JP2011238851A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011238851A JP2011238851A JP2010110445A JP2010110445A JP2011238851A JP 2011238851 A JP2011238851 A JP 2011238851A JP 2010110445 A JP2010110445 A JP 2010110445A JP 2010110445 A JP2010110445 A JP 2010110445A JP 2011238851 A JP2011238851 A JP 2011238851A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- interlayer insulating
- end point
- point detection
- detection material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】終点検出材5を配置する工程では、終点検出材5として層間絶縁膜3より反射率が低いものを用い、導電部材6を配置する工程では、導電部材6として絶縁膜3より反射率が高いものを用い、平坦化する工程では、研磨面に光を照射すると共に研磨面からの反射光を検出しながら行い、検出した反射光の反射強度が減少して増加した後にCMP法を終了する。
【選択図】図2
Description
本発明の第1実施形態について説明する。図1は、本実施形態の半導体装置の製造方法により製造された半導体装置の断面構成を示す図であり、この図に基づいて説明する。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態の半導体装置の製造方法は、第1実施形態に対して、終点検出材5として絶縁材料を用いたものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図4は、本実施形態における半導体装置の製造工程を示す断面図である。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態の半導体装置の製造方法は、第2実施形態に対して、終点検出材5と層間絶縁膜3との間に層間絶縁膜3より粘性の低い膜を配置したものであり、その他に関しては第2実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図5は、本実施形態における半導体装置の製造工程を示す断面図である。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態の半導体装置の製造方法は、第2実施形態に対して、下地段差を変更したものであり、その他に関しては第2実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図6は、本実施形態における半導体装置の製造方法により製造された半導体装置の断面構成を示す図である。
上記第1〜第3実施形態では、下地段差が下地配線2aであるものを例に挙げて説明し、上記第4実施形態では下地段差が第1、第2電極2b、2cであるものを例に挙げて説明したが、下地段差はこれに限定されるものではない。図8は、他の実施形態にかかる半導体装置の製造方法により製造された半導体装置の断面構成を示す図である。
2a 下地配線
3 層間絶縁膜
4 ヴィアホール
5 終点検出材
6 導電部材
Claims (4)
- 基板(1)上に下地段差(2a〜2f)を備えると共に当該下地段差(2a〜2f)を覆う層間絶縁膜(3)を備え、前記層間絶縁膜(3)に前記下地段差(2a〜2f)を露出させるヴィアホール(4)が形成されており、当該ヴィアホール(4)に前記下地段差(2a〜2f)と電気的に接続される導電部材(6)が埋め込まれた半導体装置の製造方法において、
前記基板(1)上に前記下地段差(2a〜2f)を形成する工程と、
前記基板(1)上に前記下地段差(2a〜2f)を覆う前記層間絶縁膜(3)を形成する工程と、
前記層間絶縁膜(3)上に終点検出材(5)を配置する工程と、
前記層間絶縁膜(3)に前記下地段差(2a〜2f)を露出させる前記ヴィアホール(4)を形成する工程と、
前記ヴィアホール(4)内および前記層間絶縁膜(3)上に前記導電部材(6)を配置する工程と、
化学機械研磨法により、前記層間絶縁膜(3)上の前記導電部材(6)を除去しつつ、前記層間絶縁膜(3)を平坦化する工程と、を含み、
前記終点検出材(5)を配置する工程では、前記終点検出材(5)として前記層間絶縁膜(3)より反射率が低いものを用い、
前記導電部材(6)を配置する工程では、前記導電部材(6)として前記層間絶縁膜(3)より反射率が高いものを用い、
前記平坦化する工程では、研磨面に光を照射すると共に前記研磨面からの反射光を検出しながら行い、検出した反射光の反射強度が減少して増加した後に化学機械研磨法を終了することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記終点検出材(5)として導電材料を用い、
前記終点検出材(5)を配置する工程は、前記ヴィアホール(4)を形成する工程の後に行い、前記ヴィアホール(4)および前記層間絶縁膜(3)上に前記終点検出材(5)を配置することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記終点検出材(5)として絶縁材料を用い、
前記終点検出材(5)を配置する工程は、前記ヴィアホール(4)を形成する工程の前に行い、
前記ヴィアホール(4)を形成する工程では、前記層間絶縁膜(3)および前記終点検出材(5)に前記下地段差(2a〜2f)を露出させる前記ヴィアホール(4)を形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記層間絶縁膜(3)を形成する工程の後、前記層間絶縁膜(3)上に前記層間絶縁膜(3)より粘性の低い膜(7)を配置することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010110445A JP5581798B2 (ja) | 2010-05-12 | 2010-05-12 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010110445A JP5581798B2 (ja) | 2010-05-12 | 2010-05-12 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011238851A true JP2011238851A (ja) | 2011-11-24 |
JP5581798B2 JP5581798B2 (ja) | 2014-09-03 |
Family
ID=45326482
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010110445A Expired - Fee Related JP5581798B2 (ja) | 2010-05-12 | 2010-05-12 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5581798B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013065808A1 (en) | 2011-10-31 | 2013-05-10 | Yazaki Corporation | Wire harness with protective member |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08293554A (ja) * | 1995-04-21 | 1996-11-05 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 3層の誘電体層を有する半導体デバイス構造およびその製造方法 |
