものである。すなわ
ち、ファンクション試験は、アドレス、データ、書込み
イネーブル信号、チップセレクト信号などの被測定ＩＣ
の各入力信号の入力タイミングや振幅などの入力条件な
どを変化させて、その出力タイミングや出力振幅などを
試験したりするものである。
は被測定ＩＣの入力端子にパターン発生手段から所定の
試験用パターンデータを与え、それによる被測定ＩＣの
出力データを読み取り、被測定ＩＣの基本的動作及び機
能に問題が無いかどうかを検査するものである。すなわ
ち、ファンクション試験は、アドレス、データ、書込み
イネーブル信号、チップセレクト信号などの被測定ＩＣ
の各入力信号の入力タイミングや振幅などの入力条件な
どを変化させて、その出力タイミングや出力振幅などを
試験したりするものである。
【０００４】このようなＩＣ試験装置では、基本構成と
して３２個の被測定ＩＣを測定することができるように
設計されている。従って、ピン数の多いメモリＩＣ等を
測定する場合には、１台のＩＣ試験装置で１６個又は８
個のメモリＩＣを測定することになる。このように被測
定ＩＣのピン数が増加すると、ピン駆動回路の数が増え
るために電源電流自体も増加してやらなければならな
い。
して３２個の被測定ＩＣを測定することができるように
設計されている。従って、ピン数の多いメモリＩＣ等を
測定する場合には、１台のＩＣ試験装置で１６個又は８
個のメモリＩＣを測定することになる。このように被測
定ＩＣのピン数が増加すると、ピン駆動回路の数が増え
るために電源電流自体も増加してやらなければならな
い。
【０００５】ところが、従来のＩＣ試験装置は、３２個
の被測定ＩＣを測定するために電流容量４００〜５００
〔ｍＡ〕程度の小容量の電源回路を３２個分用意してお
り、１６個又は８個の被測定ＩＣを測定するために電流
容量２Ａ程度の大容量の電源回路を用意していた。
の被測定ＩＣを測定するために電流容量４００〜５００
〔ｍＡ〕程度の小容量の電源回路を３２個分用意してお
り、１６個又は８個の被測定ＩＣを測定するために電流
容量２Ａ程度の大容量の電源回路を用意していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このように小容量の電
源回路と大容量の電源回路を被測定ＩＣの数に合わせて
それぞれ設けることは回路規模の増大を招き、非効率的
であるために好ましくない。そこで、小容量の電源回路
を並列接続することによって、事実上大容量の電源回路
を実現しようとしていた。すなわち、図４のように電圧
誤差アンプ２１、出力アンプ２２及び電流検出回路２３
からなる電流制限機能付き電源回路２と、電圧誤差アン
プ３１、出力アンプ３２及び電流検出回路３３からなる
電流制限機能付き電源回路３とを並列に接続して、被測
定ＩＣ４に通常の２倍の電力を供給していた。
源回路と大容量の電源回路を被測定ＩＣの数に合わせて
それぞれ設けることは回路規模の増大を招き、非効率的
であるために好ましくない。そこで、小容量の電源回路
を並列接続することによって、事実上大容量の電源回路
を実現しようとしていた。すなわち、図４のように電圧
誤差アンプ２１、出力アンプ２２及び電流検出回路２３
からなる電流制限機能付き電源回路２と、電圧誤差アン
プ３１、出力アンプ３２及び電流検出回路３３からなる
電流制限機能付き電源回路３とを並列に接続して、被測
定ＩＣ４に通常の２倍の電力を供給していた。
【０００７】ところが、電源回路２及び電源回路３が理
想的に同じ電圧を出力すればいいのだが、実際には、電
源回路２と電源回路３の出力電圧は若干の誤差が存在す
る。従って、両者を単純に並列に接続した場合、回路構
成上不都合が生じる。例えば、電源回路２は１０．０１
〔Ｖ〕の出力電圧であり、電源回路３は９．９９〔Ｖ〕
の出力電圧だとする。このことは、電源回路２の設定電
圧が１０．０１〔Ｖ〕であり、電源回路３の設定電圧が
９．９９〔Ｖ〕であることと等価である。
想的に同じ電圧を出力すればいいのだが、実際には、電
源回路２と電源回路３の出力電圧は若干の誤差が存在す
る。従って、両者を単純に並列に接続した場合、回路構
成上不都合が生じる。例えば、電源回路２は１０．０１
〔Ｖ〕の出力電圧であり、電源回路３は９．９９〔Ｖ〕
の出力電圧だとする。このことは、電源回路２の設定電
圧が１０．０１〔Ｖ〕であり、電源回路３の設定電圧が
９．９９〔Ｖ〕であることと等価である。
【０００８】従って、このような誤差の存在する電源回
路２と電源回路３を並列接続すると、出力電圧はケーブ
ル抵抗２４及び３４によって分圧され、電源電圧２及び
