JP2011238342A - 磁気抵抗効果センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
下部シールド21の上にシード層24、フリー層25、接合層26、リファレンス層27および交換ピンニング層28をこの順に形成する。パターニング後、センサ積層体の側壁33に沿って、共形の絶縁層23を形成する。その後、絶縁層23の上に上部シールド22tを形成する。上部シールド22tは、狭いリードギャップによってフリー層25から分離されている。PMAがフリー層25の自己減磁界よりも大きい場合、センサは、幅50nm未満まで拡大可能である。有効バイアス磁界は、センサのアスペクト比に対してあまり反応しないため、ストライプが高く、幅の狭いセンサにより、高いRA値を有するTMR構造が実現可能となる。
【選択図】図6
Description
(1)永久磁石ハードバイアス構造を用いずに、フリー層に対して磁気バイアスが実現されること。
(2)磁気バイアスの強さが狭いリードギャップ距離によって影響されない、あるいは、容易に補われ得ること。
(3)フリー層の設計サイズがより小さくなっても、フリー層の自己減磁界による不安定化現象が増大しないこと。
(4)フリー層エッジ上のサイドシールドエッジからの静磁結合が最小化されていること。
前記フリー層は、ゼロ磁場環境下において磁化方向が前記下部シールドの上面に対して垂直な磁気異方性を有し、前記リファレンス層の磁化方向は前記下部シールドの上面に対して平行かつ前記フリー層のセンシング方向と同じ方向であり、前記交換ピンニング層からの交換結合によって保持される。
図6(A)は、本発明の第1の実施の形態に係るMR再生ヘッド36のABS側から見た構成を表すものである。このMR再生ヘッド36は、トップスピンバルブ構造のTMRセンサ積層体(以下、センサ積層体)を有している。センサ積層体は、下部シールド21の上に、シード層24、PMAを有するフリー層25、接合層26、リファレンス層27および交換ピンニング層28をこの順に形成したものである。下部シールド21は、例えばCoFeまたはCoFeNiなどからなり、下部電極として機能する。電流は、センサ積層体をCPP(Current Perpendicular to Plane)方向に流れ、更にこの下部シールド21を上部シールド22tのサイドシールドに沿って流れ、これによりフリー層25の磁化状態を検出するようになっている。
例えば、シード層24は、Ruからなり、このRu層上を、(Co/Pt)Y 、(Fe/Pt)Y 、(CoFe/Pt)Y 3または(Co/Pd)Y からなるフリー層25が覆っていてもよい(Yは整数)。その他、フリー層25は、FePt、CoPt、またはCoCrPtの単層であってもよい。あるいはシード層24を、(Co/Pt)Y 、または(Co/Pd)Y からなるフリー層25に応じてPt、Pd、またはその他の金属若しくは合金により形成してもよい。この結果、フリー層25の磁化方向(磁気異方性)は、y軸に対して平行であり、センサ積層体の層面に対して垂直となる。フリー層25の異方性は、フリー層25の減磁界よりも大きいことが望ましく、これによりセンサはより小さな幅へと縮小可能になる。センサの大きさがx軸方向に減少すると、フリー層25の磁化がx軸方向に配向されている従来のセンサ構造よりも、フリー層25の磁化を不安定化する減磁界を考慮しなくてよくなる。また、フリー層25の磁化を垂直に配向すると、フリー層25の上面および下面における磁荷によってサイドシールド22a、22b内に生成される磁界が減少し、エッジ磁荷を引き付けるようになるため、フリー層25のサイドシールド22a、22bに対する結合が減少する。
図7は本発明の第2の実施の形態を表すものである。本実施の形態のセンサ積層体は、図6(A)の構造と基本的に同じであるが、シールド構造が(−)y軸方向に拡張され、下部シールド21がペデスタル部21pを有する構成となっている。絶縁層23は、センサ積層体の側壁33に隣接する上部23cと、下部シールド21のペデスタル部21pに隣接する中間部23bと、下部シールド21の上面21h上に形成された下部23aとによって構成される。下部シールド21の上面21hはセンサ積層体の上面28sに平行となっている。後述のように、下部シールド21のペデスタル部21pは、イオンミリングまたはエッチング処理によって形成される。好ましくは、ペデスタル部21pの側面21sは、下部シールド21に垂直な面37−37に対して、角αが0度より大きくなるように形成され、側壁33を覆う。これによりアスペクト比が高くなり、構造的崩壊を起こす事態を回避することができる。センサ積層体とペデスタル部21pとの厚さの合計はセンサ積層体の幅よりも十分に大きくする。なお、本発明は、ペデスタル部21pの側面21sが垂直であり、センサ積層体の側壁33と同一平面上にある構成も含むものである。
Claims (29)
- (a)上面を有する下部シールドと、
(b)前記下部シールドの上面にシード層、磁気フリー層、接合層、磁気リファレンス層および交換ピンニング層をこの順に有すると共に側壁を有するセンサ積層体と、
(c)前記下部シールドの上面に形成されると共に、前記センサ積層体の側壁に隣接する絶縁層と、
(d)前記センサ積層体の上面に接触し、前記下部シールドに電気的に接続されると共に、前記絶縁層に隣接してサイドシールド部を有する上部シールドとを備え、
前記フリー層は、ゼロ磁場環境下において磁化方向が前記下部シールドの上面に対して垂直な磁気異方性を有し、
前記リファレンス層の磁化方向は前記下部シールドの上面に対して平行かつ前記フリー層のセンシング方向と同じ方向であり、前記交換ピンニング層からの交換結合によって保持される
磁気抵抗効果センサ。 - 前記シード層により前記フリー層の垂直磁気異方性が付与されている
請求項1記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記垂直磁気異方性は、前記フリー層内の減磁界よりも大きい
請求項1記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記シード層は、Ta、Ru、Ti、Cu、Ag、Au、NiCr、NiFeCr、CrTi、これらの元素の組み合わせ、およびTa/Ti/Cu合成物を含む合金のうち少なくとも1つからなる材料で構成されている
請求項1記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記フリー層は、(Co/Ni)x 多層構造または(CoFe/Ni)x 多層構造(Xは5〜50)を有する
請求項1記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記フリー層は、(Co/Pt)Y 、(Fe/Pt)Y 、(CoFe/Pt)Y または(Co/Pd)Y (Yは整数)、若しくはFePt、CoPt、またはCoCrPtからなる単層である
請求項1記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記フリー層は、前記接合層に接触する上部FL1軟磁性層と、垂直磁気異方性を有する下部FL2層との積層構造を有し、
前記FL1層は、前記FL2層との交換結合に起因して前記フリー層面に垂直な磁化方向を有する
請求項1記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記FL1層は、CoFe、CoFeB、またはそれらの組み合わせによって構成される
請求項7記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記リファレンス層は、Co、Fe、Ni、B、およびTaのうち1以上の材料からなる軟磁性層、またはCoFeおよびCoFeBの積層構造である
請求項1記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記交換ピンニング層は、前記リファレンス層を固定する反強磁性層である
請求項1記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記交換ピンニング層は、前記リファレンス層に接触する下部Ru結合層と、前記Ru結合層上に形成された中間ピンド層と、前記ピンド層に接触する上部AFM層との積層構造を有する
請求項1記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記下部Ru結合層および前記中間ピンド層は、前記リファレンス層とともに反平行結合膜(SyAF)構造を形成する
請求項11記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記ピンド層は、Co、Fe、Ni、B、およびTaのうち1つ以上の材料からなる軟磁性層である
請求項11記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記交換ピンニング層は、面内異方性を有する硬磁性層であり、強磁界によって自身の磁化方向を予め定めた後に、交換によって前記リファレンス層を固定する
請求項1記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記接合層は、Mg、Al、Zn、またはTiの酸化物、若しくはMgと、Al、Zn、またはTiとの組み合わせの酸化物よりなる層である
請求項1記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記接合層は、Cuによって構成された層、若しくは、上部Cu層と、下部Cu層と、Mg、Al、Zn、またはTiの酸化物である絶縁材料内に形成された、Cuナノピラーを含む中間部とからなる層である
請求項1記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記センサ積層体の側壁は、前記シード層内部まで拡張されているが、前記下部シールドとは接触しない
請求項1記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記センサ積層体の側壁は、前記下部シールド内部まで拡張されている
請求項1記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記サイドシールドの下面は、前記下部シールドの上面を含む面より上にある
請求項17記載の磁気抵抗効果センサ。 - 前記サイドシールドの下面は、前記下部シールドの上面と同一平面上、または、前記下部シールドの上面よりも下の位置にある
請求項18記載の磁気抵抗効果センサ。 - (a)基板上に、上面を備えた下部シールドを形成する工程と、
(b)前記下部シールドの上面部分の上にシード層と、磁気フリー層と、接合層と、磁気リファレンス層と、交換ピンニング層とをこの順に積層してセンサ積層体を形成する工程と、
(c)前記センサ積層体をパターニングして側壁を形成する工程と
を含み、
前記フリー層は、ゼロ磁場環境下において磁化方向が前記下部シールドの上面に対して垂直な磁気異方性を有し、
前記リファレンス層の磁化方向は前記下部シールドの上面に対して平行かつ前記フリー層のセンシング方向と同じ方向であり、前記交換ピンニング層からの交換結合によって保持される
磁気抵抗効果センサの製造方法。 - 前記センサ積層体をパターニングする工程は、前記シード層内を終点とするエッチング工程を含み、
(1)前記センサ積層体の側壁に沿った部分および前記パターニングされたセンサ積層体によって覆われていない前記シード層上面部分の上に、絶縁層を形成する工程と、
(2)前記絶縁層および前記センサ積層体の上面に上部シールドを形成すると共に、前記上部シールドを前記下部シールドと電気的に接続させる工程と
を更に含み、
前記上部シールドは、前記絶縁層に隣接するサイドシールド部を含む
請求項21記載の磁気抵抗効果センサの製造方法。 - 前記センサ積層体をパターニングする工程は、前記下部シールド内を終点とするエッチング工程を含み、
(1)前記センサ積層体の側壁に沿った部分および前記パターニングされたセンサ積層体によって覆われていない前記下部シールド層上面部分の上に、絶縁層を形成する工程と、
(2)前記絶縁層および前記センサ積層体の上面に上部シールドを形成すると共に、前記上部シールドを前記下部シールドと電気的に接続させる工程と
を更に含み、
前記上部シールドは、前記絶縁層に隣接するサイドシールド部を含む
請求項21記載の磁気抵抗効果センサの製造方法。 - 前記フリー層を、(Co/Ni)x 多層構造、(CoFe/Ni)x 多層構造、若しくは(Co/Pt)Y 、(Fe/Pt)Y 、(CoFe/Pt)Y 、または(Co/Pd)Y からなる多層構造、あるいはFePt、CoPtまたはCoCrPtの単層によって構成する(Xは1〜50、Yは整数である)
請求項21記載の磁気抵抗効果センサの製造方法。 - 前記フリー層は、前記接合層に接触する上部FL1軟磁性層と、垂直磁気異方性を有する下部FL2層とからなる積層構造を有し、
前記FL1層は、前記FL2層との交換結合に起因して前記フリー層面に垂直な磁化を有する
請求項21記載の磁気抵抗効果センサの製造方法。 - 前記リファレンス層は、Co、Fe、Ni、B、およびTaのうち1以上の材料からなる軟磁性層、またはCoFeBおよびCoFeの積層構造である
請求項21記載の磁気抵抗効果センサの製造方法。 - 前記リファレンス層およびAFM層の磁化方向をアニール処理によって一定の方向に予め固定する
請求項21記載の磁気抵抗効果センサの製造方法。 - 前記サイドシールドの下面は、前記下部シールドの上面を含む面より上にある
請求項22記載の磁気抵抗効果センサの製造方法。 - 前記サイドシールドの下面は、前記下部シールドの上面と同一平面上、または、前記下部シールドの上面よりも下の位置にある
請求項23記載の磁気抵抗効果センサの製造方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20140022668A1 (en) * | 2011-10-03 | 2014-01-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic head |
JP2014089793A (ja) * | 2012-10-30 | 2014-05-15 | Hgst Netherlands B V | 交換結合側面遮蔽構造を備えた面垂直電流(cpp)磁気抵抗(mr)センサ |
JP2014154207A (ja) * | 2013-02-11 | 2014-08-25 | Hgst Netherlands B V | スピンホール効果を利用する磁気読み取りセンサー |
JP2015008216A (ja) * | 2013-06-25 | 2015-01-15 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 磁気シールド、半導体装置および半導体パッケージ |
JP2017183355A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | Tdk株式会社 | 強磁性トンネル接合体の製造方法、強磁性トンネル接合体及び磁気抵抗効果素子 |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8953285B2 (en) * | 2010-05-05 | 2015-02-10 | Headway Technologies, Inc. | Side shielded magnetoresistive (MR) read head with perpendicular magnetic free layer |
US8441756B1 (en) | 2010-12-16 | 2013-05-14 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing an antiferromagnetically coupled writer |
US9123359B1 (en) | 2010-12-22 | 2015-09-01 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording transducer with sputtered antiferromagnetic coupling trilayer between plated ferromagnetic shields and method of fabrication |
US8760819B1 (en) * | 2010-12-23 | 2014-06-24 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording sensor with sputtered antiferromagnetic coupling trilayer between plated ferromagnetic shields |
CN202083786U (zh) * | 2011-01-07 | 2011-12-21 | 江苏多维科技有限公司 | 薄膜磁电阻传感元件、多个传感元件的组合及与该组合耦合的电子装置 |
US8541855B2 (en) * | 2011-05-10 | 2013-09-24 | Magic Technologies, Inc. | Co/Ni multilayers with improved out-of-plane anisotropy for magnetic device applications |
US8508006B2 (en) | 2011-05-10 | 2013-08-13 | Magic Technologies, Inc. | Co/Ni multilayers with improved out-of-plane anisotropy for magnetic device applications |
US8389962B2 (en) * | 2011-05-31 | 2013-03-05 | Applied Materials Israel, Ltd. | System and method for compensating for magnetic noise |
US8760823B1 (en) | 2011-12-20 | 2014-06-24 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing a read transducer having soft and hard magnetic bias structures |
