JP2011255479A - 研磨装置および研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワーク5を回転駆動するためのワークスピンドル15に角度調整機構を折り込み、ワーク5を規制保持した状態でワーク5の被研磨面をラップ定盤2の研磨面に押し当て、そのままの状態で角度調整機構をロックするよう構成する。これにより、ラップ定盤2表面の実際の偏摩耗による傾斜を測定することなしにワーク5の傾斜並びにワークスピンドル15の調整を可能にする。ワークスピンドル15は軸方向に間隔を設けた一対の自動調芯軸受31、32で軸支され、この一対の自動調芯軸受相互31、32間相互間の軸に垂直な方向の相対的なずれを許容してワークスピンドル15を傾斜自在の状態とする。
【選択図】図1
Description
Claims (7)
- 回転するラップ定盤の表面にワークを押し当てて当該ワークを研磨する研磨方法において、
加工開始に当り、ラップ定盤に対向してワークを保持するワークスピンドルを傾斜自在の状態として前記ワークの被研磨面をラップ定盤の表面に押し当て、これによりラップ定盤の偏摩耗による傾斜度とワークの傾斜度とが整合した状態で前記ワークスピンドルの傾斜を固定し、研磨作業を行うことを特徴とする研磨方法。 - 加工途中において、前記ワークスピンドルを傾斜自在の状態に戻して当該ワークスピンドルに固定されたワークの被研磨面をラップ定盤の表面に押し当て、これによりラップ定盤の偏摩耗による傾斜度とワークの傾斜度とを整合し直した状態で前記ワークスピンドルの傾斜を再度固定し、ラップ加工を再開することを特徴とする、請求項1に記載の研磨方法。
- 前記ワークスピンドルを軸方向に間隔を設けた一対の自動調芯軸受で軸支し、前記一対の自動調芯軸受相互間における軸に垂直な方向の相対的なずれを許容すること、または拘束することにより、それぞれ前記ワークスピンドルの傾斜自在の状態とすること、または傾斜固定の状態とすることを特徴とする、請求項1に記載の研磨方法。
- 基台と、
前記基台に取り付けられたモータによって回転駆動されるラップ定盤と、
前記基台に対して相対移動可能に支持された主軸台と、
前記主軸台に取り付けられたモータによって回転駆動されるワークスピンドルとから構成され、
前記ワークスピンドルに固定されたワークを前記ラップ定盤に押し当てて前記ワークの平面を研磨する研磨装置において、
当該装置が前記ワークスピンドルを回転可能に保持する保持構造体をさらに備え、当該保持構造体が、前記ラップ定盤の表面の偏摩耗に対応する前記ワークスピンドルの傾斜を許容する状態と、当該ワークスピンドルの傾斜を拘束する状態とを切り替え可能に構成されていることを特徴とする研磨装置。 - 前記保持構造体が、前記ワークスピンドルの軸方向に離れて配置されて当該ワークスピンドルを回転可能に支持する一対の自動調芯軸受と、前記一対の自動調芯軸受をそれぞれ固定する一対のケース部材と、前記一対のケース部材の前記軸方向に直交する方向の相互のずれを許容し、もしくはそのずれた状態を拘束する固定機構とから構成されるスピンドル保持部を含む、請求項4に記載の研磨装置。
- 前記固定機構が、一端が前記一対のケースのいずれか一方のケースの外周に放射状に取り付けられ、他端がいずれか他方のケースの対応する位置に設けられた貫通穴を貫通する複数の固定ピンと、前記ピンの他端が差し込まれる穴を有し、前記他方のケースの周囲を巡る固定リングと、前記固定リングと前記他方のケースとを結ぶシリンダとから構成され、当該シリンダの圧縮操作によって前記ずれた状態を拘束するよう構成されている、請求項5に記載の研磨装置。
- 前記保持構造体が、前記ワークを前記ラップ定盤に押し付ける力を一定とするよう制御する制御機構を更に含む、請求項4に記載の研磨装置。
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JP2015226938A (ja) * | 2014-05-30 | 2015-12-17 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置 |
CN109159019A (zh) * | 2018-09-28 | 2019-01-08 | 大连理工大学 | 一种楔形基片研磨装置及其工作方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61121860A (ja) * | 1984-11-17 | 1986-06-09 | M S Ee:Kk | ドリル研摩用ホルダ−装置 |
JPH01138545U (ja) * | 1988-03-07 | 1989-09-21 | ||
JPH0516065A (ja) * | 1991-07-12 | 1993-01-26 | Mitsubishi Electric Corp | 研磨装置 |
JP2001150339A (ja) * | 1999-11-26 | 2001-06-05 | Sony Corp | 研磨装置および研磨方法 |
JP2007210074A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Shuwa Kogyo Kk | 研削装置および研磨装置、並びに研削方法および研磨方法 |
-
2010
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61121860A (ja) * | 1984-11-17 | 1986-06-09 | M S Ee:Kk | ドリル研摩用ホルダ−装置 |
JPH01138545U (ja) * | 1988-03-07 | 1989-09-21 | ||
JPH0516065A (ja) * | 1991-07-12 | 1993-01-26 | Mitsubishi Electric Corp | 研磨装置 |
JP2001150339A (ja) * | 1999-11-26 | 2001-06-05 | Sony Corp | 研磨装置および研磨方法 |
JP2007210074A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Shuwa Kogyo Kk | 研削装置および研磨装置、並びに研削方法および研磨方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015226938A (ja) * | 2014-05-30 | 2015-12-17 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置 |
CN109159019A (zh) * | 2018-09-28 | 2019-01-08 | 大连理工大学 | 一种楔形基片研磨装置及其工作方法 |
CN109159019B (zh) * | 2018-09-28 | 2020-06-02 | 大连理工大学 | 一种楔形基片研磨装置及其工作方法 |
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