電源電圧３の出力電圧の平均値は１０．００〔Ｖ〕にな
る。電源電圧２の出力電圧が１０．００〔Ｖ〕になる
と、出力電圧は等価的な設定電圧１０．０１〔Ｖ〕より
も０．０１〔Ｖ〕低くなるので、電源電圧２は出力電圧
をさらに高くしようと動作する。逆に、電源電圧３の出
力電圧が１０．００〔Ｖ〕になると、出力電圧は等価的
な設定電圧９．９９〔Ｖ〕よりも０．０１〔Ｖ〕高くな
るので、電源電圧３は出力電圧をさらに低くしようと動
作する。
路２と電源回路３を並列接続すると、出力電圧はケーブ
ル抵抗２４及び３４によって分圧され、電源電圧２及び
電源電圧３の出力電圧の平均値は１０．００〔Ｖ〕にな
る。電源電圧２の出力電圧が１０．００〔Ｖ〕になる
と、出力電圧は等価的な設定電圧１０．０１〔Ｖ〕より
も０．０１〔Ｖ〕低くなるので、電源電圧２は出力電圧
をさらに高くしようと動作する。逆に、電源電圧３の出
力電圧が１０．００〔Ｖ〕になると、出力電圧は等価的
な設定電圧９．９９〔Ｖ〕よりも０．０１〔Ｖ〕高くな
るので、電源電圧３は出力電圧をさらに低くしようと動
作する。
【０００９】この結果、電源電圧２は最大の出力電圧
（例えば２０〔Ｖ〕）となり、電源電圧３は最小の出力
電圧（例えば−２０〔Ｖ〕）となる。そして、電源電圧
２と電源電圧３との間の電圧は電源電圧２のケーブル抵
抗２４と電源電圧３のケーブル抵抗３４に印加され、大
電流が流れてしまい、負荷である被測定ＩＣ４の方には
電流が供給されないようになる。なお、実際の電源回路
では、電流制限回路により比較的安定な動作をするが、
精度的な保証は全く得られないという問題を有する。
（例えば２０〔Ｖ〕）となり、電源電圧３は最小の出力
電圧（例えば−２０〔Ｖ〕）となる。そして、電源電圧
２と電源電圧３との間の電圧は電源電圧２のケーブル抵
抗２４と電源電圧３のケーブル抵抗３４に印加され、大
電流が流れてしまい、負荷である被測定ＩＣ４の方には
電流が供給されないようになる。なお、実際の電源回路
では、電流制限回路により比較的安定な動作をするが、
精度的な保証は全く得られないという問題を有する。
【００１０】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
あり、小容量の電源回路を並列的に接続して大容量の電
源電圧を構成した場合でも、設定電圧通りの出力電圧を
安定的に供給することのできるＩＣ試験装置用電源装置
を提供することを目的とする。
あり、小容量の電源回路を並列的に接続して大容量の電
源電圧を構成した場合でも、設定電圧通りの出力電圧を
安定的に供給することのできるＩＣ試験装置用電源装置
を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明に係るＩＣ試験
装置用電源装置は、設定電圧に応じた電力を供給する複
数の電源回路群と、前記電源回路群の中の少なくとも２
つの電源回路から電力の供給を受ける被測定ＩＣと、前
記被測定ＩＣに電力を供給している複数の電源回路の出
力電流に基づいて前記設定電圧と出力電圧との間の誤差
電圧を補正する誤差電圧補正手段とを具えたものであ
る。電源回路は設定電圧に応じた出力電圧を被測定ＩＣ
に供給するものであり、通常は一つの被測定ＩＣに対し
て一つの電源回路が割り当てられる。被測定ＩＣのピン
数が増加し、大きな消費電力が必要な場合に、二つの電
源回路を並列に接続して一つの被測定ＩＣに電力を供給
する。この場合、誤差電圧補正手段はそれぞれの電源回
路の出力電流及び出力電圧が等しくなるようにそれぞれ
の電源電圧の誤差電圧を補正する。例えば、一方の電源
電圧の出力電流が増加した場合には、その出力電圧を下
げるように誤差電圧に補正を加える。逆に、他方の電源
電圧の出力電流は減少した場合には、その出力電圧を上
げるように誤差電圧に補正を加える。これによって、二
つの電源電圧の出力電流及び出力電圧は等しくなり、安
定に電力供給動作が行えるようになる。
装置用電源装置は、設定電圧に応じた電力を供給する複
数の電源回路群と、前記電源回路群の中の少なくとも２
つの電源回路から電力の供給を受ける被測定ＩＣと、前
記被測定ＩＣに電力を供給している複数の電源回路の出
力電流に基づいて前記設定電圧と出力電圧との間の誤差
電圧を補正する誤差電圧補正手段とを具えたものであ
る。電源回路は設定電圧に応じた出力電圧を被測定ＩＣ
に供給するものであり、通常は一つの被測定ＩＣに対し
て一つの電源回路が割り当てられる。被測定ＩＣのピン
数が増加し、大きな消費電力が必要な場合に、二つの電
源回路を並列に接続して一つの被測定ＩＣに電力を供給
する。この場合、誤差電圧補正手段はそれぞれの電源回
路の出力電流及び出力電圧が等しくなるようにそれぞれ
の電源電圧の誤差電圧を補正する。例えば、一方の電源
電圧の出力電流が増加した場合には、その出力電圧を下
げるように誤差電圧に補正を加える。逆に、他方の電源
電圧の出力電流は減少した場合には、その出力電圧を上
げるように誤差電圧に補正を加える。これによって、二
つの電源電圧の出力電流及び出力電圧は等しくなり、安
定に電力供給動作が行えるようになる。
【００１２】請求項２に記載された本発明に係るＩＣ試
験装置用電源装置は、前記請求項１に記載のＩＣ試験装
置用電源装置の一実施態様として、前記誤差電圧補正手
段を、前記複数の電源回路の出力電流の平均を検出する
電流平均回路と、前記複数の電源回路の出力電流のそれ
ぞれと前記電流平均回路によって検出された平均電流と
の間の誤差電流に基づいた補正電圧をそれぞれの電源回
路の前記誤差電圧にフィードバックする電流誤差アンプ
とで構成したものである。請求項２はそれぞれの電源回
路の出力電流及び出力電圧を等しくするために採用した
具体的な誤差電圧補正手段の構成に関するものである。
誤差電圧補正手段は、各電源回路の出力電流の平均を検
出し、検出された平均電流と各電源回路の出力電流との
間の誤差電流に基づいて誤差電圧に補正を加えるように
した。すなわち、誤差電圧補正手段は、出力電流が平均
電流よりも小さい場合には、出力電流が増加するように
誤差電圧に補正を加え、出力電流が平均電流よりも大き
い場合に、出力電流が減少するように誤差電圧に補正を
加える。
験装置用電源装置は、前記請求項１に記載のＩＣ試験装
置用電源装置の一実施態様として、前記誤差電圧補正手
段を、前記複数の電源回路の出力電流の平均を検出する
電流平均回路と、前記複数の電源回路の出力電流のそれ
ぞれと前記電流平均回路によって検出された平均電流と
の間の誤差電流に基づいた補正電圧をそれぞれの電源回
路の前記誤差電圧にフィードバックする電流誤差アンプ
とで構成したものである。請求項２はそれぞれの電源回
路の出力電流及び出力電圧を等しくするために採用した
具体的な誤差電圧補正手段の構成に関するものである。
誤差電圧補正手段は、各電源回路の出力電流の平均を検
出し、検出された平均電流と各電源回路の出力電流との
間の誤差電流に基づいて誤差電圧に補正を加えるように
した。すなわち、誤差電圧補正手段は、出力電流が平均
電流よりも小さい場合には、出力電流が増加するように
誤差電圧に補正を加え、出力電流が平均電流よりも大き
い場合に、出力電流が減少するように誤差電圧に補正を
加える。
【００１３】請求項３に記載された本発明に係るＩＣ試
験装置用電源装置は、前記請求項１に記載のＩＣ試験装
置用電源装置の一実施態様として、前記誤差電圧補正手
段を、前記複数の電源回路の各出力電流に比例した補正
電圧を各電源回路の前記誤差電圧にフィードバックする
電流値帰還回路で構成したものである。請求項３はそれ
ぞれの電源回路の出力電流及び出力電圧を等しくするた
めに採用した具体的な誤差電圧補正手段の構成に関する
ものである。誤差電圧補正手段は、電源回路の各出力電
流を検出し、検出された平均電流に比例した補正電圧を
各電源回路の補正電圧にフィードバックすることによっ
て、等価的に出力抵抗を増加させ、出力電圧の増加を抑
制し、各出力間の相対誤差を補正する。絶対誤差は増加
するが並列接続回路構成が自由である。
験装置用電源装置は、前記請求項１に記載のＩＣ試験装
置用電源装置の一実施態様として、前記誤差電圧補正手
段を、前記複数の電源回路の各出力電流に比例した補正
電圧を各電源回路の前記誤差電圧にフィードバックする
電流値帰還回路で構成したものである。請求項３はそれ
ぞれの電源回路の出力電流及び出力電圧を等しくするた
めに採用した具体的な誤差電圧補正手段の構成に関する
ものである。誤差電圧補正手段は、電源回路の各出力電
流を検出し、検出された平均電流に比例した補正電圧を
各電源回路の補正電圧にフィードバックすることによっ
て、等価的に出力抵抗を増加させ、出力電圧の増加を抑
制し、各出力間の相対誤差を補正する。絶対誤差は増加
するが並列接続回路構成が自由である。
【００１４】請求項４に記載された本発明に係るＩＣ試
験装置用電源装置は、前記請求項１に記載のＩＣ試験装
置用電源装置の一実施態様として、前記誤差電圧補正手
段を、前記複数の電源回路の出力電流の平均を検出する
電流平均回路と、前記複数の電源回路の出力電流のそれ
ぞれと前記電流平均回路によって検出された平均電流と
の間の誤差電流に基づいた補正電圧をそれぞれの電源回
路の前記誤差電圧にフィードバックする電流誤差アンプ
とから構成される平均電流制御方式の補正手段と、前記
複数の電源回路の出力電流に比例した補正電圧をそれぞ
れの電源回路の前記誤差電圧にフィードバックする電流
値帰還回路から構成される電源抵抗制御方式の補正手段
とで構成し、これらの補正手段を出力電圧精度及び電流
容量とに応じて切り換えて使用するようにしたものであ
る。請求項４は、請求項２及び請求項３に記載の誤差電
圧補正手段を適宜切り換えて使用するようにしたもので
ある。
験装置用電源装置は、前記請求項１に記載のＩＣ試験装
置用電源装置の一実施態様として、前記誤差電圧補正手
段を、前記複数の電源回路の出力電流の平均を検出する
電流平均回路と、前記複数の電源回路の出力電流のそれ
ぞれと前記電流平均回路によって検出された平均電流と
の間の誤差電流に基づいた補正電圧をそれぞれの電源回
路の前記誤差電圧にフィードバックする電流誤差アンプ
とから構成される平均電流制御方式の補正手段と、前記
複数の電源回路の出力電流に比例した補正電圧をそれぞ
れの電源回路の前記誤差電圧にフィードバックする電流
値帰還回路から構成される電源抵抗制御方式の補正手段
とで構成し、これらの補正手段を出力電圧精度及び電流
容量とに応じて切り換えて使用するようにしたものであ
る。請求項４は、請求項２及び請求項３に記載の誤差電
圧補正手段を適宜切り換えて使用するようにしたもので
ある。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に従って説明する。図１は、本発明に係るＩＣ試験
装置用電源装置の第１の実施の形態の構成を示す図であ
る。設定電圧供給手段１は電源装置２及び電源装置３の
出力電圧を設定するものである。この実施の形態では設
定電圧が１０．００〔Ｖ〕の場合を示す。電源装置２
は、従来のものと同様に電圧誤差アンプ２１と出力アン
プ２２と電流検出回路２３とから構成される。電圧誤差
アンプ２１は、負荷端電圧（被測定ＩＣ４に供給されて
いる電圧）と設定電圧との差を検出する。出力アンプ２
２は電圧誤差アンプ２１の出力に応じて負荷（被測定Ｉ
Ｃ４）に電力を供給するパワーアンプである。この電圧
誤差アンプ２１と出力アンプ２２は兼用してもよい。電
流検出回路２３は負荷に流れる電流を検出する。電源装
置３は電源装置２と同じ構成である。
図面に従って説明する。図１は、本発明に係るＩＣ試験
装置用電源装置の第１の実施の形態の構成を示す図であ
る。設定電圧供給手段１は電源装置２及び電源装置３の
出力電圧を設定するものである。この実施の形態では設
定電圧が１０．００〔Ｖ〕の場合を示す。電源装置２
は、従来のものと同様に電圧誤差アンプ２１と出力アン
プ２２と電流検出回路２３とから構成される。電圧誤差
アンプ２１は、負荷端電圧（被測定ＩＣ４に供給されて
いる電圧）と設定電圧との差を検出する。出力アンプ２
２は電圧誤差アンプ２１の出力に応じて負荷（被測定Ｉ
Ｃ４）に電力を供給するパワーアンプである。この電圧
誤差アンプ２１と出力アンプ２２は兼用してもよい。電
流検出回路２３は負荷に流れる電流を検出する。電源装
置３は電源装置２と同じ構成である。
【００１６】この電源装置２と電源装置３の２つを並列
接続して被測定ＩＣ４に電力を供給する場合について説
明する。第１の実施の形態では、誤差電圧補正手段５に
よって、設定電圧と出力電圧との間の誤差電圧の補正を
行うようにしている。すなわち、誤差電圧補正手段５は
電流平均回路５１と電流誤差アンプ５２及び電流誤差ア
ンプ５３から構成される。電流平均回路５１は、電源装
置２の電流検出回路２３によって検出された出力電流Ｖ
ｉａと電源装置３の電流検出回路３３によって検出され
た出力電流Ｖｉｂとの平均を取り、その平均電流Ｖｉａ
ｖｅを電流誤差アンプ５２及び電流誤差アンプ５３に出
力する。電流誤差アンプ５２は電源装置２の電流検出回
路２３からの出力電流Ｖｉａと電流平均回路５１からの
平均電流Ｖｉａｖｅとの誤差出力（Ｖｉａ−Ｖｉａｖ
ｅ）を電圧誤差アンプ２１に負帰還する。一方、電流誤
差アンプ５３は電源装置３の電流検出回路２３からの出
力電流Ｖｉｂと電流平均回路５１からの平均電流Ｖｉａ
ｖｅとの誤差（Ｖｉｂ−Ｖｉａｖｅ）を電圧誤差アンプ
３１に負帰還する。
接続して被測定ＩＣ４に電力を供給する場合について説
明する。第１の実施の形態では、誤差電圧補正手段５に
よって、設定電圧と出力電圧との間の誤差電圧の補正を
行うようにしている。すなわち、誤差電圧補正手段５は
電流平均回路５１と電流誤差アンプ５２及び電流誤差ア
ンプ５３から構成される。電流平均回路５１は、電源装
置２の電流検出回路２３によって検出された出力電流Ｖ
ｉａと電源装置３の電流検出回路３３によって検出され
た出力電流Ｖｉｂとの平均を取り、その平均電流Ｖｉａ
ｖｅを電流誤差アンプ５２及び電流誤差アンプ５３に出
力する。電流誤差アンプ５２は電源装置２の電流検出回
路２３からの出力電流Ｖｉａと電流平均回路５１からの
平均電流Ｖｉａｖｅとの誤差出力（Ｖｉａ−Ｖｉａｖ
ｅ）を電圧誤差アンプ２１に負帰還する。一方、電流誤
差アンプ５３は電源装置３の電流検出回路２３からの出
力電流Ｖｉｂと電流平均回路５１からの平均電流Ｖｉａ
ｖｅとの誤差（Ｖｉｂ−Ｖｉａｖｅ）を電圧誤差アンプ
３１に負帰還する。
【００１７】これによって、出力電流Ｖｉａが平均電流
Ｖｉａｖｅよりも大きくなった場合には、電流誤差アン
プ５２の誤差出力（Ｖｉａ−Ｖｉａｖｅ）によって電圧
誤差アンプ２１及び出力アンプ２２の出力電圧が下げら
れる。この場合、出力電流Ｖｉｂは逆に平均電流Ｖｉａ
ｖｅよりも小さくなるので、電流誤差アンプ５３の誤差
出力（Ｖｉｂ−Ｖｉａｖｅ）によって電圧誤差アンプ３
１及び出力アンプ３２の出力電圧は上げられる。そし
て、結果として、平均電流値Ｖｉａｖｅと出力電流Ｖｉ
ａ，Ｖｉｂは共に等しくなる。これによって、従来のよ
うに出力電圧が不安定になることはなく、安定に電源電
流を供給できるようになる。また、並列接続された電源
回路間に無効電流が流れなくなる。
Ｖｉａｖｅよりも大きくなった場合には、電流誤差アン
プ５２の誤差出力（Ｖｉａ−Ｖｉａｖｅ）によって電圧
誤差アンプ２１及び出力アンプ２２の出力電圧が下げら
れる。この場合、出力電流Ｖｉｂは逆に平均電流Ｖｉａ
ｖｅよりも小さくなるので、電流誤差アンプ５３の誤差
出力（Ｖｉｂ−Ｖｉａｖｅ）によって電圧誤差アンプ３
１及び出力アンプ３２の出力電圧は上げられる。そし
て、結果として、平均電流値Ｖｉａｖｅと出力電流Ｖｉ
ａ，Ｖｉｂは共に等しくなる。これによって、従来のよ
うに出力電圧が不安定になることはなく、安定に電源電
流を供給できるようになる。また、並列接続された電源
回路間に無効電流が流れなくなる。
【００１８】なお、第１の実施の形態では、２つの電源
装置を接続した場合について説明したが、４つの電源装
置を接続する場合にも同様に適用できることはいうまで
もない。この場合には、電流平均回路は４個の電源装置
の出力電流の平均を取るようにすればよい。そして、ア
ナログスイッチを用いて２個の電源装置を並列に接続す
る場合と、４個の電源装置を接続する場合と、電源装置
を別々に使用する場合を切り換えて使えるようにすれ
ば、被測定ＩＣの数が８個の場合、１６個の場合、３２
個の場合のそれぞれに対応することができる。
装置を接続した場合について説明したが、４つの電源装
置を接続する場合にも同様に適用できることはいうまで
もない。この場合には、電流平均回路は４個の電源装置
の出力電流の平均を取るようにすればよい。そして、ア
ナログスイッチを用いて２個の電源装置を並列に接続す
る場合と、４個の電源装置を接続する場合と、電源装置
を別々に使用する場合を切り換えて使えるようにすれ
ば、被測定ＩＣの数が８個の場合、１６個の場合、３２
個の場合のそれぞれに対応することができる。
【００１９】図２は、本発明に係るＩＣ試験装置用電源
装置の第２の実施の形態の構成を示す図である。設定電
圧供給手段１、電源装置２及び電源装置３の構成は図１
のものと同じである。図２では、この電源装置２と電源
装置３の２つを並列接続して被測定ＩＣ４に電力を供給
する場合について説明する。第２の実施の形態では、電
流検出回路２３及び電流検出回路３３の検出電流値に比
例した出力電圧を電圧誤差アンプ２１及び電圧誤差アン
プ３１にそれぞれ帰還する電流値帰還回路６１及び電流
値帰還回路６２を設け、これらを切換スイッチＳＷ１及
び切換スイッチＳＷ２によって切り換えている。電流値
帰還回路６１及び電流値帰還回路６２は、電流検出回路
と電圧誤差アンプのマイナス入力とを結ぶ一本の抵抗で
ある。電流値帰還回路６１及び電流値帰還回路６２の抵
抗を適切に選択することにより電源出力等価抵抗を制御
可能である。出力電流に比例して出力電圧を僅かに減少
させれば等価的に出力抵抗を増加できる。出力電流はレ
ンジ切り替えにより小さい電流レンジほど増幅度が大き
いため、出力抵抗を大きくでき、無効な電流の比率をレ
ンジによらず一定にすることができる。
装置の第２の実施の形態の構成を示す図である。設定電
圧供給手段１、電源装置２及び電源装置３の構成は図１
のものと同じである。図２では、この電源装置２と電源
装置３の２つを並列接続して被測定ＩＣ４に電力を供給
する場合について説明する。第２の実施の形態では、電
流検出回路２３及び電流検出回路３３の検出電流値に比
例した出力電圧を電圧誤差アンプ２１及び電圧誤差アン
プ３１にそれぞれ帰還する電流値帰還回路６１及び電流
値帰還回路６２を設け、これらを切換スイッチＳＷ１及
び切換スイッチＳＷ２によって切り換えている。電流値
帰還回路６１及び電流値帰還回路６２は、電流検出回路
と電圧誤差アンプのマイナス入力とを結ぶ一本の抵抗で
ある。電流値帰還回路６１及び電流値帰還回路６２の抵
抗を適切に選択することにより電源出力等価抵抗を制御
可能である。出力電流に比例して出力電圧を僅かに減少
させれば等価的に出力抵抗を増加できる。出力電流はレ
ンジ切り替えにより小さい電流レンジほど増幅度が大き
いため、出力抵抗を大きくでき、無効な電流の比率をレ
ンジによらず一定にすることができる。
【００２０】切換スイッチＳＷ１及び切換スイッチＳＷ
２がオンの時には、電源装置２及び電源装置３の出力電
圧は、電流検出回路２３及び電流検出回路３３の電流検
出値と等価出力抵抗との積である等価出力抵抗電圧に相
当する電圧だけ設定電圧から減少した値となる。従っ
て、等価出力抵抗すなわち電流値帰還回路６１及び電流
値帰還回路６２の抵抗の値として、チャンネル間出力電
圧誤差に対し無効電流を一定値以下とし、かつ出力電圧
精度を目標値以内となるように選択する。一方、切換ス
イッチＳＷ１及び切換スイッチＳＷ２がオフの場合に
は、電源装置２及び電源装置３は単独運転となり、出力
抵抗も低くなり、出力電圧精度の誤差の低下を防ぐこと
ができる。なお、単独時（切換スイッチＳＷ１及び切換
スイッチＳＷ２がオフの時）と並列時（切換スイッチＳ
Ｗ１及び切換スイッチＳＷ２がオンの時）で出力電圧精
度の要求が同じなら、この切換スイッチＳＷ１及び切換
スイッチＳＷ２は不要である。
２がオンの時には、電源装置２及び電源装置３の出力電
圧は、電流検出回路２３及び電流検出回路３３の電流検
出値と等価出力抵抗との積である等価出力抵抗電圧に相
当する電圧だけ設定電圧から減少した値となる。従っ
て、等価出力抵抗すなわち電流値帰還回路６１及び電流
値帰還回路６２の抵抗の値として、チャンネル間出力電
圧誤差に対し無効電流を一定値以下とし、かつ出力電圧
精度を目標値以内となるように選択する。一方、切換ス
イッチＳＷ１及び切換スイッチＳＷ２がオフの場合に
は、電源装置２及び電源装置３は単独運転となり、出力
抵抗も低くなり、出力電圧精度の誤差の低下を防ぐこと
ができる。なお、単独時（切換スイッチＳＷ１及び切換
スイッチＳＷ２がオフの時）と並列時（切換スイッチＳ
Ｗ１及び切換スイッチＳＷ２がオンの時）で出力電圧精
度の要求が同じなら、この切換スイッチＳＷ１及び切換
スイッチＳＷ２は不要である。
【００２１】第２の実施の形態の場合、電源装置２及び
電源装置３が並列運転なので、両者のうち出力電圧が誤
差によって高い方のチャンネルの出力電流は大きくなる
が、電流の大きいチャンネルの電圧の低下は大きいた
め、結果的にチャンネル間誤差は圧縮され、出力電流も
ほぼ均等に流れるようになる。これによって、従来のよ
うに出力電圧が不安定になることはなく、安定に電源電
流を供給できるようになる。また、並列接続された電源
装置間の無効電流を所定の値以下とする。出力電流はレ
ンジ切り替えにより小さい電流レンジほど増幅度が大き
いため、出力抵抗を大きくでき、無効電流の比率をレン
ジによらず一定にすることができる。
電源装置３が並列運転なので、両者のうち出力電圧が誤
差によって高い方のチャンネルの出力電流は大きくなる
が、電流の大きいチャンネルの電圧の低下は大きいた
め、結果的にチャンネル間誤差は圧縮され、出力電流も
ほぼ均等に流れるようになる。これによって、従来のよ
うに出力電圧が不安定になることはなく、安定に電源電
流を供給できるようになる。また、並列接続された電源
装置間の無効電流を所定の値以下とする。出力電流はレ
ンジ切り替えにより小さい電流レンジほど増幅度が大き
いため、出力抵抗を大きくでき、無効電流の比率をレン
ジによらず一定にすることができる。
【００２２】なお、第２の実施の形態の場合も同様に２
個の電源装置を接続した場合について説明したが、４
個、８個、１６個、３２個の電源装置を接続する場合に
も同様に適用できることはいうまでもない。また、電源
装置を複数接続する場合には、電流値帰還回路をオンす
るだけでよく、第１の実施の形態のように電流平均回路
を設けて接続される電源装置の出力電流の平均を取らな
くてもよく、簡易に電流容量の増加に対応することがで
