JP2011228471A - 多層基板とその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】従来のフィルムを用いた耐熱基板において、導電ペーストからなるビアを小径化した場合、ビア部分の抵抗値が増加してしまう場合があった。
【解決手段】第１の耐熱性フィルム１４に形成した第１の孔１８に、突出部２４を有する状態で充填してなる導電ペースト１６の両側から銅箔２３を加圧、一体化し、凸状接続部１７を形成することで、導電ペースト１６内に含まれる導電粉どうしの圧着や、導電粉と銅箔２３との圧着を助長すると共に、この凸状接続部１７を覆うように積層される第２の耐熱性フィルム１５に、第２の孔１９を形成し、この第２の孔１９を通じて、凸状接続部と重なる部分の接着層１３を、第２の耐熱性フィルム１５の他の面側にも広く移動させることで、多層配線基板１１の更なる多層化や表層配線２０のファインパターン化を実現する。
【選択図】図１

Description

本発明は、ポリイミド等の耐熱性フィルムと、銅箔からなる複数層の配線とを、接着剤を介して積層すると共に、前記配線間を導電ペーストを用いて層間接続してなる多層基板とその製造方法に関するものである。

近年、電子機器の小型化、高性能化に伴い、産業用にとどまらず広く民生用機器の分野においてもＬＳＩ等の半導体チップを高密度に実装できる多層配線回路基板が安価に供給されることが強く要望されてきている。このような多層配線回路基板では微細な配線ピッチで形成された複数層の配線パターン間を高い接続信頼性で電気的に接続できることが重要である。

また、携帯電話に代表される携帯機器においては特に、機能の集積化の傾向に加えて、より持ち運び性を良くするべく、機器の薄型化の傾向が顕著であり、多層配線回路基板にもより高密度で薄いものが要求されている。

このような市場の要望に対して従来の多層配線基板に代えて、絶縁層にフィルム基材を用いた多層配線基板の任意の電極を任意の配線パターン位置において層間接続できるインナービアホール接続法すなわち全層ＩＶＨ構造樹脂多層配線基板と呼ばれるものがある（特許文献１，２）。

実用新案登録第３１０２３２６号公報 特開２００３−２５８４３１号公報

しかしながら、従来の絶縁層にフィルム基材を用いた多層基板において、導電ペーストからなる小径のビアを形成しようとした場合、ビア部分の厚みが多層基板の表面に突起として残る可能性があった。

本発明は上記課題を解決するものであり、フィルムを用いた、配線基板の配線層間をペースト接続した場合において、高い信頼性で電気的に接続した全層ＩＶＨ（ＩＶＨは、インナービアホールを意味する）構造を有する高密度薄型に対応する多層配線基板を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明は、少なくとも、２層以上の内層配線と、この内層配線間に設けられた第１の耐熱性フィルムと、前記第１の耐熱性フィルムに形成された第１の孔に充填され前記内層配線を層間接続する導電ペーストと、表層配線と、前記内層配線と表層配線との間に設けられた第２の耐熱性フィルムと、前記配線と前記耐熱性フィルムとを接続する接着層と、を有する多層配線基板であって、前記内層配線の前記導電ペーストとは凸状接続部を有し、前記第２の耐熱性フィルムの前記凸状接続部に重ならない部分に前記接着層の一部以上が充填された第２の孔を有している多層配線基板とする。

本発明の多層基板とその製造方法によれば、薄層化に適した耐熱性フィルムを用いて、ファインパターン形成に必要な導電ペーストに起因する配線の凸状接続部を、第２の耐熱性フィルムに設けた、接着層が充填された第２の孔によって吸収し、多層配線基板の表面に凹凸として表出させないため、携帯電話を初めとする各種電子機器の小型化、高密度実装に貢献する。

すなわち、内層配線間に設けられた導電ペーストが充填されてなる層間接続部を、積極的に凸状とする。すなわち、第１の耐熱性フィルムに形成した第１の孔に、突出部を有する状態で充填してなる導電ペーストの両側から銅箔を加圧、一体化する際に、積極的に凸状接続部を形成することで、導電ペースト内に含まれる導電粉どうしの圧着や、導電粉と銅箔との圧着を助長する。

さらにこの凸状接続部を覆うように積層される第２の耐熱性フィルムに、予め第２の孔を形成しておき、この第２の孔を通じて、凸状接続部と重なる部分の接着層を、第２のフィルムの他の面側にも広く移動させることで、多層配線基板の表面に凸状接続部の形状が表出されないようにする。すなわち多層配線の表面を平坦とすることで、表層配線のファインパターン化や、部品実装性を高める。またこうして得られた表層配線の上に、新たな耐熱性フィルム等、あるいはビルドアップ層を設けることで、また更なる多層化が実現できる。また凸状接続部と、第２の耐熱性フィルムに形成した第２の孔とが、重ならないようにすることで、絶縁性に影響を与えることがない。

更に層間接続部に起因する凸状接続部を覆う絶縁層に相当する第２の耐熱性フィルムの薄層化、高信頼性化を実現する。これは、凸状接続部によって、第２の耐熱性フィルムが、局所的に引っ張られた場合（あるいは第２の耐熱性フィルムに局所的な応力が発生した場合）に、第２の耐熱性フィルムに形成した、接着層の一部以上が充填された第２の孔によって、応力緩和することができるためである。

本発明の多層配線基板の断面図 （Ａ）〜（Ｃ）は、多層配線基板の製造方法の一例について説明する断面図 （Ａ）〜（Ｃ）は、多層配線基板の製造方法の一例について説明する断面図 （Ａ）〜（Ｄ）は、多層配線基板の製造方法の一例について説明する断面図 図３（Ｃ）で作成したサンプルと、図４（Ｃ）で作成したサンプルと、銅箔とを積層、一体化する様子を説明する断面図 図５に示したサンプルが加圧、加熱され一体化した後の様子を説明する断面図 第２の耐熱性フィルムに第２の孔を設けていない場合について説明する断面図 図７に示したサンプルが加圧、加熱され一体化した後の様子を説明する断面図

（実施例１）
図１を用いて、実施例１について説明する。

図１は、本発明の多層配線基板の断面図の一例である。図１において、１１は多層配線基板、１２は内層配線、１３は接着層、１４は第１の耐熱性フィルム、１５は第２の耐熱性フィルム、１６は導電ペースト、１７は凸状接続部、１８は第１の孔、１９は第２の孔、２０は表層配線、２１ａ、２１ｂは矢印である。

図１に示すように、多層配線基板１１は、少なくとも、２層以上の内層配線１２と、この内層配線１２間に設けられた第１の耐熱性フィルム１４と、前記第１の耐熱性フィルム１４に形成された第１の孔１８に充填され前記内層配線を層間接続する導電ペースト１６と、表層配線２０と、前記内層配線１２と表層配線２０との間に設けられた第２の耐熱性フィルム１５と、前記内層や表層の配線と第１、第２の耐熱性フィルム１４、１５とを接続する接着層１３と、を有する多層配線基板１１であって、前記内層配線１２の前記導電ペースト１６との接続部は前記第２の耐熱性フィルム１５側を向いた凸状接続部１７を有し、この凸状接続部１７に重ならない部分の前記第２の耐熱性フィルム１５に前記接着層１３が充填された第２の孔１９を有している多層配線基板１１とする。

そして図１に示すように、内層配線１２に設けられた凸状接続部１７と、第２の耐熱性フィルム１５との間に設けられた接着層１３を構成する絶縁樹脂（番号は付与していない）の一部以上は、前記第２の耐熱性フィルム１５に形成された第２の孔１９を介して、矢印２１ｂに示すように表層配線２０側に逃がすことで、多層配線基板１１の表面において、凸状接続部１７に起因する凹凸の発生を抑制する。この結果、表層配線２０のファインパターン化や、総厚を抑えながらの更なる多層積層が可能となる。

また第２の耐熱性フィルム１５に設けた接着層１３が充填された第２の孔１９は、前記凸状接続部１７に重ならない部分に設けているため、第２の孔１９の存在が、凸状接続部１７が形成された内層配線１２と、表層配線２０との間の絶縁信頼性に影響を与えることがない。これは、内層配線１２の凸状接続部１７と、表層配線２０との間に、第２の耐熱性フィルム１５が絶縁層として存在するためである。

図１に示す矢印２１ａは、内層配線１２間の層間接続部となる導電ペースト１６に起因する凸状接続部１７によって、第２の耐熱性フィルム１５が、局所的に引っ張られることで発生する応力を示す。図１の矢印２１ａに示すように、凸状接続部１７によって、第２の耐熱性フィルム１５に局所的な応力が発生した場合であっても、第２の耐熱性フィルム１５に形成された第２の孔１９によって（更には第２の孔１９の形状が応力によって変化することで）応力緩和するためである。その結果、第２の耐熱性フィルム１５に発生する応力を低減することができ、多層配線基板１１の高信頼性化や、第２の耐熱性フィルムの更なる薄層化が可能となる。

（実施例２）
実施例２として、図２（Ａ）〜（Ｃ）、図３（Ａ）〜（Ｃ）、図４（Ａ）〜（Ｄ）、図５を用いて、実施例１で説明した多層配線基板１１の製造方法の一例について説明する。

図２（Ａ）〜（Ｃ）は、多層配線基板１１の製造方法の一例について説明する断面図である。図２において、２２は保護フィルムである。

図２（Ａ）に示すように、第１の耐熱性フィルム１４の両側に、接着層１３を介して保護フィルム２２を貼り付ける。

次に図２（Ｂ）に示すように、第１の耐熱性フィルム１４に、第１の孔１８を形成する。

次に図２（Ｃ）に示すように、第１の孔１８に導電ペースト１６を充填する。

図３（Ａ）〜（Ｃ）は、多層配線基板１１の製造方法の一例について説明する断面図である。図３において２３は銅箔、２４は突出部である。

次に図３（Ａ）の矢印２１に示すように、保護フィルム２２を剥離し、導電ペースト１６からなる突出部２４を形成する。

次に図３（Ｂ）に示すように、銅箔２３を、突出部２４の両側に配置し、矢印２１で示すように加圧、加熱し、これらを一体化し、図３（Ｃ）の状態とする。なお加圧、加熱に用いる金型やプレス装置等は図示していない。

図３（Ｃ）は、銅箔２３の表面に凸状接続部１７を設けた状態で、銅箔２３と第１の耐熱性フィルム１４とを途中に挟んだ接着層１３を介して一体化した様子を示す断面図である。なお銅箔２３に形成された凸状接続部１７は、導電ペースト１６からなる突出部２４に起因するものである。また銅箔２３の表面に凸状接続部１７を積極的に設けることで、導電ペースト１６中に含まれる銅粉どうし（銅粉は図示していない）が高密度に押しつぶされる際に、銅ペースト等の導電ペースト１６により大きな圧力を印加することができ、信頼性を高め、電気抵抗を低減する効果が得られる。

図４（Ａ）〜（Ｄ）は、多層配線基板１１の製造方法の一例について説明する断面図である。

図４（Ａ）に示すように、第２の耐熱性フィルム１５の両側に、接着層１３を介して保護フィルム２２を貼り付ける。

次に図４（Ｂ）に示すように、第２の耐熱性フィルム１５に、第２の孔１９を形成する。

次に図４（Ｃ）に示すように、保護フィルム２２を剥離する。

なお図４（Ｄ）に示すように、図４（Ｃ）の状態のサンプルの両面に新たに用意した保護フィルム２２を貼り付けておき、後矢印２１に示すように加圧することで、第２の孔１９の中に接着層１３の一部以上を充填しても良い。

図５は、図３（Ｃ）で作成したサンプルと、図４（Ｃ）で作成したサンプルと、銅箔２３とを積層、一体化する様子を説明する断面図である。なお図４（Ｃ）に示すサンプルの代わりに、図４（Ｄ）に示すサンプルから、表面の保護フィルム２２を剥離したサンプルを用いても良い。

次に、図５に示すように、図３（Ｃ）で作成したサンプルの両側に、図４（Ｃ）で作成したサンプルや、銅箔２３を設置し、矢印２１ａに示すように、加圧、加熱し、これら部材を一体化する。

図５の矢印２１は、第２の耐熱性フィルム１５上に形成された接着層１３の一部以上が、凸状接続部１７等で押されて互いに流動する様子を示す。矢印２１で示すように、第２の耐熱性フィルム１５上に形成された接着層１３の一部以上は、凸状接続部１７等で部分的に押された際に、第２の耐熱性フィルム１５に形成された第２の孔１９を介して、他の面へ相互的に移動する。そして層間の接続強度（あるいはアンカー効果）を高める。

図６は、図５に示したサンプルが加圧、加熱され一体化した後の様子を説明する断面図である。

図６において、凸状接続部１７の形状は、銅箔２３に殆ど影響を与えていないが、これは前述の図５の矢印２１で示したように、第２の耐熱性フィルム１５に設けた第２の孔１９を介して、接着層１３を構成する樹脂材料（番号は付与していない）が互いに流動したためである。

図６における矢印２１は、層間接続部となる凸状接続部１７によって、第２の耐熱性フィルム１５が、局所的に引っ張られ局所的な応力が発生し、この応力が、第２の耐熱性フィルム１５に形成された、接着層１３の一部以上が充填された第２の孔１９によって、応力緩和される様子を示す。なお第２の孔１９の孔形状は丸でも三角形でも多角形等でも、不定形なものであっても良い。これは第２の孔１９の孔形状が、凸状接続部１７に起因する応力によって変形し、応力緩和すれば良いためである。

以上のように、少なくとも、第１、第２の耐熱性フィルム１４、１５の両側に接着層１３を形成する工程と、第１の耐熱性フィルム１４の両面に前記接着層１３を介して保護フィルム２２を設ける保護工程と、前記第１の耐熱性フィルム１４に第１の孔１８を形成する第１の孔１８工程と、前記第１の孔１８に導電ペースト１６を充填する充填工程と、前記保護フィルム２２を剥離し前記導電ペースト１６からなる突出部２４を形成する突出工程と、前記第２の耐熱性フィルム１５に、第２の孔１９を形成する第２の孔１９工程と、前記第１の孔１８を有する第１の耐熱性フィルム１４の一面以上に、前記第２の孔１９を有する第２の耐熱性フィルム１５と、銅箔２３とを配置する銅箔配置工程と、前記第１の孔１８を有する第１の耐熱性フィルム１４と、前記第２の孔１９を有する第２の耐熱性フィルム１５と、銅箔２３とを加圧、加熱し積層、一体化する一体化工程と、前記銅箔２３をパターニングして配線を形成する配線形成工程と、を有する多層配線基板１１の製造方法によって、多層配線基板１１の薄層化、多層化、ファインパターン化、実装性の改善等が可能となる。

次に、比較例として、図７、図８を用いて、第２の耐熱性フィルム１５に第２の孔１９を設けていない場合について説明する。

図７は、第２の耐熱性フィルム１５に第２の孔１９を設けていない場合について説明する断面図である。

図７において、第２の耐熱性フィルム１５には第２の孔１９を設けていない。そのため凸状接続部１７で押された接着層１３は矢印２１に示すように、第２の耐熱性フィルム１５の上を平面方向のみに左右に流れる。図７の場合、前述の図５で示したように第２の耐熱性フィルム１５の他の面まで移動することがない。そのため後述する図８に示すように、多層配線基板１１の表面に凸状接続部１７に起因する凹凸が発生する可能性がある。

図８は、図７に示したサンプルが加圧、加熱され一体化した後の様子を説明する断面図である。

図８において、凸状接続部１７の形状は、銅箔２３の表面に凹凸として現れている。これは前述の図７の矢印２１で示したように、第２の耐熱性フィルムの表面に設けた接着層が左右に流れただけでは、内部の凸状接続部１７の厚みを、接着層１３を構成する樹脂材料（番号は付与していない）では充分に吸収できない場合があることを示す。

図８における矢印２１は、第２の耐熱フィルム１５に、凸状接続部１７に起因する応力が発生する様子を示す。こうした応力は、特に第２の耐熱性フィルム１５の厚みが薄くなった場合に、課題となる可能性が考えられる。

（実施例３）
実施例３を用いて、実施例１や実施例２で説明した各種部材について説明する。

第１、第２の耐熱性フィルム１４、１５としては、半田リフロー等の耐熱性を有する市販のポリイミドフィルムを用いる。第１、第２の耐熱性フィルム１４、１５の厚みは２５ミクロン以下、更には１８ミクロン以下が望ましい。第１、第２の耐熱性フィルム１４、１５の厚みを２５ミクロン以下とすることで、多層配線基板１１の薄層化に対応できる。第１、第２の耐熱性フィルム１４、１５の厚みを３０ミクロン以上、更に５０ミクロン以上の場合、多層配線基板１１の厚みが増加してしまう場合がある。

接着層１３の厚みは、１０ミクロン以下、更には７ミクロン以下が望ましい。接着層１３の厚みを１０ミクロン以下とすることで、内層配線１２や表層配線２０、あるいは銅箔２３の接着層１３側に設けた粗化面（粗化面は、図１〜図８では図示していない）と、第１、第２の耐熱性フィルム１４、１５との接着力を高められる。なお接着層１３の厚みとは、配線１２の接着層１３側に設けた粗化面と、耐熱フィルムとの距離の一番小さい厚み（粗化面の凹凸面の凸部分と耐熱フィルムとの距離）とする。なお接着層１３の厚みが１５ミクロンを超えた場合、多層配線基板１１の全体の総厚に影響を与える。

なお第２の耐熱性フィルム１５に設ける第２の孔１９の直径と、第１の耐熱性フィルム１４に設ける第１の孔１８の直径を略同一とすることで、レーザー等による孔形成のコストダウンが可能となる。

次に［表１］、［表２］を用いて、第２の耐熱性フィルム１５における第２の孔１９の効果について説明する。なお絶縁信頼性は、６０℃／９０％ＲＨ（ＤＣ１５Ｖ）で所定時間行なった。［表１］、［表２］の違いは、凸状接続部１７の高さを変化させたものであるが、これは保護フィルム２２の厚みは、第１の孔１８の直径によって、変化させることができるものであり、製品用途に応じて最適化すれば良い。

［表１］は、発明品（サンプル(1)、(2)）と従来品（サンプル(3)）について、試作した結果を示すものである。［表１］において、第１、第２の耐熱性フィルム１４、１５の厚みは２８μｍ、第１、第２の孔１８、１９の直径は１３０μｍ、接着層１３の厚みは１０μｍとした。

［表１］において総合判断は、ビア抵抗や、銅箔２３表面（あるいは多層配線基板１１の表面）に現れた凸状接続部１７に起因する凹凸で判断した。また良の判断を○、判断に迷う場合を△、ＮＧの判断を×とした。

［表２］において総合判断は、ビア抵抗や、銅箔２３表面（あるいは多層配線基板１１の表面）に現れた凸状接続部１７に起因する凹凸で判断した。また良の判断を○、判断に迷う場合を△、ＮＧの判断を×とした。

［表１］、［表２］の結果より、サンプル(1)（発明品、第２の耐熱性フィルム１５の、第１の孔１８と異なる位置に接着層１３が充填された第２の孔１９を形成したもの。なお[表１]、[表２]において凸状接続部１７の中心と、第２の孔１９の中心との距離を０．５ｍｍとした）は、銅箔２３表面（あるいは多層配線基板１１の表面）に、凸状接続部１７に起因する凹凸が現れにくいことがわかる。またサンプル(1)の絶縁信頼性が高かった理由は、表層配線２０と内層配線１２（特に凸状接続部１７）との間に設けた第２の耐熱性フィルム１５に第２の孔１９を設けていないためと考えられた。なお第２の耐熱性フィルム１５の、第１の孔１８と異なる位置に接着層１３が充填された第２の孔１９は、凸状接続部１７と重ならない部分であって、凸状接続部１７の近傍（望ましくは凸状接続部１７の中心から、２ｍｍ以下、更には１ｍｍ以下）に設けることが望ましい。接着層１３を構成する絶縁性の樹脂材料が充填された第２の孔１９を、第２の耐熱性フィルム１５に設けた場合、この第２の孔１９の中心が、第１の耐熱性フィルム１４に積層した内層配線１２の凸状接続部１７の中心より、２ｍｍより遠くなった場合、第２の耐熱性フィルム１５の両面に設けた接着層１３の第２の孔１９を介した流動性に影響を与える場合がある。

［表１］、［表２］の結果より、サンプル(2)（比較品、第２の耐熱性フィルム１５の、第１の孔１８と、略同位置、あるいは重なる位置に第２の孔１９を形成したもの）は、銅箔２３表面（あるいは多層配線基板１１の表面）に、凸状接続部１７に起因する凹凸が現れにくいことがわかる。その一方、サンプル(2)は、サンプル(1)やサンプル(3)に比べビア抵抗が高くなったが、これは導電ペースト１６の突出部２４の圧縮時（例えば、前述の図３（Ｂ）〜（Ｃ））に、導電ペースト１６の圧縮が不十分であった可能性がある。サンプル(2)の絶縁信頼性が、サンプル(1)やサンプル(3)に比べて低かった理由は、表層配線２０と内層配線１２（特に凸状接続部１７）との間に設けた第２の耐熱性フィルム１５に、第２の孔１９が位置したためと考えられた。

［表１］、［表２］の結果より、サンプル(3)（従来品、第２の耐熱性フィルム１５に、接着層１３が充填された第２の孔１９を設けなかった場合）は、銅箔２３表面（あるいは多層配線基板１１の表面）に、凸状接続部１７に起因する凹凸が現れたため、総合評価を△とした。

なお、第２の耐熱性フィルム１５に、導電ペースト１６が充填されてなる第１の孔１８を形成することは有用である。このように、第２の耐熱性フィルム１５に、導電ペースト１６が充填されてなる第１の孔１８や、接着層１３の一部が充填されてなる第２の孔１９を、共に設けることで、多層配線基板１１の更なる高性能化が可能となる。

なお導電ペースト１６としては、銅粉等の導電粉を熱硬化性樹脂に高濃度に分散してなるものを用いることが望ましい。

また接着層１３を構成する接着剤は、エポキシ等の耐熱性を有する樹脂に、無機フィラー等の熱膨張調整部材等を添加したものを用いる。また第１、第２の耐熱性フィルム１４、１５上への接着層１３の形成は、市販のコーター（塗工機）等を用いることで、ピンホール等の発生を防止しながら、略均一な塗膜厚みで形成することができる。また接着層１３の厚みは、第１、第２の耐熱性フィルム１４、１５の上で、略均一とすることで、多層配線基板１１の厚みバラツキを低減できる。

また図１に示した多層配線基板１１は、４層配線基板の場合について説明する断面図であるが、図２〜図５で説明した工程を繰り返すことで、６層配線基板や８層配線基板を製造できることは言うまでもない。

また表層配線２０を設けた上に、更に図２〜図５で説明した工程を繰り返すことで、多層配線基板を実現できることは言うまでもない。

本発明の多層基板とその製造方法は、耐熱性フィルムを用いることで、薄層でありながらも信頼性の高い多層配線基板を、導電ペーストからなるビアをより低抵抗に形成できるインナービアホール接続法すなわち全層ＩＶＨ構造樹脂多層配線基板を提供することで、電子機器の小型化、高密度実装化、高機能化に貢献することができる。

１１ 多層配線基板
１２ 内層配線
１３ 接着層
１４ 第１の耐熱性フィルム
１５ 第２の耐熱性フィルム
１６ 導電ペースト
１７ 凸状接続部
１８ 第１の孔
１９ 第２の孔
２０ 表層配線
２１、２１ａ、２１ｂ 矢印
２２ 保護フィルム
２３ 銅箔
２４ 突出部

Claims (2)

1. 少なくとも、２層以上の内層配線と、この内層配線間に設けられた第１の耐熱性フィルムと、前記第１の耐熱性フィルムに形成された第１の孔に充填され前記内層配線を層間接続する導電ペーストと、表層配線と、前記内層配線と表層配線との間に設けられた第２の耐熱性フィルムと、前記配線と前記耐熱性フィルムとを接続する接着層と、を有する多層配線基板であって、前記内層配線の前記導電ペーストとの接続部は前記第２の耐熱性フィルム側を向いた凸状接続部を有し、この凸状接続部に重ならない部分の前記第２の耐熱性フィルムに前記接着層が充填された第２の孔を有している多層配線基板。
2. 少なくとも、
   第１、第２の耐熱性フィルムの両側に接着層を形成する工程と、
   第１の耐熱性フィルムの両面に前記接着層を介して保護フィルムを設ける保護工程と、
   前記第１の耐熱性フィルムに第１の孔を形成する第１の孔工程と、
   前記第１の孔に導電ペーストを充填する充填工程と、
   前記保護フィルムを剥離し前記導電ペーストからなる突出部を形成する突出工程と、
   前記第２の耐熱性フィルムに、第２の孔を形成する第２の孔工程と、
   前記第１の孔を有する第１の耐熱性フィルムの一面以上に、前記第２の孔を有する第２の耐熱性フィルムと、銅箔とを配置する銅箔配置工程と、
   前記第１の孔を有する第１の耐熱性フィルムと、前記第２の孔を有する第２の耐熱性フィルムと、銅箔とを加圧、加熱し積層、一体化する一体化工程と、
   前記銅箔をパターニングして配線を形成する配線形成工程と、
   を有する多層配線基板の製造方法。

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