US8797692B1 (en) | 2012-09-07 | 2014-08-05 | Western Digital (Fremont), Llc | Magnetic recording sensor with AFM exchange coupled shield stabilization |
US8780505B1 (en) | 2013-03-12 | 2014-07-15 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing a read transducer having an improved composite magnetic shield |
US9013836B1 (en) | 2013-04-02 | 2015-04-21 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing an antiferromagnetically coupled return pole |
US9030785B2 (en) | 2013-06-21 | 2015-05-12 | HGST Netherlands B.V. | Narrow read-gap head with recessed afm |
US9099109B2 (en) | 2013-09-05 | 2015-08-04 | Seagate Technology Llc | Magnetic stack with different areal extents on an air bearing surface |
US9099115B2 (en) * | 2013-11-12 | 2015-08-04 | HGST Netherlands B.V. | Magnetic sensor with doped ferromagnetic cap and/or underlayer |
US9183858B2 (en) | 2014-01-28 | 2015-11-10 | HGST Netherlands B.V. | Dual capping layer utilized in a magnetoresistive effect sensor |
US9047893B1 (en) | 2014-01-31 | 2015-06-02 | HGST Netherlands B.V. | Magnetic sensor having narrow trackwidth and small read gap |
JP6139444B2 (ja) * | 2014-03-18 | 2017-05-31 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果素子の製造方法及び磁気メモリ |
US9349397B2 (en) | 2014-03-26 | 2016-05-24 | HGST Netherlands B.V. | Higher stability read head utilizing a partial milling process |
US9007725B1 (en) | 2014-10-07 | 2015-04-14 | Western Digital (Fremont), Llc | Sensor with positive coupling between dual ferromagnetic free layer laminates |
US9177575B1 (en) | 2014-12-05 | 2015-11-03 | HGST Netherlands B.V. | Tunneling magnetoresistive (TMR) read head with reduced gap thickness |
US10074387B1 (en) | 2014-12-21 | 2018-09-11 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing a read transducer having symmetric antiferromagnetically coupled shields |
US9449621B1 (en) | 2015-03-26 | 2016-09-20 | Western Digital (Fremont), Llc | Dual free layer magnetic reader having a rear bias structure having a high aspect ratio |
US9177573B1 (en) | 2015-04-30 | 2015-11-03 | HGST Netherlands B.V. | Tunneling magnetoresistive (TMR) device with magnesium oxide tunneling barrier layer and free layer having insertion layer |
US9508365B1 (en) | 2015-06-24 | 2016-11-29 | Western Digital (Fremont), LLC. | Magnetic reader having a crystal decoupling structure |
US9852782B2 (en) | 2015-08-31 | 2017-12-26 | Western Digital Technologies, Inc. | Tilted synthetic antiferromagnet polarizer/reference layer for STT-MRAM bits |
US9747933B1 (en) | 2016-02-16 | 2017-08-29 | Tdk Corporation | Magneto-resistive effect element having side shield integrated with upper shield |
CN108269915B (zh) * | 2017-01-02 | 2023-09-22 | Imec 非营利协会 | 一种形成磁阻器件的方法以及磁阻器件 |
JP2021036199A (ja) * | 2017-10-06 | 2021-03-04 | 株式会社村田製作所 | 磁気センサ及び電流センサ |
US10283148B1 (en) * | 2017-10-31 | 2019-05-07 | Headway Technologies, Inc. | Magnetic reader sensor with shield-to-shield spacing improvement and better free layer-to-shield spacing control |
JP6605570B2 (ja) * | 2017-12-27 | 2019-11-13 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
US10381032B2 (en) | 2018-01-12 | 2019-08-13 | Western Digital Technologies, Inc. | Magnetic sensors with effectively shaped side shields |
JP6881413B2 (ja) * | 2018-10-15 | 2021-06-02 | Tdk株式会社 | 磁気センサ |
US11385305B2 (en) * | 2019-08-27 | 2022-07-12 | Western Digital Technologies, Inc. | Magnetic sensor array with dual TMR film |
US11316102B2 (en) * | 2020-05-04 | 2022-04-26 | Yimin Guo | Composite multi-stack seed layer to improve PMA for perpendicular magnetic pinning |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005203063A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP2006190360A (ja) * | 2005-01-04 | 2006-07-20 | Alps Electric Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
JP2007005803A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-01-11 | Tdk Corp | 磁気抵抗素子及び装置 |
JP2009283499A (ja) * | 2008-05-19 | 2009-12-03 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果ヘッド、磁気記録再生装置および磁気メモリ |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7054118B2 (en) | 2002-03-28 | 2006-05-30 | Nve Corporation | Superparamagnetic field sensing devices |
JP4006304B2 (ja) | 2002-09-10 | 2007-11-14 | 株式会社 日立ディスプレイズ | 画像表示装置 |
US6943993B2 (en) | 2003-02-11 | 2005-09-13 | Western Digital (Fremont), Inc. | Magnetic recording head with a side shield structure for controlling side reading of thin film read sensor |
US7443638B2 (en) | 2005-04-22 | 2008-10-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Magnetoresistive structures and fabrication methods |
US7532442B2 (en) | 2005-09-19 | 2009-05-12 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetoresistive (MR) elements having pinning layers formed from permanent magnetic material |
US7780820B2 (en) | 2005-11-16 | 2010-08-24 | Headway Technologies, Inc. | Low resistance tunneling magnetoresistive sensor with natural oxidized double MgO barrier |
US7479394B2 (en) | 2005-12-22 | 2009-01-20 | Magic Technologies, Inc. | MgO/NiFe MTJ for high performance MRAM application |
US7804668B2 (en) | 2006-11-16 | 2010-09-28 | Headway Technologies, Inc. | Enhanced hard bias in thin film magnetoresistive sensors with perpendicular easy axis growth of hard bias and strong shield-hard bias coupling |
US7929258B2 (en) | 2008-01-22 | 2011-04-19 | Seagate Technology Llc | Magnetic sensor including a free layer having perpendicular to the plane anisotropy |
US8057925B2 (en) * | 2008-03-27 | 2011-11-15 | Magic Technologies, Inc. | Low switching current dual spin filter (DSF) element for STT-RAM and a method for making the same |
US8395867B2 (en) * | 2009-03-16 | 2013-03-12 | Dimitar Velikov Dimitrov | Magnetic sensor with a recessed reference layer assembly and a front shield |
US8125746B2 (en) * | 2009-07-13 | 2012-02-28 | Seagate Technology Llc | Magnetic sensor with perpendicular anisotrophy free layer and side shields |
US8072800B2 (en) * | 2009-09-15 | 2011-12-06 | Grandis Inc. | Magnetic element having perpendicular anisotropy with enhanced efficiency |
US8184411B2 (en) | 2009-10-26 | 2012-05-22 | Headway Technologies, Inc. | MTJ incorporating CoFe/Ni multilayer film with perpendicular magnetic anisotropy for MRAM application |
JP5576095B2 (ja) | 2009-11-12 | 2014-08-20 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | Sram |
US8953285B2 (en) * | 2010-05-05 | 2015-02-10 | Headway Technologies, Inc. | Side shielded magnetoresistive (MR) read head with perpendicular magnetic free layer |
-
2010
- 2010-05-05 US US12/799,924 patent/US8953285B2/en active Active
-
2011
- 2011-05-06 JP JP2011103419A patent/JP6100990B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-12-23 US US14/581,141 patent/US9520147B2/en active Active
-
2016
- 2016-11-29 US US15/363,168 patent/US9761254B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005203063A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP2006190360A (ja) * | 2005-01-04 | 2006-07-20 | Alps Electric Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
JP2007005803A (ja) * | 2005-06-22 | 2007-01-11 | Tdk Corp | 磁気抵抗素子及び装置 |
JP2009283499A (ja) * | 2008-05-19 | 2009-12-03 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果ヘッド、磁気記録再生装置および磁気メモリ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20140022668A1 (en) * | 2011-10-03 | 2014-01-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic head |
US8842394B2 (en) * | 2011-10-03 | 2014-09-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic head |
JP2014089793A (ja) * | 2012-10-30 | 2014-05-15 | Hgst Netherlands B V | 交換結合側面遮蔽構造を備えた面垂直電流(cpp)磁気抵抗(mr)センサ |
JP2014154207A (ja) * | 2013-02-11 | 2014-08-25 | Hgst Netherlands B V | スピンホール効果を利用する磁気読み取りセンサー |
JP2015008216A (ja) * | 2013-06-25 | 2015-01-15 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 磁気シールド、半導体装置および半導体パッケージ |
JP2017183355A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | Tdk株式会社 | 強磁性トンネル接合体の製造方法、強磁性トンネル接合体及び磁気抵抗効果素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9761254B2 (en) | 2017-09-12 |
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US8953285B2 (en) | 2015-02-10 |
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