きるという効果がある。
個の電源装置を接続した場合について説明したが、４
個、８個、１６個、３２個の電源装置を接続する場合に
も同様に適用できることはいうまでもない。また、電源
装置を複数接続する場合には、電流値帰還回路をオンす
るだけでよく、第１の実施の形態のように電流平均回路
を設けて接続される電源装置の出力電流の平均を取らな
くてもよく、簡易に電流容量の増加に対応することがで
きるという効果がある。
【００２３】図３は、本発明に係るＩＣ試験装置用電源
装置の第３の実施の形態の構成を示す図である。第３の
実施の形態に係るＩＣ試験装置用電源装置は、図１の第
１の実施の形態に係るものと、図２の第２の実施の形態
に係るものとを組み合わせ、必要な電圧精度と電流容量
に応じて、両者を切り替えて使用するようにしたもので
ある。電源装置２及び電源装置３を単独で使用する場合
には、各スイッチＳＷ１ａ，ＳＷ１ｂ，ＳＷ２ａ，ＳＷ
２ｂをそれぞれオフ状態にし、本来の電圧出力精度で運
転できるようにする。電圧精度が必要で電流容量を増や
したい場合には、スイッチＳＷ１ａ，ＳＷ１ｂをオン状
態に、スイッチＳＷ２ａ，ＳＷ２ｂをオフ状態にし、図
１の電源装置として動作させる。出力電圧精度は低下し
てもよいから、より電流容量を増やしたい場合には、ス
イッチＳＷ１ａ，ＳＷ１ｂをオフ状態に、スイッチＳＷ
２ａ，ＳＷ２ｂをオン状態にし、図２の電源装置として
動作させる。図２の構成の電源装置の場合、電源装置を
多数並列に接続できるので、大きな電流容量を得ること
ができる。
装置の第３の実施の形態の構成を示す図である。第３の
実施の形態に係るＩＣ試験装置用電源装置は、図１の第
１の実施の形態に係るものと、図２の第２の実施の形態
に係るものとを組み合わせ、必要な電圧精度と電流容量
に応じて、両者を切り替えて使用するようにしたもので
ある。電源装置２及び電源装置３を単独で使用する場合
には、各スイッチＳＷ１ａ，ＳＷ１ｂ，ＳＷ２ａ，ＳＷ
２ｂをそれぞれオフ状態にし、本来の電圧出力精度で運
転できるようにする。電圧精度が必要で電流容量を増や
したい場合には、スイッチＳＷ１ａ，ＳＷ１ｂをオン状
態に、スイッチＳＷ２ａ，ＳＷ２ｂをオフ状態にし、図
１の電源装置として動作させる。出力電圧精度は低下し
てもよいから、より電流容量を増やしたい場合には、ス
イッチＳＷ１ａ，ＳＷ１ｂをオフ状態に、スイッチＳＷ
２ａ，ＳＷ２ｂをオン状態にし、図２の電源装置として
動作させる。図２の構成の電源装置の場合、電源装置を
多数並列に接続できるので、大きな電流容量を得ること
ができる。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、小容量の電源回路を並
列的に接続して大容量の電源電圧を構成した場合でも、
設定電圧通りの出力電圧を安定的に供給するができると
いう効果がある。
列的に接続して大容量の電源電圧を構成した場合でも、
設定電圧通りの出力電圧を安定的に供給するができると
いう効果がある。
【図１】 本発明に係るＩＣ試験装置用電源装置の第１
の実施の形態の概略構成を示す図である。
の実施の形態の概略構成を示す図である。
【図２】 本発明に係るＩＣ試験装置用電源装置の第２
の実施の形態の概略構成を示す図である。
の実施の形態の概略構成を示す図である。
【図３】 本発明に係るＩＣ試験装置用電源装置の第３
の実施の形態の概略構成を示す図である。
の実施の形態の概略構成を示す図である。
【図４】 従来のＩＣ試験装置用電源装置の概略構成を
示す図である。
示す図である。
１…設定電圧、２，３…電源装置、４…被測定ＩＣ、５
…誤差電圧補正回路、２１，３１…電圧誤差アンプ、２
２，３２…出力アンプ、２３，３３…電流検出回路、２
４，３４…ケーブル抵抗、５１…電流平均回路、５２，
５３…電流誤差アンプ、６１，６２…電流値帰還回路
…誤差電圧補正回路、２１，３１…電圧誤差アンプ、２
２，３２…出力アンプ、２３，３３…電流検出回路、２
４，３４…ケーブル抵抗、５１…電流平均回路、５２，
５３…電流誤差アンプ、６１，６２…電流値帰還回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 有働 清健 東京都渋谷区東３丁目16番３号 日立電子 エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 久津野 孝夫 東京都渋谷区東３丁目16番３号 日立電子 エンジニアリング株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 設定電圧に応じた電力を供給する複数の