JP2002009030A (ja) * | 2000-06-16 | 2002-01-11 | Nec Corp | 半導体ウェハの研磨終点検出方法ならびにその装置 |
JP2003168666A (ja) * | 2001-12-03 | 2003-06-13 | Nikon Corp | 膜層状態測定方法、膜層状態測定装置、研磨装置及び半導体デバイスの製造方法 |
JP2004172337A (ja) * | 2002-11-20 | 2004-06-17 | Sony Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2009129970A (ja) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Ebara Corp | 研磨装置及び研磨方法 |
-
2010
- 2010-05-12 JP JP2010110445A patent/JP5581798B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08293554A (ja) * | 1995-04-21 | 1996-11-05 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 3層の誘電体層を有する半導体デバイス構造およびその製造方法 |
JP2002009030A (ja) * | 2000-06-16 | 2002-01-11 | Nec Corp | 半導体ウェハの研磨終点検出方法ならびにその装置 |
JP2003168666A (ja) * | 2001-12-03 | 2003-06-13 | Nikon Corp | 膜層状態測定方法、膜層状態測定装置、研磨装置及び半導体デバイスの製造方法 |
JP2004172337A (ja) * | 2002-11-20 | 2004-06-17 | Sony Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2009129970A (ja) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Ebara Corp | 研磨装置及び研磨方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013065808A1 (en) | 2011-10-31 | 2013-05-10 | Yazaki Corporation | Wire harness with protective member |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5581798B2 (ja) | 2014-09-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5305901B2 (ja) | Mimキャパシタおよびその製造方法 | |
TWI524505B (zh) | 半導體裝置及其製造方法 | |
JP4949656B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
KR20080061030A (ko) | 반도체 소자의 금속 배선 형성 방법 | |
CN101477978A (zh) | 半导体装置 | |
JP2009141237A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2009295733A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
TWI244160B (en) | Method for manufacturing dual damascene structure with a trench formed first | |
US10870576B2 (en) | Semiconductor sensor and method of manufacturing the same | |
KR100718804B1 (ko) | 반도체 소자 및 그 제조 방법 | |
JP5581798B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2005197692A (ja) | 半導体素子のデュアルダマシンパターン形成方法 | |
US20080242084A1 (en) | Method for planarizing an insulation layer in a semiconductor device capable of omitting a mask process and an etching process | |
JP4943008B2 (ja) | 半導体素子の形成方法 | |
JP2006228977A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2004296802A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US7180188B2 (en) | Contact structure of semiconductor devices and method of fabricating the same | |
JP2013172103A (ja) | 配線の形成方法 | |
JP2005150682A (ja) | 半導体素子の金属配線の形成方法 | |
KR100400035B1 (ko) | 균일한 접촉 저항을 갖는 콘택을 구비한 반도체 소자 및그의 제조방법 | |
KR100720518B1 (ko) | 반도체 소자 및 그 제조방법 | |
KR100226258B1 (ko) | 다층 금속 배선 형성 방법 | |
KR20090064805A (ko) | 반도체 소자의 mim 커패시터 제조 방법 | |
JP2006253268A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
KR100857989B1 (ko) | 반도체 소자의 금속 배선 형성 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121114 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131126 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140122 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140617 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140630 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5581798 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |