JP2011233918A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6182988B2 (ja) * 2013-06-12 2017-08-23 住友電気工業株式会社 分光デバイス及び波長選択スイッチ
US20170271131A1 (en) * 2016-03-16 2017-09-21 Applied Materials, Inc. Oriented laser activated processing chamber
JP7262217B2 (ja) * 2018-12-17 2023-04-21 住友重機械工業株式会社 光共振器
CN119470276B (zh) * 2025-01-08 2025-04-08 碳控科技(杭州)有限公司 一种长光程的co2光学腔及检测装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04301613A (ja) * 1991-03-29 1992-10-26 Toshiba Corp ビーム拡大・縮小器
JPH11330592A (ja) * 1998-05-19 1999-11-30 Nikon Corp レーザ光源装置およびそれを備えた露光装置
JP2001291921A (ja) * 2000-04-07 2001-10-19 Komatsu Ltd 超狭帯域化レーザ装置
JP2001298234A (ja) * 2000-04-13 2001-10-26 Komatsu Ltd 紫外線レーザ装置及びその波長安定化方法
JP3888673B2 (ja) * 2001-12-28 2007-03-07 ウシオ電機株式会社 露光用フッ素分子レーザシステム

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