電源回路群と、 前記電源回路群の中の少なくとも２つの電源回路から電
力の供給を受ける被測定ＩＣと、 前記被測定ＩＣに電力を供給している複数の電源回路の
出力電流に基づいて前記設定電圧と出力電圧との間の誤
差電圧を補正する誤差電圧補正手段とを具えたことを特
徴とするＩＣ試験装置用電源装置。 - 【請求項２】 前記誤差電圧補正手段は、前記複数の電
源回路の出力電流の平均を検出する電流平均回路と、前
記複数の電源回路の出力電流のそれぞれと前記電流平均
回路によって検出された平均電流との間の誤差電流に基
づいた補正電圧をそれぞれの電源回路の前記誤差電圧に
フィードバックする電流誤差アンプとから構成されるこ
とを特徴とする請求項１に記載のＩＣ試験装置用電源装
置。 - 【請求項３】 前記誤差電圧補正手段は、前記複数の電
源回路の各出力電流に比例した補正電圧を各電源回路の
前記誤差電圧にフィードバックする電流値帰還回路から
構成されることを特徴とする請求項１に記載のＩＣ試験
装置用電源装置。 - 【請求項４】 前記誤差電圧補正手段を、 前記複数の電源回路の出力電流の平均を検出する電流平
均回路と、前記複数の電源回路の出力電流のそれぞれと
前記電流平均回路によって検出された平均電流との間の
誤差電流に基づいた補正電圧をそれぞれの電源回路の前
記誤差電圧にフィードバックする電流誤差アンプとから
構成される平均電流制御方式の補正手段と、 前記複数の電源回路の出力電流に比例した補正電圧をそ
れぞれの電源回路の前記誤差電圧にフィードバックする
電流値帰還回路から構成される電源抵抗制御方式の補正
手段とで構成し、 これらの補正手段を出力電圧精度及び電流容量とに応じ
て切り換えて使用することを特徴とする請求項１に記載
のＩＣ試験装置用電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10339538A JP2000081460A (ja) | 1998-06-25 | 1998-11-30 | Ｉｃ試験装置用電源装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17901998 | 1998-06-25 | ||
| JP10-179019 | 1998-06-25 | ||
| JP10339538A JP2000081460A (ja) | 1998-06-25 | 1998-11-30 | Ｉｃ試験装置用電源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000081460A true JP2000081460A (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=26499005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10339538A Pending JP2000081460A (ja) | 1998-06-25 | 1998-11-30 | Ｉｃ試験装置用電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000081460A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011075308A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Ricoh Co Ltd | 半導体試験装置、半導体試験装置の制御方法、プログラム、及び記録媒体 |
| CN113092893A (zh) * | 2021-03-06 | 2021-07-09 | 柏瑞彪 | 电线电缆测试设备 |
-
1998
- 1998-11-30 JP JP10339538A patent/JP2000081460A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011075308A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Ricoh Co Ltd | 半導体試験装置、半導体試験装置の制御方法、プログラム、及び記録媒体 |
| CN113092893A (zh) * | 2021-03-06 | 2021-07-09 | 柏瑞彪 | 电线电缆测试设备 |
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