JP2011216471A - プラズマ生成装置、及びコーティング装置 - Google Patents

Abstract

【課題】対象物の表面上においてプラズマを接触させる位置を調節可能なプラズマ生成装置２０において、装置構成を簡素化させる。
【解決手段】プラズマ生成装置２０は、レーザ照射機構５２と電磁波照射機構５１とを備える。レーザ照射機構５２は、レーザ発振器５６と、そのレーザ発振器が発振したレーザ光が所定の対象物に照射されるようにレーザ光を反射させる反射機構５７と、その反射機構を回転させる駆動装置２１とを有している。電磁波照射機構５１は、レーザ照射機構５２がレーザ光を照射中に、対象物の表面においてレーザ光の照射位置の電界強度が相対的に強くなるように対象物に対して電磁波を照射する。レーザ照射機構５２は、反射機構５７を回転させることによりレーザ光の照射位置を変化させて、そのレーザ光の照射位置に生成されるプラズマの位置を変化させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、対象物の表面にプラズマを接触させるプラズマ生成装置、及びそのプラズマ生成装置を備えたコーティング装置に関するものである。

従来から、対象物の表面にプラズマを接触させるプラズマ生成装置が知られている。特許文献１には、この種のプラズマ生成装置が開示されている。このプラズマ生成装置は、プラズマ生成器が台座に平行に移動可能である。

特開２００８−３８２４６号公報

ところで、従来のプラズマ生成装置は、対象物の表面上においてプラズマを接触させる位置を変えるために、プラズマ生成装置自体を動かしていた。そのため、装置が大掛かりになっていた。

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、対象物の表面上においてプラズマを接触させる位置を調節可能なプラズマ生成装置において、装置構成を簡素化させることにある。

第１の発明は、レーザ光を発振するレーザ発振器と、該レーザ発振器が発振したレーザ光が所定の対象物に照射されるように前記レーザ光を反射させる反射機構と、該反射機構を回転させる駆動装置とを有し、該駆動装置が前記反射機構を回転させることにより、前記対象物の表面においてレーザ光の照射位置を調節可能なレーザ照射機構と、前記レーザ照射機構がレーザ光を照射中に、該対象物の表面において前記レーザ光の照射位置の電界強度が相対的に強くなるように、前記対象物に対して電磁波を照射する電磁波照射機構とを備え、前記レーザ照射機構は、前記対象物の表面において前記レーザ光の照射位置を変化させて、該レーザ光の照射位置に生成されるプラズマの位置を変化させるプラズマ生成装置。

第１の発明では、対象物の表面におけるレーザ光の照射位置に電磁波のエネルギーを供給することにより、プラズマが生成される。プラズマの位置は、反射機構を回転させ、レーザ光の反射方向を変化させて、対象物の表面におけるレーザ光の照射位置を変化させることにより変化する。

第２の発明は、第１の発明において、前記対象物が、帯状に形成され、その長さ方向へ前記レーザ光が照射される被処理面が動かされる一方、前記レーザ照射機構は、前記被処理面において幅方向に沿って前記レーザの照射位置を調節可能に構成されている。

第２の発明では、帯状の対象物の被処理面の移動方向に対して直交する方向に沿って、レーザの照射位置が調節可能である。

第３の発明は、第１又は第２の発明において、前記電磁波照射機構が、前記対象物の表面における前記レーザ光の照射位置に応じて、照射する電磁波の特性を変化させる。

第３の発明では、電磁波照射機構が、対象物の表面におけるレーザ光の照射位置に応じて、照射する電磁波の特性（例えば、周波数、位相、振幅）を変化させる。電磁波照射機構は、例えば、レーザ光の照射位置における電界強度が一定になるように、照射する電磁波の特性を変化させる。

第４の発明は、第１乃至第３の何れか１つの発明に係るプラズマ生成装置と、フィルム材にコーティング剤を供給するコート剤供給装置とを備え、前記プラズマ生成装置は、前記フィルム材を前記対象物として、該フィルム材の被コーティング面の所定の位置にプラズマを生成し、前記コート剤供給装置は、被コーティング面において前記プラズマにより改質された箇所にのみ付着するコーティング剤を供給するコーティング装置。

第４の発明では、プラズマ生成装置が、フィルム材の被コーティング面の所定の位置をプラズマにより改質する。他方、コート剤供給装置は、被コーティング面においてプラズマにより改質された箇所だけに付着するコーティング剤を供給する。その結果、被コーティング面においてプラズマにより改質された箇所だけにコーティング層が形成される。

第５の発明は、フィルム材にコーティング剤を供給するコート剤供給装置と、前記フィルム材の被コーティング面においてプラズマを生成する位置を調節可能なプラズマ生成装置とを備え、前記コート剤供給装置は、被コーティング面において前記プラズマにより改質された箇所だけに付着するコーティング剤を供給するコーティング装置。

本発明では、反射機構を回転させることにより、対象物の表面においてプラズマの位置が変化する。従って、プラズマ生成装置自体を移動させるのに比べて、装置構成を簡素化させることができる。

また、本発明では、プラズマを生成するために電磁波を利用するので、レーザの出力をそれほど強くする必要がなく、装置構成を簡素化させることができる。

また、前記第４の発明では、被コーティング面においてプラズマにより改質された箇所だけにコーティング層を形成するので、任意の形状のコーティング層を形成することができる。

図１は、実施形態のコーティング装置の概略構成図である。 図２は、参考形態１のラッピング装置の概略構成図である。 図３は、参考形態１のラッピング方法を表す図である。 図４は、参考形態２のコーティング装置の概略構成図である。 図５は、参考形態３の表面改質装置の概略構成図である。 図６は、参考形態４の気流形成装置の概略構成図である。 図７は、参考形態５の殺菌装置の概略構成図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。
＜実施形態＞

実施形態は、フィルム材４９の被コーティング面を改質するプラズマ生成装置２０を有するコーティング装置５０である。プラズマ生成装置２０は、本発明の一例である。コーティング装置５０は、フィルム材４９の被コーティング面において特定の位置をプラズマ生成装置２０により改質し、改質した位置だけにコーティング剤を付着させることにより、フィルム材４９の表面に任意の形状（図柄、文字等）のコーティング層を形成する。

コーティング装置５０は、図１に示すように、フィルム材４９の被コーティング面（図１では、上面）において任意の位置にプラズマを生成可能なプラズマ生成装置２０と、該プラズマ生成装置２０により表面改質された位置に付着させるコーティング剤をフィルム材４９の上面へ供給するコート剤供給装置５９とを備えている。

プラズマ生成装置２０は、フィルム材４９の上面においてレーザ光の照射位置を調節可能なレーザ照射機構５２と、該レーザ照射機構５２によりレーザ光が照射される位置の電界強度をフィルム材４９の上面において相対的に強くする電磁波照射機構５１とを備えている。電磁波照射機構５１は、レーザ照射機構５２がレーザ光を照射中に、フィルム材４９の上面においてレーザ光の照射位置の電界強度が相対的に強くなるように、フィルム材４９に対して電磁波を照射する。

レーザ照射機構５２は、レーザを発振するレーザ発振器５６と、該レーザ発振器５６から出射されたレーザ光の反射方向を調節するための回転ミラー５７と、該回転ミラー５７で反射したレーザ光が通過する位置に配置された集光光学系（図示省略）と、回転ミラー５７を駆動制御する駆動装置２１とを備えている。レーザ照射機構５２は、レーザ発振器５６がレーザ光を発振中に、駆動装置２１により回転ミラー５７を回転駆動させることにより、フィルム材４９の上面におけるレーザ光の照射位置を変化させる。このとき、集光光学系は、フィルム材４９の上面にレーザ光を集光させる。

回転ミラー５７は、レーザ発振器５６が発振したレーザ光が所定の対象物に照射されるようにレーザ光を反射させる反射機構を構成している。実施形態では、回転ミラー５７がポリゴンミラー５７である。また、集光光学系は、球面レンズ及びトロイダルレンズからなるｆθレンズである。また、フィルム材４９は、帯状に形成されている。フィルム材４９は、ロール部材２３に巻き掛けられ、ロール部材２３を回転させることで、上面がコート剤供給装置５９側へ移動してゆく。上面は、ロール部材２３の長さ方向へ移動する。レーザ照射機構５２は、フィルム材４９の移動方向の特定の位置において、該移動方向に直交するフィルム材４９の幅方向に沿うライン２２（以下、「レーザ照射ライン」という。）上の任意の位置にレーザ光を照射可能である。レーザ照射機構５２は、ロール部材２３の上面において幅方向に沿ってレーザの照射位置を調節可能である。

なお、レーザ照射機構５２は、ポリゴンミラー５７の傾きを調節可能としてもよい。これにより、レーザ照射ライン２２上だけでなく、該レーザ照射ライン２２に沿う帯状領域の任意の位置にレーザ光を照射可能となる。

電磁波照射機構５１は、レーザ照射機構５２によりレーザ光を照射可能な領域（実施形態では、レーザ照射ライン２２上）の電界強度をフィルム材４９の上面において相対的に強くする。電磁波照射機構５１は、電磁波を発振する電磁波発振器５３（例えば、マグネトロン）と、該電磁波発振器５３から供給された電磁波を放射するためのアンテナ５５とを備えている。アンテナ５５は、同軸ケーブル５４を介して電磁波発振器５３に接続されている。アンテナ５５から電磁波が放射されると、レーザ照射ライン２２上、及びその近傍が強電界領域となる。例えば、アンテナ５５は、放射した電磁波がフィルム材４９の上面に照射されるように配置されている。

なお、アンテナ５５は、フィルム材４９におけるレーザ照射ライン２２の下方に配置してもよい。また、アンテナ５５は、強電界領域において電界強度が均一になるような形状（例えば、ジグザグ形状）であってもよい。

コーティング装置５０の動作について説明する。

コーティング装置５０は、ロール部材２３を回転させてフィルム材４９を移動させながら、レーザ照射機構５２、電磁波照射機構５１、及びコート剤供給装置５９を運転させる。レーザ照射機構５２は、予め設定された形状に従ってレーザ照射ライン２２上においてレーザの照射位置を変化させる。そうすると、電磁波照射機構５１の運転によりレーザ照射ライン２２上が強電界領域になっているので、レーザの照射位置にプラズマが形成される。レーザ照射機構５２は、フィルム材４９の上面においてレーザ光の照射位置を変化させて、レーザ光の照射位置に生成されるプラズマの位置を変化させる。フィルム材４９は、レーザ光の照射位置（プラズマ生成位置）が改質されて親水性及び接着性が向上する。このため、コート剤供給装置５９から吹き出されたコーティング剤が、フィルム材４９の上面の改質された位置だけに付着する。その結果、予め設定された図柄のコート層が形成される。なお、コート剤供給装置５９は、フィルム材４９の上面においてプラズマにより改質された箇所だけに付着するコーティング剤を供給する。

なお、電磁波照射機構５１は、フィルム材４９の上面におけるレーザ光の照射位置に応じて、照射する電磁波の特性（例えば、周波数、位相、振幅）を変化させるように構成されていてもよい。電磁波照射機構５１は、例えば、レーザ光の照射位置における電界強度が一定になるように、照射する電磁波の特性を変化させる。

また、フィルム材４９上におけるレーザ照射ライン２２を覆うように、電磁波を共振させる共振空洞を内部に形成する共振容器を設けてもよい。アンテナ５５は、共振容器内に配置される。共振容器内は、レーザ照射ライン２２上が定在波（電磁波）の腹になるように形成されている。また、共振容器には、レーザ照射ライン２２に沿ってレーザ光を入射させるスリットが形成される。
−実施形態の効果−

本実施形態では、ポリゴンミラー５７を回転させることにより、フィルム材４９の上面においてプラズマの位置が変化する。従って、プラズマ生成装置自体を移動させるのに比べて、装置構成を簡素化させることができる。

また、本実施形態では、プラズマを生成するために電磁波を利用するので、レーザの出力をそれほど強くする必要がなく、装置構成を簡素化させることができる。

また、本実施形態では、フィルム材４９の上面においてプラズマにより改質された箇所だけにコーティング層を形成するので、任意の形状のコーティング層を形成することができる。
《参考形態》

以下に、実施形態の参考となる参考形態について説明する。参考形態は、実施形態と同様に、プラズマ生成装置を利用する装置である。
−参考形態１−

参考形態１は、プラズマにより対象物品の周囲に活性種を生成する、又は、プラズマにより生成した活性種を対象物品の周囲に供給するプラズマ処理を行うプラズマ処理手段と、そのプラズマ処理手段によりプラズマ処理された対象物品をラッピングするラッピング手段とを備えているラッピング装置１０である。

ラッピング装置１０は、植物（参考形態１では、野菜）をラップフィルムによりラッピングするためのものである。ラッピング装置１０は、図２に示すように、搬送装置１１とプラズマ処理装置１２とラッピング機構１３とを備えている。ラッピング装置１０は、キャベツ、茄子等の野菜１５の周囲にプラズマ処理装置１２により活性種を生成して、野菜１５の表面を殺菌処理し、殺菌処理後の野菜１５をラッピング機構１３によりラッピングするように構成されている。

具体的に、搬送装置１１は、ベルトコンベア１１である。ベルトコンベア１１は、プラズマ処理装置１２に連動して動かされる。

プラズマ処理装置１２は、大気圧下で生成する非平衡プラズマにより対象物品１５の周囲に活性種を生成するプラズマ処理を行うプラズマ処理手段１２を構成している。プラズマ処理装置１２は、噴射口からプラズマを噴射するプラズマ生成器１４と、ベルトコンベア１１上で野菜１５を覆うためのカバー部材１６とを備えている。

プラズマ生成器１４は、カバー部材１６に一体化されている。プラズマ生成器１４の噴射口は、カバー部材１６の頂部に形成された貫通孔に接続されている。プラズマ生成器１４は、カバー部材１６内にプラズマを噴射する。カバー部材１６は、ベルトコンベア１１上に、野菜１５が閉じこめられた密閉空間１９を形成する。プラズマ処理装置１２は、カバー部材１６により対象物品１５を覆った状態でプラズマ生成器１４を動作させる。プラズマ処理装置１２は、野菜１５が存在する状態の密閉空間１９内において瞬間的に非平衡プラズマを供給する。プラズマ処理装置１２は、密閉空間１９のガスの温度が野菜１５に影響を与える温度にまで上昇しない程度の短時間だけプラズマを生成する。

なお、プラズマ生成器１４としては、例えば、２つの電極間に電圧差を生じさせてストリーマ放電を生じさせるものを用いることが可能である。その場合、カバー部材１６の開口縁に一方の電極を、カバー部材１６内の頂部に他方の電極を設けることが考えられる。また、プラズマ生成器１４としては、２つの電極間に放電により小規模プラズマを形成し、その小規模プラズマに電磁波発振器（例えば、マグネトロン）により電磁波エネルギーを供給するものを用いることが可能である。その場合、電磁波発振器は、極めて短い時間だけ電磁波を照射するように制御される。他にも、大気圧下で非平衡プラズマを生成することが可能であれば、プラズマ生成器１４として適用することが可能である。この点は、後述する各参考形態についても同様である。また、プラズマ生成器１４としては、プラズマガスとして不活性ガスを使用してもよい。また、プラズマ処理装置１２が、カバー部材１６内が密閉空間１９になったときに密閉空間１９を減圧する減圧機構を有していてもよい。

カバー部材１６は、そのカバー部材１６を動かす駆動装置１７（駆動アーム）に保持されている。駆動装置１７は、カバー部材１６を上下に動かすことができるように構成されている。駆動装置１７は、カバー部材１６の開口縁がベルトコンベア１１の上面に当接する第１の位置と、その第１の位置の真上の第２の位置との間で、カバー部材１６を動かす。

ラッピング機構１３は、プラズマ処理装置１２によりプラズマ処理された野菜１５をラッピングするラッピング手段１３を構成している。ラッピング機構１３は、ベルトコンベア１１においてプラズマ処理装置１２の下流（野菜１５の移動方向の下流）に設けられている。ラッピング機構１３は、ラッピング材１８により野菜１５が密封されるように、野菜１５をラッピングする。

続いて、参考形態１のラッピング装置１０によるラッピング方法について説明する。

まず、作業者により野菜１５がベルトコンベア１１上に載せられ、ベルトコンベア１１により野菜１５をカバー部材１６の真下に搬送する第１搬送ステップが行われる。ベルトコンベア１１は、野菜１５がカバー部材１６の真下に搬送されると停止する。

続いて、図３（Ａ）に示すように、駆動装置１７によりカバー部材１６を真下へ動かして、カバー部材１６により野菜１５を覆う被覆ステップが行われる。カバー部材１６は、その開口縁がベルトコンベア１１の上面に当接するまで動かされる。被覆ステップでは、カバー部材１６内に密閉空間１９が形成される。

続いて、図３（Ｂ）に示すように、プラズマ処理装置１２により密閉空間１９に活性種を生成するプラズマ処理ステップが行われる。プラズマ処理ステップでは、プラズマ処理装置１２により密閉空間１９に非平衡プラズマが供給され、その非平衡プラズマにより密閉空間１９に活性種（例えば、ＯＨラジカル、オゾン）が生成される。

続いて、図３（Ｃ）に示すように、駆動装置１７によりカバー部材１６を真上へ動かして、ベルトコンベア１１により野菜１５をラッピング機構１３の位置まで搬送する第２搬送ステップが行われる。ベルトコンベア１１は、駆動装置１７によりカバー部材１６を上方へ動かした後に作動する。

そして、最後に、図３（Ｄ）に示すように、ラッピング機構１３により野菜１５をラッピングするラッピングステップが行われる。

参考形態１では、プラズマ処理ステップの際に、カバー部材１６内にプラズマにより活性種が生成されると共に、紫外線が発せられる。その結果、野菜１５に付着する雑菌が死滅し、カバー部材１６内のエチレンが分解される。従って、ラッピング後の野菜１５の衛生状態を向上させることができると共に、野菜１５の鮮度を長時間保つことができる。

また、参考形態１では、カバー部材１６内では活性種の濃度が比較的高くなるので、プラズマにより生成した活性種により野菜１５の周囲が効率的に殺菌される。従って、ラッピング後の対象物品１５の衛生状態をさらに向上させることができる。
−参考形態１の変形例−

この変形例では、プラズマ生成器１４が、その内部空間で生成した活性種をカバー部材１６へ供給するように構成されている。プラズマ生成器１４には、非平衡プラズマが生成されるプラズマ生成空間が設けられている。プラズマ生成器１４は、プラズマ生成空間がカバー部材１６内に連通するようにカバー部材１６に取り付けられている。また、プラズマ生成器１４は、噴射孔を通じてプラズマ生成空間のガス（例えば、空気、不活性ガス）をカバー部材１６内へ送る送風機を備えている（図示省略）。この変形例のプラズマ生成器１４では、プラズマ生成空間で非平衡プラズマにより活性種が生成され、送風機が形成する気流に乗せられてその活性種がカバー部材１６内へ供給される。なお、プラズマが噴射孔から出ないように、プラズマを生成する位置と噴射孔までの距離を適切に設定する。

また、この変形例では、植物１５がプラズマによる熱の影響を受けない位置でプラズマが生成され、該プラズマにより生成した活性種が植物１５の周囲に供給される。このため、植物１５の周囲の温度がそれほど変化しないようにしている。従って、プラズマ処理により植物１５が傷むことを防ぐことができる。

なお、プラズマ処理装置１２は、カバー部材１６を有していなくてもよい。その場合、ラッピング機構１３によりラッピング途中又はラッピング直前の植物１５に、活性種を含む気流が供給されるようにプラズマ生成器１４を配置することができる。
−参考形態２−

参考形態２のコーティング装置５０は、図４に示すように、プラズマを吹き出す第１噴射器６６と、該第１噴射器６６を３次元的に移動させる第１移動機構６７と、コーティング剤を吹き出す第２噴射器と、該第２噴射器を３次元的に移動させる第２移動機構６２とを備えている。図４では、第２噴射器及び第２移動機構の図示は省略している。各移動機構６２は、リンク機構を利用している。

このコーティング装置５０では、第１噴射器６６及び第２噴射器を３次元的に動かすことができる。そして、第１噴射器６６が噴射したプラズマにより被コーティング面を改質した後に、第２噴射器からコーティング剤が吹き付けられる。この変形例では、フィルムのような平面だけでなく、曲面も的確に任意の位置をプラズマにより改質することができる。従って、任意の位置にコーティング剤を付着させることができる。
−参考形態３−

参考形態３は、ガラス板６３の表面改質装置６０である。表面改質装置６０は、図５に示すように、例えば乗用車等の乗物６５に搭載される。

表面改質装置６０は、ガラス板６３の外面付近にプラズマを生成するプラズマ生成器６１と、該プラズマ生成器６１をガラス板６３の外面に沿って動かす移動機構６２とを備えている。移動機構６２は、プラズマ生成器６１に連結される棒状のアーム６２ａと、該アーム６２ａと共にプラズマ生成器６１を動かす駆動モータ（図示省略）とを備えている。

移動機構６２は、プラズマ生成器６１をガラス板６３の外面に対して所定の間隔だけ離間させた状態で保持している。すなわち、プラズマ生成器６１とガラス板６３の外面との間には所定の間隔が保持される。

また、プラズマ生成器６１は、アーム６２ａの連結部を中心に回転可能になっている。駆動モータは、下端を支点にアーム６２ａを往復運動させる。すなわち、プラズマ生成器６１は、移動機構６２によりワイパーのように動かされる。従って、プラズマ生成器６１により、ガラス板６３のほぼ全面をプラズマにより改質することができる。ガラス板６３の外面は、改質により摩擦抵抗が低減される。従って、乗物６５の燃費を向上させることができる。

なお、プラズマ生成器６１のガラス板６３側にワイパーゴムを取り付けてもよい。これにより、駆動機構をプラズマ生成器６１の移動とワイパーゴムの移動とに兼用することができる。また、ワイパーゴムは、プラズマ生成器６１とガラス板６３の外面との間隔を保持する役割を果たす。

図５では、乗用車のフトントガラスに対して表面改質装置６０を設けたが、ドアの窓ガラスに対して表面改質装置６０を設けてもよい。また、表面改質装置６０は、ガソリンスタンド等に設置し、乗物６５と別体にしてもよい。その場合は、ガラス板６３が定期的にプラズマにより改質される。
−参考形態４−

参考形態４は、気流６９（エアカーテン）を形成する気流形成装置７０である。気流形成装置７０は、図６に示すように、植物工場７１に設置される。植物工場７１の天井には、室内と室外とを連通させる開口部６８が複数形成されている。気流形成装置７０は、各開口部６８に対してそれぞれ設けられている。気流形成装置７０は、開口部６８のほぼ全域に亘って気流６９を形成する。気流形成装置７０は、ＯＨラジカル、オゾン等の活性種を含んだ気流６９を形成する。

気流形成装置７０は、気流を生成する送風機７２と、該送風機７２から吹き出された気流の流路上にプラズマを生成するプラズマ生成器７３とを備えている。送風機７２とプラズマ生成器７３とは、送風機７２に吸い込まれる空気が通過する流入口と、送風機７２から吹き出された空気が通過する流出口とが形成された箱状のケーシングに収容されている（図示省略）。ケーシングは、例えば、植物工場７１の天井面の側面寄りの位置に固定されている。
−参考形態５−

参考形態５は、皮膚の表面を殺菌するための殺菌装置８０である。殺菌装置８０は、図７に示すように、メス８１（刃物、レーザメス）で切断する箇所の周辺の殺菌に使用される。

殺菌装置８０は、気流を生成する送風機８２と、該送風機８２から吹き出された気流の流路上にプラズマを生成するプラズマ処理装置８３とを備えている。プラズマ処理装置８３は、流入口と流出口とが形成された箱状のケーシング内でプラズマを生成する。ケーシングの流入口には、入口側チューブ８５の一端が接続されている。入口側チューブ８５の他端は、送風機８２の吹出口に接続されている。一方、ケーシング８４の流出口には、出口側チューブ８６が接続されている。

殺菌装置８０は、出口側チューブ８６の先端をメス８１で切断する箇所に向けた状態で、送風機８２及びプラズマ処理装置８３の運転を行う。送風機８２は、吸い込んだ空気を入口側チューブ８５へ送る。そして、入口側チューブ８５を通過した空気がプラズマ処理装置８３に流入する。プラズマ処理装置８３のケーシング内では、非平衡プラズマが形成され、通過する空気に活性種が付与される。プラズマ処理装置８３のケーシングで活性種が付与された空気は、出口側チューブ８６を通ってメス８１で切断する箇所に吹き付けられる。その結果、メス８１で切断する箇所が殺菌される。
−参考形態６−

参考形態６は、胆石破壊用のプラズマ生成装置１１０である。プラズマ生成装置１１０は、胆管内においてプラズマを生成することにより、その胆管内の胆石を破壊するように構成されている。プラズマ生成装置１１０は、例えば口から体内に挿入可能なチューブの先端からプラズマを噴射するように構成されている。

以上説明したように、本発明は、対象物の表面にプラズマを接触させるプラズマ生成装置、及びそのプラズマ生成装置を備えたコーティング装置について有用である。

５０ コーティング装置
５１ 電磁波照射機構
５２ レーザ照射機構
５６ レーザ発振器
５７ ポリゴンミラー（反射機構）
５９ コート剤供給装置
７０ プラズマ生成装置
７２ 駆動装置

Claims (5)

1. レーザ光を発振するレーザ発振器と、該レーザ発振器が発振したレーザ光が所定の対象物に照射されるように前記レーザ光を反射させる反射機構と、該反射機構を回転させる駆動装置とを有し、該駆動装置が前記反射機構を回転させることにより、前記対象物の表面においてレーザ光の照射位置を調節可能なレーザ照射機構と、
   前記レーザ照射機構がレーザ光を照射中に、該対象物の表面において前記レーザ光の照射位置の電界強度が相対的に強くなるように、前記対象物に対して電磁波を照射する電磁波照射機構とを備え、
   前記レーザ照射機構は、前記対象物の表面において前記レーザ光の照射位置を変化させて、該レーザ光の照射位置に生成されるプラズマの位置を変化させる
   ことを特徴とするプラズマ生成装置。
2. 請求項１において、
   前記対象物は、帯状に形成され、その長さ方向へ前記レーザ光が照射される被処理面が動かされる一方、
   前記レーザ照射機構は、前記被処理面において幅方向に沿って前記レーザの照射位置を調節可能に構成されている
   ことを特徴とするプラズマ生成装置。
3. 請求項１又は２において、
   前記電磁波照射機構は、前記対象物の表面における前記レーザ光の照射位置に応じて、照射する電磁波の特性を変化させる
   ことを特徴とするプラズマ生成装置。
4. 請求項１乃至３の何れか１つに記載のプラズマ生成装置と、
   フィルム材にコーティング剤を供給するコート剤供給装置とを備え、
   前記プラズマ生成装置は、前記フィルム材を前記対象物として、該フィルム材の被コーティング面の所定の位置にプラズマを生成し、
   前記コート剤供給装置は、前記被コーティング面において前記プラズマにより改質された箇所だけに付着するコーティング剤を供給する
   ことを特徴とするコーティング装置。
5. フィルム材にコーティング剤を供給するコート剤供給装置と、
   前記フィルム材の被コーティング面においてプラズマを生成する位置を調節可能なプラズマ生成装置とを備え、
   前記コート剤供給装置は、前記被コーティング面において前記プラズマにより改質された箇所だけに付着するコーティング剤を供給する
   ことを特徴とするコーティング装置。
   

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